專利名稱：電極基板、電極基板的制造方法和圖像顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在透明基板上設(shè)置有多個電極圖案的電極基板，更詳細(xì)而言，涉及能夠作為靜電電容型的坐標(biāo)輸入裝置使用的電極基板，該靜電電容型的坐標(biāo)輸入裝置是將檢測對象的接觸位置作為靜電電容的變化檢測的裝置。
背景技術(shù)：
近年來，便攜式電話終端、便攜式游戲機、導(dǎo)航儀、售票機和銀行終端等電子設(shè)備中，在顯示畫面的表面配置有輸入裝置，用戶能夠通過一邊參照顯示圖像，一邊用手指或筆等接觸畫面來進(jìn)行操作。這樣的輸入裝置中，存在電阻膜型觸摸面板和靜電電容型觸摸面板等，從工作溫度范圍和耐經(jīng)時變化的程度等觀點出發(fā)，靜電電容型觸摸面板的市場要求逐漸提高。作為靜電電容型的觸摸面板，已知一種使電極圖案在相互交叉的方向上延伸，在手指或筆等接觸時對電極間的靜電電容發(fā)生變化的情況進(jìn)行檢測，從而檢測輸入位置的類型。相互交叉的方向上的電極圖案，例如為X坐標(biāo)檢測用的圖案和與其正交的Y坐標(biāo)檢測用的圖案。例如在專利文獻(xiàn)1中，公開了一種靜電電容型輸入裝置，在透光性基板的同一面上形成有在第一方向上延伸的第一透光性電極圖案；和在與第一方向交叉的第二方向上延伸的第二透光性電極圖案。該靜電電容型輸入裝置中，在電極的交叉部，一個電極圖案是連接著的，而另一個電極圖案是間斷的。間斷的電極圖案在連接著的電極圖案的上層通過中繼電極電連接。圖12是示意地表示專利文獻(xiàn)1中公開的靜電電容型輸入裝置的結(jié)構(gòu)的圖。如圖 12所示，輸入裝置100的結(jié)構(gòu)為，在基板上形成有由ITOandium Tin Oxide，銦錫氧化物) 形成的透光性電極圖案130 ；和與其交叉的包含ITO的透光性電極圖案120。透光性電極圖案120，在透光性電極圖案130與透光性電極圖案120的交叉部分110是間斷的。透光性電極圖案120的結(jié)構(gòu)為，形成透光性電極圖案120的焊盤(pad)部121在交叉部分110由透光性的中繼電極122電連接?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本公開專利公報“特開2008-310550號公報(2008年12月25日公開)”

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題不過，由于ITO等透光性的電極的電阻率比較大，所以在現(xiàn)有的靜電電容型輸入裝置中，電極圖案的電阻變大，對輸入裝置的特性會造成不良影響，例如輸入位置的檢測的精度或靈敏度降低等。特別是，在研究使用現(xiàn)有的靜電電容型的輸入裝置實現(xiàn)輸入裝置的大型化時，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，隨著大型化，精度或靈敏度的降低的問題變得更為顯著。認(rèn)為其原因在于，伴隨輸入裝置的大型化，需要延長電極圖案，而電極圖案的延長導(dǎo)致電阻增大。對于該問題，當(dāng)為了降低電極圖案的電阻，增大寬度小于焊盤部121的中繼電極 122的面積時，電極交叉部分110的寄生電容增大，結(jié)果將導(dǎo)致觸摸面板的精度降低。此外，認(rèn)為因采用ITO而導(dǎo)致的電極圖案的高電阻化，和由于電極圖案的交叉而導(dǎo)致的寄生電容的增大，是不限于觸摸面板，在具有同樣的結(jié)構(gòu)的電極基板中都會發(fā)生的問題。因此，本發(fā)明鑒于上述問題點完成，其目的在于提供一種實現(xiàn)電極圖案的低電阻化而不會導(dǎo)致寄生電容增大的電極基板。解決問題的手段為了解決上述問題，本發(fā)明的電極基板具有以下結(jié)構(gòu)在透明基板的一個面上形成有在第一方向上延伸的多個第一電極圖案；和在與該第一方向交叉的第二方向上延伸的多個第二電極圖案，上述多個第一電極圖案的每個第一電極圖案和上述多個第二電極圖案的每個第二電極圖案，由多個透明電極經(jīng)由導(dǎo)電性的連接部連結(jié)成念珠狀而形成，上述多個第二電極圖案的每個第二電極圖案，在該第二電極圖案的各連接部，隔著絕緣層與上述多個第一電極圖案的每個第一電極圖案交叉，在上述多個第二電極圖案中的至少一個第二電極圖案中，該第二電極圖案的存在多個的上述連接部中的至少一個是金屬配線。本說明書中的金屬配線，不限于由單一金屬形成的配線，還包含由包含多種金屬的合金形成的配線。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由透明電極連結(jié)成念珠狀而形成的多個第一電極圖案和第二電極圖案交叉地配設(shè)在透明基板上。第二電極圖案在第二電極圖案的連接部與第一電極圖案交叉。在第一電極圖案與第二電極圖案交叉的部分，在第一電極圖案與第二電極圖案之間設(shè)置有絕緣層。第二電極圖案中的各透明電極，由導(dǎo)電性的連接部連接成念珠狀。整體上存在多個的第二電極圖案的連接部中的至少一個為金屬配線。已知金屬配線與半導(dǎo)體和金屬氧化物等相比導(dǎo)電性高。因此，包含金屬配線的電極圖案，與不包含金屬配線地構(gòu)成的電極圖案相比，電阻變得更小。因此，整體上在電極圖案中至少包含一個金屬配線的本發(fā)明的電極基板，與電極圖案內(nèi)完全不包含金屬配線的電極基板相比，整體的電阻降低。此外，由于金屬配線的導(dǎo)電性高，使用金屬配線作為連接部時該連接部的尺寸，能夠與不使用金屬配線時的連接部的尺寸相同或為其以下，因此第一電極圖案與第二電極圖案的重疊面積不會增大。因而，第一電極圖案與第二電極圖案的交叉部分的寄生電容不會增大。