專利名稱：物理設(shè)計(jì)系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路(IC)和芯片設(shè)計(jì)系統(tǒng)，更具體地，涉及用于設(shè)計(jì)IC和IC芯片的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體技術(shù)和芯片制造技術(shù)進(jìn)展使芯片特征(feature)尺寸不斷減小，從而增加芯片上電路的切換頻率(電路性能)和晶體管數(shù)量(電路密度)。典型的半導(dǎo)體集成電路(IC)芯片是層疊各電路層的多層單元，使得層特征相互交迭，以形成各單個(gè)的器件并將各器件連在一起。一般通過使用在半導(dǎo)體制造中使用的公知的光刻技術(shù)用光刻法對(duì)各單個(gè)的層進(jìn)行構(gòu)圖。一般地，芯片設(shè)計(jì)人員產(chǎn)生出轉(zhuǎn)換為芯片/電路布局的新型芯片的電學(xué)或邏輯表示。將芯片/電路布局轉(zhuǎn)換為在光刻掩模上印刷的掩模形狀。各光刻掩模用于在半導(dǎo)體晶片上印刷圖案，該圖案規(guī)定局部晶片性能或芯片/電路層中的一個(gè)。
以前，在進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造時(shí)，假定設(shè)計(jì)的布局和制造的晶片的尺寸以及用于將設(shè)計(jì)尺寸轉(zhuǎn)移到晶片上的光掩模的尺寸十分接近。由于半導(dǎo)體技術(shù)已推進(jìn)了物理過程和材料的極限，因此這種假定不再有效。結(jié)果，設(shè)計(jì)、光刻構(gòu)圖(lithographic patterning)和操作設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)流進(jìn)行制造都必需增加創(chuàng)造力、努力和成本。在一些情況下，制造成本和風(fēng)險(xiǎn)已使得現(xiàn)有布局方法和支持性計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)工具的狀態(tài)不足以產(chǎn)生可制造的設(shè)計(jì)圖，即精確地滿足設(shè)計(jì)圖中預(yù)定/假定/模型化的性能的制造的晶片。
因此，需要降低布局產(chǎn)生和布局檢查的成本和風(fēng)險(xiǎn)并提高布局?jǐn)?shù)據(jù)準(zhǔn)備的效率的設(shè)計(jì)工具。具體而言，需要以更低的制造成本和風(fēng)險(xiǎn)提高設(shè)計(jì)可制造性的設(shè)計(jì)工具，即，提供制造的晶片將更精確地滿足設(shè)計(jì)圖中預(yù)定/假定/模型化的性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于簡(jiǎn)化電路物理設(shè)計(jì)；本發(fā)明的另一目的在于減小布局產(chǎn)生和布局檢查的成本和風(fēng)險(xiǎn)；本發(fā)明的另一目的在于以更低的制造成本和風(fēng)險(xiǎn)實(shí)現(xiàn)更精確地將最終制造的晶片與預(yù)定/假定/模型化的設(shè)計(jì)性能相匹配的設(shè)計(jì)目標(biāo)；本發(fā)明涉及用于一種用于設(shè)計(jì)復(fù)雜集成電路(IC)的設(shè)計(jì)系統(tǒng)、IC設(shè)計(jì)的方法和所用的程序產(chǎn)品。布局單元接收以網(wǎng)格和圖示符的格式表示各部分的電路說明。檢查單元檢查設(shè)計(jì)的網(wǎng)格和圖示符部分。確立單元從檢查的設(shè)計(jì)圖產(chǎn)生目標(biāo)布局。數(shù)據(jù)準(zhǔn)備單元為掩模制造準(zhǔn)備目標(biāo)布局。圖案高速緩存單元為了提高設(shè)計(jì)存儲(chǔ)效率選擇性地用以前高速緩存的結(jié)果代替設(shè)計(jì)的各部分。


參照以下附圖閱讀本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的以下詳述，可以更好地理解上述和其它目的、方面和優(yōu)點(diǎn)。
圖1表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的過程中性集成電路(IC)芯片物理設(shè)計(jì)流的簡(jiǎn)例；圖2表示例如從布局產(chǎn)生中得到的簡(jiǎn)單L3GO布局；圖3表示L3GO設(shè)計(jì)和制造數(shù)據(jù)流的更詳細(xì)的例子；圖4表示設(shè)計(jì)輸入和編輯和特別是增加圖示符的流程圖例子；圖5表示用于圖案高速緩存的局部區(qū)域中的圖示符的表示的例子。
圖6A-B表示對(duì)于作為單轉(zhuǎn)換單元例如確立單元的鄰區(qū)，兩個(gè)通道中圖案高速緩存的例子。
圖7表示檢查L(zhǎng)3GO布局(即，各L3GO)的L3GO特有部分是否符合L3GO規(guī)則的流程圖例子。
圖8表示確立單元中的L3GO布局的確立，即將基于圖示符的幾何形狀轉(zhuǎn)換為常規(guī)幾何形狀的流程圖例子。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參照附圖，更具體地，圖1表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的過程中性(process neutral)集成電路(IC)芯片物理設(shè)計(jì)流100的簡(jiǎn)例。以過程中性網(wǎng)格(grid)和圖示符(glyph)表示(representation)格式為物理設(shè)計(jì)110提供典型狀態(tài)的現(xiàn)有(art)電路設(shè)計(jì)。當(dāng)來自物理設(shè)計(jì)110的特定網(wǎng)格和圖示符表示或布局130穿過(traverse)過程中性芯片物理設(shè)計(jì)流100時(shí)，圖案高速緩存(caching)單元120監(jiān)視并分析該設(shè)計(jì)流，以優(yōu)化操作和減少工作量。優(yōu)選的布局130是這里稱為使用網(wǎng)格化圖示符幾何對(duì)象(L3GO)的布局并被稱為L(zhǎng)3GO布局的格式。L3GO布局130基本上是常規(guī)設(shè)計(jì)的擴(kuò)展。常規(guī)物理設(shè)計(jì)布局以單元(cell)、層、變換(transform)組織，并單獨(dú)由具有數(shù)據(jù)庫(kù)單元(DBU)中的坐標(biāo)的多邊形表示，這種多邊形一般比用于精確形狀和位置規(guī)范的最小制造特征(例如，1nm)小很多。但是，L3GO布局要簡(jiǎn)單得多，并處于具有很少選擇的形狀的粗大得多的網(wǎng)格上，可選的常規(guī)形狀很少，而主要具有L3GO特有的構(gòu)件，即網(wǎng)格、圖示符和屬性。
在檢查單元140中檢查來自物理設(shè)計(jì)110的完成的L3GO布局的L3GO特有規(guī)則違反以及其它典型物理設(shè)計(jì)規(guī)則違反。在檢查后，檢查的L3GO布局傳到確立(elaboration)單元150，該確立單元150為特定的選擇的技術(shù)將網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)擴(kuò)展為常規(guī)布局形狀，以產(chǎn)生目標(biāo)布局160。目標(biāo)布局傳到例如數(shù)據(jù)準(zhǔn)備單元170中的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備，該數(shù)據(jù)準(zhǔn)備單元170使用諸如分辨率增強(qiáng)技術(shù)(RET)和光學(xué)近似校正(OPC)的典型的集成電路(IC)設(shè)計(jì)掩模制作數(shù)據(jù)準(zhǔn)備技術(shù)對(duì)設(shè)計(jì)形狀進(jìn)行預(yù)處理。
圖案高速緩存120監(jiān)視各單元或各單元的組合的每一個(gè)上的以前遇到的圖案，并且，如果可以減少整個(gè)工作量，則用以前計(jì)算的高速緩存的結(jié)果代替以前遇到的圖案。特別地，圖案高速緩存120影響(leverage)設(shè)計(jì)內(nèi)的重復(fù)，以減少特定L3GO布局所需的整個(gè)以及單個(gè)單元計(jì)算，并減少表示輸出所需的數(shù)據(jù)。特別是在較大設(shè)計(jì)中，L3GO限制在嵌套的(nested)分級(jí)(hierarchical)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的固有重復(fù)之上增加設(shè)計(jì)的許多局部區(qū)域相同的可能性。一般地，使物理設(shè)計(jì)部分地變平(flatten)，以使用大量存在的技術(shù)中的一個(gè)，例如，在1996年公開的Russell等的題目為“將分級(jí)電路的子集(subset)公式化的系統(tǒng)和方法”的美國(guó)專利No.5519628，針對(duì)任何分級(jí)重復(fù)。變平后的設(shè)計(jì)在一層或更多層上具有一定數(shù)量的圖示符的集合(collection)，這些集合被劃分為一組子圖示符。例如，可以例如以最大為要進(jìn)行的計(jì)算的交互作用半徑(ROI)的距離、基于圖示符或圖示符的各部分的交互作用、將圖示符劃分為子圖示符。一般來說，對(duì)于OPC，例如，ROI為光學(xué)波長(zhǎng)的兩倍到三倍。對(duì)于包含ROI鄰域中的得到的變平的子圖示符組的構(gòu)造的各個(gè)子圖示符，對(duì)圖案進(jìn)行編碼。通過在包含以前處理的圖案的圖案目錄中對(duì)各當(dāng)前子圖示符的圖案進(jìn)行搜索，可以減少計(jì)算。如果沒有發(fā)現(xiàn)該圖案，那么例如通過使用OPC，計(jì)算當(dāng)前子圖示符和其周圍的圖案的結(jié)果。將新圖案結(jié)果存儲(chǔ)在圖案目錄中，使得將該圖案作為其關(guān)鍵，并將該結(jié)果添加到總輸出。另外，如果發(fā)現(xiàn)該圖案，則從圖案目錄中取出以前計(jì)算的結(jié)果，并將其添加到總輸出中。通過將頻繁重復(fù)的圖案表示為具有多個(gè)實(shí)例的單元，可以減少輸出數(shù)據(jù)量。
