磁圖像傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域，具體而言，涉及一種磁圖像傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]在紙幣、票據(jù)、有價證券等介質(zhì)上制作特定的磁信息是現(xiàn)代防偽技術(shù)的重要手段之一，并且隨著制作技術(shù)的發(fā)展，磁信息防偽技術(shù)的應(yīng)用也在得到不斷的加強(qiáng)，如許多國家的鈔票(如人民幣、美元、歐元等)內(nèi)部都包含內(nèi)容豐富的磁信息。而對于紙幣、票據(jù)、有價證券等介質(zhì)上特定的磁信息的識別也是必不可少的防偽檢測手段。
[0003]為了實(shí)現(xiàn)上述的檢測，在相關(guān)技術(shù)中提供了一種磁圖像傳感器，該磁圖像傳感器在整個讀取識別范圍內(nèi)連續(xù)排列小型磁頭，形成一個小型磁頭的線性陣列，從而對整個讀取范圍內(nèi)的磁信息進(jìn)行讀取識別。但是，由于單體磁頭的體積比較大，并且每一個磁頭上的讀取識別范圍也只占磁頭范圍的一小部份，因此磁頭之間很大的范圍是在磁頭有效讀取范圍之外的，也即，磁頭之間的區(qū)域是無法進(jìn)行讀取的，使用這種磁圖像傳感器，處于磁頭之間的間隙處的磁信息就會被丟失。
[0004]在相關(guān)技術(shù)中還提供了一種磁傳感裝置，在磁傳感裝置的內(nèi)部支架的上表面具有沿著內(nèi)部支架的長邊方向呈直線狀設(shè)置的多個凹部。在各凹部收納有磁阻元件，在讀取識別范圍內(nèi)用磁阻元件排列成一個線性陣列，對讀取范圍內(nèi)的磁信息進(jìn)行讀取識別。在該技術(shù)中，用磁阻元素取代了磁頭，磁阻元素之間的間隙大大減小了，使整體磁傳感器裝置得到了小型化，但由于磁組元素的線性尺寸過大，在這一尺寸范圍內(nèi)的磁信息無法詳細(xì)區(qū)分，讀取的介質(zhì)上的磁信息非常模糊，無法區(qū)分磁信息的細(xì)節(jié)，因此在需要對磁信息區(qū)更細(xì)微的特征做出判別時，這種磁傳感裝置就無法實(shí)現(xiàn)。
[0005]在相關(guān)技術(shù)中還提供了一種磁傳感器裝置，磁感應(yīng)元素在框體一側(cè)的平面?zhèn)缺诘亩瞬垦刈x取范圍的方向配置的讀取介質(zhì)磁性特征的陣列式磁感應(yīng)元素，磁感應(yīng)元素是點(diǎn)狀的或帶狀的，在該技術(shù)中，通過印刷燒結(jié)工藝制作的磁感應(yīng)元素，其分辨率可以達(dá)到50DPI以上，對磁信息的分辨能力得到了解決，但這種通過印刷燒結(jié)工藝得到的磁感應(yīng)元素的偏差非常大，通常有20%左右即使通過修阻的方法減小磁阻的偏差，這種偏差也會在3%_5%左右，對于使用5 V的公共電極電壓來說，至少產(chǎn)生150mV級的電壓偏差。而實(shí)際能夠檢測到的磁信號電壓通常為1mV數(shù)量級，也就是說實(shí)際磁阻的偏差造成的信號差異(噪音信號)遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于有效信號，這給信號處理帶來了很大的難題，通常情況下很難很準(zhǔn)確地從噪音信號中分離出有效信號。
[0006]針對相關(guān)技術(shù)中的磁圖像傳感器由于磁阻的偏差導(dǎo)致噪音信號比較大的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的主要目的在于提供一種磁圖像傳感器，以解決相關(guān)技術(shù)中的磁圖像傳感器由于磁阻的偏差導(dǎo)致噪音信號比較大的問題。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種磁圖像傳感器。該磁圖像傳感器包括:磁感應(yīng)電阻，沿掃描方向排列，用于對待檢測范圍內(nèi)的磁信號變化進(jìn)行檢測;配置電阻，與磁感應(yīng)電阻連接，配置電阻為阻值可調(diào)的電阻；驅(qū)動電路，與磁感應(yīng)電阻連接，用于對磁感應(yīng)電阻檢測到的信號進(jìn)行輸出控制。
[0009]進(jìn)一步地，配置電阻與磁感應(yīng)電阻一一對應(yīng)連接。
[0010]進(jìn)一步地，配置電阻的阻值調(diào)整為與對應(yīng)的磁感應(yīng)電阻的阻值相一致。
[0011]進(jìn)一步地，配置電阻為采用厚膜印刷工藝制作的電阻。
[0012]進(jìn)一步地，磁圖像傳感器還包括:配置電阻基板，其中，配置電阻設(shè)置在配置電阻基板上;裝載基板，其中，磁感應(yīng)電阻和驅(qū)動電路設(shè)置在裝載基板上;連接基板，其中，配置電阻基板和裝載基板設(shè)置在連接基板上。
[0013]進(jìn)一步地，配置電阻基板為采用陶瓷材料制作的基板，在配置電阻上設(shè)置有保護(hù)膜。
[0014]進(jìn)一步地，裝載基板上設(shè)置有連接焊盤，配置電阻包括:公共電極;個別電極，個別電極通過連接線在連接焊盤上與磁感應(yīng)電阻一一對應(yīng)連接。
[0015]進(jìn)一步地，配置電阻為多個配置電阻。公共電極為多個公共電極，多個公共電極中的每個公共電極由多個配置電阻中的兩個配置電阻共用，或者，在多個配置電阻中相鄰的兩個配置電阻之間設(shè)置有獨(dú)立電極，每個配置電阻均設(shè)置有獨(dú)立的公共電極分支。
[0016]進(jìn)一步地，磁感應(yīng)電阻為在半導(dǎo)體硅片上通過真空鍍膜制作的隧道結(jié)構(gòu)的磁電阻體，磁電阻體的兩端設(shè)置有用于連接兩端的第一焊盤和第二焊盤。
[0017]進(jìn)一步地，驅(qū)動電路包括:移位寄存器電路;開關(guān)電路，用于開啟以接收磁感應(yīng)電阻檢測到的信號，其中，磁圖像傳感器還包括:信號放大電路，用于接收驅(qū)動電路輸出的串行SIG信號并對串行SIG信號進(jìn)行放大處理。