S卩，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提供一種防止第一電極圖案與第二電極圖案的交叉部分的寄生電容的增大，同時實現(xiàn)電極圖案的低電阻化的電極基板。因而，在將具有上述結(jié)構(gòu)的電極基板，例如作為靜電電容型的坐標(biāo)輸入裝置使用的情況下，由于電極圖案的電阻小，因此即使是更小的靜電電容的變化也能夠檢測到。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)檢測的精度優(yōu)秀的更為高精細(xì)的坐標(biāo)輸入裝置。此外，本發(fā)明的電極基板，通過實現(xiàn)電極圖案的低電阻化，即使電極圖案更長，也能夠抑制電極圖案的電阻的增加。因此，本發(fā)明的電極基板，與使用現(xiàn)有的電極基板相比，更適用于坐標(biāo)輸入裝置的大型化。為了解決上述問題，本發(fā)明的圖像顯示裝置構(gòu)成為具有顯示圖像的顯示面板； 和位于上述顯示面板的圖像顯示面一側(cè)的上述電極基板。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于能夠提供一種圖像顯示裝置，具有電極圖案的電阻更小的電極基板，所以通過將該電極基板作為坐標(biāo)輸入裝置使用，能夠?qū)崿F(xiàn)具有輸入位置的檢測的精度優(yōu)秀的坐標(biāo)輸入裝置的圖像顯示裝置。為了解決上述問題，本發(fā)明的電極基板的制造方法構(gòu)成為，上述電極基板在透明基板的一個面上包括在第一方向上延伸的多個第一電極圖案和在與該第一方向交叉的第二方向上延伸的多個第二電極圖案，上述電極基板的制造方法包括電極形成工序，在上述一個面上形成透明電極膜，并通過該透明電極膜的圖案化來形成上述第一電極圖案、和上述第二電極圖案中所包含的透明電極；絕緣膜形成工序，以覆蓋上述第一電極圖案和上述透明電極的方式，在上述透明基板上形成絕緣膜；除去工序，除去上述絕緣膜的一部分， 使得夾著上述第一電極圖案相鄰的至少一對上述透明電極的每個透明電極的一部分露出， 并且該第一電極圖案的被該相鄰的透明電極夾著的部分保持被上述絕緣膜覆蓋的狀態(tài)；和金屬配線形成工序，形成金屬配線，使得上述相鄰的透明電極的露出的部分彼此電連接。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠制造一種電極基板，在透明基板的一個面上包括在第一方向上延伸的多個第一電極圖案；和在與該第一方向交叉的第二方向上延伸的多個第二電極圖案，上述第二電極圖案的至少一對透明電極彼此由金屬配線電連接。因而，能夠容易地制造實現(xiàn)電極圖案的低電阻化的電極基板。發(fā)明效果如上所述，本發(fā)明的電極基板具有以下結(jié)構(gòu)形成有在第一方向上延伸的多個第一電極圖案和在與該第一方向交叉的第二方向上延伸的多個第二電極圖案，第二電極圖案由多個透明電極經(jīng)由導(dǎo)電性的連接部連結(jié)成念珠狀而形成，整體上存在多個的第二電極圖案的連接部中至少一個是金屬配線。因此，能夠減小第二電極圖案的電阻。由此，在將本發(fā)明的電極基板例如作為坐標(biāo)輸入裝置使用的情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)輸入位置的檢測的精度得到提高的坐標(biāo)輸入裝置。


圖1是示意地表示本發(fā)明的一個實施方式的電極基板的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是圖1所示的電極基板的截面圖，(a)表示圖1中虛線A-A'的截面，(b)表示圖1中虛線B-B'的截面。圖3是示意地表示本發(fā)明的另一個實施方式的電極基板的結(jié)構(gòu)的截面圖，(a) (c)分別表示不同的結(jié)構(gòu)。圖4是表示金屬配線的形狀的圖，(a)和(b)分別表示不同的形狀。圖5是表示本發(fā)明的另一個實施方式的電極基板的交叉部分的截面圖。圖6是表示本發(fā)明的又一個實施方式的電極基板的交叉部分的截面圖。圖7是示意地表示本發(fā)明的一個實施方式的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。圖8是示意地表示本發(fā)明的另一個實施方式的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。圖9是示意地表示不包含金屬配線的電極基板的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
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圖10是示意地表示本發(fā)明的另一個實施方式的電極基板的結(jié)構(gòu)的截面圖。圖11是示意地表示本發(fā)明的另一個實施方式的電極基板的結(jié)構(gòu)的圖，(a)表示上表面，(b)表示(a)中的虛線C-C'的截面，(c)表示(a)中的虛線D_D'的截面。圖12是示意地表示現(xiàn)有的輸入裝置的結(jié)構(gòu)的一部分的俯視圖。
