專利名稱：制造盤的裝置和制造盤的透明層的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造盤的方法，更具體地說，涉及一種形成盤透明層的裝置和方法。
背景技術(shù)：
增加盤記錄密度的方法包括一種減小發(fā)射至盤上的、用于記錄的激光束光點的直徑的方法。激光束的波長越短且物鏡的數(shù)值孔徑(NA)越大時，則激光束的光點直徑越小。然而，激光束波長的減小或物鏡NA的增加是有限的。因此，如果物鏡的NA增加且激光束的波長減小，則激光束的光點直徑增加；但偏差會大大增大，從而使再現(xiàn)信號的特性變壞。
圖1為一種傳統(tǒng)盤的橫截面圖。參見圖1可看出，盤包括盤基片10和透明層15，在該盤的中心作出軸向孔14。在高密度數(shù)字式通用盤(HD-DVD)情況下，盤基片10的厚度T為1.1mm，透明層15的厚度d為0.1mm，因此盤的總厚度為1.2mm。特別是，為了精確地將從再現(xiàn)裝置發(fā)射的激光束聚焦在透明層15的表面上，透明層15的厚度應(yīng)在100微米±3微米的范圍內(nèi)。制造該薄的透明層15的方法包括旋轉(zhuǎn)涂覆法。
圖2為說明根據(jù)傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂覆法的制造透明層的方法的參考圖。
如圖2所示，利用傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂覆法時，將液態(tài)紫外線硬化樹脂滴在低速回轉(zhuǎn)的盤基片10的表面的一個點上，然后，使該盤基片10以高速轉(zhuǎn)動。該液態(tài)紫外線硬化樹脂13借助離心力，沿徑向方向在盤基片10上散布，從而涂覆在盤基片10上。接著，將紫外線輻射在涂覆的紫外線硬化樹脂13上，從而使該紫外線硬化樹脂13硬化。
當用旋轉(zhuǎn)涂覆法制造薄的透明層15時，透明層15的厚度取決于處理條件，例如旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時間、紫外線硬化樹脂13的散布位置和散布量，及樹脂的性質(zhì)(例如粘度)。特別是，為了將透明層15涂覆至厚度為100微米，紫外線硬化樹脂13的粘度應(yīng)大于幾百厘泊(cps)。當樹脂的粘度增加時，透明層厚度的均勻性增加，同時分子吸引力增加。這樣，透明層厚度的均勻性受到紫外線硬化樹脂13散布在上面的表面狀態(tài)的影響。與該樹脂散布表面的狀態(tài)有關(guān)的因素之一是樹脂的散布位置。因此，透明層15的均勻性受紫外線硬化樹脂13的散布位置的影響。
圖3為表示樹脂的散布位置與透明層厚度的均勻性之間的關(guān)系的圖。圖3表示在樹脂粘度為5000厘泊(cps)，散布量為5g和旋轉(zhuǎn)速度為700rpm(轉(zhuǎn)/分)的條件下，紫外線硬化樹脂13分別向著盤基片的軸向孔(中心)和在盤基片10的半徑為20mm，30mm，40mm和45mm處散布時所產(chǎn)生的透明層15的厚度的均勻性。如圖3所示，當紫外線硬化樹脂13向著盤基片10的中心散布時，透明層15的厚度最均勻。
但是，如上所述，利用通常的旋轉(zhuǎn)涂覆法時，紫外線硬化樹脂不是向著盤基片的中心散布的，而是散布在盤基片表面的一個點上。在現(xiàn)有技術(shù)中，利用旋轉(zhuǎn)涂覆法，將樹脂涂覆在盤基片上，將該盤基片移入紫外線硬化機中，然后使樹脂硬化。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的第一個目的是要提供一種制造盤的裝置，在該裝置中可以使用中心散布方法，將樹脂向著盤基片中心散布，以形成高度均勻的透明層。另外，本發(fā)明還要提供一種制造該透明層的方法。
本發(fā)明的第二個目的是要提供一種制造可以獲得更寬的記錄表面的盤的裝置，和制造該盤的透明層的方法。