圖2表示來自圖1的布局產(chǎn)生110的簡(jiǎn)單L3GO布局180的例子。一般地，典型的L3GO布局主要包含三種簡(jiǎn)單幾何類型的圖元或圖示符點(diǎn)圖示符182(這里也稱為點(diǎn))、桿形圖示符184(這里也稱為桿)和矩形圖示符186(這里也稱為矩形)。網(wǎng)格是點(diǎn)188的規(guī)則矩形排列，所有的點(diǎn)都是內(nèi)置的制造網(wǎng)格的子集。關(guān)于網(wǎng)格規(guī)定各個(gè)圖示符，并將各圖示符分配給各個(gè)層。還可以將含有任意附加信息的屬性分配給各個(gè)圖示符，該附加信息例如包含設(shè)計(jì)意圖，該設(shè)計(jì)意圖例如用于表示多晶硅級(jí)圖示符在定時(shí)臨界網(wǎng)(timing-critical net)中。在典型的L3GO布局130中，各網(wǎng)格和圖示符占據(jù)特定的單元和層。用于分級(jí)圖示符復(fù)制(例如用于嵌套(nesting))的規(guī)則按照用于形狀的常用慣例。
點(diǎn)圖示符182是位于網(wǎng)格點(diǎn)上的無(wú)維的或零維的點(diǎn)，并且一般用于例如觸點(diǎn)和通路的垂直互連。桿形圖示符184是兩個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)之間的1維直線段。一般地，桿形圖示符184用于FET柵(gate)或用于互連。矩形圖示符186是頂點(diǎn)在網(wǎng)格點(diǎn)上的2維、軸對(duì)準(zhǔn)的矩形，一般用于擴(kuò)散區(qū)。如同常規(guī)布局中的多邊形，各L3GO圖示符位于特定的設(shè)計(jì)層(例如，POLY、DIFF)上，該設(shè)計(jì)層指示其功能、晶片材料等。任選地，可以在由更常規(guī)的多邊形表示的L3GO布局中包含不服從網(wǎng)格和圖示符限制的部件(例如存儲(chǔ)器位單元(memory bit cell)和模擬器件)。
L3GO布局(例如180)被傳至布局檢查140。通過限制布局幾何形狀，與更常規(guī)的設(shè)計(jì)方法相比，大大簡(jiǎn)化了對(duì)布局的指定和檢查?？梢酝ㄟ^簡(jiǎn)單的圖案匹配，即將圖示符的局部構(gòu)造與允許和不容許的構(gòu)造的圖案庫(kù)進(jìn)行匹配，檢查L(zhǎng)3GO布局。L3GO圖案是圖元函數(shù)(圖示符類型、方向和尺寸)的相連的和分離(conjunctive and disjunctive)的組合。圖案匹配可以方便地使用有效的子圖同構(gòu)算法。與傳統(tǒng)設(shè)計(jì)方法不同，設(shè)計(jì)規(guī)則不需要由復(fù)雜的任意幾何計(jì)算限定，該任意幾何計(jì)算可以基于大量的圖元函數(shù)和合成算子。
確立單元150將L3GO布局轉(zhuǎn)換成更常規(guī)的布局形狀。通過最簡(jiǎn)單的方式，確立單元進(jìn)行以下轉(zhuǎn)換將點(diǎn)圖示符182轉(zhuǎn)換為固定尺寸的正方形，這里尺寸可能取決于特定點(diǎn)圖示符182的設(shè)計(jì)層；將桿形圖示符184轉(zhuǎn)換為具有關(guān)于桿形圖示符開始和結(jié)束網(wǎng)格點(diǎn)的固定的寬度和懸垂(overhang)的矩形；并且將矩形圖示符186轉(zhuǎn)換為具有關(guān)于頂點(diǎn)網(wǎng)格點(diǎn)的指定懸垂的矩形。并且，確立單元150可以進(jìn)行涉及對(duì)特定上下文(context)中的單個(gè)圖示符或多個(gè)圖示符的更復(fù)雜的變換。例如，可以根據(jù)鄰近的同層圖示符的附近情況，判定桿形圖示符184的端部-懸垂的量，是否特定的桿形圖示符表示多晶硅柵或連接導(dǎo)線和/或其它層(例如，擴(kuò)散層、通路)上的圖示符。并且，圖示符到常規(guī)形狀變換可以包含一定的設(shè)計(jì)用于產(chǎn)生的動(dòng)作(DFY)，諸如冗余的觸頭或通路的嵌入、和沿垂直接線(connection)周圍的安放焊盤(landing pad)的添加。
來自確立單元150的目標(biāo)布局160，一般包含符合現(xiàn)有布局設(shè)計(jì)流狀態(tài)的形狀，但該形狀具有來自確立的附加信息。該附加的信息傳送幾何意圖并包含下游過程可允許的例如局部線寬、局部間隔和倒角的幾何參數(shù)的可變性的容限。該幾何意圖信息反映設(shè)計(jì)意圖，在設(shè)計(jì)時(shí)在圖示符中更直接地對(duì)該設(shè)計(jì)意圖進(jìn)行編碼。例如，可以基于定時(shí)或電源限制用可容許的柵長(zhǎng)度(Leff)可變性標(biāo)記表示多晶硅柵的桿形圖示符。在該例子中，確立可以將其轉(zhuǎn)換為標(biāo)記得到的矩形目標(biāo)形狀的線寬可變性容限。下游程序(例如OPC)可以使用幾何意圖信息，以決定在產(chǎn)生和表示修正中使用的精度水平，并在由掩模制造要求限制的互相排斥的修正之間進(jìn)行折衷。一些存在的OPC程序具有用于表示和使用這種容限信息的規(guī)定，雖然是不直接的。
還應(yīng)注意，只要開始輸入是L3GO設(shè)計(jì)，那么可以在確立單元150中的確立過程中，將圖案高速緩存120應(yīng)用于檢查140，與RET和OPC組合的確立或圖1所示的功能的任何順序(sequence)中。因此，可以將例如圖案高速緩存應(yīng)用于與RET和OPC組合的確立，并然后進(jìn)行用于為初始L3GO布局110提供電參數(shù)模型的過程模擬和提取。
圖3表示參照具有同樣標(biāo)明的相同特征的圖1的物理設(shè)計(jì)流100的例子、根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的L3GO設(shè)計(jì)和制造數(shù)據(jù)流200的更詳細(xì)的例子。布局產(chǎn)生或設(shè)計(jì)輸入和編輯110可以例如通過任何狀態(tài)的運(yùn)行遵循L3GO設(shè)計(jì)規(guī)則202的適當(dāng)設(shè)計(jì)工具的ART工作站、計(jì)算機(jī)終端、個(gè)人計(jì)算機(jī)等的圖形用戶界面(GUI)交互。設(shè)計(jì)工具優(yōu)選包含現(xiàn)有布局工具的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)的應(yīng)用擴(kuò)展，例如，以源自LISP的SKILL編程語(yǔ)言寫成且為Cadence VirtuosoTM布局編輯器書寫的擴(kuò)展。當(dāng)產(chǎn)生L3GO布局130時(shí)，以交互的方式檢查140 L3GO布局130是否符合設(shè)計(jì)規(guī)則202。一旦完成設(shè)計(jì)輸入和編輯，就對(duì)最終的L3GO布局130進(jìn)行檢查140，并將其發(fā)送到確立150。將確立規(guī)則204應(yīng)用于L3GO布局130，以產(chǎn)生目標(biāo)設(shè)計(jì)160。優(yōu)選地，以諸如OpenAccess的作為幾何信息、屬性和/或性能的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)格式或以諸如GDSII或OASIS的數(shù)據(jù)互換格式提供目標(biāo)設(shè)計(jì)160。將目標(biāo)設(shè)計(jì)160傳到數(shù)據(jù)準(zhǔn)備170。數(shù)據(jù)準(zhǔn)備170使用掩模(mask)產(chǎn)生數(shù)據(jù)，以將目標(biāo)設(shè)計(jì)形狀轉(zhuǎn)換為適當(dāng)?shù)难谀Ｐ螤?06。主要將掩模形狀數(shù)據(jù)206發(fā)送到用于轉(zhuǎn)換為光掩模的制造器206并然后用于圖案晶片。另外，優(yōu)選將掩模形狀數(shù)據(jù)206傳到印刷模擬208，以產(chǎn)生表示如何印刷形狀的晶片外形210。將晶片外形210傳到物理模型提取212。優(yōu)選在從目標(biāo)設(shè)計(jì)160到模型提取212的過程中以相同的格式保持L3GO布局。模型提取212從晶片外形210產(chǎn)生用于設(shè)計(jì)的電路模型214。如同任何設(shè)計(jì)，電路模型214可以驗(yàn)證設(shè)計(jì)將如它應(yīng)得到的印刷那樣進(jìn)行印刷，并保證設(shè)計(jì)完整性，例如，設(shè)計(jì)定時(shí)216、電源218等。圖案高速緩存120容許從輸入110到確立150到數(shù)據(jù)準(zhǔn)備170到模擬208然后到下面的分析214、216、218再最后到任何下面的分析對(duì)特定設(shè)計(jì)進(jìn)行端到端分析。
L3GO規(guī)則202主要包含將設(shè)計(jì)限制為L(zhǎng)3GO幾何形狀的圖示符特有的規(guī)則、將圖示符與常規(guī)布局形狀聯(lián)系的規(guī)則、和用于檢查在特定設(shè)計(jì)中涉及的任何常規(guī)形狀的規(guī)則。因此，L3GO規(guī)則不在包含相對(duì)邊緣布置的復(fù)雜不等量方面規(guī)定限制，而是對(duì)單個(gè)圖示符和圖示符的局部構(gòu)造的限制，例如，多晶硅柵必須是跨過至少兩個(gè)多晶硅柵網(wǎng)格點(diǎn)的水平桿形，并且必須以至少兩個(gè)網(wǎng)格間距與其它多晶硅柵圖示符分開。L3GO規(guī)則202可以為文本文件或運(yùn)行組(run set)，諸如用于現(xiàn)有設(shè)計(jì)規(guī)則檢查器的常規(guī)狀態(tài)。一旦規(guī)定了L3GO規(guī)則，就可以通過檢查單元140將該L3GO規(guī)則轉(zhuǎn)換為內(nèi)部形式?？梢允褂弥T如Mentor Graphics CalibreTM的用于常規(guī)形狀檢查器的規(guī)則表示實(shí)施將圖示符與常規(guī)布局形狀和用于常規(guī)形狀的常規(guī)設(shè)計(jì)規(guī)則聯(lián)系的規(guī)則。
