半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法
【專利摘要】一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法，其中所述半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)包括：若干批次產(chǎn)品；處理站點(diǎn)；關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元；機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間預(yù)測(cè)單元；約束檢查單元和分配單元。所述分配單元根據(jù)關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元獲得的關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔和機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間預(yù)測(cè)單元獲得的處理站點(diǎn)各機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔，計(jì)算約束檢查單元獲得的各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口。本發(fā)明的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法縮短了關(guān)鍵批次產(chǎn)品等待時(shí)間，合理安排了機(jī)臺(tái)資源。
【專利說明】半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 在集成電路的生產(chǎn)制造過程中，存在成百甚至上千道工序，晶圓（Wafer)經(jīng)過所有 工序后才能形成最終產(chǎn)品。在正常情況下，晶圓按照預(yù)先設(shè)定好的工藝流程一步一步地執(zhí) 行每一道工序，也就是說，預(yù)先設(shè)定好了工藝流程中每一道工序的內(nèi)容、具體的工藝參數(shù)， 還預(yù)先設(shè)定好了每一道工序執(zhí)行的時(shí)間順序，根據(jù)預(yù)先設(shè)定好的工藝流程，控制晶圓依次 執(zhí)行每一道工序。
[0003] 但是在很多情況下，集成電路的制造過程中，存在關(guān)鍵批次產(chǎn)品（Bullet lot)的 生產(chǎn)。所述的關(guān)鍵批次產(chǎn)品一方面可能是新量產(chǎn)（ΝΤΟ :New type out)的批次產(chǎn)品，即客戶 在晶圓代工廠（FAB)中大量投單之前，事先小量投產(chǎn)生產(chǎn)，再依據(jù)這批產(chǎn)品最終的質(zhì)量和訂 單交付速度來決定是否需要跟進(jìn)大量投單，因此ΝΤ0 lot可以給晶圓代工廠帶來大量的后 續(xù)訂單以及顯著的產(chǎn)能和業(yè)績(jī)提高；另外一方面，晶圓代工廠日常運(yùn)行時(shí)會(huì)有某段制程出 現(xiàn)異常的批次產(chǎn)品，工程師在發(fā)現(xiàn)并解決這一異常后，急需通過處理這個(gè)批次產(chǎn)品來驗(yàn)證 解決方法的合理性，如果驗(yàn)證通過則可以將這一解決方案快速推廣到全廠的生產(chǎn)當(dāng)中，為 晶圓代工廠的良率和產(chǎn)出做出重要貢獻(xiàn)；又或者工程師研發(fā)了一項(xiàng)新技術(shù)，并且該技術(shù)可 能會(huì)給晶圓代工廠帶來制程水平的提升，從而使更多的客戶來晶圓代工廠投訂單，則這樣 的批次產(chǎn)品也希望盡快處理。由此可見，關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理對(duì)晶圓代工廠的良率提高、產(chǎn) 能提升和工藝制程水平的提高具有重要影響，因此需要進(jìn)行優(yōu)先處理。
[0004] 但是，晶圓代工廠的資源是有限的，如何在保證正常生產(chǎn)不受影響的同時(shí)，更合理 的將系統(tǒng)資源分配給關(guān)鍵批次產(chǎn)品是一個(gè)復(fù)雜的問題。圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)的關(guān)鍵批次產(chǎn) 品的處理流程示意圖，包括：
[0005] 步驟S101，線上操作員查看處理站點(diǎn)是否有可以處理的關(guān)鍵批次產(chǎn)品，若是則執(zhí) 行步驟S102,若否則執(zhí)行步驟S103 ;
[0006] 步驟S102,處理關(guān)鍵批次產(chǎn)品；
[0007] 步驟S103,判斷是否有將要到達(dá)處理站點(diǎn)的關(guān)鍵批次產(chǎn)品，若是則執(zhí)行步驟 S104,若否則執(zhí)行步驟S105 ;
[0008] 步驟S104,空機(jī)臺(tái)等待關(guān)鍵批次產(chǎn)品；
[0009] 步驟S105,處理其他批次產(chǎn)品。
[0010] 現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品管理和處理方法粗略，無法達(dá)到優(yōu)化晶圓代工廠產(chǎn) 能的目的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 本發(fā)明解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理方法粗略，無法達(dá)到優(yōu)化晶 圓代工廠產(chǎn)能的目的。
[0012] 為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，包括：若干批次 產(chǎn)品，所述批次產(chǎn)品包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品；處理站點(diǎn)，所述處理站點(diǎn)包括若干機(jī)臺(tái)端口，所述 機(jī)臺(tái)端口適于處理所述批次產(chǎn)品；關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元，適于收集所述批次產(chǎn) 品的工藝流程信息，并根據(jù)所述工藝流程信息計(jì)算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間 隔；機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間預(yù)測(cè)單元，適于根據(jù)機(jī)臺(tái)端口的運(yùn)行信息計(jì)算各機(jī)臺(tái)端口的 下一次可用時(shí)間間隔；約束檢查單元，適于根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和 所述機(jī)臺(tái)端口相匹配，獲得各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)時(shí)的可使用機(jī)臺(tái)端口；分配單元， 適于根據(jù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔和處理站點(diǎn)各機(jī)臺(tái)端口的下一次可 用時(shí)間間隔，計(jì)算各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品 數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口。