為了達到上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個方面提供了一種制造盤的裝置，該裝置包括旋轉(zhuǎn)涂覆部分，它將樹脂涂覆在安裝在主軸工作臺上的盤基片上；和硬化樹脂用的樹脂硬化部分，該樹脂是在盤基片安裝在主軸工作臺上的狀態(tài)下，涂覆在盤基片上的。
最好，該旋轉(zhuǎn)涂覆部分包括轉(zhuǎn)動主軸工作臺的主軸電機；上面安裝著散布樹脂用的散布噴嘴的散布頭；支承要移動的散布頭的支承板；以及旋轉(zhuǎn)涂覆控制器，它控制主軸電機、散布頭和支承板，并將樹脂向著盤基片的中心散布。
另外，最好樹脂硬化部分包括紫外線發(fā)射部分；支承要移動的紫外線發(fā)射部分的支承部分；和樹脂硬化控制器，它控制該紫外線發(fā)射部分和支承部分。
另外，最好該紫外線發(fā)射部分包括發(fā)出紫外線的燈；和反射從該燈發(fā)出的紫外線的反射鏡。
另外，最好該支承部分包括在水平方向支承該紫外線發(fā)射部分的水平支承板；支承該水平支承板的垂直支承板；結(jié)合部分，它將水平支承板與垂直支承板結(jié)合起來，使水平支承板和垂直支承板可以彼此并排地運動；和供給電能使該水平支承板或垂直支承板運動的電機。
為了達到上述目的，根據(jù)本發(fā)明的另一個方面提供了一種制造盤基片上的透明層的方法。該方法包括(a)用蓋零件覆蓋在盤基片中心作出的軸向孔；(b)將樹脂向著盤基片上表面上的軸向孔散布；和(c)除去該蓋零件。
另外，最好它在步驟(b)以后還包括(b-1)步驟使該盤基片高速轉(zhuǎn)動，并將樹脂均勻地涂覆在盤基片上；和(b-2)步驟使涂覆樹脂硬化。
最好，它在步驟(b-1)以后包括將盤基片與支承和轉(zhuǎn)動盤基片的主軸工作臺分離的(b-2)步驟。
還希望它在步驟(c)之前或之后還包括使涂覆樹脂硬化的步驟(c-1)。
另外，最好它在步驟(c)以前包括插入中心軸的步驟(a0)，該中心軸從主軸工作臺伸入盤基片的軸向孔中，并將盤基片安裝在主軸工作臺上，其特征為，從主軸工作臺伸出的中心軸的長度，與蓋零件下面的突出部的長度的總和小于盤基片的厚度。
最好，利用磁鐵或穿孔器，在步驟(c)中除去該蓋零件。


通過參照附圖來詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例，將可以更加了解本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點。其中圖1為傳統(tǒng)盤的橫截面圖；圖2為說明傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)涂覆法的參考圖；圖3為表示樹脂的散布位置與透明層厚度的均勻性之間的關(guān)系的圖；圖4為制造根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的盤的裝置的正視圖；圖5為制造根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的盤的裝置的側(cè)視圖；圖6為圖4和圖5中所示的旋轉(zhuǎn)涂覆部分的一個例子；圖7為圖4和圖5所示的旋轉(zhuǎn)涂覆部分的另一個例子；
圖8為表示制造根據(jù)本發(fā)明的第一個優(yōu)選實施例的盤的方法的流程圖；圖9為制造根據(jù)本發(fā)明的第二個優(yōu)選實施例的盤的方法的流程圖；和圖10為表示除去蓋零件的方法的參考圖。
具體實施例方式
下面，將參照附圖來詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
制造根據(jù)本發(fā)明的盤的裝置及其方法的特點之一是，旋轉(zhuǎn)涂覆和樹脂硬化都在一個裝置上進行，因此在制造透明層時不需要移動盤。換句話說，在制造盤的裝置中，旋轉(zhuǎn)涂覆就在盤上進行，然后，盤不移動，進行涂覆的樹脂硬化。
