雜多邊形，其中在所述多個(gè)交叉點(diǎn)IS中的每一個(gè)處至少兩條線交叉。
[0100]在圖3中，第一多邊形到第四多邊形PG1、PG2、PG3和PG4中的每一個(gè)包括多個(gè)交叉點(diǎn)IS，其中在所述多個(gè)交叉點(diǎn)IS中的每一個(gè)處至少兩條線交叉。因此，第一針腳生成器110可以將第一多邊形到第四多邊形PG1，PG2、PG3和PG4中的每一個(gè)確定為復(fù)雜多邊形。
[0101]因此，如圖4中所示，第一針腳生成器110可以通過在復(fù)雜多邊形PG1、PG2、PG3和PG4中的每一個(gè)上的多個(gè)交叉點(diǎn)IS之間插入第一針腳ST1來生成第一臨時(shí)布局L0_T1。
[0102]在圖4的情況下，第一針腳生成器110可以在布局L0中包括的全部復(fù)雜多邊形PG1、PG2、PG3和PG4上的多個(gè)交叉點(diǎn)IS之間插入第一針腳ST1。然而，根據(jù)示例實(shí)施例，第一針腳生成器110可以在布局L0中包括的復(fù)雜多邊形PG1、PG2、PG3和PG4中的一些上的多個(gè)交叉點(diǎn)IS之間插入第一針腳ST1以生成第一臨時(shí)布局L0_T1。
[0103]再次參照?qǐng)D2，控制器200從第一針腳生成器110接收第一臨時(shí)布局L0_T1，并且向圖形分解設(shè)備300提供第一臨時(shí)布局L0_T1作為目標(biāo)圖形TP。
[0104]圖形分解設(shè)備300可以通過在目標(biāo)圖形TP上執(zhí)行圖形劃分操作來生成多個(gè)分解圖形DCP (步驟S400)。
[0105]例如，對(duì)于布局L0中包括的復(fù)雜多邊形PG1、PG2、PG3和PG4中的每一個(gè)，圖形分解設(shè)備300可以將在第一針腳ST1的一側(cè)上的復(fù)雜多邊形的第一部分以及在第一針腳ST1的另一側(cè)上的復(fù)雜多邊形的第二部分分離為多個(gè)分解圖形DCP當(dāng)中的彼此不同的分解圖形。
[0106]在示例實(shí)施例中，圖形分解設(shè)備300可以使用多個(gè)種類的圖形劃分算法來執(zhí)行圖形劃分操作。例如，圖形分解設(shè)備300可以使用DPT過程中使用的雙重圖形劃分算法、TPT過程中使用的三重圖形劃分算法以及QPT過程中使用的四重圖形劃分算法中的一個(gè)來執(zhí)行圖形劃分操作。
[0107]圖5、圖6和圖7是示出通過在目標(biāo)圖形上執(zhí)行圖形劃分操作生成的多個(gè)分解圖形的示例的圖。
[0108]圖5表示通過圖形分解設(shè)備300使用在DPT過程中使用的雙重圖形劃分算法在目標(biāo)圖形TP上執(zhí)行的圖形劃分操作以生成第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2的結(jié)果。圖6和圖7單獨(dú)地表示第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2。
[0109]如圖5、圖6和圖7中所示，對(duì)于包括第一針腳ST1的復(fù)雜多邊形PG1、PG2、PG3和PG4中的每一個(gè)，圖形分解設(shè)備300可以通過將第一針腳ST1的一側(cè)上的復(fù)雜多邊形的第一部分以及第一針腳ST1的另一側(cè)上的復(fù)雜多邊形的第二部分分別分離為第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2來生成第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2。在示例實(shí)施例中，第一針腳ST1定位在其中的區(qū)域可以包括在第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2兩者中。
[0110]圖8、圖9和圖10是示出在沒有第一針腳的情況下通過在圖3的布局上執(zhí)行圖形劃分操作來生成的多個(gè)分解圖形的示例的圖。
[0111]下文中，將參照?qǐng)D8、圖9和圖10描述在沒有插入第一針腳ST1的情況下在圖3的布局L0上執(zhí)行圖形劃分操作時(shí)可能發(fā)生的問題。
[0112]圖8表示通過圖形分解設(shè)備300使用在DPT過程中使用的雙重圖形劃分算法在不包括第一針腳ST1的布局L0上執(zhí)行的圖形劃分操作以生成第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2的結(jié)果。圖9和圖10單獨(dú)地表示第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2。