確立規(guī)則204規(guī)定從L3GO設(shè)計(jì)到常規(guī)的基于形狀的目標(biāo)設(shè)計(jì)160的轉(zhuǎn)換。將簡(jiǎn)單的規(guī)則應(yīng)用于單個(gè)圖示符，例如，可以沿單一的方向?qū)⒍嗑Ч钖艌D示符擴(kuò)展為長(zhǎng)度為圖示符長(zhǎng)度、寬度為臨界多晶硅柵級(jí)直線寬度的矩形。根據(jù)特定的上下文，可以將更復(fù)雜的規(guī)則應(yīng)用于圖示符或圖示符的部分上。例如，如果在兩個(gè)網(wǎng)格間距內(nèi)沒有相交的第一金屬級(jí)圖示符，那么可以擴(kuò)展第一金屬級(jí)直線端。在另一例子中，如果在兩個(gè)網(wǎng)格間距內(nèi)第一金屬級(jí)圖示符不平行，那么可以增加狗骨錨片(dogbone anchor)。并且，對(duì)于圖示符圖案、圖示符部分、幾何關(guān)系和邏輯連接(connective)規(guī)定更復(fù)雜的規(guī)則。例如，當(dāng)多晶硅柵圖示符和金屬級(jí)圖示符在沿第一金屬級(jí)線擴(kuò)展多晶硅柵形狀一個(gè)網(wǎng)格并在新的多晶硅柵形狀端部增加冗余的接觸形狀的接觸點(diǎn)圖示符相遇時(shí)，可以包含確立規(guī)則。
優(yōu)選通過使用兩種方法中的一種，即將L3GO性能和值擴(kuò)展為存在的數(shù)據(jù)模型，或提供新類型的設(shè)計(jì)目標(biāo)，對(duì)L3GO特有的設(shè)計(jì)構(gòu)件進(jìn)行編碼。因此，根據(jù)第一種優(yōu)選方法，使用開型存取(OA，OpenAccess)數(shù)據(jù)模型(性能和值)的可擴(kuò)展性機(jī)制，以將新的目標(biāo)類型添加到OA永久和芯內(nèi)(in-core)存儲(chǔ)器中。用用于操作的C++類或SKILL(LISP)數(shù)據(jù)封裝這些目標(biāo)類型。根據(jù)第二種優(yōu)選方法，可以將新類型的設(shè)計(jì)目標(biāo)表示為具有特定解釋的常規(guī)設(shè)計(jì)目標(biāo)。例如，特定單元中的特定層的網(wǎng)格可以由該單元中的該層上的直角三角形表示。直角三角形的底邊是X間距，高是Y間距，直角是網(wǎng)格原點(diǎn)。點(diǎn)圖示符可以由具有例如1數(shù)據(jù)庫(kù)單位的最小半徑的圓表示。桿形圖示符可以由具有最小寬度的路線或直線對(duì)象例如2數(shù)據(jù)庫(kù)單位寬度的直線表示，在該直線的每一邊有一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)單位寬度。矩形圖示符可以直接由頂點(diǎn)在網(wǎng)格點(diǎn)或坐標(biāo)上的常規(guī)矩形表示。所選的特定方法取決于用于L3GO設(shè)計(jì)輸入和編輯110的特定設(shè)計(jì)工具的能力。
圖4表示設(shè)計(jì)輸入和編輯110和特別是增加圖示符的流程例子。一般在適當(dāng)配備的工作站、計(jì)算機(jī)終端或PC上以交互的方式完成編輯110。設(shè)計(jì)編輯從選擇顯示1104的單元1102開始，并然后選擇單元中的層1106。如果以前沒有規(guī)定的話，則在步驟1108中，為選擇的層規(guī)定網(wǎng)格。在步驟1110中，顯示新規(guī)定或以前規(guī)則的網(wǎng)格。在步驟1112中為增加選擇圖示符類型。如果選擇點(diǎn)圖示符，那么在步驟1114p中選擇網(wǎng)格點(diǎn)。類似地，如果選擇桿形類型，在步驟1114s中選擇兩個(gè)點(diǎn)，以規(guī)定桿形圖示符，并且/或者，如果已選擇矩形圖示符，那么在1114r中選擇表示相對(duì)頂點(diǎn)的兩個(gè)點(diǎn)。然后，在步驟1116p(或1116s或1116r)中，將點(diǎn)(桿形或矩形)圖示符添加到設(shè)計(jì)中，并且，在步驟1118中，檢查單元/層是否符合L3GO規(guī)則204。如果添加的圖示符沒有通過規(guī)則檢查1118，那么將其去除。然后，設(shè)計(jì)人員返回圖示符類型選擇1112并可以選擇其它點(diǎn)圖示符1114p、桿形圖示符1114s或矩形圖示符1114r。另外，如果在1118中圖示符符合L3GO規(guī)則檢查，那么可以在1112中將更多的圖示符添加到相同的層中，或者，設(shè)計(jì)人員可以在1106中選擇用于編輯的其它層，或者，設(shè)計(jì)人員可以在1104中選擇不同的單元。另外，設(shè)計(jì)人員可以選擇包含移動(dòng)、修改或刪除圖示符的其它編輯動(dòng)作1120。一旦設(shè)計(jì)人員在步驟110中完成鍵入和編輯設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)工作，就將L3GO設(shè)計(jì)送到檢查140。
圖案高速緩存120容許從輸入110到確立150到數(shù)據(jù)準(zhǔn)備170到模擬208然后到分析214、216、218最后到下面的分析的特定設(shè)計(jì)的端到端處理，這種端到端處理會(huì)對(duì)缺陷限制和電路限制的產(chǎn)生(yield)程序進(jìn)行檢查。由于L3GO芯片布局可以是受限制的網(wǎng)格上的圖示符的受限制的組，因此可以降低用于完成端到端處理的添加的成本。因此，可以將產(chǎn)生L3GO的布局分解為有限的(雖然一般較大)局部構(gòu)造組。圖案高速緩存120方便地提供可以在從L3GO設(shè)計(jì)開始的任何步驟的順序的背景中完成的一般機(jī)制。
實(shí)質(zhì)上，圖案高速緩存120組合具有與高速緩存的圖案匹配的圖案的以前遇到的局部構(gòu)造和隨后的局部構(gòu)造的轉(zhuǎn)換高速緩存(conversion cache)。因此，圖案高速緩存120確定對(duì)于各局部L3GO設(shè)計(jì)流/數(shù)據(jù)流(例如圖1中的100、圖3中的200)相鄰操作，例如，確立150、確立150和數(shù)據(jù)準(zhǔn)備170、確立150與數(shù)據(jù)準(zhǔn)備170和模擬208等，是否以前已遇到特定的構(gòu)造(configuration)。因此，用于任何設(shè)計(jì)的L3GO布局正常繼續(xù)直到并除非圖案高速緩存辨別出以前遇到的高速緩存的圖案。如果圖案高速緩存120辨別出高速緩存的圖案，則不通過整個(gè)設(shè)計(jì)流100，而是讀取用于高速緩存的圖案的并將其加入該設(shè)計(jì)流并繞過相應(yīng)的鄰區(qū)。否則，圖案高速緩存120進(jìn)行識(shí)別并高速緩存由局部圖案識(shí)別、適當(dāng)?shù)卣聿⑺饕魏我郧拔从龅竭^的圖案。根據(jù)重復(fù)的頻率和不同圖案的長(zhǎng)度，由簡(jiǎn)單的計(jì)數(shù)統(tǒng)計(jì)選擇性地伴隨的高速緩存可以相當(dāng)小。因此，一般地，圖案高速緩存所采取的形式取決于L3GO數(shù)據(jù)流中使用的特定工具。
圖5表示用于圖案高速緩存120的局部區(qū)域220中的圖示符圖案的表示的例子。在該例子中，局部構(gòu)造和圖案匹配基于下面的L3GO網(wǎng)格222。各個(gè)網(wǎng)格的邊緣，例如225，跨過相鄰的網(wǎng)格點(diǎn)，例如，224和226。占有屬性(例如，a1或a0)被固定于相關(guān)的邊緣，并表示該邊緣是否被例如多晶硅柵層上的L3GO桿形圖示符228的一部分占有。一旦固定了占有屬性，那么網(wǎng)格點(diǎn)226可以由十二位字標(biāo)識(shí)，各位對(duì)應(yīng)感興趣區(qū)(ROI)內(nèi)的各邊緣中的一個(gè)。圖案高速緩存120可以在通過特定鄰區(qū)的兩個(gè)分開的通道中完成，該鄰區(qū)與后接代替通道的通道匹配。在經(jīng)過鄰區(qū)的第一通道中，為設(shè)計(jì)中的各單一的局部構(gòu)造識(shí)別一個(gè)距離。在經(jīng)過鄰區(qū)的第二通道中，將實(shí)際處理步驟應(yīng)用于第一通道結(jié)果，以產(chǎn)生輸出，例如，確立和數(shù)據(jù)準(zhǔn)備產(chǎn)生掩模布局。
圖6A-B表示對(duì)于在本例子中作為單轉(zhuǎn)換單元(例如，確立單元130)的鄰區(qū)，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，在兩個(gè)通道1200、1250中的圖案高速緩存的例子。圖6A中的第一通道1200從步驟1202開始，在該步驟1202中，對(duì)于各網(wǎng)格點(diǎn)用相應(yīng)的輸入初始化網(wǎng)格標(biāo)記陣列，例如，將各輸入重設(shè)為零。然后，在步驟1204中，從排列中選擇第一網(wǎng)格點(diǎn)，例如圖5中的226。在步驟1206中，將占有屬性分配給12個(gè)包圍邊緣，并且，用這些屬性將所選的網(wǎng)格點(diǎn)標(biāo)識(shí)為例如12位圖案字K。然后，在步驟1208中，將當(dāng)前圖案字與高速緩存的圖案相比較，以確定以前是否遇到過當(dāng)前圖案字，即，用于當(dāng)前圖案的字是否與高速緩存的字匹配。如果當(dāng)前圖案字匹配，那么，該匹配是將特定鄰區(qū)進(jìn)行編碼的當(dāng)前位圖案的結(jié)果。因此，返回步驟1204，并優(yōu)選以掃描線的次序，選擇下一個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)。在步驟1206中重新將占有屬性分配給任何以前的未分配的輸入，并在步驟1208中對(duì)于圖案字檢查高速緩存圖案。如果在圖案高速緩存中未發(fā)現(xiàn)圖案字，那么，在步驟1210中將該圖案標(biāo)識(shí)為新的圖案，并在步驟1212中進(jìn)行高速緩存。然后，返回到步驟1204，選擇一下個(gè)點(diǎn)。這樣一直繼續(xù)直到在步驟1204中考慮到了所有的網(wǎng)格點(diǎn)。
一旦考慮到了所有的網(wǎng)格點(diǎn)，就可以將設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)減少到僅存在對(duì)于當(dāng)前鄰區(qū)的標(biāo)識(shí)的圖案，即，僅存在不與以前高速緩存中的任何圖案匹配的那些圖案。因此，在步驟1214的開始，選擇網(wǎng)格邊緣，并且在步驟1216中檢查附近的標(biāo)記。如果什么也沒有發(fā)現(xiàn)，那么在步驟1218中將所選擇的邊緣從設(shè)計(jì)中擦掉，并返回到步驟1214，并同樣優(yōu)選按掃描線次序選擇下一個(gè)邊緣。如果在步驟1216中發(fā)現(xiàn)標(biāo)記，那么不動(dòng)該邊緣，并返回步驟1214，選擇下一邊緣。當(dāng)在步驟1214中考慮到了所有的邊緣后，在步驟1220中輸出編輯的設(shè)計(jì)，并且為鄰區(qū)中的正常處理在步驟1222中輸出圖案高速緩存。在在步驟1220中輸出編輯的設(shè)計(jì)和在步驟1222中輸出高速緩存后，當(dāng)標(biāo)記的圖案部分穿過鄰區(qū)以出現(xiàn)時(shí)，將標(biāo)記的圖案部分正常地看作它們穿過鄰區(qū)而出現(xiàn)，例如，看作用于確立130的正常的圖示符或看作來自208的正常晶片外形。應(yīng)注意到，要減少和最小化用于標(biāo)記陣列的存儲(chǔ)器的數(shù)量，步驟1202-1212的網(wǎng)格標(biāo)記可以與設(shè)計(jì)編輯步驟1214-1222相連(pipeline)。
