微影制程中水洗工藝用清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及微影制程中水洗工藝用清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]微影制程是半導(dǎo)體制程和微機(jī)電制程中舉足輕重的步驟之一，凡是與結(jié)構(gòu)、圖案相關(guān)的，如:各薄膜圖案、雜質(zhì)區(qū)域均有微影步驟所決定。微影的原理是在晶片上覆蓋一層感光材料，來自光源的平行光經(jīng)過光罩，打在感光材料上，光罩上的圖案將使入射光反射，使透過光罩的光束也具有與光罩上相同的圖案，進(jìn)一步使晶片上的感光材料進(jìn)行選擇性感光，于是晶片上的圖案完整的傳輸?shù)礁泄獠牧仙?，此步驟即為曝光，曝光之后再經(jīng)過顯影，就如同洗照片一般，光罩上的圖案成功的轉(zhuǎn)移到感光材料上。
[0003]微影制程包括五大步驟:前處理，壓膜，曝光，顯影、刻蝕、去膜制程(DES制程)，自動(dòng)光學(xué)檢測制程(Α0Ι制程)。前處理的主要任務(wù)是將進(jìn)入微影的板子進(jìn)行清潔并粗化板面，為壓膜做準(zhǔn)備;DES制程的主要任務(wù)是先將沒有被紫外光線照射到的干膜洗掉，再將露出的銅刻蝕掉，最后將被紫外光線照射到的干膜洗掉，從而制作出需要制作的線路，以上兩個(gè)制程的具體步驟中都有連續(xù)的6-8道水洗工藝，每道水洗工藝的清洗裝置如圖1所示，包括新液補(bǔ)充管道1、槽體2和溢流管道3，新液補(bǔ)充管道I的位置不低于溢流管道3，現(xiàn)有技術(shù)中，槽體2中的水保持動(dòng)態(tài)平衡且不斷更新，新鮮的水勻速從新液補(bǔ)充管道I流入槽體2，水位超過標(biāo)準(zhǔn)水位，溢流管道3則以相同速度排出廢水，一、二、三道水洗工藝采用的清洗裝置通過同一輸送管道送水，新鮮的水經(jīng)過各自的新液補(bǔ)充管道流入槽體，經(jīng)過各自的溢流管道排出廢水，四、五道水洗工藝的清洗裝置和六、七、八道水洗工藝的清洗裝置的結(jié)構(gòu)如一、二、三道水洗工藝的清洗裝置。各道水洗工藝的清洗裝置排出的廢水只能收集后進(jìn)行污水處理，這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)存在如下問題:I.作業(yè)過程中用水量大;2.污水處理成本高;3.水資源不能進(jìn)行循環(huán)利用，造成浪費(fèi)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型提供了一種微影制程中水洗工藝用清洗裝置，用以解決作業(yè)過程中洗液用量大，污水處理成本高，水資源浪費(fèi)的問題。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種微影制程中水洗工藝用清洗裝置，包括依次連接的輸送裝置、第一清洗裝置、第二清洗裝置和回收裝置，洗液經(jīng)所述輸送裝置輸送至所述第一清洗裝置中，使用結(jié)束后，從所述第一清洗裝置輸出，流入所述第二清洗裝置中再次利用，最后流至所述回收裝置回收處理，所述第一清洗裝置包括第一槽體，所述第一槽體上設(shè)有第一進(jìn)液口和第一出液口，所述第二清洗裝置包括第二槽體，所述第二槽體上設(shè)有第二進(jìn)液口和第二出液口，所述第一出液口的高度不低于所述第二進(jìn)液口和第二出液口的高度，則所述第一槽體中洗液的液面不低于所述第二槽體中洗液的液面，保證所述清洗裝置內(nèi)的洗液能輸送到所述第二清洗裝置中且不發(fā)生倒流現(xiàn)象。
[0006]作為優(yōu)選，所述第一清洗裝置還包括第一新液補(bǔ)充管道和第一溢流管道，第一新液補(bǔ)充管道設(shè)在所述第一進(jìn)液口處，所述第一溢流管道設(shè)在所述第一出液口處;所述第二清洗裝置還包括第二新液補(bǔ)充管道和第二溢流管道，所述第二新液補(bǔ)充管道設(shè)在所述第二進(jìn)液口處，所述第二溢流管道設(shè)在所述第二出液口處。
[0007]作為優(yōu)選，所述微影制程中水洗工藝用清洗裝置還包括連接管道，所述連接管道一端與所述第一溢流管道固定連接，另一端與所述第二新液補(bǔ)充管道固定連接。
[0008]作為優(yōu)選，所述連接管道的高度低于所述第一進(jìn)液口、第一出液口、第二進(jìn)液口和第二出液口的高度。
[0009]作為優(yōu)選，所述第一進(jìn)液口的高度不低于所述第一出液口的高度，有利于洗液的輸送。
[0010]作為優(yōu)選，所述第二進(jìn)液口的高度不高于所述第二出液口的高度，有利于所述第二槽體中的洗液充分混合。
[0011]作為優(yōu)選，所述第二清洗裝置的容積小于所述第一清洗裝置的容積，加快下游的所述清洗裝置內(nèi)洗液更新的速度。
[0012]作為優(yōu)選，所述連接管道是聚氯乙烯硬質(zhì)管道，具有優(yōu)異的耐腐蝕性能，且不易彎曲變形，保持洗液流動(dòng)通暢。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型所述的微影制程中水洗工藝用清洗裝置，將后道清洗工藝的清洗裝置中排出的廢液輸送至前道清洗工藝的清洗裝置中再利用，實(shí)現(xiàn)了洗液的循環(huán)利用，減少了洗液的用量以及污水的排出量，降低了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0014]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中微影制程中水洗工藝采用的水洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本實(shí)用新型一具體實(shí)施例的微影制程中水洗工藝用清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中所示:1_新液補(bǔ)充管道、2-槽體、3-溢流管道、10-輸送裝置、20-第一清洗裝置、21-第一新液補(bǔ)充管道、22-第一槽體、23-第一溢流管道、30-第二清洗裝置、31-第二新液補(bǔ)充管道、32-第二槽體、33-第二溢流管道、40-回收裝置、50-聚氯乙烯硬質(zhì)管道、221-第一進(jìn)液口、222-第一出液口、321-第二進(jìn)液口、322-第二出液口。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。需說明的是，本實(shí)用新型附圖均采用簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0018]請(qǐng)參考圖2，本實(shí)用新型提供一種微影制程中水洗工藝用清洗裝置，應(yīng)用于微影前處理及DES制程的水洗工藝，所述微影制程中水洗工藝用清洗裝置包括輸送裝置10、第一清洗裝置20、第二清洗裝置30、回收裝置40和聚氯乙烯硬質(zhì)管道50，所述