具體實施例方式[實施方式1]以下，基于圖1 圖10對本發(fā)明的電極基板的一個實施方式進(jìn)行說明。此外，本發(fā)明的電極基板是靜電電容型的觸摸面板?！灿|摸面板〕(觸摸面板整體的結(jié)構(gòu))圖1是示意地表示本實施方式的電極基板(以下稱觸摸面板)的輸入?yún)^(qū)域的一部分的結(jié)構(gòu)的俯視圖。此外，為了便于說明，省略了作為觸摸面板的構(gòu)成要素的透明基板進(jìn)行圖示。如圖1所示，觸摸面板10具有以下結(jié)構(gòu)在其輸入?yún)^(qū)域中，在透明基板40 (參照圖 2)上設(shè)置有多列第一電極圖案30和多列第二電極圖案20。在作為輸入?yún)^(qū)域的外側(cè)的邊框區(qū)域(邊框部)，設(shè)置有與第一電極圖案30分別電連接的配線(邊框部金屬配線)和與第二電極圖案20分別電連接的配線(邊框部金屬配線)。此外，本實施方式中的輸入?yún)^(qū)域，是在觸摸面板10中，第一電極圖案30和第二電極圖案20所占據(jù)的區(qū)域，是用戶使用手指等觸摸而進(jìn)行輸入操作的區(qū)域。此外，邊框區(qū)域的結(jié)構(gòu)與一直以來公知的觸摸面板為同樣的結(jié)構(gòu)，在本說明書中省略其說明。如圖1所示，第一電極圖案30在箭頭χ所示的第一方向上延伸，第二電極圖案20 在與第一方向交叉的箭頭y所示的第二方向上延伸。在具有這樣的結(jié)構(gòu)的觸摸面板10中，對多個第一電極圖案30和多個第二電極圖案20依次施加電壓、供給電荷時，當(dāng)作為導(dǎo)電體的手指和筆等接觸到任意的部位時，在第一電極圖案30和第二電極圖案20與手指等之間也會具有電容。其結(jié)果導(dǎo)致靜電電容降低， 因此能夠檢測出手指等接觸到了哪一部位。(各電極圖案的結(jié)構(gòu))第一電極圖案30具有多個透明電極31經(jīng)由導(dǎo)電性的連接部32連接成念珠狀的結(jié)構(gòu)。本實施方式中，透明電極31和連接部32由ITOandium Tin Oxide，銦錫氧化物)形成為一體。另一方面，第二電極圖案20具有包含ITO的多個透明電極21經(jīng)由金屬配線22連接成念珠狀的結(jié)構(gòu)。即，金屬配線22為將各透明電極電連接的導(dǎo)電性的連接部。另外，第一電極圖案30和透明電極21分別包含1層ΙΤ0，但也可以如上述專利文獻(xiàn)1所示的輸入裝置那樣，包含夾持硅氧化膜等絕緣膜的2層ΙΤ0。本實施方式中，在各個第二電極圖案20，將各透明電極21電連接的導(dǎo)電性連接部全部由金屬配線22構(gòu)成，但并不限定于此。為了降低整體的電阻值，在存在多個的第二電極圖案20的至少一個中，存在于該至少一個第二電極圖案20的多個連接部中的至少一個為金屬配線22即可。例如，可以是在各個第二電極圖案20中，將各透明電極21電連接的連接部的僅任意一處為金屬配線22。另外，也可以是在輸入?yún)^(qū)域整體中存在多個的第二電極圖案20的連接部的僅任意一處為金屬配線22。另外，在存在多個的第二電極圖案20的連接部中僅一部分由金屬配線22構(gòu)成的情況下，第二電極圖案20的其余的連接部，例如包含與第二電極圖案20的透明電極21相同的材料即可。從優(yōu)選各個第二電極圖案20的電阻小的觀點出發(fā)，優(yōu)選各個第二電極圖案20至少包含一個金屬配線22。另外，從優(yōu)選觸摸面板10的輸入位置的檢測性能在整個輸入?yún)^(qū)域上均勻的觀點出發(fā)，優(yōu)選各第二電極圖案20的電阻值同等。因此，優(yōu)選各第二電極圖案20彼此包含相同數(shù)量的金屬配線22。為了進(jìn)一步提高檢測性能，優(yōu)選將第二電極圖案20的電阻值抑制在最小限度。因而，從這一觀點出發(fā)，優(yōu)選存在多個的第二電極圖案20的全部連接部為金屬配線22。各透明電極21、31的表面積比各金屬配線22和各連接部32大。因此，觸摸面板 10的輸入?yún)^(qū)域的大部分由透明電極21、31所占據(jù)。圖2是用于說明觸摸面板10的結(jié)構(gòu)的概略截面圖，圖2(a)表示圖1的虛線A-A' 的截面，圖2(b)表示圖1的虛線B-B'的截面。如圖1和圖2所示，透明電極21形成在透明基板40的表面，與透明電極31和連接部32形成在同一層上。透明電極21和第一電極圖案30由透明的絕緣層41覆蓋，該透明的絕緣層41由SiOx、SiNx和TeixOx等形成。在絕緣層41，在透明電極21上接近連接部32的位置形成有接觸孔45。在上述第二方向上夾著連接部32相鄰的各透明電極21彼此，通過設(shè)置于絕緣層 41上和接觸孔45內(nèi)的金屬配線22電連接，由此形成第二電極圖案20。圖12所示的現(xiàn)有的輸入裝置100中，ITO層形成為2層(透光性電極圖案130和焊盤部121的層，以及中繼電極122的層)。并且，在邊框區(qū)域另外形成有金屬配線的層。另一方面，在觸摸面板10中，ITO層僅形成為1層(第一電極圖案30和透明電極 21的層)。此外，邊框區(qū)域的金屬配線(未圖示)能夠與第二電極圖案20的金屬配線22 在同一層。因而，綜合來看，觸摸面板10與現(xiàn)有的輸入裝置相比較，能夠減少1層ITO層。 因此能夠使制造工序更加簡化。(各電極圖案的配置)如圖1和圖2所示，第二電極圖案20以在金屬配線22與第一電極圖案30交叉的方式設(shè)置。金屬配線22設(shè)置在比第一電極30靠近上層的位置。各金屬配線22與第一電極圖案30的任一個交叉。第一電極圖案30在連接部32與第二電極圖案20交叉。各連接部32與第二電極圖案20的任一個交叉。圖3表示觸摸面板10的其它實施方式的結(jié)構(gòu)的截面圖，圖3(a) (c)分別表示不同的實施方式的結(jié)構(gòu)。上述本實施方式中，通過在絕緣層41設(shè)置接觸孔45，來將透明電極21與金屬配線 22電連接。不過，也可以如圖3(a)所示，在保留覆蓋連接部32的部分的絕緣層41的同時， 以使透明電極21的端部整體露出的方式除去絕緣層41，使透明電極21的端部整體與金屬配線22連接。該結(jié)構(gòu)，在觸摸面板10的制造過程中，即使絕緣層41的圖案化的精度低也能夠形成。因而，制造變得更加容易。
