專(zhuān)利名稱(chēng)：微致動(dòng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在記錄介質(zhì)上讀寫(xiě)信息時(shí)用于支撐和精密驅(qū)動(dòng)讀寫(xiě)頭器件的微致動(dòng)器。
通常如硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器(HDD)一類(lèi)磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器包括一讀寫(xiě)頭懸承裝置，用于支撐讀寫(xiě)頭在磁盤(pán)磁道上讀寫(xiě)信息，磁盤(pán)可旋轉(zhuǎn)地安裝在一個(gè)罩中。
讀寫(xiě)頭懸承裝置包括一根橫梁，即懸承，它由音圈電機(jī)(VCM)轉(zhuǎn)動(dòng)的致動(dòng)臂的一端支撐；一個(gè)萬(wàn)向節(jié)，連接在懸承的一端；一個(gè)由萬(wàn)向節(jié)支撐并安裝著讀寫(xiě)頭的滑塊。懸承由音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)與致動(dòng)臂一起旋轉(zhuǎn)。懸承轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)將滑塊送到磁盤(pán)上某個(gè)預(yù)定位置。這里，由滑塊支撐并與滑塊一起被傳送的讀寫(xiě)頭必須定位到磁盤(pán)上眾多磁道中需要讀寫(xiě)信息的預(yù)定磁道。讀寫(xiě)頭尋道對(duì)讀寫(xiě)信息的可靠性非常重要。
近來(lái)由于小型盤(pán)驅(qū)動(dòng)器的存儲(chǔ)容量不斷增加的趨勢(shì)，磁盤(pán)的磁道密度(TPI)也相應(yīng)增加。然而，隨著磁道密度和磁盤(pán)轉(zhuǎn)速的增加，讀寫(xiě)頭的精確定位越來(lái)越困難。為攻克這一難題，就需要一個(gè)具有額外的精確尋道電機(jī)或微致動(dòng)器的讀寫(xiě)頭懸承裝置。


圖1所示為美國(guó)專(zhuān)利5,857,347的讀寫(xiě)頭懸承裝置。這一讀寫(xiě)頭懸承裝置，如圖所示，包括一根連接在致動(dòng)臂(未顯示)一端的橫梁10、與橫梁10一端相連的萬(wàn)向節(jié)17、一個(gè)微致動(dòng)器20，及連接部30。
橫梁10的水平部分15形成于端部11與中端部13之間。萬(wàn)向節(jié)17支撐一個(gè)帶有讀寫(xiě)頭(未顯示)的滑塊(未顯示)。微致動(dòng)器20包括連貫地安裝在橫梁10上表面的第一線(xiàn)圈單元21和第二線(xiàn)圈23單元。連接部30有彈性地連接端部11與中端部13。
上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)電流通入第一線(xiàn)圈單元21和第二線(xiàn)圈單元23的線(xiàn)圈22和24時(shí)，線(xiàn)圈單元21與23之間的電磁力產(chǎn)生了豎直方向的排拆力。這樣，由于線(xiàn)圈單元21和23受到豎直排斥力而上下移動(dòng)，連接部30的豎軌部31和33就在水平方向受力。結(jié)果，端部11就以中端部13為軸沿水平方向即磁力方向旋轉(zhuǎn)，由此，讀寫(xiě)頭與滑塊一起在尋道方向上的移動(dòng)被精密調(diào)節(jié)。
不過(guò)，常規(guī)的上述微致動(dòng)器需要許多零部件，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。因此，實(shí)際應(yīng)用比較困難而且生產(chǎn)成本昂貴。另外，雖然需要強(qiáng)大的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)包括滑塊的橫梁，在將線(xiàn)圈單元之間產(chǎn)生的豎直排斥力的轉(zhuǎn)化成水平力的過(guò)程中損失了大量能量。