在第一通道后，將從步驟220得到的經(jīng)過編輯的設(shè)計(jì)輸入到鄰區(qū)，即，具有所需的操作的規(guī)定的程序。
圖6B中的第二通道從輸入原始L3GO設(shè)計(jì)的步驟1252開始。在步驟1254中，讀取(retrieve)由規(guī)定的程序處理處理經(jīng)過編輯的設(shè)計(jì)的結(jié)果，并在步驟1256中讀取圖案高速緩存。然后，在步驟1258中，從排列中選擇網(wǎng)格點(diǎn)。在步驟1260中，從網(wǎng)格標(biāo)記陣列中讀取用于所選的網(wǎng)格點(diǎn)的12位字圖案。在步驟1262中，對(duì)于將邊緣(I、J)周圍的鄰區(qū)編碼的圖案K，檢查圖案高速緩存。如果結(jié)果輸入表示邊緣(I、J)是K的第一次出現(xiàn)，那么在步驟1264中，該結(jié)果指示邊緣(I、J)周圍的鄰區(qū)是實(shí)際處理的經(jīng)過編輯的設(shè)計(jì)的部分，因此輸出未變。但是，如果對(duì)于K的高速緩存檢查指示K的第一次出現(xiàn)處于(I、J)以外的一些位置(P、Q)，那么，在步驟1266中將(P、Q)周圍的輸出復(fù)制到(I、J)周圍的輸出中。另外，如果所選的字圖案與高速緩存的圖案匹配，那么將高速緩存的圖案結(jié)果嵌入結(jié)果中。一旦在需要時(shí)在步驟1268中將適當(dāng)?shù)膱D案結(jié)果嵌入輸出，那么優(yōu)選沿掃描線次序在步驟1258中選擇下一個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)。當(dāng)在步驟1258中選擇了所有的網(wǎng)格點(diǎn)后，那么設(shè)計(jì)在步驟1270中退出第二通道。應(yīng)注意，如對(duì)于單單元鄰區(qū)的本例子中所示和所述的那樣，還可以用任何數(shù)量的例如上述Russell等的例如Niagrara的分級(jí)形狀處理機(jī)制組合兩個(gè)圖案高速緩存步驟1200和1250，因此，在這些分級(jí)設(shè)計(jì)中的這些重復(fù)圖案的存在減少了編碼，使得，對(duì)于所有的單一的重復(fù)的圖案組合，即更高結(jié)構(gòu)水平的圖案高速緩存，可以將平面設(shè)計(jì)(flat design)編碼為平面設(shè)計(jì)的最小組。
圖7表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例、檢查140 L3GO設(shè)計(jì)(即圖示符)的L3GO特定部分是否符合L3GO規(guī)則(例如圖3的202)的流程圖例子。檢查140將設(shè)計(jì)圖示符圖案和任選的附近的上下文圖示符與各規(guī)則的圖案部分相匹配。因此，避免了算法魯棒性的問題，并且可以通過使用各種算法搜索結(jié)構(gòu)和散列法提高檢查效率。因此，在步驟1402的開始，例如從存儲(chǔ)器讀取用于所選技術(shù)的L3GO規(guī)則202。在步驟1404中，通過圖示符層將L3GO規(guī)則202分類。在步驟1406中，將規(guī)則進(jìn)一步分類為違反規(guī)則和自由決定規(guī)則。自由決定規(guī)則不管其它規(guī)則如何，總是規(guī)定允許的局部圖案。在步驟1408中，為各規(guī)則確定上下文大小(context size)，即必須由布局檢查以檢查違反或支持其它圖示符的在給定圖示符以外的距離。首先，在步驟1410中，為檢查選擇設(shè)計(jì)的層。然后，在步驟1412中，選擇該層上的單個(gè)圖示符。然后，在步驟1414中，選擇規(guī)則中的第一個(gè)，并且在步驟1416中，可以為所選擇的圖示符收集包圍圖示符的上下文和緊鄰所選圖示符的任何其它常規(guī)形狀。在步驟1418中，相對(duì)于所選的規(guī)則檢查所選擇的圖示符，以確定該規(guī)則是否適于所選的圖示符及其上下文。如果不適用，返回步驟1414，選擇下一條規(guī)則。當(dāng)在步驟1418中發(fā)現(xiàn)與所選圖示符及其上下文匹配的特定的規(guī)則，那么在步驟1420中，檢查規(guī)則，以確定它是否是違反規(guī)則或自由決定規(guī)則，如果它是違反規(guī)則，則在步驟1422中報(bào)告錯(cuò)誤，并返回步驟1412選擇另一個(gè)圖示符。如果它是自由決定規(guī)則，那么在步驟1412中可以認(rèn)為其上下文中的所選的圖示符是有效的，并且檢查可以在步驟1414中前進(jìn)到下一個(gè)圖示符。
一旦檢查了圖示符，那么可以通過任何適用的常規(guī)設(shè)計(jì)規(guī)則檢查(DRC)工具，完成L3GO設(shè)計(jì)圖示符中的常規(guī)設(shè)計(jì)形狀和它們的交互作用?？梢酝ㄟ^將L3GO形狀看作線狀或點(diǎn)狀常規(guī)形狀，在常規(guī)DRC工具上相對(duì)于L3GO設(shè)計(jì)圖示符檢查常規(guī)形狀。作為替代方案，可以為常規(guī)形狀(例如，為設(shè)計(jì)級(jí)向外排到適當(dāng)?shù)木W(wǎng)格的最不密封矩形形狀)提供符合L3GO的表示，并且，然后通過使用L3GO特有的檢查機(jī)制，相對(duì)于L3GO形狀檢查常規(guī)形狀的表示法。優(yōu)選地，檢查單元140是用于通過構(gòu)造布局產(chǎn)生進(jìn)行無(wú)縫校正的L3GO輸入/編輯單元120的子單元，例如，設(shè)計(jì)人員不能輸入違反非自選或違反規(guī)則的圖示符。但檢查單元140可以選擇性地作為單獨(dú)的單元進(jìn)行操作。一旦檢查了L3GO布局，就可以將其傳到確立單元150中的確立。
圖8表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，確立單元150中的L3GO設(shè)計(jì)的確立即將基于圖示符的幾何形狀轉(zhuǎn)換為常規(guī)幾何形狀的流程圖例子。這就象把桿形圖示符變大為矩形以及把點(diǎn)圖示符變大為正方形一樣簡(jiǎn)單，或者它可以包含更復(fù)雜的與上下文有關(guān)的幾何處理，例如，沿接觸圖示符擴(kuò)展多晶硅邊界。首先，在步驟1502中，為所選的技術(shù)讀取確立規(guī)則(例如步驟中的204)，例如，確立規(guī)則204可以為遠(yuǎn)程存儲(chǔ)器中的文本文件。一般地，確立規(guī)則202的每一個(gè)包含圖案和相關(guān)的動(dòng)作。典型的圖案可能包含基(base)即圖示符或圖示符的部分(例如，包含其各端點(diǎn)的一個(gè)的桿形圖示符的部分)和上下文，即，為了使圖案匹配而必須存在的圖示符或圖示符部分的組。然后，在步驟1504中，從最具體到最不具體由圖案的具體性將確立規(guī)則分類。具體的規(guī)則，例如，可能要求，將多晶硅柵桿形圖示符擴(kuò)展至少三個(gè)網(wǎng)格間距長(zhǎng)并與垂直的第一金屬級(jí)桿形圖示符一致，以及與接觸級(jí)圖示符一致擴(kuò)展至少四個(gè)網(wǎng)格間距長(zhǎng)。作為對(duì)比，最不具體規(guī)則例如可以指定擴(kuò)散層矩形圖示符的處理。在步驟1506中，選擇最具體規(guī)則。在步驟1508中，使用例如圖案匹配算法以辨別圖案的距離從最具體到最不具體掃描設(shè)計(jì)，直到在步驟1510中發(fā)現(xiàn)圖案的實(shí)例。在步驟1512中為各個(gè)匹配調(diào)用相應(yīng)的動(dòng)作，并確立與圖案(可能具有自由變量)匹配的結(jié)構(gòu)。作為目標(biāo)設(shè)計(jì)160的部分輸出確立的形狀，并且，在步驟1514中，當(dāng)完成時(shí)標(biāo)記匹配的圖示符或與圖案的基部分相應(yīng)的子圖示符。
首先，目標(biāo)設(shè)計(jì)160與常規(guī)設(shè)計(jì)協(xié)調(diào)并無(wú)縫地流入現(xiàn)有下游分析和數(shù)據(jù)準(zhǔn)備的已知狀態(tài)中。優(yōu)選確立150將作為擴(kuò)展的幾何意圖信息添加到常規(guī)設(shè)計(jì)信息中。幾何意圖信息規(guī)定對(duì)于各單個(gè)形狀或形狀的部分的容限和/或一般約束，例如，用于柵級(jí)形狀附近的擴(kuò)展級(jí)形狀的內(nèi)角的最大圓角半徑，或者對(duì)于規(guī)定的柵級(jí)寬度變化的容限。確立150例如可以增加從更高級(jí)的設(shè)計(jì)人員意圖信息翻譯得來的幾何意圖信息，例如，標(biāo)記形成柵形狀的多晶硅柵級(jí)形狀作為非臨界可以在對(duì)應(yīng)的常規(guī)目標(biāo)設(shè)計(jì)形狀中得到更寬松的容限和增加的標(biāo)稱直線寬度。還優(yōu)選作為工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)屬性和/或性能或以數(shù)據(jù)互換格式提供幾何意圖信息。通過使用這些工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)屬性或數(shù)據(jù)互換格式，可以直接規(guī)定應(yīng)用于整個(gè)形狀的設(shè)計(jì)意圖，例如，可以更容易確定多晶硅柵級(jí)形狀的哪些部分形成柵以及哪些部分是多互連。另外，可以為形狀的部分對(duì)設(shè)計(jì)意圖進(jìn)行編碼，例如，可以例如通過限定端點(diǎn)由形狀邊緣的串行次序或在幾何上將形狀的特定邊緣上的幾何容限表示為固定到邊緣上的數(shù)字容限。