[0013] 可選的，所述分配單元計(jì)算各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)包括：將所 有關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔與某一可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔 進(jìn)行比較；當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔小于或等于該可使用機(jī)臺(tái)端口的 下一次可用時(shí)間間隔時(shí)，則該可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加1，當(dāng)某一關(guān)鍵批次 產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔大于該可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔時(shí)，則該可使 用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加0。
[0014] 可選的，所述分配單元按照所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī) 臺(tái)端口包括以下步驟：步驟S301，獲取各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)；步驟 S302,將按時(shí)間順序最早到達(dá)處理站點(diǎn)的關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配給總可處理批次產(chǎn)品數(shù)最小的 可使用機(jī)臺(tái)端口，去除已分配的關(guān)鍵批次產(chǎn)品和可使用機(jī)臺(tái)端口；步驟S303,判斷是否所 有可使用機(jī)臺(tái)端口已經(jīng)分配完畢，若是則執(zhí)行步驟S304,若否則執(zhí)行步驟S302 ;步驟S304， 判斷是否所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品已分配到機(jī)臺(tái)端口，若是則結(jié)束，若否則執(zhí)行步驟S305 ;步驟 S305,提示線上操作員為未分配機(jī)臺(tái)端口的關(guān)鍵批次產(chǎn)品預(yù)留機(jī)臺(tái)端口。
[0015] 可選的，還包括設(shè)定和維護(hù)單元，適于在所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元收 集各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔之前，設(shè)定和維護(hù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息。
[0016] 可選的，所述機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間預(yù)測(cè)單元獲得各機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí) 間間隔包括：根據(jù)機(jī)臺(tái)端口實(shí)時(shí)處理信息，獲得當(dāng)前正在處理的批次產(chǎn)品信息；根據(jù)該批 次產(chǎn)品信息和該批次產(chǎn)品的工藝流程信息，獲得該機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間間隔。
[0017] 可選的，還包括排序和顯示單元，適于在所述分配單元按照總可處理批次產(chǎn)品數(shù) 為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口后，對(duì)各關(guān)鍵批次產(chǎn)品進(jìn)行排序和顯示。
[0018] 對(duì)應(yīng)的，本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，包括：提供若干批次產(chǎn) 品，所述批次產(chǎn)品包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品；提供處理站點(diǎn)，所述處理站點(diǎn)包括若干機(jī)臺(tái)端口，所 述機(jī)臺(tái)端口適于處理所述批次產(chǎn)品；收集所述批次產(chǎn)品的工藝流程信息，并根據(jù)所述工藝 流程信息計(jì)算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔；根據(jù)機(jī)臺(tái)端口的運(yùn)行信息計(jì)算各 機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔；根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和所述機(jī)臺(tái) 端口相匹配，獲得各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)時(shí)的可使用機(jī)臺(tái)端口；根據(jù)所述關(guān)鍵批次 產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔和處理站點(diǎn)各機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔，計(jì)算各可使 用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配 機(jī)臺(tái)端口。
[0019] 可選的，所述計(jì)算各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)包括：將所有關(guān)鍵批 次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔與某一可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔進(jìn)行比較； 當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔小于或等于該可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可 用時(shí)間間隔時(shí)，則該可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加1，當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá) 處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔大于該可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔時(shí)，則該可使用機(jī)臺(tái)端 口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加〇。