為克服上述缺陷，本發(fā)明旨在提供一個(gè)結(jié)構(gòu)有所改善的微致動(dòng)器，其結(jié)構(gòu)被簡(jiǎn)化，消耗較少電能就可以獲得很大的力。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的微致動(dòng)器包括一個(gè)滑塊，由沿跨過(guò)記錄介質(zhì)磁道的尋道方向樞轉(zhuǎn)的致動(dòng)臂支撐，該滑塊能夠在記錄介質(zhì)上方滑動(dòng)并有一個(gè)面向記錄介質(zhì)的容納部；一個(gè)能夠在容納部中移動(dòng)的第一磁芯，用于支持讀寫(xiě)頭；一個(gè)面向第一磁芯并與其間隔適當(dāng)距離的第二磁芯，其安裝在容納部中，使得第二磁芯沿磁力方向的中心線(xiàn)偏離第一磁芯的中心線(xiàn)，其中磁化方向垂直于尋道方向，并且相對(duì)于記錄介質(zhì)的表面來(lái)說(shuō)是水平的；第一磁線(xiàn)圈，環(huán)繞第一磁芯使得第一磁芯的軸線(xiàn)沿豎直方向延伸，當(dāng)電流通入時(shí)產(chǎn)生的磁力與記錄介質(zhì)表面垂直；還有一個(gè)片簧，沿尋道方向彈性地將第一磁芯連接到容納部?jī)?nèi)側(cè)，其中，當(dāng)?shù)谝淮啪€(xiàn)圈通入電流時(shí)，在磁芯之間產(chǎn)生的磁力作用下，驅(qū)動(dòng)第一磁芯沿尋道方向移動(dòng)。
本發(fā)明的優(yōu)選方案之一是，微致動(dòng)器還包括環(huán)繞第二磁芯的第二磁線(xiàn)圈，當(dāng)電流通入時(shí)，沿磁力方向產(chǎn)生磁力。
本發(fā)明的優(yōu)選方案之二是，片簧與滑塊由硅材料整體形成。
本發(fā)明的優(yōu)選方案之三是，片簧包括與尋道方向平行的第一扁平部分和從第一扁平部分垂直延伸并與磁力方向平行的第二扁平部分，其中，第一扁平部分與第二扁平部分沿尋道方向連續(xù)交替地形成。
本發(fā)明的優(yōu)選方案之四是，片簧沿尋道方向連續(xù)交替地彎折形成，在磁力方向比在尋道方向有更大的剛度系數(shù)值。
本發(fā)明的優(yōu)選方案之五是，第一磁芯包括板狀的第一磁性部和第二磁性部組成，第一磁性部的一側(cè)垂直于豎直方向，第二磁性部由第一磁性部垂直彎折伸展，使得第二磁性部的一側(cè)垂直于尋道方向，其中，第一磁性部與第二磁性部沿尋道方向連續(xù)交替地形成。
本發(fā)明的優(yōu)選方案之六是，第一磁線(xiàn)圈沿尋道方向來(lái)回反復(fù)交織環(huán)繞在第二磁性部。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供的微致動(dòng)器包括滑塊，由沿著跨過(guò)記錄介質(zhì)磁道的尋道方向樞轉(zhuǎn)的致動(dòng)臂支撐，該滑塊能夠在記錄介質(zhì)上方滑動(dòng)，有一個(gè)面向記錄介質(zhì)的容納部；第一磁芯，能夠在容納部中移動(dòng)，用以支撐讀寫(xiě)頭；一對(duì)第二磁芯，沿磁力方向面對(duì)第一磁芯并與之間隔預(yù)定距離，所述磁力方向與尋道方向垂直并相對(duì)于記錄介質(zhì)表面為水平方向，這對(duì)第二磁芯安裝在容納部中，使得磁力方向上各自的中心線(xiàn)位于第一磁芯中心線(xiàn)的兩側(cè)；第一磁線(xiàn)圈，在豎直方向上環(huán)繞第一磁芯，當(dāng)接通電流時(shí)產(chǎn)生的磁力方向與記錄介質(zhì)表面垂直；第二磁線(xiàn)圈，在豎直方向環(huán)繞每個(gè)第二磁芯，當(dāng)接通電流時(shí)產(chǎn)生豎直方向的磁力；片簧，沿尋道方向彈性地將第一磁芯連接到容納部?jī)?nèi)側(cè)，其中，當(dāng)電流通入第一磁線(xiàn)圈并選擇性地將電流通入一對(duì)第二磁線(xiàn)圈之一時(shí)，磁芯之間產(chǎn)生的電磁力驅(qū)動(dòng)第一磁芯沿尋道方向前后移動(dòng)。
