本技術(shù)涉及半導體，尤其涉及一種半導體工藝配方參數(shù)的數(shù)據(jù)管理方法、系統(tǒng)、設備及介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、半導體制造已成為全球范圍內(nèi)的重要產(chǎn)業(yè)，其與多種電子設備（如智能手機、計算機和物聯(lián)網(wǎng)設備）密切相關，而并非所有半導體制造企業(yè)都實現(xiàn)了高效的工藝配方參數(shù)管理，這就引出了傳統(tǒng)的手動管理方式和自動化的數(shù)字化管理方式。傳統(tǒng)手動管理和自動化數(shù)字化管理的識別涉及區(qū)分企業(yè)在工藝配方參數(shù)管理效率上的差異。實現(xiàn)自動化數(shù)字化管理的企業(yè)盡管投入了大量的資金和人力，但能夠顯著提高生產(chǎn)效率、減少錯誤、縮短產(chǎn)品上市時間等；采用傳統(tǒng)手動管理的企業(yè)則面臨著效率低下、錯誤頻發(fā)等問題。因此自動化數(shù)字化管理的識別對于診斷、預防及改進低效的工藝配方參數(shù)管理尤為重要，有助于提升企業(yè)競爭力和盈利能力。當前，工藝配方參數(shù)管理方式的識別主要基于人工統(tǒng)計、問卷調(diào)查以及現(xiàn)場觀察等方法，如統(tǒng)計人工錄入和轉(zhuǎn)換配方參數(shù)的時間、調(diào)查工程師對配方管理系統(tǒng)的使用反饋和觀察生產(chǎn)現(xiàn)場的工藝執(zhí)行情況等。這些方法雖然在一定程度上有效，但存在一定的局限性，比如人工統(tǒng)計和問卷調(diào)查容易受到主觀因素的影響，現(xiàn)場觀察難以全面評估整個生產(chǎn)流程。這些評估通常還需要投入大量的時間和人力，給企業(yè)帶來額外的成本負擔。

2、近年來，隨著信息技術(shù)的進步，基于數(shù)據(jù)分析的工藝管理評估方法逐漸受到關注。設備運行日志數(shù)據(jù)因其能夠客觀地反映設備的實際運行狀況而成為研究焦點，其中設備配方參數(shù)變更記錄可能與工藝管理效率相關，這為利用設備運行數(shù)據(jù)進行工藝配方管理效率評估提供了新的途徑。通過借助于機器學習或者深度學習技術(shù)，利用復雜的算法模型處理大量設備運行日志數(shù)據(jù)并從中學習的模式，能夠揭示不同管理方式下的微妙特征。在實際應用場景中，由于設備運行日志數(shù)據(jù)量巨大且格式多樣，在對模型訓練時往往需要通過數(shù)據(jù)清洗和特征工程操作（例如轉(zhuǎn)換）來提高數(shù)據(jù)質(zhì)量。然而，現(xiàn)有的數(shù)據(jù)處理操作采取的是通用的數(shù)據(jù)處理流程，這會使得在處理過程中引入不相關的信息，導致提取的特征與實際業(yè)務場景脫節(jié)，降低模型的實用性。

3、因此，亟需一種技術(shù)方案，從而能夠提供標準化的半導體工藝配方參數(shù)相關數(shù)據(jù)，以標準的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)輸出給其他系統(tǒng)。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本技術(shù)的一個目的是提供一種半導體工藝配方參數(shù)的數(shù)據(jù)管理方法、系統(tǒng)、設備及介質(zhì)，至少用以解決現(xiàn)有技術(shù)查看不同設備參數(shù)效率較低、生產(chǎn)管理效率低下、錯誤頻發(fā)以及管理成本高等技術(shù)問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)的一些實施例提供了以下幾個方面：