圖4為制造根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的盤的裝置的正視圖，圖5為制造根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的盤的裝置的側(cè)視圖。參見圖4和圖5可看出，制造盤的裝置包括一個用于將樹脂涂覆在盤基片上的旋轉(zhuǎn)涂覆部分，和一個用于硬化涂覆樹脂的樹脂硬化部分。
旋轉(zhuǎn)涂覆部分包括用于轉(zhuǎn)動放置著盤基片的主軸工作臺44的主軸電機40；上面安裝著用于散布樹脂的散布噴嘴42的散布頭41；用支承該散布頭41的支承板42和旋轉(zhuǎn)涂覆控制器45。
樹脂硬化部分包括紫外線發(fā)射部分60；支承紫外線發(fā)射部分60和使它運動的支承部分；和控制紫外線發(fā)射部分60與支承部分的樹脂硬化控制器50。紫外線發(fā)射部分60包括發(fā)射紫外線的燈62，和反射從燈62發(fā)出的紫外線的反射鏡63。由于在實施例中使用紫外線硬化樹脂，因此將樹脂硬化部分是用紫外線發(fā)射部分60來實現(xiàn)的，但如果采用另一種方法來硬化樹脂，可以相應(yīng)地改變這種結(jié)構(gòu)。支承部分包括在水平方向支承該紫外線發(fā)射部分60的水平支承板54；在垂直方向支承該紫外線發(fā)射部分60的垂直支承板52；結(jié)合部分53和通過回轉(zhuǎn)，使水平支承板54和垂直支承板52在垂直方向運動的電機51。該結(jié)合部分53用于使水平支承板54與垂直支承板52結(jié)合，使水平支承板54和垂直支承板52可以彼此并排地運動，或使水平支承板54沿著垂直支承板52上下運動。結(jié)合部分53和垂直支承板52可以包括結(jié)合螺旋和螺桿。在螺桿上作出一條槽，使結(jié)合螺旋可以上下運動。
圖6為圖4和圖5中所示的旋轉(zhuǎn)涂覆部分的一個例子。從圖6中可看出，為了實現(xiàn)將樹脂向著在盤基片60的中心作出的軸向孔散布的中心散布方法，包圍主軸電機40的中心軸4的回轉(zhuǎn)支承板46安裝在旋轉(zhuǎn)涂覆部分的主軸工作臺44和盤基片60之間，使該盤基片60更穩(wěn)定地回轉(zhuǎn)和支承?；剞D(zhuǎn)支承板46的材料沒有限制，可以使用塑料和金屬來制造。
主軸電機40的中心軸47伸入回轉(zhuǎn)支承板46的外側(cè)，使該中心軸47可插入盤基片60的軸向孔中。蓋零件70覆蓋著盤基片60的軸向孔，可防止樹脂通過該軸向孔泄漏。另外，在該蓋零件70下面形成一個突出部分，可以防止盤基片60在高速轉(zhuǎn)動時振動。為了容易在回轉(zhuǎn)過程中清除污染的樹脂的殘留物，該蓋零件70上可以涂上一種可以減小其表面張力的材料-例如聚四氟乙烯。為了使盤基片60緊密地安裝在回轉(zhuǎn)支承板46和主軸工作臺44上，該蓋零件70的突出部分的長度u和中心軸47伸出至回轉(zhuǎn)支承板46的外側(cè)的部分的長度p的總和，應(yīng)比盤基片60的厚度d小或與該厚度d相同。這個條件可由式(1)表示u+p≤d……(1)圖7為圖4和圖5所示的旋轉(zhuǎn)涂覆部分的另一個例子。從圖7可看出，與圖6不同，作為例子，該回轉(zhuǎn)支承板46不安裝在主軸工作臺44上，而盤基片60則直接安裝在主軸工作臺44上。與圖6一樣，蓋零件70安裝在盤基片60上。蓋零件70覆蓋盤基片60上的軸向孔，可防止樹脂通過該軸向孔泄漏；并且在該蓋零件70下面作出一個突出部分，可防止在盤基片60高速轉(zhuǎn)動時振動。為了容易在回轉(zhuǎn)過程中清除污染的樹脂的殘留物，該蓋零件70可以涂上一種減小其表面張力的材料-例如聚四氟乙烯。
主軸電機40的中心軸47伸入至工作臺44的外側(cè)，使該中心軸47可插入盤基片60的軸向孔中。主軸工作臺44的半徑比盤基片60的半徑小。在蓋零件70下面作出一個突出部分，以防止盤基片60在高速轉(zhuǎn)動時振動。只是為了緊密地將盤基片60安裝和支承在回轉(zhuǎn)支承板46與主軸工作臺44上，蓋零件70的突出部分的長度u和中心軸47伸入主軸工作臺44的外側(cè)的部分的長度p的總和，應(yīng)小于或等于盤基片60的厚度d。這個條件用式(2)表示u+p≤d……(2)為了防止由于在回轉(zhuǎn)過程中樹脂的濺出而使盤基片60的后側(cè)面被污染，該蓋零件70的突出部分的長度和伸出的中心軸47的長度的總和，最好只比盤基片60的厚度小一點點。