此外，本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選方案是，片簧沿尋道方向連續(xù)交替地彎折形成，其尋道方向上剛度系數(shù)值比在磁力方向大。
通過(guò)參考附圖對(duì)優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)會(huì)更加明顯圖1為裝有傳統(tǒng)微型執(zhí)行器的讀寫(xiě)頭懸承裝置的透視圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器的透視圖；圖3為圖2所示微致動(dòng)器的平面圖；圖4為圖2所示一部分片簧的透視圖；圖5為第一磁芯從圖3所示起始位置開(kāi)始移動(dòng)的狀態(tài)平面圖；圖6為根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器的透視圖；圖7為根據(jù)本發(fā)明第三優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器的透視圖；圖8為第一磁線(xiàn)圈環(huán)繞圖7所示第一磁芯的狀態(tài)的透視圖；圖9為根據(jù)本發(fā)明第四優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器的透視圖；圖10為圖9所示微致動(dòng)器的平面圖；圖11為第一磁芯沿著尋道方向從圖10所示起始位置開(kāi)始移動(dòng)的狀態(tài)的平面圖。
參見(jiàn)圖2，根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器包括滑塊40，能夠沿著跨過(guò)記錄介質(zhì)磁盤(pán)D的磁道的尋道方向x移動(dòng)；置于滑塊40容納部41中的第一磁芯43和第二磁芯45；環(huán)繞第一磁芯43的第一磁線(xiàn)圈47；連接第一磁芯43與滑塊40的片簧49。
滑塊40安裝在預(yù)定的致動(dòng)臂(未顯示)上。當(dāng)致動(dòng)臂在預(yù)定的音圈電機(jī)(未顯示)作用下在磁盤(pán)D上沿尋道方向x樞轉(zhuǎn)時(shí)，滑塊40在磁盤(pán)D上沿尋道方向x滑動(dòng)。滑塊40的容納部41通過(guò)面向磁盤(pán)D表面穿透滑塊40形成。滑塊40采用硅加工工藝制成，包括在硅材料上沉積和蝕刻處理。
第一磁芯43可以在容納部41中移動(dòng)。此外，第一磁芯43支撐著一個(gè)位于其下部面向磁盤(pán)D的讀寫(xiě)頭(未顯示)在磁盤(pán)D上讀寫(xiě)信息。此處，讀寫(xiě)頭可以是硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器(未顯示)常用的磁頭或者光學(xué)頭。另外，第一磁線(xiàn)圈47環(huán)繞第一磁芯43的外側(cè)。第一磁線(xiàn)圈47環(huán)繞第一磁芯43，使其軸線(xiàn)沿相對(duì)于磁盤(pán)D的豎直方向z延伸。因此，當(dāng)?shù)谝淮啪€(xiàn)圈47接通電流時(shí)，就在磁芯43上產(chǎn)生豎直方向z的磁力。
第二磁芯45安裝在容納部41中。而且，第二磁芯45面對(duì)第一磁芯43，并沿著垂直于尋道方向x的磁力方向y離開(kāi)預(yù)定距離，第二磁芯45安裝成使其相對(duì)于磁力方向y的中心線(xiàn)與第一磁芯43的中心線(xiàn)C1偏離。此處第一磁芯43和第二磁芯45通常都是金屬制成。磁芯43和45都是在滑塊40的生產(chǎn)過(guò)程中采用諸如沉積和蝕刻工藝制成。