[0018]通過本發(fā)明，采用包括以下結(jié)構(gòu)的磁圖像傳感器:磁感應(yīng)電阻，沿掃描方向排列，用于對待檢測范圍內(nèi)的磁信號變化進(jìn)行檢測;配置電阻，與磁感應(yīng)電阻連接，配置電阻為阻值可調(diào)的電阻;驅(qū)動電路，與磁感應(yīng)電阻連接，用于對磁感應(yīng)電阻檢測到的信號進(jìn)行輸出控制，由于設(shè)置了阻值可調(diào)的配置電阻與磁感應(yīng)電阻連接，解決了相關(guān)技術(shù)中的磁圖像傳感器由于磁阻的偏差導(dǎo)致噪音信號比較大的問題，進(jìn)而達(dá)到了降低磁圖像傳感器的噪音信號的效果。
【附圖說明】
[0019]構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0020]圖1為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的斷面示意圖；
[0021]圖2為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的內(nèi)部俯視示意圖；
[0022]圖3為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的局部單元結(jié)構(gòu)放大示意圖；
[0024]圖5為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的陶瓷基板局部結(jié)構(gòu)放大示意圖；
[0025]圖6為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的陶瓷基板另一種局部結(jié)構(gòu)放大示意圖；
[0026]圖7為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的磁信號感應(yīng)像素的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖8為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的驅(qū)動電路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖9為本發(fā)明的磁傳感器的驅(qū)動電路多級連接的電路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖10為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的電路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖11為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的時序示意圖；以及
[0031]圖12為本發(fā)明實(shí)施例的修阻時的基板狀態(tài)及修阻原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明。
[0033]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本申請方案，下面將結(jié)合本申請實(shí)施例中的附圖，對本申請實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本申請一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒旧暾堉械膶?shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本申請保護(hù)的范圍。
[0034]需要說明的是，本申請的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換，以便這里描述的本申請的實(shí)施例。此外，術(shù)語“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。
[0035]圖1是本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的斷面結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本發(fā)明實(shí)施例的磁圖像傳感器的內(nèi)部俯視示意圖。
[0036]如圖1所示，磁圖像傳感器包括磁感應(yīng)電阻1、配置電阻2和驅(qū)動電路3，磁感應(yīng)電阻I沿掃描方向排列，用于對檢測范圍內(nèi)的磁信號變化進(jìn)行檢測，磁感應(yīng)電阻I可以為一個或多個磁感應(yīng)電阻I，可選地，磁感應(yīng)電阻I為多個磁感應(yīng)電阻I，并且多個磁感應(yīng)電阻I沿掃描方向排列成直線，優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的磁感應(yīng)電阻I為通過半導(dǎo)體工藝制作的隧道型磁感應(yīng)電阻(TMR)，配置電阻2為阻值可調(diào)整的電阻，可以與磁感應(yīng)電阻I配對使用，配置電阻2可以為一個或多個配置電阻2，可選地，多個配置電阻2排列成直線，并且多個配置電阻2與多個磁感應(yīng)電阻I一一對應(yīng)連接，驅(qū)動電路3用于對所述磁感應(yīng)電阻I檢測到的信號進(jìn)行輸出控制，包括傳輸磁感應(yīng)電阻I檢測到的磁場信號和控制信號的輸出?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中的每個配置電阻2可以包括一段或多段電阻體。驅(qū)動電路3也可以為多個，多個驅(qū)動電路3中的每一個驅(qū)動電路3可控制多個磁感應(yīng)像素，多個驅(qū)動電路3順序連接排列，對整個檢測范圍內(nèi)的磁感應(yīng)像素的信號進(jìn)行輸出控制。
[0037]磁圖像傳感器還可以包括信號放大電路4，信號放大電路4用于對檢測到的磁信號，例如，通過磁感應(yīng)電阻I和配置電阻2轉(zhuǎn)換成的電壓信號進(jìn)行