3、第一方面，本技術(shù)的一些實施例提供了一種半導體工藝配方參數(shù)的數(shù)據(jù)管理方法，包括：對采集到的一種或多種數(shù)據(jù)格式的工藝配方進行數(shù)據(jù)解析，以轉(zhuǎn)化為目標數(shù)據(jù)格式，并存儲至數(shù)據(jù)庫中；響應于通過數(shù)據(jù)接口傳入的數(shù)據(jù)請求，基于配置的映射關系將數(shù)據(jù)庫中對應的工藝配方數(shù)據(jù)以數(shù)據(jù)請求的格式通過所述數(shù)據(jù)接口返回；其中，對采集到的一種或多種數(shù)據(jù)格式的工藝配方進行數(shù)據(jù)解析，以轉(zhuǎn)化為目標數(shù)據(jù)格式，并存儲至數(shù)據(jù)庫中，包括：接收包含一個或多個制程步驟信息的工藝配方；其中每個制程步驟包含一個控制編碼和多個參數(shù)；根據(jù)預定義的設備手冊，確定每個控制編碼下各參數(shù)的含義；將各參數(shù)轉(zhuǎn)換為標準化格式，以存儲至數(shù)據(jù)庫中；其中，根據(jù)預定義的解析規(guī)則，將所述二進制數(shù)據(jù)流解析為多個數(shù)據(jù)段，包括：根據(jù)預設字節(jié)標識對二進制數(shù)據(jù)流進行預處理并定義數(shù)據(jù)段類型，讀取前置預設字節(jié)提取文件頭信息后建立段間關系圖；將數(shù)據(jù)流劃分為多個數(shù)據(jù)塊并在塊間保留重疊區(qū)域，通過特征庫匹配確認段有效性后按統(tǒng)一格式組織數(shù)據(jù)段。

4、進一步的，其中，根據(jù)預設字節(jié)標識對二進制數(shù)據(jù)流進行預處理并定義數(shù)據(jù)段類型，讀取前置預設字節(jié)提取文件頭信息后建立段間關系圖，包括：預處理所述二進制數(shù)據(jù)流，通過識別特定字節(jié)模式作為段落標識符，其中使用第一預設字節(jié)作為起始標識，使用第二預設字節(jié)作為結(jié)束標識；基于狀態(tài)轉(zhuǎn)移方法定義三種數(shù)據(jù)段類型，包括以第三預設字節(jié)開頭的參數(shù)名稱段、以第四預設字節(jié)開頭的參數(shù)值段和以第五預設字節(jié)開頭的控制段；讀取數(shù)據(jù)流前置預設字節(jié)進行初始分析以提取文件頭信息，其中所述文件頭包含數(shù)據(jù)版本號、時間戳和段數(shù)量信息；建立段間關系圖并使用鄰接矩陣表示，通過基準關聯(lián)度、距離衰減因子及段長度計算關聯(lián)強度。

5、進一步的，其中，將數(shù)據(jù)流劃分為多個數(shù)據(jù)塊并在塊間保留重疊區(qū)域，通過特征庫匹配確認段有效性后按統(tǒng)一格式組織數(shù)據(jù)段，包括：將數(shù)據(jù)流劃分為大小相近的多個數(shù)據(jù)塊，對每個數(shù)據(jù)塊搜索段邊界標識符并構(gòu)建段位置索引；在相鄰數(shù)據(jù)塊之間保留重疊區(qū)域，通過計算局部上下文相似度確定重疊區(qū)域中數(shù)據(jù)段的歸屬；維護動態(tài)更新的段特征庫，通過特征權(quán)重和相似度分數(shù)計算特征匹配度，當特征匹配度超過預設閾值時確認段的有效性；按照統(tǒng)一的內(nèi)部格式組織解析得到的數(shù)據(jù)段，包括段類型標識、段長度信息、段屬性標志、數(shù)據(jù)負載與校驗和。

6、進一步的，其中所述標準化格式包括將每個制程步驟的參數(shù)分別存儲為獨立的數(shù)據(jù)條目，每個數(shù)據(jù)條目包含參數(shù)名稱、參數(shù)值、下限值和上限值字段；當參數(shù)名稱為步驟時，參數(shù)值配置為步驟標識符，并將數(shù)據(jù)庫中對應的下限值和上限值字段留空。

