1.一種電容式傳感器,包括:
絕緣基板,包括第一表面和與所述第一表面相對(duì)設(shè)置的第二表面;
多個(gè)傳感單元,形成在所述絕緣基板的第二表面上,每一傳感單元包括:
感測(cè)電極,形成在所述絕緣基板的第二表面上;
第一絕緣層,形成在所述感測(cè)電極上,所述第一絕緣層上設(shè)置有貫穿至感測(cè)電極的通孔;和
傳感電路,形成在所述第一絕緣層上,并通過(guò)所述通孔與所述感測(cè)電極連接;和
鈍化層,形成在所述傳感電路上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一表面用于接收目標(biāo)物體的觸摸或接近輸入,所述感測(cè)電極以電容方式耦合到目標(biāo)物體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一表面較第二表面更接近目標(biāo)物體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述感測(cè)電極直接形成在所述絕緣基板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述感測(cè)電極部分或全部覆蓋所述所述傳感電路。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述傳感電路包括第一控制開(kāi)關(guān),與所述感測(cè)電極連接,所述第一控制開(kāi)關(guān)用于控制是否傳輸激勵(lì)信號(hào)給感測(cè)電極執(zhí)行感測(cè)操作。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容式傳感器,其特征在于:所述傳感電路進(jìn)一步包括第二控制開(kāi)關(guān),與所述感測(cè)電極連接,所述第二控制開(kāi)關(guān)用于控制是否傳輸一第一參考信號(hào)給感測(cè)電極,對(duì)于同一傳感單元,所述第一控制開(kāi)關(guān)與所述第二控制開(kāi)關(guān)交替導(dǎo)通。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一控制開(kāi)關(guān)與所述第二控制開(kāi)關(guān)為薄膜晶體管開(kāi)關(guān)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的電容式傳感器,其特征在于:所述絕緣基板為玻璃基板,所述傳感電路為通過(guò)薄膜晶體管工藝形成在所述玻璃基板上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器為自電容式的指紋傳感器。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器進(jìn)一步包括掃描驅(qū)動(dòng)電路,形成在所述絕緣基板的第二表面上,并與各傳感單元中的第一控制開(kāi)關(guān)與第二控制開(kāi)關(guān)分別連接,用于驅(qū)動(dòng)各傳感單元中的第一控制開(kāi)關(guān)與第二控制開(kāi)關(guān)分時(shí)導(dǎo)通;對(duì)于同一列傳感單元:當(dāng)一傳感單元的感測(cè)電極通過(guò)導(dǎo)通的第一控制開(kāi)關(guān)接收到激勵(lì)信號(hào)時(shí),對(duì)應(yīng)執(zhí)行感測(cè)操作,其余傳感單元中的感測(cè)電極通過(guò)導(dǎo)通的第二控制開(kāi)關(guān)接收所述第一參考信號(hào)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容式傳感器,其特征在于:所述多個(gè)傳感單元呈陣列式排布,當(dāng)所述掃描驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)一行傳感單元中的第一控制開(kāi)關(guān)導(dǎo)通、第二控制開(kāi)關(guān)截止的同時(shí),驅(qū)動(dòng)其余行傳感單元中的第一控制開(kāi)關(guān)截止、第二控制開(kāi)關(guān)導(dǎo)通。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容式傳感器,其特征在于:所述掃描驅(qū)動(dòng)電路按行驅(qū)動(dòng)傳感單元執(zhí)行感測(cè)操作。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器進(jìn)一步包括數(shù)據(jù)選擇電路,形成在所述絕緣基板的第二表面上,所述數(shù)據(jù)選擇電路與所述各傳感單元連接,用于選擇是輸出所述激勵(lì)信號(hào)還是一第二參考信號(hào)給相應(yīng)的感測(cè)電極。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電容式傳感器,其特征在于:所述數(shù)據(jù)選擇電路包括多個(gè)數(shù)據(jù)選擇器,每一數(shù)據(jù)選擇器連接至少二列傳感單元,所述數(shù)據(jù)選擇器用于分時(shí)輸出激勵(lì)信號(hào)給相連接的各列傳感單元,且當(dāng)通過(guò)導(dǎo)通的第一控制開(kāi)關(guān)輸出所述激勵(lì)信號(hào)給其中一列傳感單元時(shí),通過(guò)導(dǎo)通的第一控制開(kāi)關(guān)進(jìn)一步輸出所述第二參考信號(hào)給其余幾列相連接的傳感單元。