本發(fā)明屬于半導(dǎo)體芯片制造工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定方法及其系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體的制造工藝是由多種單道工藝組合而成的，單道工藝通常歸為以下三類：(1)薄膜制備工藝：包括外延生長(zhǎng)、氧化工藝、薄膜淀積工藝，如制造金屬、絕緣層等；(2)圖形轉(zhuǎn)移工藝：包括管科工藝和刻蝕工藝；(3)摻雜工藝：包括擴(kuò)散工藝和離子注入工藝。在制造過(guò)程需要采用各種設(shè)備，如用于生長(zhǎng)Si₃N₄的設(shè)備就是Si₃N₄生長(zhǎng)爐管(LPCVD)。這些設(shè)備通過(guò)自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行控制，如生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execution System，MES系統(tǒng))。

在對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中，部分單道工藝之間有一定的關(guān)聯(lián)，而且需要保證工藝必須在設(shè)定時(shí)間內(nèi)完成，一旦超時(shí)就有可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢或者增加不良率，例如第一個(gè)工藝步驟是涂敷光刻膠，第三個(gè)工藝步驟是刻蝕，此時(shí)第一工步和第三工步之間的時(shí)間就有一定的限制，如果半導(dǎo)體產(chǎn)品在線下等待時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，光刻膠就會(huì)過(guò)度冷卻，刻蝕的精準(zhǔn)度就會(huì)降低。

綜上所述，亟需一種可以確定半導(dǎo)體線下的非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度的方法，進(jìn)而通過(guò)該方法管控半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)作業(yè)的時(shí)限。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明實(shí)施例提供一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定方法及其系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體作業(yè)過(guò)程中工藝步驟之間存在非作業(yè)時(shí)間超時(shí)的問(wèn)題，導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品的產(chǎn)品質(zhì)量較低。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定方法，包括：獲取機(jī)臺(tái)在對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中生成的數(shù)據(jù)庫(kù)信息；根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中的第一時(shí)長(zhǎng)，其中所述第一時(shí)長(zhǎng)包括對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)；根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息，確定所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)；根據(jù)所述第一時(shí)長(zhǎng)和所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)。

基于同樣的發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定系統(tǒng)，包括：獲取單元，用于獲取機(jī)臺(tái)在對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中生成的數(shù)據(jù)庫(kù)信息；第一確定單元，用于根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中的第一時(shí)長(zhǎng)，其中所述第一時(shí)長(zhǎng)包括對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)；第二確定單元，用于根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息，確定所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)；非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)確定單元，用于根據(jù)所述第一時(shí)長(zhǎng)和所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)。

本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)主動(dòng)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)在對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中生成的數(shù)據(jù)庫(kù)信息確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中的第一時(shí)長(zhǎng)，其中所述第一時(shí)長(zhǎng)包括半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，并且確定第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，通過(guò)所述第一時(shí)長(zhǎng)和所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)的差值確定半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，進(jìn)而通過(guò)對(duì)該所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)的監(jiān)測(cè)達(dá)到管控半導(dǎo)體產(chǎn)線作業(yè)的目的，以提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的產(chǎn)品質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)要介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定方法流程示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供一種第一時(shí)長(zhǎng)與作業(yè)時(shí)長(zhǎng)的關(guān)系示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定系統(tǒng)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定系統(tǒng)設(shè)置圖像界面。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部份實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本發(fā)明實(shí)施例中提到的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)是指半導(dǎo)體產(chǎn)品在機(jī)臺(tái)上進(jìn)行加工處理的時(shí)間長(zhǎng)度，同理，所謂非作業(yè)時(shí)長(zhǎng)是指半導(dǎo)體產(chǎn)品在線下處于等待、冷卻等處理的時(shí)間長(zhǎng)度。

機(jī)臺(tái)和后臺(tái)服務(wù)器連接，當(dāng)機(jī)臺(tái)上有半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行作業(yè)時(shí)，機(jī)臺(tái)會(huì)自動(dòng)向后臺(tái)上報(bào)半導(dǎo)體進(jìn)入機(jī)臺(tái)的時(shí)刻和離開(kāi)機(jī)臺(tái)的時(shí)刻，同時(shí)也會(huì)記錄當(dāng)前半導(dǎo)體進(jìn)行的工藝步驟的標(biāo)識(shí)信息，以便于后臺(tái)服務(wù)器識(shí)別半導(dǎo)體在進(jìn)行第幾步工藝步驟。