片簧49在容納部41中沿尋道方向x彈性地支撐第一磁芯43。片簧49有一對(duì)，每一個(gè)都沿尋道方向x連接在第一磁芯43側(cè)面和連接容納部41的內(nèi)側(cè)之間。而且，片簧49在磁力方向y和豎直方向z的剛度系數(shù)值比在尋道方向x上的大。相應(yīng)地，如圖4所示，片簧49的截面為矩形并沿尋道方向x連續(xù)交替地彎折。具體說(shuō)就是，片簧49具有與尋道方向x平行的第一扁平部分49a和從第一扁平部分49a垂直彎折延伸并與磁力方向y平行的第二扁平部分49b。扁平部分49a和49b沿尋道方向x連續(xù)交替相連接。片簧49由硅材料制成。因此，在制作滑塊40時(shí)應(yīng)用沉積和蝕刻工藝可以將片簧49與滑塊40整體制成。此外，片簧49可用硅融合(silicon combining)方法在高溫下連接到第一磁芯43的側(cè)面。采用生產(chǎn)滑塊40的沉積和蝕刻工藝，片簧49也能很容易形成。由于片簧49的上述結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，第一磁芯43只在尋道方向x上移動(dòng)，而在磁力方向y或豎直方向z則幾乎沒(méi)有移動(dòng)。
如圖3所示，具有上述結(jié)構(gòu)的根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器，在運(yùn)行時(shí)，起始狀態(tài)下磁芯43的中心線(xiàn)C1與磁芯45的中心線(xiàn)C2相互錯(cuò)開(kāi)，當(dāng)電流通入第一磁線(xiàn)圈47時(shí)，第一磁芯43隨即變成電磁體，并在其附近產(chǎn)生磁力。第一磁芯43在磁力作用下被吸向金屬制成的第二磁芯45。這樣，第一磁芯43運(yùn)動(dòng)時(shí)，沿尋道方向x壓縮或拉伸片簧49。如圖5所示，當(dāng)?shù)谝淮判?3移動(dòng)時(shí)，磁芯43和45的中心線(xiàn)C1和C2幾乎對(duì)齊。此外，根據(jù)第一磁線(xiàn)圈47中通過(guò)電流的大小，中心線(xiàn)C1和C2相互對(duì)齊或相互靠近，而第一磁芯43的移動(dòng)速度由第一磁線(xiàn)圈47中通入的電流大小控制。
當(dāng)中心線(xiàn)C1和C2處于對(duì)齊狀態(tài)時(shí)，如果第一磁線(xiàn)圈47的電流強(qiáng)度逐漸減弱或突然中斷，第二磁芯45產(chǎn)生的磁力就相應(yīng)減弱或消失。當(dāng)磁力消失時(shí)，第一磁芯43由于片簧49的彈性回復(fù)力而恢復(fù)到起始位置。第一磁芯43產(chǎn)生的移動(dòng)不依賴(lài)于支撐滑塊40的致動(dòng)臂的移動(dòng)。這樣，通過(guò)控制第一磁線(xiàn)圈47上的電流通斷或電流強(qiáng)度就可以相對(duì)于滑塊40在尋道方向x上精細(xì)移動(dòng)第一磁芯43。因此就有可能實(shí)現(xiàn)第一磁芯43支撐的讀寫(xiě)頭的精確定位控制。當(dāng)讀寫(xiě)頭器件可被更加精確地控制時(shí)，就有可能增加硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器的密度或者實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)記錄驅(qū)動(dòng)器(NFRD)。
圖6為根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器，圖中與圖2所示功能相同的部件標(biāo)注了相同的附圖標(biāo)記。