數(shù)據(jù)準(zhǔn)備170從目標(biāo)形狀和設(shè)計(jì)意圖信息中得到掩模形狀。對(duì)于沒有經(jīng)過圖案高速緩存120操作的任何圖案，將形狀變換應(yīng)用的收集應(yīng)用于目標(biāo)形狀，從而為目標(biāo)技術(shù)過程和材料的各個(gè)方面做出補(bǔ)償。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，工具諸如Mentor Calibre的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)軟件實(shí)施適當(dāng)?shù)墓臄?shù)據(jù)準(zhǔn)備技術(shù)，例如，交替相位偏移掩模產(chǎn)生和光近似校正。同樣作為工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)屬性和/或性能或以標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)互換格式將幾何信息固定到足以建立掩模形狀206的準(zhǔn)備的目標(biāo)形狀上。優(yōu)選掩模形狀206幾何信息包含與用于目標(biāo)形狀的幾何意圖信息類似的掩模意圖信息。由于對(duì)于掩模寫入和檢查需要較低的精度，因此掩模意圖信息減少掩模建立的時(shí)間和成本。
模擬208預(yù)測(cè)如何在規(guī)定的過程中在制造的晶片(作為晶片外形210)上最終印刷物理結(jié)構(gòu)。一般地，對(duì)于模擬208，讀取以前模擬的高速緩存圖案，或者，通過優(yōu)選地使用相同的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)軟件工具產(chǎn)生新的模擬。模擬208精確地預(yù)測(cè)標(biāo)稱晶片形狀，并且還預(yù)測(cè)包含對(duì)下面的系統(tǒng)影響變量的校正的這些形狀的變化，例如，通劑(through-dose)、通焦(through-focus)變化等。晶片外形210是例如通過使用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)表示或數(shù)據(jù)互換格式表示所期望的最終制造材料形狀的幾何形狀，該幾何形狀增加了可以屬于各單個(gè)形狀或?qū)儆谡麄€(gè)層的性能。典型的這種增加的性能表示各晶片外形形狀與過程變量條件之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。優(yōu)選清楚地保存該變化信息而不是將其例如混入標(biāo)稱外形或容限信息中。因此，變化之間的詳細(xì)的關(guān)系可以用于下游分析程序。
提取212和電路模型214包含大量的公知分析過程的應(yīng)用，以將外形210(以及它們的變化)轉(zhuǎn)換為有意義的由布局設(shè)計(jì)人員或在布局產(chǎn)生程序中須加以考慮的電參數(shù)，例如，切換時(shí)間、功率消耗218、缺陷和噪聲敏感度等。特別地，提取提供取決于例如器件切換時(shí)間和互連傳播時(shí)間216的被得出的特定參數(shù)的電路模型表示。例如，可以使用諸如AssuraRCXTM的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提取軟件工具計(jì)算器件切換時(shí)間和互連傳播時(shí)間216。對(duì)于諸如垂直互連缺陷感性的其它性能，也可以使用基于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)形狀處理軟件工業(yè)的特別的應(yīng)用。
可以將L3GO規(guī)則方便地表達(dá)為網(wǎng)格和圖示符的允許的或不允許的圖案的非常簡(jiǎn)單的組，同時(shí)忽略有關(guān)用于檢查規(guī)則的函數(shù)的任何細(xì)節(jié)?？梢酝ㄟ^適當(dāng)?shù)厥褂贸Ｒ?guī)形狀表示圖示符例如用于桿形的窄的路徑(例如，次最小直線)和用于點(diǎn)的小(例如次最小)的正方形表示圖示符，用常規(guī)的設(shè)計(jì)工具產(chǎn)生L3GO布局。并且，大多數(shù)布局編輯器可以定制布局編輯環(huán)境，以簡(jiǎn)化L3GO布局的輸入。例如，可以對(duì)編輯進(jìn)行定制，以允許直接而不是通過使用常規(guī)形狀近似鍵入桿形和點(diǎn)。并且，可以選擇布局編輯環(huán)境，以用布局網(wǎng)格實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)膱D示符排列?？梢赃x擇性地通過結(jié)構(gòu)布局將基于圖案的設(shè)計(jì)規(guī)則集成到用于校正的布局編輯環(huán)境中，由此消除分開的檢查步驟。另外，由于L3GO布局由圖示符和粗大網(wǎng)格高度地限制，因此L3GO布局可以以與網(wǎng)格化的路由從示意性網(wǎng)表自動(dòng)產(chǎn)生互連布局相同的方式，直接從示意性表示中產(chǎn)生L3GO布局。結(jié)果，由于固定到圖示符上的性能關(guān)于器件和連接傳輸設(shè)計(jì)意圖，因此不需要表示可能使該意圖變模糊的較小的幾何形狀細(xì)節(jié)。
另外，與基于現(xiàn)有(art)技術(shù)的設(shè)計(jì)系統(tǒng)的典型狀態(tài)不同，L3GO設(shè)計(jì)減少?gòu)囊环N技術(shù)移到下一種技術(shù)的成本。L3GO規(guī)則對(duì)較小的過程變化不太敏感，這些變化對(duì)于許多設(shè)計(jì)為圖像的網(wǎng)格和桿形級(jí)。大多數(shù)較小的過程變化不需要任何相應(yīng)的L3GO規(guī)則變化，并且可以被降至確立和下面的自動(dòng)過程步驟。事實(shí)上，一些L3GO布局可以完全技術(shù)無(wú)關(guān)，這是因?yàn)長(zhǎng)3GO網(wǎng)格和桿形表示無(wú)縫地從一種技術(shù)轉(zhuǎn)移到下一種技術(shù)，沒有任何設(shè)計(jì)變化。在確立過程和數(shù)據(jù)準(zhǔn)備中可能影響由在各技術(shù)之間移動(dòng)得到的對(duì)設(shè)計(jì)的物理變化。可以通過使用新的過程模型簡(jiǎn)單地更新模擬。
并且，圖案高速緩存通過過程模擬和分析有效地處理非常詳細(xì)的L3GO布局。由于對(duì)于任何圖案的計(jì)算只需完成一次，同時(shí)對(duì)于重復(fù)的圖案重復(fù)地使用計(jì)算的結(jié)果，因此圖案高速緩存大大降低用于L3GO布局以及用于其它計(jì)算的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備執(zhí)行時(shí)間。這樣還減少輸出數(shù)據(jù)量并使以下面的計(jì)算(例如掩模破裂)效率更高。由于大大減少了不同布局(即，設(shè)計(jì)空間)的數(shù)量，因此L3GO設(shè)計(jì)大大減少了在大型設(shè)計(jì)中一般固有的討厭的意外情況。隨著充分的設(shè)計(jì)空間減少，至少對(duì)于特定的設(shè)計(jì)的L3GO部分，可以檢查每一個(gè)局部布局構(gòu)造，以發(fā)現(xiàn)并消除意外情況。
雖然用優(yōu)選實(shí)施例說明了本發(fā)明，但本領(lǐng)域技術(shù)人員認(rèn)識(shí)到，在所附的權(quán)利要求書的精神和范圍內(nèi)，可以通過修改實(shí)施本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種設(shè)計(jì)系統(tǒng)，包括布局單元，用于接收集成電路(IC)設(shè)計(jì)的電路說明，所述布局單元以網(wǎng)格和圖示符格式表示所述IC設(shè)計(jì)的各部分；檢查單元，用于檢查網(wǎng)格和圖示符部分；確立單元，用于從所述網(wǎng)格和圖示符部分的每一檢查部分產(chǎn)生目標(biāo)布局；數(shù)據(jù)準(zhǔn)備單元，用于為掩模制作準(zhǔn)備所述目標(biāo)布局；和圖案高速緩存單元，用于用以前高速緩存的結(jié)果選擇性地代替穿過所述設(shè)計(jì)系統(tǒng)的網(wǎng)格和圖示符部分。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述網(wǎng)格和圖示符格式的圖示符包含點(diǎn)圖示符、直線圖示符和矩形圖示符。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中所述檢查單元包括規(guī)則存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則；分類器，用于將所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則進(jìn)行分類；圖示符選擇裝置，用于選擇用于檢查的圖示符；規(guī)則檢查器，用于比較選擇的圖示符是否符合所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則中所選擇的一個(gè)；和用于指示比較結(jié)果的裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述檢查裝置包括用于選擇設(shè)計(jì)層的裝置；用于在所述選擇的設(shè)計(jì)層上選擇圖示符的裝置；用于選擇用于檢查的所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則中的一個(gè)的裝置。
5.如權(quán)利要求3所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述用于指示比較結(jié)果的裝置響應(yīng)違反所選擇的所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則，提供錯(cuò)誤指示。
6.如權(quán)利要求5所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所選擇的所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則是違反規(guī)則，對(duì)于違反自由決定規(guī)則的情況不提供錯(cuò)誤指示。
7.如權(quán)利要求3所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，存儲(chǔ)的所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則包含支配圖示符與設(shè)計(jì)形狀交互作用的規(guī)則，并且所述檢查單元還包含上下文確定裝置，用于對(duì)于各網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則確定上下文大小，并用于識(shí)別周圍的設(shè)計(jì)形狀；和上下文收集裝置，用于為選擇的圖示符收集上下文大小。
