技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及厚膜圖案結(jié)構(gòu)以及形成該厚膜圖案結(jié)構(gòu)的方法，其中重復(fù)進行層疊步驟，由此在形成過程中逐漸減小正在形成的厚膜圖案的寬度，因此層疊相同的材料層，由此使得所有的層均已層疊的圖案的邊緣處的區(qū)域中的錐角減小。厚膜圖案包括：具有任一圖案寬度的厚膜圖案涂層；以及依次層疊在該厚膜圖案涂層上的不同的厚膜圖案涂層，以致圖案寬度從厚膜圖案涂層的邊緣區(qū)域逐漸減小，通過厚膜圖案涂層形成的厚膜圖案具有階梯形狀。

技術(shù)研發(fā)人員：金龍煥;尹億根;崔镕錫
受保護的技術(shù)使用者：東友精細化工有限公司
文檔號碼：201580035941
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.01
技術(shù)公布日：2017.03.01