[0113]如圖8、圖9和圖10中所示，當(dāng)圖形分解設(shè)備300在第一多邊形到第四多邊形PG1、PG2、PG3和PG4上在沒有插入第一針腳ST1的情況下在布局L0上執(zhí)行圖形劃分操作時(shí)，圖形分解設(shè)備300可以通過將包括在布局L0中的第一多邊形到第四多邊形PG1、PG2、PG3和PG4中的每一個(gè)分配為第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2中的一個(gè)來生成第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2。
[0114]在這種情況下，如圖8、圖9和圖10中所示，在第一區(qū)域AR1和第四區(qū)域AR4中的第一分解圖形DCP1的圖形密度比第二分解圖形DCP2的圖形密度高很多，并且在第二區(qū)域AR2和第三區(qū)域AR3中的第二分解圖形DCP2的圖形密度比第一分解圖形DCP1的圖形密度高很多。因此，包括在第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2中的圖形的局部密度之間的差可能相對(duì)較高。隨著多個(gè)分解圖形DCP中包括的圖形的局部密度之間的差增加，可能影響臨界尺寸均勻性并且當(dāng)基于多個(gè)分解圖形DCP執(zhí)行掩模制造過程和刻蝕過程的時(shí)候負(fù)載效應(yīng)可能增大。
[0115]然而，如上參照?qǐng)D1到圖7所述，在根據(jù)示例實(shí)施例的分解半導(dǎo)體器件的布局的方法中，可以在第一針腳插入在復(fù)雜多邊形上的多個(gè)交叉點(diǎn)IS之間之后在布局上執(zhí)行圖形劃分操作。因此，可以基于第一針腳ST1將復(fù)雜多邊形的一部分分離為第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2。因而，可以有效地降低第一分解圖形DCP1和第二分解圖形DCP2的圖形密度之間的差。
[0116]圖11是示出根據(jù)示例實(shí)施例的分解半導(dǎo)體器件的布局的方法的流程圖。
[0117]不同于圖1的分解半導(dǎo)體器件的布局的方法，圖11的分解半導(dǎo)體器件的布局的方法還包括步驟S210、S220和S230。因此，本文中將省略重復(fù)描述。
[0118]當(dāng)接收半導(dǎo)體器件的布局時(shí)，第一分離符被插入在布局中包括的多邊形當(dāng)中的彼此距離臨界尺寸之內(nèi)的兩個(gè)多邊形之間(步驟S210)。
[0119]當(dāng)執(zhí)行圖形劃分操作的時(shí)候，第一分離符可以表示約束，S卩，位于第一分離符的兩側(cè)的兩個(gè)多邊形將被分離為多個(gè)分解圖形當(dāng)中的彼此不同的分解圖形。
[0120]然后，確定是否形成奇回路，在該奇回路中，布局中包括的奇數(shù)數(shù)目的多邊形通過第一分離符成環(huán)地連接(步驟S220)。
[0121]當(dāng)未形成奇回路時(shí)(步驟S220 ;否)，通過在包括第一針腳和第一分離符的布局上執(zhí)行圖形劃分操作來生成多個(gè)分解圖形，該針腳插入在復(fù)雜多邊形上(步驟S400)。
[0122]當(dāng)形成奇回路時(shí)(步驟S220 ;是)，在奇回路中包括的奇數(shù)數(shù)目的多邊形中的一個(gè)上插入第二針腳(步驟S230)。然后，通過在包括第一針腳、第一分離符和第二針腳的布局上執(zhí)行圖形劃分操作來生成多個(gè)分解圖形，該第一針腳插入在復(fù)雜多邊形上，該第二針腳插入在奇回路中包括的奇數(shù)數(shù)目的多邊形中的一個(gè)上(步驟S400)。
[0123]通過執(zhí)行圖形劃分操作，在第一針腳的一側(cè)上的復(fù)雜多邊形第一部分和在第一針腳的另一側(cè)上的復(fù)雜多邊形的第二部分可以被分離為多個(gè)分解圖形當(dāng)中的彼此不同的分解圖形，位于第一分離符的兩側(cè)的所述兩個(gè)多邊形可以被分離為多個(gè)分解圖形當(dāng)中的彼此不同的分解圖形，并且在第二針腳的一側(cè)上的包括第二針腳的多邊形的第一部分和在第二針腳的另一側(cè)上的包括第二針腳的多邊形的第二部分可以被分離為多個(gè)分解圖形當(dāng)中的彼此不同的分解圖形。
[0124]圖12是示出根據(jù)示例實(shí)施例的布局分解設(shè)備的框圖。
[0125]圖11的分解半導(dǎo)體器件的布局的方法可以通過圖12的布局分解設(shè)備20執(zhí)行。
[0126]不同于圖2的布局分解設(shè)備10，圖12的布局分解設(shè)備20還包括第一分離符生成器120和第二針腳生成器130。第一分離符生成器120和第二針腳生成器130分別可以實(shí)現(xiàn)為硬件、軟件或硬件和軟件的組合。