8.如權(quán)利要求7所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述檢查裝置檢查收集的上下文是否符合支配圖示符與設(shè)計(jì)形狀交互作用的規(guī)則。
9.如權(quán)利要求2所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述確立單元包含規(guī)則存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)確立規(guī)則；規(guī)則分類器，用于將確立規(guī)則分類；規(guī)則檢查器，用于檢查圖示符是否與所述確立規(guī)則中的任何一個(gè)匹配；和用于響應(yīng)與確立規(guī)則中的一個(gè)匹配擴(kuò)展圖示符的裝置。
10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述分類器從最具體到最不具體將確立規(guī)則進(jìn)行分類。
11.如權(quán)利要求9所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述確立單元還包含圖示符標(biāo)記裝置，該圖示符標(biāo)記裝置用于標(biāo)記各完成擴(kuò)展的圖示符和擴(kuò)展的圖示符部分。
12.如權(quán)利要求2所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述圖案高速緩存單元包含圖案存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)以前處理的圖案的結(jié)果；高速緩存圖案識(shí)別單元，用于對(duì)應(yīng)于以前處理的圖案中識(shí)別所述IC設(shè)計(jì)中的設(shè)計(jì)圖案；和用于用存儲(chǔ)的結(jié)果代替識(shí)別的設(shè)計(jì)圖案的裝置。
13.如權(quán)利要求12所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述高速緩存圖案識(shí)別裝置包含圖案掃描裝置，用于對(duì)于與以前處理的圖案中的一個(gè)匹配的圖案掃描IC設(shè)計(jì)中的各圖示符周圍的區(qū)域；網(wǎng)格標(biāo)記裝置，用于對(duì)于各不匹配的圖案標(biāo)記網(wǎng)格位置；和設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)減少裝置，用于將IC設(shè)計(jì)減少到不匹配圖案。
14.如權(quán)利要求13所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述圖案掃描裝置包含圖案定位裝置，用于掃描各網(wǎng)格點(diǎn)并對(duì)于所述各網(wǎng)格點(diǎn)上的圖案進(jìn)行檢查；編碼裝置，用于對(duì)各定位的圖案進(jìn)行編碼；和圖案匹配裝置，用于將用于匹配的各編碼的圖案與以前處理的圖案進(jìn)行比較。
15.如權(quán)利要求14所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述圖案高速緩存單元還包含邊緣選擇裝置，用于確定各網(wǎng)格邊緣是否接近不匹配的圖案；和用于響應(yīng)所述邊緣選擇裝置選擇性地去除網(wǎng)格邊緣的裝置。
16.如權(quán)利要求2所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，還包含交互式設(shè)計(jì)單元，用于以交互的方式接收電路設(shè)計(jì)并將所述電路設(shè)計(jì)提供給所述布局單元，所述交互式設(shè)計(jì)單元包含用于選擇用于編輯的單元布局的裝置；用于在網(wǎng)格化的環(huán)境中對(duì)所選擇的單元布局進(jìn)行定位的裝置；和用于將圖示符添加到所選擇的單元布局的裝置。
17.如權(quán)利要求16所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述用于選擇用于編輯的單元布局的裝置包含用于選擇所述單元布局的裝置；用于顯示所選擇的單元布局的裝置；和用于在所選擇的單元布局中對(duì)層進(jìn)行選擇的裝置。
18.如權(quán)利要求16所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，用于添加圖示符的裝置包含用于選擇圖示符類型的裝置；和用于選擇網(wǎng)格點(diǎn)的裝置，在所選擇的網(wǎng)格點(diǎn)上添加所選擇的類型的圖示符。
19.如權(quán)利要求16所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述交互式設(shè)計(jì)單元還包含規(guī)則存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)圖示符行為規(guī)則；和規(guī)則檢查器，用于檢查各添加的圖示符是否符合圖示符行為規(guī)則。
20.如權(quán)利要求16所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，還包含掩模形狀產(chǎn)生單元，用于從準(zhǔn)備的目標(biāo)布局產(chǎn)生掩模形狀；模擬單元，用于從產(chǎn)生的掩模形狀產(chǎn)生晶片外形；提取單元，用于從產(chǎn)生的晶片外形提取電路模型；和模型化單元，用于從所述電路模型產(chǎn)生所期望的IC電參數(shù)。
21.如權(quán)利要求20所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，所述圖案高速緩存單元還用于監(jiān)視穿過掩模形狀產(chǎn)生單元、模擬單元、提取單元和模型化的所述IC。
22.一種圖案高速緩存單元，用于監(jiān)視通過從布局設(shè)計(jì)到電路物理分析的設(shè)計(jì)系統(tǒng)的集成電路(IC)設(shè)計(jì)，并選擇性地用以前高速緩存的結(jié)果代替所述IC設(shè)計(jì)的部分，所述圖案高速緩存單元包含圖案存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)以前處理的圖案的結(jié)果；高速緩存圖案識(shí)別裝置，用于對(duì)應(yīng)于以前處理的圖案識(shí)別所述IC設(shè)計(jì)中的設(shè)計(jì)圖案；和用于用存儲(chǔ)的結(jié)果代替識(shí)別的設(shè)計(jì)圖案的裝置。
23.如權(quán)利要求22所述的圖案高速緩存單元，其中，所述高速緩存圖案識(shí)別裝置包含圖案掃描裝置，用于對(duì)于與以前處理的圖案中的一個(gè)匹配的圖案掃描IC設(shè)計(jì)中的各圖示符周圍的區(qū)域；網(wǎng)格標(biāo)記裝置，用于為各不匹配的圖案標(biāo)記網(wǎng)格位置；和設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)減少裝置，用于將IC設(shè)計(jì)減少到不匹配的圖案。
24.如權(quán)利要求23所述的圖案高速緩存單元，其中，所述圖案掃描裝置包含圖案定位裝置，用于掃描各網(wǎng)格點(diǎn)并在各掃描的網(wǎng)格點(diǎn)上對(duì)圖案進(jìn)行檢查；編碼裝置，用于對(duì)各定位的圖案進(jìn)行編碼；和圖案匹配裝置，用于比較各編碼的圖案是否與以前處理的圖案匹配。
25.如權(quán)利要求22所述的圖案高速緩存單元，還包含邊緣選擇裝置，用于確定各網(wǎng)格邊緣是否接近不匹配的圖案；和用于響應(yīng)所述邊緣選擇裝置選擇性地去除網(wǎng)格邊緣的裝置。
26.一種交互式設(shè)計(jì)單元，用于以交互的方式接收集成電路(IC)設(shè)計(jì)，所述IC設(shè)計(jì)的各部分以網(wǎng)格和圖示符格式表示，所述交互式設(shè)計(jì)單元包含用于選擇用于編輯的單元布局的裝置；用于在網(wǎng)格化的環(huán)境中對(duì)選擇的單元布局進(jìn)行定位的裝置；和用于將圖示符添加到選擇的單元布局的裝置。
27.如權(quán)利要求26所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述用于選擇用于編輯的單元布局的裝置包含用于選擇單元布局的裝置；用于顯示選擇的單元布局的裝置；和用于在選擇的單元布局中對(duì)層進(jìn)行選擇的裝置。
28.如權(quán)利要求26所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述用于對(duì)選擇的單元布局進(jìn)行定位的裝置包含用于規(guī)定所述網(wǎng)格的裝置；和用于在所述網(wǎng)格內(nèi)顯示選擇的單元的裝置。
29.如權(quán)利要求26所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，其中，用于添加圖示符的裝置包含用于選擇圖示符類型的裝置；和用于選擇網(wǎng)格點(diǎn)的裝置，在選擇的網(wǎng)格點(diǎn)上添加選擇的類型的圖示符。
30.如權(quán)利要求26所述的設(shè)計(jì)系統(tǒng)，其中，所述交互式設(shè)計(jì)單元還包含規(guī)則存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)圖示符行為規(guī)則；和用于檢查各添加的圖示符是否符合圖示符行為規(guī)則的裝置。
31.一種確立單元，用于從以網(wǎng)格和圖示符格式表示的集成電路(IC)設(shè)計(jì)產(chǎn)生目標(biāo)布局，所述確立單元包含確立規(guī)則存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)確立規(guī)則；規(guī)則分類器，用于將所述確立規(guī)則分類；檢查單元，用于檢查圖示符是否與所述確立規(guī)則中的任何一個(gè)匹配，響應(yīng)所述確立規(guī)則中的匹配的一個(gè)擴(kuò)展匹配的圖示符。
32.如權(quán)利要求31所述的確立單元，其中，所述分類器基于指定性將確立規(guī)則進(jìn)行分類。
33.如權(quán)利要求32所述的確立單元，其中，所述分類器從最具體到最不具體將確立規(guī)則進(jìn)行分類。