通常半導(dǎo)體產(chǎn)品在進(jìn)行工藝處理之前，MES系統(tǒng)會(huì)預(yù)先生成整個(gè)處理的工藝步驟，當(dāng)半導(dǎo)體產(chǎn)品完成第一步工藝步驟之后會(huì)按照?qǐng)?zhí)行順序依次完成后面的工藝步驟，例如肖特基二極管基本的制造工藝流程為：

編批——擦片——前處理——一次氧化——QC檢查——P⁺光刻——QC檢查——硼注入——前處理——P⁺擴(kuò)散與氧化——QC檢查——三次光刻——QC檢查——前處理——鉻濺射前泡酸——鉻濺射——QC檢查——先行片熱處理——先行片后處理——特性檢測(cè)——熱處理——后處理——特性測(cè)試——前處理——鈦/鋁蒸發(fā)——QC檢查——四次光刻——QC檢查——前處理——氮?dú)夂辖鹣刃小獨(dú)夂辖稹匦詼y(cè)試——大片測(cè)試——中測(cè)——反向測(cè)試(抗靜電測(cè)試)——中測(cè)檢驗(yàn)——如中轉(zhuǎn)庫(kù)。

參見(jiàn)圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定方法流程示意圖，具體地實(shí)現(xiàn)方法包括：

步驟S101，獲取機(jī)臺(tái)在對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中生成的數(shù)據(jù)庫(kù)信息。

步驟S102，根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中的第一時(shí)長(zhǎng)，其中所述第一時(shí)長(zhǎng)包括對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)。

步驟S103，根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息，確定所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)。

步驟S104，根據(jù)所述第一時(shí)長(zhǎng)和所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)。

在步驟S101中，一般通過(guò)數(shù)據(jù)庫(kù)查詢接口周期查詢當(dāng)前機(jī)臺(tái)生成的數(shù)據(jù)庫(kù)信息，周期一般設(shè)置為五分鐘一次自動(dòng)查詢，將每次獲取的數(shù)據(jù)庫(kù)信息按照設(shè)定的確定方法進(jìn)行確定，這樣，可以更加實(shí)時(shí)的確定非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度。

在執(zhí)行步驟S103之中，所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)不一定是半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程每一個(gè)工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)的總和，主要涉及以下四種場(chǎng)景，并針對(duì)這四種場(chǎng)景提供了圖2，便于描述。

場(chǎng)景一：

若所述第一時(shí)長(zhǎng)為半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)起始時(shí)刻到半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個(gè)工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時(shí)刻，則所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括所有工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

具體地，若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T0，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T3，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S1、S2、S3、S4、S5的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

場(chǎng)景二：

若所述第一時(shí)長(zhǎng)為半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時(shí)刻到半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個(gè)工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時(shí)刻，則所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括除了第一工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

具體地，若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T1，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T3，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S2、S3、S4、S5的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

場(chǎng)景三：

若所述第一時(shí)長(zhǎng)為半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)起始時(shí)刻到半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個(gè)工藝步驟的作業(yè)起始時(shí)刻，則所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括除了最后一個(gè)工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)；

具體地，若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T0，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T2，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S1、S2、S3、S4的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

場(chǎng)景四：

若所述第一時(shí)長(zhǎng)為半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時(shí)刻到半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個(gè)工藝步驟的作業(yè)起始時(shí)刻，則所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括除了第一工藝步驟和最后一個(gè)工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

具體地，若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T1，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T2，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S2、S3、S4的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

其中，在步驟S104中，根據(jù)所述第一時(shí)長(zhǎng)和所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，將第一時(shí)長(zhǎng)與所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)作差，通過(guò)差值確定半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)。

具體地，參照?qǐng)D2，若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T0，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T3，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S1、S2、S3、S4、S5的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)，那么第一時(shí)長(zhǎng)與所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)的差值就是圖中線下等待的時(shí)段D1、D2、D3、D4的總和，從圖2中也可以得出，無(wú)論第一時(shí)長(zhǎng)的起始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻如何選擇，非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)均是線下等待的時(shí)段D1、D2、D3、D4的總和。

進(jìn)一步地，當(dāng)確定非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度之后，就可以根據(jù)該非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度與設(shè)定的第一閾值做比較，若所述所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)超過(guò)所述第一閾值，則向機(jī)臺(tái)發(fā)出停止作業(yè)信息或通知機(jī)臺(tái)操作人員作業(yè)超時(shí)。這樣，當(dāng)確實(shí)發(fā)生超時(shí)的問(wèn)題后，及時(shí)停止該半導(dǎo)體產(chǎn)品的作業(yè)，將其從產(chǎn)線中去除，可以降低產(chǎn)品的不良率，其中，第一閾值通常來(lái)自機(jī)臺(tái)操作人員的經(jīng)驗(yàn)值。