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電容式傳感器,其特征在于:所述數(shù)據(jù)選擇器在輸出激勵(lì)信號(hào)給感測(cè)電極執(zhí)行感測(cè)操作的同時(shí),進(jìn)一步對(duì)來(lái)自所述感測(cè)電極的感測(cè)信號(hào)進(jìn)行輸出。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器進(jìn)一步包括多個(gè)掃描線群組和多個(gè)數(shù)據(jù)線群組,均形成在所述絕緣基板的第二表面一側(cè);其中,所述多個(gè)掃描線群組與所述掃描驅(qū)動(dòng)電路連接,每一掃描線群組進(jìn)一步連接一行傳感單元;所述多個(gè)數(shù)據(jù)線群組與所述數(shù)據(jù)選擇電路連接,每一數(shù)據(jù)線群組進(jìn)一步連接一列傳感單元;每一掃描線群組包括第一掃描線和第二掃描線,所述第一掃描線連接一行傳感單元的第一控制開(kāi)關(guān),所述第二掃描線用于連接同一行傳感單元的第二控制開(kāi)關(guān);每一數(shù)據(jù)線群組包括第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線,所述第一數(shù)據(jù)線連接一列傳感單元的第一控制開(kāi)關(guān),所述第二數(shù)據(jù)線連接同一列傳感單元的第二控制開(kāi)關(guān)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電容式傳感器,其特征在于:所述多個(gè)掃描線群組的第一掃描線和第二掃描線沿行方向延伸,并沿列方向排列;所述多個(gè)數(shù)據(jù)線群組的第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線沿列方向延伸,并沿行方向排列。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電容式傳感器,其特征在于:當(dāng)所述掃描驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)一行傳感單元中的第一控制開(kāi)關(guān)導(dǎo)通、第二控制開(kāi)關(guān)截止時(shí),通過(guò)第一數(shù)據(jù)線和導(dǎo)通的第一控制開(kāi)關(guān),所述多個(gè)數(shù)據(jù)選擇器每次同時(shí)輸出所述激勵(lì)信號(hào)給一感測(cè)電極,以及輸出所述第二參考信號(hào)給其余感測(cè)電極。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器進(jìn)一步包括第一參考信號(hào)線和第二參考信號(hào)線,均形成在所述絕緣基板的第二表面一側(cè),其中,所述第一參考信號(hào)線與各數(shù)據(jù)線群組中的第二數(shù)據(jù)線連接,所述第二參考信號(hào)線與所述多個(gè)數(shù)據(jù)選擇器連接,所述第一參考信號(hào)線與所述第二參考信號(hào)分別用于傳輸所述第一參考信號(hào)和所述第二參考信號(hào);對(duì)于與同一數(shù)據(jù)選擇器相連接的至少二列傳感單元:當(dāng)所述數(shù)據(jù)選擇器傳輸所述激勵(lì)信號(hào)給其中一列傳感單元的感測(cè)電極時(shí),傳輸?shù)诙⒖夹盘?hào)線上的所述第二參考信號(hào)給其它列傳感單元的感測(cè)電極;對(duì)于同一列傳感單元:當(dāng)其中一傳感單元的感測(cè)電極接收到所述激勵(lì)信號(hào)時(shí),其余傳感單元的感測(cè)電極接收來(lái)自所述第一參考信號(hào)線上的所述第一參考信號(hào)。
21.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一參考信號(hào)與所述第二參考信號(hào)相同。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一參考信號(hào)與所述激勵(lì)信號(hào)相同。
23.一種電容式傳感裝置,所述電容式傳感裝置包括電容式傳感器和控制芯片,所述控制芯片與所述電容式傳感器之間進(jìn)行信號(hào)傳輸,其中,所述電容式傳感器為權(quán)利要求1-22中任意一項(xiàng)所述的電容式傳感感器,所述控制芯片綁定在所述絕緣基板的第二表面上,或者,所述控制芯片設(shè)置在一軟性電路板上,所述軟性電路板與所述絕緣基板的第二表面連接,并與所述多個(gè)傳感單元電連接。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的電容式傳感裝置,其特征在于:所述控制芯片包括參考電壓產(chǎn)生電路與感測(cè)驅(qū)動(dòng)電路,所述參考信號(hào)產(chǎn)生電路用于提供第一參考信號(hào)或/和第二參考信號(hào)給所述感測(cè)電極,所述感測(cè)驅(qū)動(dòng)電路用于提供激勵(lì)信號(hào)給所述感測(cè)電極,驅(qū)動(dòng)感測(cè)電極執(zhí)行感測(cè)操作。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的電容式傳感裝置,其特征在于:當(dāng)所述控制芯片通過(guò)軟性電路板與所述電容式傳感器連接時(shí),所述電容式傳感裝置進(jìn)一步包括加強(qiáng)板,所述加強(qiáng)板通過(guò)粘結(jié)件貼附在所述鈍化層和所述軟性電路板上。
26.一種電子設(shè)備,包括權(quán)利要求23-25中任意一項(xiàng)所述的電容式傳感裝置。