[0127]下文中，將參照?qǐng)D1和圖12描述通過圖12的布局分解設(shè)備20執(zhí)行的圖11的分解半導(dǎo)體器件的布局的方法。
[0128]第一針腳生成器110和第一分離符生成器120接收半導(dǎo)體器件的布局L0。
[0129]第一針腳生成器110可以將半導(dǎo)體器件的布局L0中包括的多邊形當(dāng)中的包括多個(gè)交叉點(diǎn)的多邊形確定為復(fù)雜多邊形(步驟S110)，其中在所述多個(gè)交叉點(diǎn)中的每一個(gè)處至少兩條線交叉，以及在復(fù)雜多邊形上的多個(gè)交叉點(diǎn)之間插入第一針腳以生成第一臨時(shí)布局 L0_T1 (步驟 S120)。
[0130]第一分離符生成器120可以在布局L0中包括的多邊形當(dāng)中的彼此距離臨界尺寸之內(nèi)的兩個(gè)多邊形之間插入第一分離符以生成第二臨時(shí)布局L0_T2(步驟S210)。
[0131]第二針腳生成器130可以從第一分離符生成器120接收第二臨時(shí)布局L0_T2，并且確定在第二臨時(shí)布局L0_T2中是否形成奇回路，在該奇回路中布局L0中包括的奇數(shù)數(shù)目的多邊形通過第一分離符成環(huán)地連接(步驟S220)。
[0132]當(dāng)在第二臨時(shí)布局L0_T2中未形成奇回路時(shí)(步驟S220 ;否)，第二針腳生成器130可以向控制器200提供第二臨時(shí)布局L0_T2作為第三臨時(shí)布局L0_T3。
[0133]當(dāng)在第二臨時(shí)布局L0_T2中形成奇回路時(shí)(步驟S220 ;是)，第二針腳生成器130可以在奇回路中包括的奇數(shù)數(shù)目的多邊形中的一個(gè)上插入第二針腳以生成第三臨時(shí)布局L0_T3 (步驟S230)，并且向控制器200提供第三臨時(shí)布局L0_T3。
[0134]圖13是示出提供給圖12的布局分解設(shè)備的半導(dǎo)體器件的布局的示例的圖。圖14是示出通過在圖13的布局上插入第一針腳生成的第一臨時(shí)布局的示例的圖。圖15是示出通過在圖13的布局上插入第一分離符生成的第二臨時(shí)布局的示例的圖。圖16是示出通過在圖15的第二臨時(shí)布局上插入第二針腳生成的第三臨時(shí)布局的示例的圖。
[0135]參照?qǐng)D13，半導(dǎo)體器件的布局L0可以包括第一多邊形到第九多邊形PG1、PG2、PG3、PG4、PG5、PG6、PG7、PG8 和 PG9。
[0136]在布局L0中包括的第一多邊形到第九多邊形PG1、PG2、PG3、PG4、PG5、PG6、PG7、PG8和PG9當(dāng)中，第一多邊形PG1和第二多邊形PG2中的每一個(gè)包括多個(gè)交叉點(diǎn)IS，其中在多個(gè)交叉點(diǎn)中的每個(gè)交叉點(diǎn)處至少兩條線交叉，并且第三多邊形到第九多邊形PG3、PG4、PG5、PG6、PG7、PG8和PG9中的每一個(gè)包括一個(gè)或少于一個(gè)交叉點(diǎn)IS。因此，第一針腳生成器110可以將第一多邊形PG1和第二多邊形PG2中的每一個(gè)確定為復(fù)雜多邊形。
[0137]因此，如圖14中所示，第一針腳生成器110可以通過在第一多邊形PG1和第二多邊形PG2中的每一個(gè)上的多個(gè)交叉點(diǎn)IS之間插入第一針腳ST1來生成第一臨時(shí)布局L0_
Tlo
[0138]在圖13的布局L0中，第三多邊形PG3到第六多邊形PG3、PG4、PG5和PG6當(dāng)中的兩個(gè)相鄰多邊形之間的距離可以小于臨界尺寸。類似地，第七多邊形到第九多邊形PG7、PG8和PG9當(dāng)中的兩個(gè)相鄰多邊形之間的距離可以小于臨界尺寸。
[0139]因此，如圖15中所示，第一分離符生成器120可以通過在布局L0中包括的第一多邊形到第九多邊形PG1、PG2、PG3、PG4、PG5、PG6、PG7、PG8和PG9當(dāng)中的彼此距離臨界尺寸之內(nèi)的兩個(gè)多邊形之間插入第一分離符SP1來生成第二臨時(shí)布局L0_T2。
[0140]參照?qǐng)D15，第三多邊形到第六多邊形PG3、PG4，PG5和PG6可以形成其中偶數(shù)數(shù)目的多邊形通過第一分離符SP1成環(huán)地連接的偶回路。然而，第七多邊形到第九多邊形PG7、PG8和PG9可以形成其中奇數(shù)數(shù)目的多邊形通過第一分離符SP1成環(huán)地連接的奇回路0C。
[0141]因此，如圖16中所示，第二針腳生成器130可以通過在形成在第二臨時(shí)布局L0_T2中的奇回