在這個基礎(chǔ)上，下面將說明根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的盤的制造方法。
圖8為表示制造根據(jù)本發(fā)明的第一個優(yōu)選實施例的盤的方法的流程圖。參見圖8可看出，在步驟801中，將盤基片60(圖6和圖7)安裝在主軸工作臺44上，使要形成透明層的盤基片60的表面向上，然后利用蓋零件70覆蓋在該盤基片60的中心作出的軸向孔上。在步驟802中，旋轉(zhuǎn)涂覆控制器45控制主軸電機40，使盤基片60以低速轉(zhuǎn)動，然后，將預先確定數(shù)量的紫外線硬化樹脂，通過散布頭41的散布噴嘴43，向著盤基片60的中心散布。在步驟803中，旋轉(zhuǎn)涂覆控制器54控制主軸電機40，使安裝在主軸工作臺44上的盤基片60高速轉(zhuǎn)動。在步驟804中，由回轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力沿半徑方向使紫外線硬化樹脂散布在盤基片60上，均勻地涂覆盤基片60的整個表面。旋轉(zhuǎn)涂覆控制器45將散布頭41從主軸工作臺44的上側(cè)，移動至主軸工作臺44的外側(cè)。在步驟805中，除去蓋零件70。如果該蓋零件70由金屬制成，則可利用磁鐵除去該蓋零件70。在步驟806中，樹脂硬化控制器50將紫外線發(fā)射部分60(圖4和圖5)完全和緊密地貼附在主軸工作臺44上，使從燈62發(fā)出的紫外線不會泄漏出去，并且，紫外線通過燈62發(fā)射，然后使紫外線硬化樹脂硬化。燈62應(yīng)將預先確定數(shù)量的紫外線發(fā)射超過120mm。在硬化過程中，盤基片60轉(zhuǎn)動，使該紫外線硬化樹脂能均勻地硬化。如果當散布樹脂時，樹脂暴露在紫外線下，樹脂沒有覆蓋并被硬化，則對操作該裝置的人會造成傷害。因此，紫外線發(fā)射部分60要完全和緊密地貼附在主軸工作臺44上，使從燈62發(fā)出的紫外線不會泄漏出去，并且紫外線通過該燈62發(fā)射。當不使用燈62進行硬化時，利用一個蓋(沒有示出)完全遮斷紫外線。該蓋最好位于紫外線發(fā)射部分60的最下部。
圖9為表示制造根據(jù)本發(fā)明的第二個優(yōu)選實施例的盤的方法的流程較。參見圖9在步驟901中，將盤基片60(圖6和圖7)安裝在主軸工作臺44上，使要形成透明層的盤基片60的表面向上，然后利用蓋零件70覆蓋在該盤基片60的中心作出的軸向孔上。在步驟902中，旋轉(zhuǎn)涂覆控制器45控制主軸電機40，使盤基片60以低速轉(zhuǎn)動，然后，將預先確定數(shù)量的紫外線硬化樹脂，通過散布頭41的散布噴嘴43，向著盤基片60的中心散布。在步驟903中，旋轉(zhuǎn)涂覆控制器54控制主軸電機40，使安裝在主軸工作臺44上的盤基片60高速轉(zhuǎn)動。在步驟904中，由回轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力沿半徑方向，使紫外線硬化樹脂散布在盤基片60上，均勻地涂覆盤基片60的整個表面。旋轉(zhuǎn)涂覆控制器45將散布頭41從主軸工作臺44的上側(cè)，移動至主軸工作臺44的外側(cè)。在步驟905中，主軸工作臺44稍微抬起?，F(xiàn)在來說明準備容易除去蓋零件70的步驟。在步驟906中，樹脂硬化控制器50使紫外線發(fā)射部分60(圖4和圖5)完全和緊密地貼附在主軸工作臺44上，使從燈62發(fā)出的紫外線不會泄漏出去，并且，紫外線通過燈62發(fā)射，然后使紫外線硬化樹脂硬化。燈62應(yīng)將預先確定數(shù)量的紫外線發(fā)射超過120mm。在硬化過程中，盤基片60轉(zhuǎn)動，使該紫外線硬化樹脂能均勻地硬化。在步驟907中，除去蓋零件70。同樣，如果蓋零件70由金屬制成，使用磁鐵很容易除去蓋零件70。蓋零件70還可用穿孔器90(圖10)除去。如果在穿孔器90的內(nèi)側(cè)埋入磁鐵91，則更容易除去由金屬制成的蓋零件。
