晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種射頻標(biāo)簽讀寫裝置，尤其涉及一種晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器。
[0002]
【背景技術(shù)】
[0003]半導(dǎo)體生產(chǎn)制程需要復(fù)雜的技術(shù)和巨額資金的投入，以為處理器為例，其所需處理的步驟可達(dá)數(shù)百道，而且每道工藝需要有嚴(yán)格的化學(xué)和物理處理。因此，把關(guān)好每道加工工序?qū)τ谏a(chǎn)廠來(lái)說(shuō)是十分重要的。
[0004]射頻識(shí)別是通過(guò)利用無(wú)線射頻傳輸識(shí)別附著在物體上的標(biāo)簽來(lái)識(shí)別、跟蹤和控制遠(yuǎn)程物體的基礎(chǔ)技術(shù)。RFID與條碼系統(tǒng)相比，具有大量信息交換、長(zhǎng)識(shí)別距離和除金屬之外的障礙物傳輸?shù)膬?yōu)點(diǎn)。半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境會(huì)接觸到大量的酸堿等液體，所以，采用玻璃封裝的RFID標(biāo)簽是最合適的。
[0005]

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的:提供一種晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，是安裝在終端裝載的設(shè)備，當(dāng)安裝有RFID標(biāo)簽的晶圓裝載盒放置到晶圓傳送裝置上后，操作人員按下啟動(dòng)按鈕后，RFID讀寫器就可以讀取到標(biāo)簽信息。標(biāo)簽里面記錄晶圓的批次、清洗時(shí)間等必要信息，通過(guò)讀取標(biāo)簽信息后，上傳到數(shù)據(jù)庫(kù)，然后進(jìn)行后續(xù)工作。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是:
一種晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，包括通訊處理裝置、射頻識(shí)別裝置、放大電路裝置、天線、供電電源、微控制器、后臺(tái)服務(wù)器及以太網(wǎng)芯片；所述的通訊處理裝置上設(shè)有串行接口及以太網(wǎng)接口，所述的通訊處理裝置通過(guò)所述的串行接口與所述的射頻識(shí)別裝置連接，所述的射頻識(shí)別裝置上設(shè)有第一數(shù)字信號(hào)接口、第二數(shù)字信號(hào)接口、第一放大接口及第二放大接口，所述的射頻識(shí)別裝置分別通過(guò)所述的第一數(shù)字信號(hào)接口及第二數(shù)字信號(hào)接口與所述的微控制器連接；所述的射頻識(shí)別裝置分別通過(guò)所述的第一放大接口及第二放大接口與所述的放大電路裝置的一端連接，所述的放大電路裝置包括第一三極管及第二三極管，所述的第一三極管與所述的射頻識(shí)別裝置的第一放大接口連接，所述的第二三極管與所述的射頻識(shí)別裝置的第二放大接口連接，所述的放大電路裝置的另一端與所述的天線連接，所述的天線的一端接地；所述的天線上設(shè)有BNC接口，所述的天線通過(guò)所述的BNC接口與所述的微控制器連接；所述的供電電源及后臺(tái)服務(wù)器分別與所述的微控制器連接；所述的微控制器上設(shè)有八位并行接口，所述的微控制器通過(guò)所述的八位并行接口與所述的以太網(wǎng)芯片連接，所述的通訊處理裝置的以太網(wǎng)接口與所述的以太網(wǎng)芯片連接。
[0008]上述的晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，其中，所述的供電電源為電源適配器或有源以太網(wǎng)分離器，所述的供電電源內(nèi)設(shè)有保險(xiǎn)絲。
[0009]上述的晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，其中，所述的供電電源的輸入電壓范圍為9V-24V，標(biāo)準(zhǔn)輸入電壓為直流12V。
[0010]上述的晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，其中，所述的射頻識(shí)別裝置通過(guò)8Pin的連接線連接防靜電按鈕，構(gòu)成觸發(fā)開(kāi)關(guān)。
[0011]上述的晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，其中，所述的射頻識(shí)別裝置通過(guò)連接線外接125Hz的低頻處理器，構(gòu)成觸發(fā)開(kāi)關(guān)。
[0012]上述的晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，其中，所述的天線為50uH天線。
[0013]上述的晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，其中，所述的射頻識(shí)別裝置的型號(hào)為TMS3705A。
[0014]上述的晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，其中，所述的以太網(wǎng)芯片的型號(hào)為DM9000A。