此外，在上述本實施方式中，在透明基板40的表面上，形成有第一電極圖案30和第二電極圖案20的透明電極21，并在其上層形成有絕緣層41，進(jìn)一步在其上層形成有金屬配線22。但是，也可以如圖3(b)所示，在透明基板40的表面上形成有金屬配線22，并在其上層形成有絕緣層41，進(jìn)一步在其上層形成有第一電極圖案30和第二電極圖案20的透明電極21。這種情況下，在金屬配線22的接近端部的位置，在絕緣層41形成接觸孔45，通過在接觸孔45內(nèi)也設(shè)置透明電極21，來將金屬配線22和透明電極21電連接。此外，隔著絕緣層41，在金屬配線22上以與金屬配線22交叉的方式設(shè)置第一電極圖案30的連接部32 即可。如圖3(c)所示，也可以在上述本實施方式的觸摸面板10的金屬配線22層的上層還形成絕緣層46。通過在金屬配線22層的上層設(shè)置絕緣層46，表面被絕緣層46覆蓋，因此抑制了作為輸入裝置的精度的降低，進(jìn)一步提高了可靠性。此外，在具有圖3(a)所示的結(jié)構(gòu)和圖3(b)所示的結(jié)構(gòu)的觸摸面板10中，當(dāng)然也可以如圖3(c)所示在最上層形成絕緣層46。此處，透明電極21、透明電極31和連接部32形成在同一層，但也可以分別設(shè)置在不同層。圖10是表示透明電極21、透明電極31和連接部32設(shè)置在不同層的觸摸面板10 的結(jié)構(gòu)的截面圖。如圖10所示，該觸摸面板10中，透明電極31 (未圖示)和連接部32形成在透明基板40上，透明電極21以成為比它們靠近上方的層的方式形成。此外，在透明電極21與透明基板40之間形成有絕緣層41。(第一電極圖案的另一結(jié)構(gòu))在上述實施方式中，第一電極圖案30中，透明電極31和連接部32由ITO形成為一體，但第一電極圖案30的連接部32也可以為金屬配線。這種情況下，可以使整體輸入?yún)^(qū)域中存在多個的連接部32中的任一個為金屬配線，也可以在各個第一電極圖案30中使連接部32中的至少一個為金屬配線?；蛘撸部梢允惯B接部32全部為金屬配線。在第一電極圖案30中導(dǎo)入金屬配線的情況下，能夠進(jìn)一步減小第一電極圖案30 的電阻。因此，不只是輸入?yún)^(qū)域中第二方向，在第一方向上也能夠減小電極圖案的電阻，因此在任何方向上均能夠進(jìn)一步提高觸摸面板10的輸入位置的檢測精度。此外，在各個第一電極圖案30中連接部32的至少一個為金屬配線的情況下，在整個輸入?yún)^(qū)域能夠進(jìn)一步提高輸入位置的檢測的精度。此外，從容易制造的觀點出發(fā)，第一電極圖案30優(yōu)選由ITO等透明電極材料將透明電極31和連接部32形成為一體。(金屬配線的材料)首先，對形成金屬配線22的金屬材料進(jìn)行說明。在觸摸面板10中，通過使用導(dǎo)電性優(yōu)秀的金屬配線22將各透明電極21電連接， 來實現(xiàn)第二電極圖案20的低電阻化。因而，金屬配線22所使用的金屬，只要是電阻率低于構(gòu)成透明電極21的電極材料(本實施方式中為ΙΤ0)的金屬即可，并沒有特別限制，特別是，如果是電阻率為10_7Ωπι以下的金屬，則能夠更有效地實現(xiàn)低電阻化。另外，在液晶顯示面板的制造工序中，已知當(dāng)將ITO的表面電阻率與金屬(Al、Cu、Ag和W等)的表面電阻率相比時，ITO的表面電阻率達(dá)到50 1000倍。
金屬配線22可以包含單一金屬，但只要電阻率同樣，也可以由包含多種金屬的合金形成。如上所述，形成金屬配線22所使用的金屬不受限制，但從制造上和安定性的觀點出發(fā)，優(yōu)選一直以來液晶顯示器的配線和觸摸面板的配線等使用的金屬。作為這樣的金屬， 能夠列舉 Ag、Cu、Al、W、Ta、Ti、Mo 和 Cr 等。另外，在觸摸面板10的邊框區(qū)域，形成有與第一電極圖案30電連接的配線和與第二電極圖案20電連接的配線。因此，通過使用同一金屬來形成這些配線和第二電極圖案20 內(nèi)的金屬配線22，能夠在同一工序中分別形成這些配線和金屬配線22，能夠進(jìn)一步簡化觸摸面板10的制造。(金屬配線的形狀)接著，參照圖4對金屬配線22的形狀進(jìn)行說明。在液晶顯示器中，在有可能會降低可視性的部分的大小為0. 03mm2以上的情況下， 就判定為該液晶顯示器存在缺陷。換而言之，只要有可能會降低可視性的部分的大小不足 0. 03mm2，就判定為足以能夠使用。觸摸面板10 —般與液晶顯示器等顯示裝置的圖像顯示部重疊著配置使用，因此觸摸面板10中，在存在降低可視性的部分的情況下，也優(yōu)選其大小不足0. 03mm2。金屬配線22不具有透光性，因此優(yōu)選觸摸面板10的觀看方向上的金屬配線 22的表面積，即在透明基板40的法線方向上的投影面積不足0.03mm2。因而，只要將金屬配線22的寬度W和長度L(參照圖4(a))設(shè)計成例如小于寬度0. 3mmX長度0. Imm即可。一般認(rèn)為，人類的視覺極限為0. 05mm左右，并且大多數(shù)人能夠目視到0. Olmm2左右大小的物體。因而，觸摸面板10的觀看方向上的金屬配線22的表面積優(yōu)選不足0.01mm2。 為了將金屬配線22減小至一般用戶無法目視到的水平，只要將金屬配線22的大小設(shè)計為小于寬度0. 05mmX長度0. 05mm的尺寸即可。例如能夠為小于寬度0. 02mmX長度0. 05mm 的尺寸。另外，在一直以來公知的電阻膜方式觸摸面板中，在兩片基板之間存在點間隔物， 其直徑通常為0. 15mm左右(0.023mm2)。因而，在以小于0. 02mmX0. 05mm( = 0. OOlmm2)的尺寸形成金屬配線22的情況下，與一直以來公知的電阻膜方式的觸摸面板相比，可視性可謂足夠優(yōu)秀。圖4(b)表示金屬配線22的形狀的另一個方式。如圖4(b)所示，能夠使金屬配線 22的中央部22b的寬度為工藝上的最小線寬(Ιμπι ΙΟμπι)。不過，這種情況下，作為與透明電極21接觸的部分的金屬配線22的末端的接觸部22a，需要大于中央部22b的寬度。 其原因在于，在絕緣層41的接觸孔45之上需要存在金屬配線22，絕緣層41的接觸孔45的最小短邊長為與工藝上的最小線寬相同的程度。在各透明電極21間的連接部包含ITO等的情況下，在減小連接部的寬度時電阻值會增大。另一方面，在使連接部為金屬配線22的情況下，一般來說金屬的導(dǎo)電性優(yōu)于ITO 等透明電極材料的導(dǎo)電性，因此即使減小連接部的寬度，也能夠抑制電阻的增大。此外，第二電極圖案20在金屬配線22的部分與第一電極圖案30交叉，因此能夠減小金屬配線22的寬度，能夠減小第一電極圖案30與第二電極圖案20重疊的面積。因而， 通過導(dǎo)入金屬配線22，能夠減小交叉部分的寄生電容。(金屬配線的表面結(jié)構(gòu))