具體地，通知機(jī)臺(tái)操作人員作業(yè)超時(shí)的動(dòng)作可以通過(guò)郵件通知，將具體是 哪個(gè)步驟超時(shí)告知操作人員，以便及時(shí)補(bǔ)救，也可以通過(guò)警報(bào)等聲音設(shè)備，亦或是通過(guò)短信等其它通訊方式。

考慮到為了盡量避免超時(shí)現(xiàn)象的發(fā)生，本發(fā)明實(shí)施例還進(jìn)一步地提供預(yù)警信息，若所述所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)大于第二閾值且不大于所述第一閾值，則通知機(jī)臺(tái)操作人員作業(yè)即將超時(shí)，這樣，機(jī)臺(tái)操作人員收到預(yù)警信息后及時(shí)采取措施可以避免不良率產(chǎn)品的出現(xiàn)，其中，第二閾值通常為第一閾值的臨近值，一般取第一閾值的十分之九左右，也是可以由操作人員根據(jù)需要自行設(shè)置的。

預(yù)警信息也可以通過(guò)郵件通知，將具體是哪個(gè)步驟超時(shí)告知操作人員，以便及時(shí)補(bǔ)救，也可以通過(guò)警報(bào)等聲音設(shè)備，亦或是通過(guò)短信等其它通訊方式。

基于相同的技術(shù)構(gòu)思，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定系統(tǒng)，如圖3所示，該系統(tǒng)可執(zhí)行上述方法實(shí)施例。該系統(tǒng)包括：獲取單元201、第一確定單元202、第二確定單元203、非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)確定單元204。

獲取單元201，用于獲取機(jī)臺(tái)在對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中生成的數(shù)據(jù)庫(kù)信息；

第一確定單元202，用于根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中的第一時(shí)長(zhǎng)，其中所述第一時(shí)長(zhǎng)包括對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)；

第二確定單元203，用于根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)信息，確定所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)；

非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)確定單元204，用于根據(jù)所述第一時(shí)長(zhǎng)和所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)。具體地，參照?qǐng)D2，若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T0，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T3，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S1、S2、S3、S4、S5的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)，那么第一時(shí)長(zhǎng)與所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)的差值就是圖中線下等待的時(shí)段D1、D2、D3、D4的總和，從圖2中也可以得出，無(wú)論第一時(shí)長(zhǎng)的起始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻如何選擇，非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)均是線下等待的時(shí)段D1、D2、D3、D4的總和。

其中，所述獲取單元具體用于：通過(guò)數(shù)據(jù)庫(kù)查詢接口周期查詢當(dāng)前機(jī)臺(tái)生成的數(shù)據(jù)庫(kù)信息，周期一般設(shè)置為五分鐘一次自動(dòng)查詢，這樣提高了確定非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度的實(shí)時(shí)性。

另外，第二確定單元203中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)具有如下特點(diǎn)：若所述第一時(shí)長(zhǎng)為半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)起始時(shí)刻到半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個(gè)工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時(shí)刻，則所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括所有工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)；

若所述第一時(shí)長(zhǎng)為半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時(shí)刻到半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個(gè)工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時(shí)刻，則所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括除了第一工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)；

若所述第一時(shí)長(zhǎng)為半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)起始時(shí)刻到半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個(gè)工藝步驟的作業(yè)起始時(shí)刻，則所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括除了最后一個(gè)工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)；

若所述第一時(shí)長(zhǎng)為半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時(shí)刻到半導(dǎo)體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個(gè)工藝步驟的作業(yè)起始時(shí)刻，則所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括除了第一工藝步驟和最后一個(gè)工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

具體地，如圖2所示，第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T0，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T3，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S1、S2、S3、S4、S5的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)；若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T1，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T3，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S2、S3、S4、S5的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)；若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T0，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T2，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S1、S2、S3、S4的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)；若第一時(shí)長(zhǎng)計(jì)算的起始時(shí)刻是T1，計(jì)算的結(jié)束時(shí)刻是T2，則第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)包括工藝步驟S2、S3、S4的作業(yè)時(shí)長(zhǎng)。