[0015]本發(fā)明能針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的需求，采用134.2KHz頻段實(shí)現(xiàn)無(wú)線射頻標(biāo)簽的讀寫功能；通過(guò)安裝無(wú)線射頻讀寫器(RFID)后，半導(dǎo)體生產(chǎn)良率有大幅的提升，同時(shí)還可以大大縮短生產(chǎn)周期，給企業(yè)帶來(lái)巨大效益。
[0016]
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是本發(fā)明晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器的連接框圖。
[0018]圖2是本發(fā)明晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器的原理圖。
[0019]
【具體實(shí)施方式】
[0020]以下結(jié)合附圖進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。
[0021]請(qǐng)參見(jiàn)附圖1及附圖2所示，一種晶圓傳送裝置無(wú)線射頻讀寫器，包括通訊處理裝置1、射頻識(shí)別裝置2、放大電路裝置3、天線4、供電電源5、微控制器6、后臺(tái)服務(wù)器7及以太網(wǎng)芯片8 ;所述的通訊處理裝置1上設(shè)有串行接口及以太網(wǎng)接口，所述的通訊處理裝置1通過(guò)所述的串行接口與所述的射頻識(shí)別裝置2連接，所述的射頻識(shí)別裝置2上設(shè)有第一數(shù)字信號(hào)接口、第二數(shù)字信號(hào)接口、第一放大接口(ANT1 口)及第二放大接口(ANT2 口)，所述的射頻識(shí)別裝置2分別通過(guò)所述的第一數(shù)字信號(hào)接口及第二數(shù)字信號(hào)接口與所述的微控制器6連接；所述的射頻識(shí)別裝置2分別通過(guò)所述的第一放大接口(ANT1 口)及第二放大接口(ANT2 口)與所述的放大電路裝置3的一端連接，所述的放大電路裝置3包括第一三極管Q6及第二三極管Q7，所述的第一三極管Q6與所述的射頻識(shí)別裝置2的第一放大接口(ANT1口)連接，所述的第二三極管Q7與所述的射頻識(shí)別裝置2的第二放大接口(ANT2 口)連接，所述的放大電路裝置3的另一端與所述的天線4連接，所述的天線4的一端接地；所述的天線4上設(shè)有BNC接口，所述的天線4通過(guò)所述的BNC接口與所述的微控制器6連接；所述的供電電源5及后臺(tái)服務(wù)器7分別與所述的微控制器6連接；所述的微控制器6上設(shè)有八位并行接口，所述的微控制器6通過(guò)所述的八位并行接口與所述的以太網(wǎng)芯片8連接，所述的通訊處理裝置1的以太網(wǎng)接口與所述的以太網(wǎng)芯片8連接。
[0022]所述的供電電源5為電源適配器或有源以太網(wǎng)分離器，所述的供電電源5內(nèi)設(shè)有保險(xiǎn)絲，可有效防止電流過(guò)載或元器件短路等潛在危險(xiǎn)。
[0023]所述的供電電源5的輸入電壓范圍為9V-24V，標(biāo)準(zhǔn)輸入電壓為直流12V。
[0024]所述的射頻識(shí)別裝置2通過(guò)8Pin的連接線連接防靜電按鈕，構(gòu)成觸發(fā)開(kāi)關(guān)。
[0025]所述的射頻識(shí)別裝置2通過(guò)連接線外接125Hz的低頻處理器，構(gòu)成觸發(fā)開(kāi)關(guān)，以員工的刷卡動(dòng)作作為觸發(fā)，同時(shí)還可以記錄識(shí)別卡內(nèi)的員工工號(hào)，進(jìn)行生產(chǎn)追蹤記錄。
[0026]所述的天線4為50uH天線，由于晶圓傳送裝置安裝天線4的空間有限，所以將天線4做小的同時(shí)還要保證有一定的讀取距離，因此，將天線4設(shè)計(jì)為50uH。這樣，銅線繞的圈數(shù)可以大大減少，而且直流電阻也小，可以獲得較大的電流。天線4使用BNC接頭(BayonetNut Connector,意為卡扣配合型連接器)與微控制器6進(jìn)行連接，便于安裝和維護(hù)。
[0027]所述的射頻識(shí)別裝置2的型號(hào)為TMS3705A。它的TXCT和SC10兩個(gè)數(shù)字信號(hào)接口連接到微控制器6上，通過(guò)程序來(lái)控制芯片的讀寫。
[0028]所述的以太網(wǎng)芯片8的型號(hào)為DM9000A。
[0029]微控制器6采用32位高性能微控制器，實(shí)現(xiàn)高效的硬件控制以及軟件處理。當(dāng)需要讀寫RFID標(biāo)簽時(shí)候，為控制通過(guò)串行接口來(lái)發(fā)送指令給射頻識(shí)別裝置2，然后模塊可以將讀取的標(biāo)簽信息傳送給微控制器6。微控制器6把數(shù)據(jù)做初步的處理以后，通過(guò)通訊處理裝置1把數(shù)據(jù)上報(bào)給后臺(tái)服務(wù)器7。
[0030]由于射頻識(shí)別裝置2本身讀寫距離比較短，而且天線4不接地易受干擾，所以僅僅采用TMS3705A直接讀寫芯片是不適合安裝到設(shè)備上的。在本發(fā)明中，通過(guò)放大電路