技術(shù)編號：10324820
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。微影制程是半導體制程和微機電制程中舉足輕重的步驟之一，凡是與結(jié)構(gòu)、圖案相關(guān)的，如各薄膜圖案、雜質(zhì)區(qū)域均有微影步驟所決定。微影的原理是在晶片上覆蓋一層感光材料，來自光源的平行光經(jīng)過光罩，打在感光材料上，光罩上的圖案將使入射光反射，使透過光罩的光束也具有與光罩上相同的圖案，進一步使晶片上的感光材料進行選擇性感光，于是晶片上的圖案完整的傳輸?shù)礁泄獠牧仙?，此步驟即為曝光，曝光之后再經(jīng)過顯影，就如同洗照片一般，光罩上的圖案成功的轉(zhuǎn)移到感光材料上。微影制程包括五大步驟...
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