如圖6所示，根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器，它除了上述第一優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)外，還包括第二磁線(xiàn)圈48。第二磁線(xiàn)圈48纏繞在第二磁芯45上，與第一磁線(xiàn)圈47相似，其軸線(xiàn)沿豎直方向z延伸。另外，第二磁線(xiàn)圈48可以在制作滑塊40的過(guò)程中采用沉積和蝕刻工藝設(shè)置在第二磁芯45外側(cè)。當(dāng)?shù)诙啪€(xiàn)圈48接通電流時(shí)，產(chǎn)生豎直方向z的磁力。這樣，通過(guò)開(kāi)始時(shí)只給第一磁線(xiàn)圈47或第二磁線(xiàn)圈48接通電流就可以移動(dòng)第一線(xiàn)圈47。然后，通過(guò)給每個(gè)磁線(xiàn)圈47和48通入相反方向的電流，就可以移動(dòng)第一磁芯43。在這種情況下，磁芯43和45產(chǎn)生的N極和S極彼此相對(duì)。
圖7為根據(jù)本發(fā)明第三優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器，圖中與圖2所示功能相同的部件標(biāo)注了相同的附圖標(biāo)記。
如圖7所示，根據(jù)本發(fā)明第三優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器的特點(diǎn)是，對(duì)應(yīng)第二磁芯45安裝的第一磁芯44包括第一磁性部44a和第二磁性部44b。第一磁性部44a設(shè)置成使其一側(cè)與豎直方向z相垂直，第二磁性部44b設(shè)置成使其一側(cè)與尋道方向x垂直。這樣，第二磁性部44b沿豎直方向z從第一磁性部44a垂直延伸出來(lái)。即，第一磁芯44有著這樣的結(jié)構(gòu)，第一磁性部44a與第二磁性部44b連續(xù)交替地相連。對(duì)安裝在第一磁芯44上的第一磁線(xiàn)圈47′進(jìn)行纏繞使其連續(xù)通過(guò)第二磁性部44b。如圖8所示，第一磁線(xiàn)圈47′沿尋道方向x來(lái)回反復(fù)交織纏繞第二磁性部44b。因此，環(huán)繞第二磁性部44b的第一磁線(xiàn)圈47′具有三維構(gòu)造并與豎直方向z同軸。由于第一磁芯44和第一磁線(xiàn)圈47′按三維結(jié)構(gòu)進(jìn)行安裝，當(dāng)電流通入第一磁線(xiàn)圈47′時(shí)，圍繞第一磁芯44產(chǎn)生的磁力就比現(xiàn)有技術(shù)大。因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，它利用較低的電能就能產(chǎn)生較強(qiáng)的磁力。此外，圍繞執(zhí)行器產(chǎn)生的電磁場(chǎng)效應(yīng)可進(jìn)一步減弱。
圖9為根據(jù)本發(fā)明第四優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器，圖中與圖2所示功能相同的部件標(biāo)注了相同的附圖標(biāo)記。
如圖9所示，滑塊40的容納部41中對(duì)應(yīng)第一磁芯安裝了一對(duì)第二磁芯51和53。第二磁芯51和53的位置是，它們彼此分離并沿磁力方向y與第一磁芯43分開(kāi)預(yù)定距離。而且，如圖10所示，第二磁芯51和53安裝成使其在磁力方向y上的中心線(xiàn)C3和C4位于第一磁芯43的中心線(xiàn)C1的兩側(cè)。即，第二磁芯51和53安裝在同樣的高度并彼此間隔預(yù)定距離。此外，第二磁線(xiàn)圈55和57分別纏繞第二磁芯51和53，第二磁線(xiàn)圈55和57纏繞第二磁芯51和53，其軸線(xiàn)沿著豎直方向z延伸，當(dāng)電流通入時(shí)沿豎直方向z產(chǎn)生磁力。