本實施方式中，金屬配線22形成為單一層。即，包含一種金屬材料。不過，金屬配線22也可以形成為多個層。這種情況下，作為形成最外層的金屬，通過使用與形成其它層的金屬相比反射率低的金屬，能夠抑制金屬配線22的表面的光的反射，能夠使金屬配線22 的存在更加不顯眼。圖5是金屬配線22包括多個層的情況下的觸摸面板10的交叉部分11的截面圖。如圖5所示，該觸摸面板10中，金屬配線22采用雙層結(jié)構(gòu)，包括絕緣層41 一側(cè)的第一層22c和其上層的作為最外層(與透明基板40相對的一側(cè)相反的一側(cè)的最外層)的第二層22d。例如，能夠利用Ag、Cu和Al等形成金屬配線22的第一層22c，利用與形成第一層22c的金屬相比反射率小的反射特性低的Ti、Ta或Mo等，形成金屬配線22的第二層 22d。由此，與僅利用Ag、Cu和Al形成金屬配線22的情況相比，能夠抑制金屬配線22的表面的光的反射。由此，能夠使金屬配線22的存在更加不顯眼。圖5中圖示的是金屬配線22為雙層結(jié)構(gòu)的情況，但也可以為3層以上。這種情況下，通過采用反射率更小的金屬作為最外層，能夠抑制金屬配線22的表面的光的反射，能夠使金屬配線22的存在更加不顯眼。通過使金屬配線22為多層，并代替在其最外層使用反射率更低的金屬，而是在金屬配線22的上層設(shè)置黑矩陣，能夠降低交叉部分11的反射。圖6是在金屬配線22上形成有黑矩陣43的情況下的觸摸面板10的交叉部分11 的截面圖。如圖6所示，該觸摸面板10中，在金屬配線22的上層形成有黑矩陣43。黑矩陣 43能夠包含分散有黑色著色劑的組成物。例如，能夠以金屬鉻膜和氧化鈦等為主原料形成。 在這種情況下，也能夠使金屬配線22的存在更加不顯眼。(透明電極)觸摸面板10，能夠與液晶顯示裝置的液晶顯示面板等進(jìn)行圖像顯示的顯示裝置的圖像顯示部重疊著使用。因此，為了不妨礙觀看顯示的圖像，構(gòu)成第一電極圖案30和第二電極圖案20的電極為透明電極。作為透明電極21、31，例如能夠使用IT0、IZ0andium Zinc Oxide 銦鋅氧化物)、IZGO(Indium Zinc Gallium Oxide 銦鋅鎵氧化物)、GZO(Gallium Zinc Oxide 鎵鋅氧化物)、AZ0(Aluminium Zinc Oxide 鋁鋅氧化物)、Ti& :Nb禾PMg(OH)2 C等導(dǎo)電性金屬氧化膜、導(dǎo)電性高分子膜、ITO納米墨膜、以及CNT(Carbon Nano Tube 碳納米管)納米墨膜等。其中，從導(dǎo)電性和制造成本的觀點出發(fā)，優(yōu)選ITO或ΙΖ0。透明電極21、31的形狀，與一直以來公知的靜電電容型觸摸面板同樣地，能夠使用菱形形狀。另外，透明電極21、31的厚度，從制造上的觀點和電阻值的觀點出發(fā)，優(yōu)選在 10 IOOOnm的范圍內(nèi)。(觸摸面板中第二電極圖案的方向)觸摸面板10的形狀為矩形，在第一電極圖案30和第二電極圖案中的任一者形成在沿著矩形的長邊的方向上，而另一者形成在沿著短邊的方向上的情況下，沿著長邊形成的電極圖案的長度大于沿著短邊形成的電極圖案的長度。電極圖案越長電阻越大，因此觸摸面板的特性會降低。因此，優(yōu)選使沿著長邊形成的電極圖案為第二電極圖案20。圖9是表示形狀為矩形的觸摸面板的結(jié)構(gòu)的圖。為了便于說明，該觸摸面板中沒有設(shè)置金屬配線22。
如圖9所示，觸摸面板10'在矩形的透明基板40'上設(shè)置有多列電極圖案71和多列電極圖案70。各電極圖案71沿透明基板40'的長邊方向延伸，各電極圖案70沿透明基板40'的短邊方向延伸。各電極圖案71與各電極圖案70交叉。各電極圖案71在端部與配線82連接，各電極圖案70在端部與配線81連接。觸摸面板10'中，與電極圖案70相比，電極圖案71的電阻值變大，因此通過在電極圖案71中導(dǎo)入金屬配線22，使之為第二電極圖案20，所得到的效果變大。S卩，能夠更加抑制觸摸面板10的特性的降低。另外，在使一個電極圖案的所有連接部為金屬配線22的情況下，無論導(dǎo)入到電極圖案71和電極圖案70中的哪一個，導(dǎo)入的金屬配線22的個數(shù)都不變。因此，從可視性的觀點出發(fā)，導(dǎo)入金屬配線22的電極圖案可以是電極圖案71和電極圖案70中的任一個。如上所述，觸摸面板10中，在第二電極圖案20中，透明電極21由金屬配線22連結(jié)。因此，能夠降低輸入?yún)^(qū)域中電極圖案的電阻值，能夠提高觸摸面板的精度。進(jìn)一步，在謀求觸摸面板的大型化時，電極圖案變長，電極圖案的電阻值增加，結(jié)果導(dǎo)致觸摸面板的精度降低，因此實現(xiàn)了電極圖案的低電阻化的觸摸面板10能夠很好地適用于觸摸面板的大型化。另外，觸摸面板10中，與通過ITO等將透明電極21彼此連接的情況相比，能夠減小金屬配線22的寬度而不會增大電阻值。第二電極圖案20在金屬配線22與第一電極圖案30交叉，因此通過減小金屬配線22的寬度，能夠減小第一電極圖案30與第二電極圖案 20的重疊面積。因而，通過導(dǎo)入金屬配線22，能夠減小交叉部分的寄生電容。由于交叉部分的寄生電容的增大會導(dǎo)致觸摸面板的精度降低，因此在觸摸面板10中還能夠抑制因寄生電容的增大帶來的觸摸面板的精度降低。[圖像顯示裝置]接著，參照圖7和圖8對具有觸摸面板10的圖像顯示裝置進(jìn)行說明。