[0020] 可選的，所述按照總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口包括以 下步驟：步驟S301，獲取各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)；步驟S302,將按時(shí)間順 序最早到達(dá)處理站點(diǎn)的關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配給總可處理批次產(chǎn)品數(shù)最小的可使用機(jī)臺(tái)端口， 去除已分配的關(guān)鍵批次產(chǎn)品和可使用機(jī)臺(tái)端口；步驟S303,判斷是否所有可使用機(jī)臺(tái)端口 已經(jīng)分配完畢，若是則執(zhí)行步驟S304,若否則執(zhí)行步驟S302 ;步驟S304,判斷是否所述關(guān)鍵 批次產(chǎn)品已分配到機(jī)臺(tái)端口，若是則結(jié)束，若否則執(zhí)行步驟S305 ;步驟S305,提示線上操作 員為未分配機(jī)臺(tái)端口的關(guān)鍵批次產(chǎn)品預(yù)留機(jī)臺(tái)端口。
[0021] 可選的，還包括，在收集各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔之前，設(shè)定和維 護(hù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息。
[0022] 可選的，所述獲得各機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔包括：根據(jù)機(jī)臺(tái)端口實(shí)時(shí)處 理信息，獲得當(dāng)前正在處理的批次產(chǎn)品信息；根據(jù)該批次產(chǎn)品信息和該批次產(chǎn)品的工藝流 程信息，獲得該機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間間隔。
[0023] 可選的，還包括，在按照總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口后， 對(duì)各關(guān)鍵批次廣品進(jìn)行排序和顯不。
[0024] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：
[0025] 本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)和方法中，規(guī)劃人員或者管理人員可 以實(shí)時(shí)的設(shè)定和維護(hù)關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息，保證數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)性和準(zhǔn)確性，再根據(jù)關(guān)鍵批次 產(chǎn)品的工藝流程信息獲得其到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔，根據(jù)處理站點(diǎn)各機(jī)臺(tái)端口的運(yùn)行信 息，獲得各機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔，同時(shí)結(jié)合機(jī)臺(tái)資源的使用情況，按照各機(jī)臺(tái)端 口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口，可以達(dá)到縮短關(guān)鍵批次產(chǎn)品等 待時(shí)間，合理安排機(jī)臺(tái)資源的目的；另外，通過對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品進(jìn)行排序和顯示，可以使線 上操作員實(shí)時(shí)獲取關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理信息，極大的降低了生產(chǎn)復(fù)雜性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026] 圖1是現(xiàn)有技術(shù)的關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理流程示意圖；
[0027] 圖2是本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028] 圖3是本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)中，分配單元為各關(guān)鍵批次產(chǎn) 品分配機(jī)臺(tái)端口的流程示意圖；
[0029] 圖4是本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法的流程示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0030] 由【背景技術(shù)】可知，現(xiàn)有技術(shù)對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理方法粗略，無法達(dá)到優(yōu)化晶圓 代工廠產(chǎn)能的目的。
[0031] 本發(fā)明的發(fā)明人通過研究現(xiàn)有技術(shù)的對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品的處理方法，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù) 中采用關(guān)鍵批次產(chǎn)品報(bào)告（Bullet lot report)，在關(guān)鍵批次產(chǎn)品報(bào)告中將關(guān)鍵批次產(chǎn)品 的歷史可參考的處理時(shí)間加上固定的五分鐘的隊(duì)列時(shí)間（Queue time)作為該關(guān)鍵批次產(chǎn) 品的生產(chǎn)周期，并在關(guān)鍵批次產(chǎn)品報(bào)告中依次排列出各關(guān)鍵批次產(chǎn)品的時(shí)程。然后按照如 圖1所示的處理流程進(jìn)行處理，線上操作員查看處理站點(diǎn)是否有可以處理的關(guān)鍵批次產(chǎn) 品，有的話就優(yōu)先處理該關(guān)鍵批次產(chǎn)品；沒有的話就查看關(guān)鍵批次產(chǎn)品報(bào)告，判斷是否有將 要到達(dá)處理站點(diǎn)的關(guān)鍵批次產(chǎn)品，如果有的話就需要空機(jī)臺(tái)等待該關(guān)鍵批次產(chǎn)品的到來。 但是，現(xiàn)有技術(shù)中并沒有考慮線上的實(shí)際產(chǎn)能和約束，對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品的管理和處理，線上 操作員通過關(guān)鍵批次產(chǎn)品報(bào)告來處理，其方法粗略，當(dāng)線上操作員面對(duì)復(fù)雜而繁瑣的管理 規(guī)則和先后派貨順序，無法對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品進(jìn)行合理安排。