由于旋轉(zhuǎn)涂覆過程和樹脂硬化過程是在一個裝置中進行的，不需用真空臂來移動盤基片60，和不需要吸引和粘附真空臂的區(qū)域，因此可以采用將樹脂向著盤基片60的中心散布的中心散布方法。更具體地說，在現(xiàn)有技術(shù)中，樹脂向著盤基片60的一個點(不向著中心)散布，然后進行旋轉(zhuǎn)涂覆，真空臂再抓住沒有涂覆樹脂的區(qū)域(盤基片60的軸向孔的圓周)，將盤基片移動至硬化機中，再進行硬化過程。換句話說，在現(xiàn)有技術(shù)中，需要有一個抓住真空臂的區(qū)域，即沒有涂覆樹脂的區(qū)域，因此不能將該區(qū)域用作記錄表面。如果在先前的技術(shù)中使用中心散布方法，則液體樹脂涂覆在盤的整個區(qū)域上，因此難以使用真空臂來抓住盤。雖然可用另一種方法來移動盤，但盤的透明層損壞的可能性大。然而，根據(jù)本發(fā)明，不需要使用真空臂來移動盤基片60，因此，制造盤時可以不損壞透明層。
使用根據(jù)本發(fā)明的制造盤的方法制造盤時所需要的測量值如下。
<制造盤的條件>
·沖壓機槽式軌道間距0.32微米，沖壓機記錄半徑為22～60mm的軌道，以檢查轉(zhuǎn)換性質(zhì)。
·注模當注模制造直徑為120mm，厚度為1.1mm的圖1所示的盤基片時，在半徑為58.5mm處轉(zhuǎn)換良好。
-注模的條件固定型模的溫度125℃，移動模型的溫度125℃，澆道套溫度90℃，樹脂溫度最大380℃，為了制造模型形狀需要的力為35噸/秒，25噸/秒和10噸/秒。
在這些條件下進行注模。作為注模的結(jié)果，模制機的特征少于0.3℃，流向掩模邊緣的樹脂流動穩(wěn)定。
·飛濺外掩模的精確度r＝59.7±0.2mm，掩模邊緣厚度(不均勻區(qū)域)0.2mm，四層結(jié)構(gòu)Ag合金/ZnSSiO2/SbGeTe/ZnSSiO2。
·旋轉(zhuǎn)涂覆盤基片的軸向孔由直徑為22～44mm，厚度為0.24～0.78mm，各種形狀的蓋零件覆蓋，旋轉(zhuǎn)涂覆在相同的條件下，在盤基片的軸向孔上進行。在大多數(shù)情況下，半徑為17～57mm時可得到厚度為100微米±2微米的均勻涂層。
-旋轉(zhuǎn)涂覆的條件粘度500厘泊(cps)、旋轉(zhuǎn)時間60～70秒，旋轉(zhuǎn)速度700轉(zhuǎn)/分，硬化時間使用3000W燈時為3秒。
·記錄和再現(xiàn)實驗結(jié)果半徑為17～57mm時可得到均勻的涂層。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明可以得到更均勻的透明層。另外，制造透明層所需要的旋轉(zhuǎn)涂覆過程和樹脂硬化過程可以在一個裝置中進行，不需移動盤基片，因此可用中心散布方法制造透明層，并提高透明層的均勻性。
雖然，結(jié)合優(yōu)選實施例說明了本發(fā)明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員明白，在不偏離所附權(quán)利要求書限定的本發(fā)明的精神和范圍的條件下，可以對本發(fā)明的形式和細節(jié)作各種改變。
權(quán)利要求