進(jìn)一步地，當(dāng)確定非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度之后，就可以根據(jù)該非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度通過(guò)判斷處理單元205進(jìn)行管控，具體地，判斷處理單元205，用于若所述所有非 作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)超過(guò)所述第一閾值，則向機(jī)臺(tái)發(fā)出停止作業(yè)信息或通知機(jī)臺(tái)操作人員作業(yè)超時(shí)。其中，第一閾值通常來(lái)自機(jī)臺(tái)操作人員的經(jīng)驗(yàn)值。這樣，當(dāng)確實(shí)發(fā)生超時(shí)的問(wèn)題后，及時(shí)停止該半導(dǎo)體產(chǎn)品的作業(yè)，將其從產(chǎn)線中去除，可以降低產(chǎn)品的不良率。

具體地，通知機(jī)臺(tái)操作人員作業(yè)超時(shí)的動(dòng)作可以通過(guò)郵件通知，將具體是哪個(gè)步驟超時(shí)告知操作人員，以便及時(shí)補(bǔ)救，也可以通過(guò)警報(bào)等聲音設(shè)備，亦或是通過(guò)短信等其它通訊方式。

考慮到為了盡量避免超時(shí)現(xiàn)象的發(fā)生，所述判斷處理單元還用于：

若所述所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)大于第二閾值且不大于所述第一閾值，則通知機(jī)臺(tái)操作人員作業(yè)即將超時(shí)。這樣，機(jī)臺(tái)操作人員收到預(yù)警信息后及時(shí)采取措施可以避免不良率產(chǎn)品的出現(xiàn)。其中，第二閾值通常為第一閾值的臨近值，一般取第一閾值的十分之九左右，也是可以由操作人員根據(jù)需要自行設(shè)置的。

預(yù)警信息也可以通過(guò)郵件通知，將具體是哪個(gè)步驟超時(shí)告知操作人員，以便及時(shí)補(bǔ)救，也可以通過(guò)警報(bào)等聲音設(shè)備，亦或是通過(guò)短信等其它通訊方式。

為了進(jìn)一步地對(duì)上述非作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)度確定系統(tǒng)進(jìn)行闡述，本發(fā)明實(shí)施例還提供圖4，用于舉例說(shuō)明實(shí)際的軟件設(shè)定程序。

圖4中在系統(tǒng)中預(yù)先設(shè)定每一類半導(dǎo)體工藝中工藝步驟之間的要求，例如當(dāng)晶圓片從工藝PAS_DEP開(kāi)始計(jì)算時(shí)間，到后面第七個(gè)工藝步驟之間的等待時(shí)間不能超過(guò)12小時(shí)，否則就會(huì)發(fā)郵箱到指定操作人員。

綜上所述，本發(fā)明通過(guò)主動(dòng)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)在對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中生成的數(shù)據(jù)庫(kù)信息確定對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中的第一時(shí)長(zhǎng)，其中所述第一時(shí)長(zhǎng)包括半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，并且確定第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，通過(guò)所述第一時(shí)長(zhǎng)和所述第一時(shí)長(zhǎng)中的所有作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)的差值確定半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過(guò)程中所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)，進(jìn)而通過(guò)對(duì)該所有非作業(yè)總時(shí)長(zhǎng)的監(jiān)測(cè)，監(jiān)測(cè)是否超時(shí)或者超過(guò)第二閾值進(jìn)行告警、預(yù)警等管控，降低產(chǎn)品的不良率，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

本發(fā)明是參照根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法、設(shè)備(系統(tǒng))、和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的流程圖和/或方框圖來(lái)描述的。應(yīng)理解可由計(jì)算機(jī)程序指令實(shí)現(xiàn)流程圖和/或方框圖中的每一流程和/或方框、以及流程圖和/或方框圖中的流程和/或方框的結(jié)合?？商峁┻@些計(jì)算機(jī)程序指令到通用計(jì)算機(jī)、專用計(jì)算機(jī)、嵌入式處理機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理設(shè)備的處理器以產(chǎn)生一個(gè)機(jī)器，使得通過(guò)計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理設(shè)備的處理器執(zhí)行的指令產(chǎn)生用于實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能的裝置。

這些計(jì)算機(jī)程序指令也可存儲(chǔ)在能引導(dǎo)計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理設(shè)備以特定方式工作的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)器中，使得存儲(chǔ)在該計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)器中的指令產(chǎn)生包括指令裝置的制造品，該指令裝置實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能。

這些計(jì)算機(jī)程序指令也可裝載到計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理設(shè)備上，使得在計(jì)算機(jī)或其他可編程設(shè)備上執(zhí)行一系列操作步驟以產(chǎn)生計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的處理，從而在計(jì)算機(jī)或其他可編程設(shè)備上執(zhí)行的指令提供用于實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能的步驟。

盡管已描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對(duì)這些實(shí)施例作出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實(shí)施例以及落入本發(fā)明范圍的所有變更和修改。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。