[0032] 基于以上研究，本發(fā)明的發(fā)明人提出一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，首先關(guān)鍵 批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元根據(jù)工藝流程信息，獲得關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間 隔；其次機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間預(yù)測(cè)單元根據(jù)處理站點(diǎn)各機(jī)臺(tái)的運(yùn)行信息，獲得各機(jī)臺(tái) 端口的下一次可用時(shí)間間隔；約束檢查單元根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和 所述機(jī)臺(tái)端口相匹配，獲得各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)時(shí)的可使用機(jī)臺(tái)端口；分配單元 再根據(jù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔和處理站點(diǎn)各機(jī)臺(tái)端口的下一次可用 時(shí)間間隔，計(jì)算各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù) 為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口。由于對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品的分配以各機(jī)臺(tái)端口的總可處理批 次產(chǎn)品數(shù)為依據(jù)，結(jié)合了機(jī)臺(tái)資源的使用情況，使得本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處 理方法縮短了關(guān)鍵批次產(chǎn)品的等待時(shí)間，合理安排了機(jī)臺(tái)資源。
[0033] 為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明 的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說明。需要說明的是，提供這些附圖的目的是有助于理解本發(fā)明的 實(shí)施例，而不應(yīng)解釋為對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)?shù)南拗啤?br> [0034] 請(qǐng)參考圖2,圖2為本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，包 括：若干批次產(chǎn)品201、處理站點(diǎn)202、關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元203、機(jī)臺(tái)端口下一 次可用時(shí)間預(yù)測(cè)單元204、約束檢查單元205和分配單元206。
[0035] 所述若干批次產(chǎn)品201 (lot)包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品（Bullet lot)。
[0036] 在集成電路的制造過程中，存在關(guān)鍵批次產(chǎn)品。所述若干批次產(chǎn)品201包括關(guān)鍵 批次產(chǎn)品和其他非關(guān)鍵批次產(chǎn)品，所述的關(guān)鍵批次產(chǎn)品通常對(duì)晶圓代工廠的良率提高和產(chǎn) 能提升等具有重要影響，需要采用特殊的派工方法，進(jìn)行優(yōu)先處理。本實(shí)施例中，所述關(guān)鍵 批次產(chǎn)品可以為客戶在晶圓代工廠中大量投單之前的新量產(chǎn)的批次產(chǎn)品；也可以為晶圓代 工廠中解決制程異常的批次產(chǎn)品；還可以為晶圓代工廠中提高制程水平的批次產(chǎn)品。
[0037] 本實(shí)施例中，還包括設(shè)定和維護(hù)單元(未圖示)，工程師通過所述設(shè)定和維護(hù)單元 根據(jù)關(guān)鍵批次產(chǎn)品具體特性，設(shè)定和維護(hù)關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息，包括了關(guān)鍵批次產(chǎn)品的各 工藝步驟，以及各工藝步驟所需的生產(chǎn)周期等信息。
[0038] 所述處理站點(diǎn)202包括若干機(jī)臺(tái)端口，所述機(jī)臺(tái)端口適于處理所述批次產(chǎn)品201。
[0039] 本實(shí)施例中，所述處理站點(diǎn)202可以為鍍膜、光刻、刻蝕或量測(cè)等半導(dǎo)體工藝流程 中的任一處理站點(diǎn)。所述處理站點(diǎn)202具有若干機(jī)臺(tái)，各個(gè)機(jī)臺(tái)具有一個(gè)或多個(gè)機(jī)臺(tái)端口， 用于處理所述批次產(chǎn)品201。
[0040] 所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元203用于收集所述批次產(chǎn)品201的工藝流 程信息，并根據(jù)所述工藝流程信息計(jì)算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔（Bullet lot arriving time interval)。
[0041] 現(xiàn)有的晶圓代工廠中，通常建立有模擬系統(tǒng)，如移動(dòng)預(yù)測(cè)系統(tǒng)(move forecast system)，該模擬系統(tǒng)可以模擬一天當(dāng)中，各個(gè)批次產(chǎn)品的每一個(gè)工藝步驟的生產(chǎn)周期信息 (CT:Cycle time)等，并記錄在數(shù)據(jù)庫(kù)中。本實(shí)施例中，所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單 元203收集所述批次產(chǎn)品201的工藝流程信息，根據(jù)工藝流程信息獲得關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá) 處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔，即是通過移動(dòng)預(yù)測(cè)系統(tǒng)對(duì)關(guān)鍵批次產(chǎn)品工藝流程中各個(gè)工藝步驟的 周期信息進(jìn)行計(jì)算后獲得的。