7、進一步的，其中，響應于通過數(shù)據(jù)接口傳入的數(shù)據(jù)請求，基于配置的映射關系將數(shù)據(jù)庫中對應的工藝配方數(shù)據(jù)以數(shù)據(jù)請求的格式通過所述數(shù)據(jù)接口返回，包括：建立并存儲映射關系，所述映射關系用于將目標系統(tǒng)的配方名稱和參數(shù)名稱映射到數(shù)據(jù)庫中對應的名稱；接收來自目標系統(tǒng)通過數(shù)據(jù)接口傳入的數(shù)據(jù)請求，所述數(shù)據(jù)請求包含系統(tǒng)名稱、配方列表，所述配方列表包括工具標識、配方名稱和參數(shù)列表；根據(jù)配置的所述映射關系，將所述數(shù)據(jù)請求中的配方名稱和參數(shù)名稱轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)庫中對應的配方名稱和參數(shù)名稱；基于轉(zhuǎn)換后的名稱，在數(shù)據(jù)庫中查詢對應的配方參數(shù)信息和參數(shù)控制范圍；生成響應數(shù)據(jù)，所述響應數(shù)據(jù)包括系統(tǒng)名稱、配方列表，其中配方列表包括工具標識、配方名稱和參數(shù)信息，參數(shù)信息包括參數(shù)名稱、參數(shù)設定值、參數(shù)控制下限值和參數(shù)控制上限值；將所述響應數(shù)據(jù)通過所述數(shù)據(jù)接口返回至目標系統(tǒng)。

8、第二方面，本技術(shù)的一些實施例還提供了一種應用如上述實施例任一項所述數(shù)據(jù)管理方法的半導體工藝配方參數(shù)的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，包括：配方采集單元和數(shù)據(jù)管理單元；其中，所述配方采集單元用于從一個或多個設備采集一種或多種格式包含半導體工藝配方的數(shù)據(jù)；所述數(shù)據(jù)管理單元用于對采集到的一種或多種數(shù)據(jù)格式的工藝配方進行數(shù)據(jù)解析，以轉(zhuǎn)化為目標數(shù)據(jù)格式，并存儲至數(shù)據(jù)庫中；響應于通過數(shù)據(jù)接口傳入的數(shù)據(jù)請求，基于配置的映射關系將數(shù)據(jù)庫中對應的工藝配方數(shù)據(jù)以數(shù)據(jù)請求的格式通過所述數(shù)據(jù)接口返回。

9、第三方面，本技術(shù)的一些實施例還提供了一種電子設備，所述電子設備包括：一個或多個處理器；以及存儲有計算機程序指令的存儲器，所述計算機程序指令在被執(zhí)行時使所述處理器執(zhí)行如上所述方法的步驟。

10、第四方面，本技術(shù)的一些實施例還提供了一種計算機可讀介質(zhì)，其上存儲有計算機程序指令，所述計算機程序指令可被處理器執(zhí)行以實現(xiàn)如上所述的方法。

11、第五方面，本技術(shù)的一些實施例還提供了一種計算機程序產(chǎn)品，包括計算機程序/指令，該計算機程序/指令被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如上所述方法的步驟。

12、與相關技術(shù)相比，本技術(shù)實施例提供的方案中，通過將設備不同格式的半導體工藝配方參數(shù)數(shù)據(jù)解析成為標準格式的數(shù)據(jù)存儲到rms中，能夠提供標準化的半導體工藝配方參數(shù)相關數(shù)據(jù)，以標準的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)輸出給其他系統(tǒng)。進一步地，在一些實施例中，通過rms的離線和在線分享能力，工程師能夠快速訪問和應用經(jīng)過標準化的配方數(shù)據(jù)，從而減少了生產(chǎn)準備時間，加快了響應速度，顯著提升了生產(chǎn)效率和工藝流程的流暢性。進一步地，在一些實施例中，通過標準化的數(shù)據(jù)管理和自動化的分享機制減少了手動輸入和轉(zhuǎn)換配方參數(shù)的過程，能夠降低因人為操作導致的錯誤，提高了生產(chǎn)過程的準確性和可靠性。