具有上述結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的微致動(dòng)器在運(yùn)行時(shí)，首先，當(dāng)電流通入第二磁線(xiàn)圈55時(shí)，在第二磁芯51產(chǎn)生磁力。產(chǎn)生這個(gè)磁力后，第一磁芯43被吸向產(chǎn)生磁力的第二磁芯51，并沿尋道方向x移動(dòng)，參見(jiàn)圖10的虛線(xiàn)。
在上述狀態(tài)下，當(dāng)通入第二磁線(xiàn)圈55的電流被切斷而給另外的第二磁線(xiàn)圈57通電時(shí)，就在纏繞著第二磁線(xiàn)圈57的第二磁芯53附近產(chǎn)生磁力。于是，受第二磁芯53周?chē)a(chǎn)生的磁力作用，第一磁芯43反向移動(dòng)，參見(jiàn)圖11。因此，由于第一磁芯43受磁力以及片簧49的彈性回復(fù)力驅(qū)動(dòng)，就能夠?qū)崿F(xiàn)精確而迅速的控制。
如上所述，通過(guò)選擇性地向第二磁線(xiàn)圈55和57通電，可以隨意控制第一磁芯43的移動(dòng)方向。另外，電流不僅可以通入第二磁線(xiàn)圈55和57，還可以通入第一磁線(xiàn)圈47。這時(shí)，通過(guò)增加第一磁芯43與第二磁芯51和53之間的磁力，就可以獲得強(qiáng)大的驅(qū)動(dòng)力。就是說(shuō)，當(dāng)給每個(gè)第二磁線(xiàn)圈55和57通入相反方向的電流時(shí)，第二磁芯51和53就產(chǎn)生彼此方向相反的磁力。在這種情況下，通過(guò)有選擇地控制通入第一磁線(xiàn)圈47的電流方向，就可以方便而迅速地控制第一磁芯43的移動(dòng)方向。
另外，在給第一磁線(xiàn)圈47通入電流的情況，如通過(guò)只向第二磁線(xiàn)圈55和57中的一個(gè)通電，而在第二磁芯51或53產(chǎn)生磁力，就可以驅(qū)動(dòng)第一磁芯43。
綜上所述，根據(jù)本發(fā)明各優(yōu)選實(shí)施例的微致動(dòng)器，具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，因此很容易以小尺寸的形式進(jìn)行生產(chǎn)。另外，與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于利用較少的電能就能產(chǎn)生大的驅(qū)動(dòng)力，因此降低了能耗。
另外，根據(jù)本發(fā)明的微致動(dòng)器，可以使由于磁場(chǎng)的生成而在執(zhí)行器周?chē)男?yīng)最低。而且，根據(jù)本發(fā)明的微致動(dòng)器，還可以應(yīng)用于靜電驅(qū)動(dòng)力極其受限的場(chǎng)所，比如，空氣中有塵埃，需要更大的驅(qū)動(dòng)范圍，以及需要避免高驅(qū)動(dòng)電壓或缺乏高驅(qū)動(dòng)電壓的場(chǎng)所。
權(quán)利要求
1．一種微致動(dòng)器，其特征在于，包括滑塊，由沿跨過(guò)記錄介質(zhì)磁道的尋道方向樞轉(zhuǎn)的致動(dòng)臂支撐，能夠在記錄介質(zhì)上方滑動(dòng)，并具有一面向記錄介質(zhì)的容納部；第一磁芯，設(shè)置成能在容納部中移動(dòng)，用以支撐讀寫(xiě)頭器件；第二磁芯，安裝在容納部中，與第一磁芯相對(duì)并間隔預(yù)定距離，第二磁芯沿磁力方向上的中心線(xiàn)與第一磁芯的中心線(xiàn)錯(cuò)開(kāi)，所述磁力方向垂直于尋道方向并相對(duì)于記錄介質(zhì)表面來(lái)說(shuō)為水平的；第一磁線(xiàn)圈，環(huán)繞第一磁芯，其軸線(xiàn)沿豎直方向延伸，當(dāng)通入電流時(shí)，產(chǎn)生的磁力方向與記錄介質(zhì)表面垂直；還有片簧，沿尋道方向彈性地將第一磁芯連接到容納部?jī)?nèi)側(cè)，其中，當(dāng)電流通入第一磁線(xiàn)圈時(shí)，第一磁芯在磁芯之間產(chǎn)生的磁力作用下沿尋道方向移動(dòng)。