此外，以下的說明中，針對帶有觸摸面板的液晶顯示裝置進(jìn)行說明，但本發(fā)明的圖像顯示裝置，只要具有顯示圖像的顯示面板和位于該顯示面板的圖像顯示面?zhèn)鹊谋景l(fā)明的電極基板即可，并不限定于液晶顯示裝置。例如，也可以是帶有觸摸面板的有機EL顯示裝置等。觸摸面板10如上所述，能夠重疊地配置在液晶顯示面板的表面而使用。這種情況下，能夠使用液晶顯示面板所包含的玻璃基板作為觸摸面板10的透明基板40。圖7是表示具有觸摸面板10的液晶顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。如圖7所示，液晶顯示裝置(圖像顯示裝置)50包括帶有觸摸面板的液晶顯示面板(電極基板、顯示面板)60和背光源51。帶有觸摸面板的液晶顯示面板60，具有從背光源51的光照射側(cè)起依次層疊偏光板52、薄膜晶體管基板58、液晶層55、對置基板59、觸摸面板10的電極部44和偏光板57 而成的結(jié)構(gòu)。薄膜晶體管基板58是在玻璃基板53的與液晶層55相對的一側(cè)的表面上形成有配線層M的基板。此處，配線層M是指設(shè)置有TFT、取向膜和ITO等薄膜結(jié)構(gòu)、樹脂以及配線的層。對置基板59是在玻璃基板42的與液晶層55相對的一側(cè)的表面形成有彩色濾光片層56的基板。此處，彩色濾光片層56是指設(shè)置有彩色濾光片、取向膜和ITO等薄膜結(jié)構(gòu)、
12樹脂以及配線的層。觸摸面板10的電極部44包括觸摸面板10的形成在透明基板40上的第一電極圖案30、第二電極圖案20和絕緣層41，以及其它必要的配線等。液晶顯示裝置50中，對置基板59的玻璃基板42也作為觸摸面板10中的透明基板發(fā)揮作用。即，在玻璃基板42的圖像顯示面一側(cè)的表面，直接形成有第一電極圖案30、和第二電極圖案20的透明電極21。因而，與將另行準(zhǔn)備的觸摸面板10重疊地配置在液晶顯示面板上的情況相比，能夠省略一層透明的基板。因此，能夠使帶有觸摸面板的液晶顯示面板60和液晶顯示裝置50整體的厚度更薄。帶有觸摸面板的液晶顯示面板60是包括觸摸面板10而構(gòu)成的，因此通過使用帶有觸摸面板的液晶顯示面板60來制造液晶顯示裝置50，能夠提供具有輸入的檢測性能優(yōu)秀的觸摸面板的液晶顯示裝置50。圖8是表示具有另一結(jié)構(gòu)的液晶顯示裝置50的圖。如圖8所示，在該液晶顯示裝置50中，在金屬配線22與偏光板57之間也形成有絕緣層46。通過在金屬配線22與偏光板57之間設(shè)置絕緣層46，提高可靠性。[觸摸面板的制造方法]觸摸面板10能夠按以下方式制造。首先，在透明基板40的一個面上，形成膜厚10 IOOOnm的ITO膜(透明電極膜)。 在形成ITO膜后，通過使用掩膜進(jìn)行蝕刻，將ITO膜圖案化，形成第一電極圖案30和第二電極圖案20的透明電極21。接著，以覆蓋第一電極圖案30和透明電極21的方式，在透明基板40上形成膜厚 10 IOOOnm的絕緣層(絕緣膜)41。在形成絕緣層41后，通過蝕刻在絕緣層41形成接觸孔45，使得夾著第一電極圖案 30相鄰的透明電極21分別露出一部分?；蛘撸沟谝浑姌O圖案30中由相鄰的透明電極21 夾著的部分保持被絕緣層41覆蓋的狀態(tài)，通過蝕刻使透明電極21的端部區(qū)域露出。接著，以將相互相鄰的透明電極21露出的部分彼此電連接的方式，形成厚度10 IOOOnm的金屬配線22。金屬配線22能夠通過濺射和蒸鍍等一直以來公知的方式形成。在形成電極配線22時，也能夠同時形成位于邊框區(qū)域中與第一電極圖案30連接的配線(邊框部金屬配線)和與第二電極圖案20連接的配線(邊框部金屬配線)?，F(xiàn)有的觸摸面板中，只在邊框區(qū)域形成有金屬配線，因此需要在各電極圖案之外，另行形成邊框區(qū)域的金屬配線。不過，根據(jù)本方法，能夠在形成第二電極圖案20的同時形成邊框區(qū)域的金屬配線，能夠減小觸摸面板的制造中的工序數(shù)。在形成電極配線22后，也可以根據(jù)需要還形成絕緣層46。[實施方式2]基于圖11對本發(fā)明的另一個實施方式進(jìn)行說明。此外，為了針對與上述實施方式 1的不同點進(jìn)行說明，為了便于說明，對與實施方式1中說明的部件具有相同功能的部件標(biāo)記相同的部件編號，省略其說明。圖11是示意地表示觸摸面板(電極基板)IOa的結(jié)構(gòu)的圖，圖11 (a)表示從透明基板40的法線方向觀看的上表面。圖11(b)和圖11(c)分別表示圖11(a)所示的虛線C-C' 和虛線D-D'的截面。
如圖11(a) (c)所示，觸摸面板IOa中，第一電極圖案30的透明電極31和連接部32成為一體，一體化的透明電極31以包圍第二電極圖案20的透明電極21的周圍的方式形成。即，第一電極圖案30，由一部分敞開的大致環(huán)形形狀的透明電極32連接成念珠狀。 第二電極圖案20在金屬配線22與環(huán)形形狀的第一電極圖案30交叉。在圖11所示的方式中，使用金屬配線22連接各透明電極21，因此能夠使第二電極圖案20的電阻值比現(xiàn)有技術(shù)小。另外，通過使用金屬配線22能夠減小透明電極21間的連接部的寬度，因此第二電極圖案20與第一電極圖案30的重疊變小，能夠減小寄生電容。本發(fā)明并不限定于上述實施方式，在權(quán)利要求所示的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。 艮口，在權(quán)利要求所示的范圍內(nèi)進(jìn)行了適宜變更的技術(shù)方案組合而得的實施方式，也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。本發(fā)明的電極基板，優(yōu)選在上述多個第二電極圖案的每個第二電極圖案中，上述第二電極圖案的上述連接部的至少一個是金屬配線。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在各個第二電極圖案中，與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠減小電阻，因此能夠在配設(shè)有第二電極圖案的整個區(qū)域?qū)崿F(xiàn)低電阻化。因而，在將具有上述結(jié)構(gòu)的電極基板例如作為靜電電容型的坐標(biāo)輸入裝置使用的情況下，在設(shè)置有第二電極圖案的區(qū)域即整個輸入?yún)^(qū)域，實現(xiàn)了電極圖案的低電阻化，因此能夠?qū)崿F(xiàn)檢測精度更加優(yōu)秀的坐標(biāo)輸入裝置。此外，本發(fā)明的電極基板中，優(yōu)選上述金屬配線包含電阻率為1(ΤΩπι以下的金