34.如權(quán)利要求31所述的確立單元，其中，當(dāng)完成時(shí)所述確立標(biāo)記各擴(kuò)展的圖示符和擴(kuò)展的圖示符部分。
35.一種檢查單元，用于以交互的方式檢查以網(wǎng)格和圖示符格式表示的集成電路(IC)的設(shè)計(jì)并檢查IC設(shè)計(jì)，包述檢查單元包含設(shè)計(jì)規(guī)則存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則；規(guī)則分類器，用于將所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則進(jìn)行分類；形狀檢查器，用于選擇用于檢查的圖示符并檢查選擇的圖示符是否符合所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則中的選擇的一個(gè)；和圖示符標(biāo)記單元，用于響應(yīng)形狀檢查器結(jié)果標(biāo)記檢查的圖示符。
36.如權(quán)利要求35所述的檢查單元，其中，所述規(guī)則分類器按主題將網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則進(jìn)行分類。
37.如權(quán)利要求35所述的檢查單元，其中，所述形狀檢查器包含圖示符選擇器，用于在一個(gè)設(shè)計(jì)層上選擇一個(gè)圖示符；和規(guī)則選擇器，用于選擇用于檢查的所述網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則中的一個(gè)。
38.如權(quán)利要求35所述的檢查單元，其中，所述存儲(chǔ)的網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則包含違反規(guī)則和自由決定規(guī)則，并且所述圖示符標(biāo)記單元對(duì)于違反違反規(guī)則中的一個(gè)指示錯(cuò)誤。
39.如權(quán)利要求35所述的檢查單元，其中，所述檢查單元還包含上下文收集器，用于為各網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則確定上下文大小并為各選擇的圖示符收集所述上下文大小。
40.如權(quán)利要求39所述的檢查單元，其中，所述存儲(chǔ)的網(wǎng)格和圖示符規(guī)則包含支配與設(shè)計(jì)形狀交互作用的圖示符的規(guī)則，并且上下文收集器識(shí)別周圍的設(shè)計(jì)形狀。
41.如權(quán)利要求40所述的檢查單元，其中，所述形狀檢查器檢查收集的上下文是否符合支配與設(shè)計(jì)形狀交互作用的圖示符的規(guī)則。
42.一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，用于集成電路(IC)設(shè)計(jì)，計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品包含其上具有計(jì)算機(jī)可讀程序代碼的計(jì)算機(jī)可用介質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀程序代碼包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于接收集成電路(IC)設(shè)計(jì)的電路說明并以網(wǎng)格和圖示符的格式表示IC設(shè)計(jì)的各部分；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于檢查表示的各部分的網(wǎng)格和圖示符部分；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于從部分的各檢查的一個(gè)產(chǎn)生目標(biāo)布局；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于將目標(biāo)布局轉(zhuǎn)換為掩模；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于用以前高速緩存的結(jié)果選擇性地代替穿過設(shè)計(jì)系統(tǒng)的部分中的若干個(gè)。
43.如權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，網(wǎng)格和圖示符格式中圖示符包含點(diǎn)圖示符、線圖示符和矩形圖示符。
44.如權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于檢查的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于讀取存儲(chǔ)的網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于將網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則進(jìn)行分類；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于選擇用于檢查的圖示符；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于比較選擇的圖示符是否符合網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則中的選擇的一個(gè)；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于指示比較結(jié)果。
45.如權(quán)利要求44所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于選擇圖示符的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于選擇設(shè)計(jì)層；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于在選擇的設(shè)計(jì)層上選擇圖示符；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于選擇用于檢查的圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則中的一個(gè)。
46.如權(quán)利要求44所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于指示比較結(jié)果的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元在確定違反一個(gè)存儲(chǔ)的網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則時(shí)指示錯(cuò)誤。
47.如權(quán)利要求46所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于指示比較結(jié)果的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元選擇性地忽略對(duì)于自由決定的網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則的違反。
48.如權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于檢查的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元還包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于為各網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則確定上下文大??；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于為選擇的圖示符收集上下文大小。
49.如權(quán)利要求48所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于檢查的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元檢查響應(yīng)支配與設(shè)計(jì)形狀交互作用的圖示符的圖示符設(shè)計(jì)規(guī)則中的若干個(gè)、檢查收集的上下文大小是否符合與設(shè)計(jì)形狀交互作用的圖示符的規(guī)則，并且用于確定上下文大小的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元識(shí)別周圍的設(shè)計(jì)形狀。
50.如權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于產(chǎn)生目標(biāo)布局的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于接收存儲(chǔ)的確立規(guī)則；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元用于將接收的確立規(guī)則進(jìn)行分類；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于圖示符是否與接收的確立規(guī)則匹配；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于響應(yīng)匹配的確立規(guī)則擴(kuò)展圖示符。
51.如權(quán)利要求50所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于分類的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元從最具體到最不具體將確立規(guī)則進(jìn)行分類。
52.如權(quán)利要求50所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于產(chǎn)生目標(biāo)布局的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元還包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于標(biāo)記完成的各擴(kuò)展的圖示符。