2．如權(quán)利要求1所述的微致動(dòng)器，其特征在于，還包括一個(gè)第二磁線(xiàn)圈，環(huán)繞第二磁芯，當(dāng)電流通入時(shí)沿尋道方向產(chǎn)生磁力。
3．如權(quán)利要求1所述的微致動(dòng)器，其特征在于，片簧與滑塊由硅材料整體形成。
4．如權(quán)利要求1所述的微致動(dòng)器，其特征在于，片簧包括平行于尋道方向的第一扁平部分；和從第一扁平部分垂直伸出并平行于磁力方向的第二扁平部分，其中，各扁平部分沿尋道方向連續(xù)交替地形成。
5．如權(quán)利要求1所述的微致動(dòng)器，其特征在于，片簧沿尋道方向連續(xù)交替地彎折形成，其剛度系數(shù)值在磁力方向上比尋道方向上大。
6．如權(quán)利要求1所述的微致動(dòng)器，其特征在于，第一磁芯包括板狀的第一磁性部，其一側(cè)與豎直方向垂直；第二磁性部，從第一磁性部彎折并垂直伸出，第二磁性部的一側(cè)與尋道方向垂直，其中，第一磁性部與第二磁性部沿尋道方向連續(xù)交替地形成。
7．如權(quán)利要求6所述的微致動(dòng)器，其特征在于，第一磁線(xiàn)圈圍繞第二磁性部沿尋道方向來(lái)回反復(fù)地交織，環(huán)繞在第二磁性部外側(cè)。
8．一種微致動(dòng)器，其特征在于，包括滑塊，由沿著跨過(guò)記錄介質(zhì)磁道的尋道方向樞轉(zhuǎn)的致動(dòng)臂支撐，能夠在記錄介質(zhì)上方滑動(dòng)，并具有一面向記錄介質(zhì)的容納部；第一磁芯，設(shè)置成能在容納部中移動(dòng)，用以支撐讀寫(xiě)頭器件；一對(duì)第二磁芯，安裝在容納部中，沿磁力方向面對(duì)第一磁芯并與其間隔預(yù)定距離，該磁力方向垂直于尋道方向，并相對(duì)于記錄介質(zhì)表面是水平的，各第二磁芯沿磁力方向的中心線(xiàn)位于第一磁芯的中心線(xiàn)的兩側(cè)；第一磁線(xiàn)圈，在豎直方向上環(huán)繞第一磁芯，當(dāng)通入電流時(shí)，產(chǎn)生的磁力方向與記錄介質(zhì)表面垂直；第二磁線(xiàn)圈，在豎直方向上環(huán)繞兩個(gè)第二磁芯，通入電流時(shí)，產(chǎn)生豎直方向的磁力；還有片簧，沿尋道方向彈性地將第一磁芯連接到容納部?jī)?nèi)側(cè)，其中，當(dāng)電流通入第一磁線(xiàn)圈并選擇性地通入各第二線(xiàn)圈時(shí)，磁芯之間產(chǎn)生的電磁力使得第一磁芯沿尋道方向來(lái)回移動(dòng)。
9．如權(quán)利要求8所述的微致動(dòng)器，其特征在于，片簧沿尋道方向連續(xù)交替地彎折形成，其剛度系數(shù)值比在磁力方向的大。
全文摘要
一種微致動(dòng)器,其中的滑塊由沿著尋道方向樞轉(zhuǎn)的致動(dòng)臂支撐,并具有一面向記錄介質(zhì)的容納部。在容納部中的第一、二磁芯沿磁力方向面對(duì)并間隔預(yù)定距離,并在磁力方向上二者的中心線(xiàn)錯(cuò)開(kāi)。環(huán)繞第一磁芯的第一磁線(xiàn)圈,其軸線(xiàn)豎直延伸,當(dāng)通入電流時(shí)在垂直于記錄介質(zhì)表面的方向上產(chǎn)生磁力。片簧沿尋道方向彈性地將第一磁芯連接到容納部?jī)?nèi)側(cè)。當(dāng)?shù)谝淮啪€(xiàn)圈通入電流時(shí),磁芯之間產(chǎn)生的磁力使得第一磁芯沿尋道方向移動(dòng)。
文檔編號(hào)G11B5/60GK1303096SQ0012888
公開(kāi)日2001年7月11日 申請(qǐng)日期2000年9月28日 優(yōu)先權(quán)日1999年10月21日
發(fā)明者金石中, 李容勛 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社