jM ο根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，金屬配線的電阻率大幅小于透明電極的電阻率，因此能夠使包含金屬配線的電極圖案的電阻與現(xiàn)有技術(shù)相比大幅減小。此外，本發(fā)明的電極基板中，優(yōu)選上述金屬配線在上述透明基板的法線方向上的投影面積不足0. 03mm2。液晶顯示器中，在有可能會降低可視性的部分的大小為0. 03mm2以上的情況下，作為可視性存在問題，一般判定為缺陷。因而，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，將本發(fā)明的電極基板應(yīng)用在液晶顯示器中對可視性也不會產(chǎn)生問題，能夠防止對目視該液晶顯示器的用戶帶來不諧調(diào)感。此外，本發(fā)明的電極基板中，優(yōu)選上述金屬配線包含多個層，與上述透明基板相對的一側(cè)相反的一側(cè)的最外層，包含具有反射率小于其它層的金屬的反射特性的金屬。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于能夠進(jìn)一步抑制設(shè)置有金屬配線的部分的光的反射，因此對于目視電極基板或搭載有電極基板的液晶顯示器的用戶來說，能夠使金屬配線的存在更加不顯眼。此外，本發(fā)明的電極基板中，優(yōu)選在上述金屬配線的上層形成有黑矩陣。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于能夠防止由金屬配線引起的光的反射，因此對于目視電極基板或搭載有電極基板的液晶顯示器的用戶來說，能夠使金屬配線的存在更加不顯眼。此外，本發(fā)明的電極基板中，優(yōu)選上述第二電極圖案的沿著上述第二方向的長度， 大于上述第一電極圖案的沿著上述第一方向的長度。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，第二電極圖案的長度大于第一電極圖案的長度。當(dāng)電極圖案變長時，電阻變得更大。因而，由于對電阻變得更大的電極圖案設(shè)置有金屬配線，因此能夠更有效地減小電阻，實現(xiàn)設(shè)置有電極圖案的區(qū)域的整體的低電阻化。此外，本發(fā)明的電極基板中，優(yōu)選上述透明電極包含ΙΤ0。此外，本發(fā)明的電極基板中，優(yōu)選上述第一電極圖案的上述透明電極和上述第一電極圖案的上述連接部，由同一材料形成為一體。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在第一電極圖案的形成工序中，能夠同時形成連接部和透明電極， 因此電極基板的制造變得廉價且容易。此外，本發(fā)明的電極基板中，優(yōu)選上述絕緣層是透明的層。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，將本發(fā)明的電極基板應(yīng)用在液晶顯示器中對可視性也不會產(chǎn)生問題，能夠防止對目視該液晶顯示器的用戶帶來不諧調(diào)感。本發(fā)明的圖像顯示裝置中，上述顯示面板能夠是液晶顯示面板，其包括配置有薄膜晶體管的薄膜晶體管基板；與該薄膜晶體管基板相對配置的對置基板；和由該薄膜晶體管基板與該對置基板夾持的液晶層。此外，本發(fā)明的圖像顯示裝置中，優(yōu)選上述對置基板中所包含的基板兼作上述透明基板，在上述對置基板中所包含的基板的與面對上述液晶層的一側(cè)相反的一側(cè)的面上， 形成有上述第一電極圖案和上述第二電極圖案。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，以液晶顯示面板的對置基板作為電極基板的透明基板，因此與在液晶顯示面板上重疊地配置已具有透明基板的電極基板的情況相比，基板的數(shù)量減少。能夠使包含電極基板的液晶顯示面板的整體的厚度更小。因而，在將電極基板例如作為坐標(biāo)輸入裝置使用的情況下，能夠提供厚度更小的帶有坐標(biāo)輸入裝置的液晶顯示面板。本發(fā)明的電極基板的制造方法，優(yōu)選上述電極基板，在作為該電極基板的周邊區(qū)域的邊框部，具有與上述多個第一電極圖案的每個第一電極圖案和上述多個第二電極圖案的每個第二電極圖案電連接的多個邊框部金屬配線，在上述金屬配線形成工序中，與上述金屬配線同時形成上述多個邊框部金屬配線。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠同時形成設(shè)置在作為電極基板的周邊區(qū)域的邊框部的金屬配線、和構(gòu)成電極圖案的金屬配線，因此無需增加工序數(shù)量就能夠形成具有金屬配線的第二電極圖案。工業(yè)可利用性本發(fā)明的電極基板，能夠在靜電電容型的觸摸面板中利用，能夠應(yīng)用于便攜式電話終端、便攜式游戲機、導(dǎo)航儀、售票機和銀行終端等的圖像顯示部中。附圖標(biāo)記說明10觸摸面板(電極基板)IOa觸摸面板(電極基板)10'觸摸面板11交叉部分20第二電極圖案21透明電極22金屬配線22a接觸部22b中央部