[0042] 請(qǐng)參考表1，表1示出了在一具體實(shí)施例中，所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元 203根據(jù)工藝流程信息，所獲得的關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔，表1中各關(guān)鍵批 次產(chǎn)品L0T1?L0T8到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔的單位為分鐘，例如，關(guān)鍵批次產(chǎn)品L0T1已 到達(dá)處理站點(diǎn)，其到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔為0 ;關(guān)鍵批次產(chǎn)品L0T3到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間 間隔為20分鐘等等。在其他實(shí)施例中，所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品也可以具有其他數(shù)量，所述關(guān)鍵 批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間也可以采用其他時(shí)間單位。
[0043]

【權(quán)利要求】
1. 一種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，包括： 若干批次產(chǎn)品，所述批次產(chǎn)品包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品； 處理站點(diǎn)，所述處理站點(diǎn)包括若干機(jī)臺(tái)端口，所述機(jī)臺(tái)端口適于處理所述批次產(chǎn)品； 關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元，適于收集所述批次產(chǎn)品的工藝流程信息，并根據(jù)所 述工藝流程信息計(jì)算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔； 機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間預(yù)測(cè)單元，適于根據(jù)機(jī)臺(tái)端口的運(yùn)行信息計(jì)算各機(jī)臺(tái)端口的 下一次可用時(shí)間間隔； 約束檢查單元，適于根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和所述機(jī)臺(tái)端口相匹 配，獲得各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)時(shí)的可使用機(jī)臺(tái)端口； 分配單元，適于根據(jù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔和處理站點(diǎn)各機(jī)臺(tái)端 口的下一次可用時(shí)間間隔，計(jì)算各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可 處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口。
2. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述分配單元計(jì)算 各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)包括：將所有關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間 間隔與某一可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔進(jìn)行比較；當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處 理站點(diǎn)的時(shí)間間隔小于或等于該可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔時(shí)，則該可使用機(jī) 臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加1，當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔大于該 可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔時(shí)，則該可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加 0〇
3. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述分配單元按照 所述總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口包括以下步驟： 步驟S301，獲取各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)； 步驟S302,將按時(shí)間順序最早到達(dá)處理站點(diǎn)的關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配給總可處理批次產(chǎn)品 數(shù)最小的可使用機(jī)臺(tái)端口，去除已分配的關(guān)鍵批次產(chǎn)品和可使用機(jī)臺(tái)端口； 步驟S303,判斷是否所有可使用機(jī)臺(tái)端口已經(jīng)分配完畢，若是則執(zhí)行步驟S304,若否 則執(zhí)行步驟S302 ; 步驟S304,判斷是否所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品已分配到機(jī)臺(tái)端口，若是則結(jié)束，若否則執(zhí)行步 驟 S305 ; 步驟S305,提示線上操作員為未分配機(jī)臺(tái)端口的關(guān)鍵批次產(chǎn)品預(yù)留機(jī)臺(tái)端口。
4. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)定和維護(hù) 單元，適于在所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)時(shí)間預(yù)測(cè)單元收集各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí) 間間隔之前，設(shè)定和維護(hù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息。
5. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)端口下一 次可用時(shí)間預(yù)測(cè)單元獲得各機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔包括：根據(jù)機(jī)臺(tái)端口實(shí)時(shí)處理 信息，獲得當(dāng)前正在處理的批次產(chǎn)品信息；根據(jù)該批次產(chǎn)品信息和該批次產(chǎn)品的工藝流程 信息，獲得該機(jī)臺(tái)端口下一次可用時(shí)間間隔。
6. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括排序和顯示 單元，適于在所述分配單元按照總可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口后， 對(duì)各關(guān)鍵批次廣品進(jìn)行排序和顯不。
7. -種半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，包括： 提供若干批次產(chǎn)品，所述批次產(chǎn)品包括關(guān)鍵批次產(chǎn)品； 提供處理站點(diǎn)，所述處理站點(diǎn)包括若干機(jī)臺(tái)端口，所述機(jī)臺(tái)端口適于處理所述批次產(chǎn) 品； 收集所述批次產(chǎn)品的工藝流程信息，并根據(jù)所述工藝流程信息計(jì)算各關(guān)鍵批次產(chǎn)品到 達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔； 根據(jù)機(jī)臺(tái)端口的運(yùn)行信息計(jì)算各機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔； 根據(jù)所述工藝流程信息將所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品和所述機(jī)臺(tái)端口相匹配，獲得各關(guān)鍵批次 產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)時(shí)的可使用機(jī)臺(tái)端口； 根據(jù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔和處理站點(diǎn)各機(jī)臺(tái)端口的下一次可 用時(shí)間間隔，計(jì)算各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)，按照所述總可處理批次產(chǎn)品 數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口。
8. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，所述計(jì)算各可使用 機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)包括：將所有關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔與某 一可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔進(jìn)行比較；當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的 時(shí)間間隔小于或等于該可使用機(jī)臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔時(shí)，則該可使用機(jī)臺(tái)端口的 總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加1，當(dāng)某一關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔大于該可使用機(jī) 臺(tái)端口的下一次可用時(shí)間間隔時(shí)，則該可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)加0。
9. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，所述按照總可處理 批次產(chǎn)品數(shù)，為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口包括以下步驟： 步驟S301，獲取各可使用機(jī)臺(tái)端口的總可處理批次產(chǎn)品數(shù)； 步驟S302,將按時(shí)間順序最早到達(dá)處理站點(diǎn)的關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配給總可處理批次產(chǎn)品 數(shù)最小的可使用機(jī)臺(tái)端口，去除已分配的關(guān)鍵批次產(chǎn)品和可使用機(jī)臺(tái)端口； 步驟S303,判斷是否所有可使用機(jī)臺(tái)端口已經(jīng)分配完畢，若是則執(zhí)行步驟S304,若否 則執(zhí)行步驟S302 ; 步驟S304,判斷是否所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品已分配到機(jī)臺(tái)端口，若是則結(jié)束，若否則執(zhí)行步 驟 S305 ; 步驟S305,提示線上操作員為未分配機(jī)臺(tái)端口的關(guān)鍵批次產(chǎn)品預(yù)留機(jī)臺(tái)端口。
10. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，還包括，在收集各 關(guān)鍵批次產(chǎn)品到達(dá)處理站點(diǎn)的時(shí)間間隔之前，設(shè)定和維護(hù)所述關(guān)鍵批次產(chǎn)品的信息。
11. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，所述獲得各機(jī)臺(tái)端 口的下一次可用時(shí)間間隔包括：根據(jù)機(jī)臺(tái)端口實(shí)時(shí)處理信息，獲得當(dāng)前正在處理的批次產(chǎn) 品信息；根據(jù)該批次產(chǎn)品信息和該批次產(chǎn)品的工藝流程信息，獲得該機(jī)臺(tái)端口下一次可用 時(shí)間間隔。
12. 如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體批次產(chǎn)品的處理方法，其特征在于，還包括，在按照總 可處理批次產(chǎn)品數(shù)為各關(guān)鍵批次產(chǎn)品分配機(jī)臺(tái)端口后，對(duì)各關(guān)鍵批次產(chǎn)品進(jìn)行排序和顯 /_J、1 〇
【文檔編號(hào)】G06Q50/04GK104217978SQ201310222155
【公開日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2013年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月5日
【發(fā)明者】趙晨, 吳勇, 于婷婷, 譚小兵 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司