1.一種制造盤的裝置，該裝置包括旋轉(zhuǎn)涂覆部分，將樹脂涂覆在安裝在主軸工作臺上的盤基片上；和硬化樹脂用的樹脂硬化部分，該樹脂是在盤基片安裝在主軸工作臺上的狀態(tài)下涂覆在盤基片上的。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征為，該旋轉(zhuǎn)涂覆部分包括轉(zhuǎn)動主軸工作臺的主軸電機；上面安裝著散布樹脂用的散布噴嘴的散布頭；支承要移動的散布頭的支承板；以及旋轉(zhuǎn)涂覆控制器，它控制主軸電機、散布頭和支承板，并將樹脂向著盤基片的中心散布。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征為，樹脂硬化部分包括紫外線發(fā)射部分；支承要移動的紫外線發(fā)射部分的支承部分；和樹脂硬化控制器，控制該紫外線發(fā)射部分和支承部分。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征為，該紫外線發(fā)射部分包括發(fā)出紫外線的燈；和反射從該燈發(fā)出的紫外線的反射鏡；
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征為，該支承部分包括在水平方向支承紫外線發(fā)射部分的水平支承板；支承水平支承板的垂直支承板；結(jié)合部分，它將水平支承板與垂直支承板結(jié)合起來，使水平支承板和垂直支承板可以彼此并排地運動；和供給電能使該水平支承板或垂直支承板運動的電機。
6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征為，該旋轉(zhuǎn)涂覆部分還包括轉(zhuǎn)動支承板，該板圍繞著主軸電機的中心軸，使盤基片支承在主軸工作臺的上側(cè)。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征為，主軸電機的中心軸伸入該轉(zhuǎn)動支承板的外側(cè)，使主軸電機的中心軸插入盤基片的軸向孔中。
8.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征為，主軸工作臺的半徑比盤基片的半徑小。
9.一種制造盤基片上的透明層的方法，該方法包括(a)用蓋零件覆蓋在盤基片中心作出的軸向孔；(b)將樹脂向著盤基片上表面上的軸向孔散布；和(c)除去該蓋零件。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征為，在步驟(b)以后還包括以下步驟(b-1)步驟使該盤基片高速轉(zhuǎn)動，并將樹脂均勻地涂覆在盤基片上；和(b-2)步驟使涂覆樹脂硬化。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征為，在步驟(b-1)以后包括(b-2)步驟將盤基片與支承和轉(zhuǎn)動盤基片的主軸工作臺分離。
12.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征為，在步驟(c)之前或之后還包括步驟(c-1)使涂覆樹脂硬化。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征為，它在步驟(c)以前包括步驟(a0)插入中心軸，該中心軸從主軸工作臺伸入盤基片的軸向孔中，并將盤基片安裝在主軸工作臺上，從主軸工作臺伸出的中心軸的長度，與蓋零件下面的突出部的長度的總和小于盤基片的厚度。
14.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征為，利用磁鐵或穿孔器，在步驟(c)中除去該蓋零件。
全文摘要
本發(fā)明提供了制造盤的裝置和制造盤的透明層的方法。該制造盤的裝置包括將樹脂涂覆在安裝在主軸工作臺上的盤基片上的旋轉(zhuǎn)涂覆部分；和用于在盤基片安裝在主軸工作臺上的狀態(tài)下，使涂在盤基片上的樹脂硬化的樹脂硬化部分。因此，可以很容易地使用中心散布方法，并且可以得到更加均勻的透明層。
文檔編號G11B7/26GK1401436SQ0213047
公開日2003年3月12日 申請日期2002年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月21日
發(fā)明者張道熏, 樸仁植, 盧明道, 尹斗燮 申請人:三星電子株式會社