22c第一層22d第二層30第一電極圖案31透明電極32連接部40、40'透明基板41、46絕緣層42玻璃基板43黑矩陣44電極部45接觸孔50液晶顯示裝置51背光源52偏光板53玻璃基板54配線層55液晶層56彩色濾光片層57偏光板58薄膜晶體管基板59對置基板60帶有觸摸面板的液晶顯示面板70,71電極圖案81,82配線
權(quán)利要求
1.一種電極基板，其特征在于在透明基板的一個面上形成有在第一方向上延伸的多個第一電極圖案；和在與該第一方向交叉的第二方向上延伸的多個第二電極圖案，所述多個第一電極圖案的每個第一電極圖案和所述多個第二電極圖案的每個第二電極圖案，由多個透明電極經(jīng)由導(dǎo)電性的連接部連結(jié)成念珠狀而形成，所述多個第二電極圖案的每個第二電極圖案，在該第二電極圖案的各連接部，隔著絕緣層與所述多個第一電極圖案的每個第一電極圖案交叉，在所述多個第二電極圖案中的至少一個第二電極圖案中，該第二電極圖案的存在多個的所述連接部中的至少一個是金屬配線。
2.如權(quán)利要求1所述的電極基板，其特征在于在所述多個第二電極圖案的每個第二電極圖案中，所述第二電極圖案的所述連接部中的至少一個是金屬配線。
3.如權(quán)利要求1或2所述的電極基板，其特征在于 所述金屬配線包含電阻率為10_7Ωπι以下的金屬。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的電極基板，其特征在于所述金屬配線在所述透明基板的法線方向上的投影面積不足0. 03mm2。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的電極基板，其特征在于所述金屬配線包含多個層，與所述透明基板相對的一側(cè)相反的一側(cè)的最外層，包含具有反射率小于其它層的金屬的反射率的反射特性的金屬。
6.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的電極基板，其特征在于 在所述金屬配線的上層形成有黑矩陣。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的電極基板，其特征在于所述第二電極圖案的沿著所述第二方向的長度，大于所述第一電極圖案的沿著所述第一方向的長度。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項所述的電極基板，其特征在于 所述透明電極包含ΙΤ0。
9.如權(quán)利要求1至8中任一項所述的電極基板，其特征在于所述第一電極圖案的所述透明電極和所述第一電極圖案的所述連接部，由同一材料形成為一體。
10.如權(quán)利要求1至9中任一項所述的電極基板，其特征在于 所述絕緣層是透明的層。
11.一種圖像顯示裝置，其特征在于，包括 顯示圖像的顯示面板；和位于所述顯示面板的圖像顯示面一側(cè)的權(quán)利要求1至10中任一項所述的電極基板。
12.如權(quán)利要求11所述的圖像顯示裝置，其特征在于所述顯示面板是液晶顯示面板，其包括配置有薄膜晶體管的薄膜晶體管基板；與該薄膜晶體管基板相對配置的對置基板；和由該薄膜晶體管基板與該對置基板夾持的液晶層。
13.如權(quán)利要求12所述的圖像顯示裝置，其特征在于所述對置基板中所包含的基板兼作所述透明基板，在所述對置基板中所包含的基板的與面對所述液晶層的一側(cè)相反的一側(cè)的面上，形成有所述第一電極圖案和所述第二電極圖案。
14.一種電極基板的制造方法，其特征在于所述電極基板在透明基板的一個面上包括在第一方向上延伸的多個第一電極圖案； 和在與該第一方向交叉的第二方向上延伸的多個第二電極圖案， 所述電極基板的制造方法包括電極形成工序，在所述一個面上形成透明電極膜，并通過該透明電極膜的圖案化來形成所述第一電極圖案、和所述第二電極圖案中所包含的透明電極；絕緣膜形成工序，以覆蓋所述第一電極圖案和所述透明電極的方式，在所述透明基板上形成絕緣膜；除去工序，除去所述絕緣膜的一部分，使得夾著所述第一電極圖案相鄰的至少一對所述透明電極的每個透明電極的一部分露出，并且該第一電極圖案的被該相鄰的透明電極夾著的部分保持被所述絕緣膜覆蓋的狀態(tài)；和金屬配線形成工序，形成金屬配線，使得所述相鄰的透明電極露出的部分彼此電連接。
15.如權(quán)利要求14所述的電極基板的制造方法，其特征在于所述電極基板，在作為該電極基板的周邊區(qū)域的邊框部，具有與所述多個第一電極圖案的每個第一電極圖案和所述多個第二電極圖案的每個第二電極圖案電連接的多個邊框部金屬配線，在所述金屬配線形成工序中，與所述金屬配線同時形成所述多個邊框部金屬配線。
全文摘要
為了實現(xiàn)電極圖案的低電阻化而不伴隨電極圖案的交叉部的寄生電容的增大，觸摸面板(10)在透明基板(40)的一個面上形成有在第一方向上延伸的多個第一電極圖案(30)；和在與第一方向交叉的第二方向上延伸的多個第二電極圖案(20)，各個第一電極圖案(30)由多個透明電極(31)經(jīng)由導(dǎo)電性的連接部(32)連結(jié)成念珠狀而形成，各個第二電極圖案(20)，由多個透明電極(21)經(jīng)由導(dǎo)電性的連接部連結(jié)成念珠狀而形成，各個第二電極圖案(20)，在第二電極圖案(20)的連接部，隔著絕緣層(41)與各個第一電極圖案(30)交叉，在第二電極圖案(20)的至少一個中，該第二電極圖案(20)的存在多個的連接部中的至少一個是金屬配線(22)。
文檔編號G06F3/044GK102473049SQ20108003270
公開日2012年5月23日 申請日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月31日
發(fā)明者中田淳, 大和朝日 申請人:夏普株式會社