53.如權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于選擇性地代替部分中的若干個(gè)的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元還包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于從圖案存儲(chǔ)器中讀取以前處理的圖案的結(jié)果；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于與以前處理的圖案的若干個(gè)對(duì)應(yīng)識(shí)別IC設(shè)計(jì)中的設(shè)計(jì)圖案；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于用存儲(chǔ)的結(jié)果代替識(shí)別的設(shè)計(jì)圖案。
54.如權(quán)利要求53所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于識(shí)別設(shè)計(jì)圖案的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于為與以前處理的圖案中的一個(gè)匹配的圖案掃描IC設(shè)計(jì)中的各圖示符周圍的區(qū)域；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于對(duì)于各不匹配的圖案標(biāo)記網(wǎng)格位置；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于將IC設(shè)計(jì)減少到不匹配的圖案。
55.如權(quán)利要求54所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于掃描各圖示符周圍的區(qū)域的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于掃描各網(wǎng)格點(diǎn)并檢查各網(wǎng)格點(diǎn)上的圖案；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于對(duì)各定位的圖案編碼；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于比較各編碼的圖案是否符合以前處理的圖案。
56.如權(quán)利要求55所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于選擇性代替部分中的若干個(gè)的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元還包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于標(biāo)記與不匹配的圖案接近的各網(wǎng)格邊緣；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于選擇性地去除未標(biāo)記的網(wǎng)格邊緣。
57.如權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于接收電路說明的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于以交互的方式接收電路設(shè)計(jì)并提供電路設(shè)計(jì)的網(wǎng)格和圖示符表示。
58.如權(quán)利要求57所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于以交互的方式接收電路設(shè)計(jì)的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于接收用于編輯的單元布局選擇；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于接收網(wǎng)格選擇，單元布局選擇位于網(wǎng)格選擇中；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于將圖示符添加到單元布局選擇中。
59.如權(quán)利要求58所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于接收單元布局選擇的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于響應(yīng)單元選擇輸入選擇單元布局；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于使選擇的單元布局得到顯示；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于在選擇的單元布局中對(duì)層進(jìn)行選擇。
60.如權(quán)利要求58所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于添加圖示符的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含用于選擇圖示符類型和網(wǎng)格點(diǎn)的裝置。
61.如權(quán)利要求58所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于接收電路說明的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元還包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于讀取存儲(chǔ)的圖示符行為規(guī)則；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于檢查各添加的圖示符是否符合的圖示符行為規(guī)則。
62.如權(quán)利要求42所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其中，用于將目標(biāo)布局轉(zhuǎn)換為掩模的計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于從準(zhǔn)備的目標(biāo)布局產(chǎn)生掩模形狀；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于從產(chǎn)生的掩模形狀產(chǎn)生晶片外形；計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于從產(chǎn)生的晶片外形提取電路模型；和計(jì)算機(jī)可讀程序代碼單元，用于從電路模型中產(chǎn)生期望的IC電參數(shù)。
63.一種集成電路(IC)的設(shè)計(jì)方法，包含以下步驟a)輸入電路設(shè)計(jì)，所述電路設(shè)計(jì)中的至少一個(gè)電路是使用網(wǎng)格化的圖示符幾何對(duì)象(L3GO)格式的布局，所述至少一個(gè)電路以L3GO格式由位于網(wǎng)格上的圖示符表示；b)檢查所述電路設(shè)計(jì)的L3GO部分是否符合L3GO規(guī)則，并檢查與以前遇到的L3GO圖案匹配的電路；c)從檢查的L3GO部分產(chǎn)生目標(biāo)布局，用高速緩存的目標(biāo)布局結(jié)果代替與以前遇到的L3GO圖案匹配的L3GO部分；和d)從目標(biāo)布局中產(chǎn)生掩模，包含用于所述與以前遇到的L3GO圖案匹配的L3GO部分的高速緩存的掩模圖案結(jié)果。
64.如權(quán)利要求63所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，輸入電路設(shè)計(jì)的步驟(a)包含以下步驟i)在一個(gè)L3GO電路中選擇單元層；ii)在選擇的單元層中規(guī)定網(wǎng)格；iii)選擇添加到單元層的圖示符；和iv)選擇至少一個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)，在所述至少一個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)上添加選擇的圖示符，檢查各添加的圖示符是否符合L3GO規(guī)則。
65.如權(quán)利要求64所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，選擇單元層的步驟(i)包含以下步驟A)選擇包含所述一個(gè)L3GO電路的單元；B)顯示選擇的單元；和C)在顯示的單元中對(duì)層進(jìn)行選擇。
66.如權(quán)利要求64所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，如果以前已規(guī)定了網(wǎng)格，那么以前規(guī)定的網(wǎng)格在規(guī)定網(wǎng)格的步驟(ii)中規(guī)定網(wǎng)格。
67.如權(quán)利要求64所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，從包含點(diǎn)圖示符、桿形圖示符和矩形圖示符的組中選擇在步驟(iii)中選擇的圖示符。
68.如權(quán)利要求67所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，步驟(iii)包含對(duì)于各選擇的點(diǎn)圖示符選擇單個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)，對(duì)于各選擇的桿形圖示符和各選擇的矩形圖示符選擇兩個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)。
69.如權(quán)利要求65所述的IC的設(shè)計(jì)方法，還包含以下步驟v)返回步驟(i)(C)并在顯示的單元中選擇另一單元層，直到選擇所有的層；并且，當(dāng)選擇了所有的層時(shí)，vi)選擇另一L3GO電路作為所述一個(gè)L3GO電路并返回步驟(i)(A)。
70.如權(quán)利要求63所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，檢查L(zhǎng)3GO部分的步驟(b)包含以下步驟i)對(duì)于所述L3GO規(guī)則的每一個(gè)確定上下文大?。籭i)在單元層上選擇圖示符；iii)在上下文大小內(nèi)反復(fù)檢查圖示符是否符合與所述L3GO規(guī)則的每一個(gè)匹配，直到檢查完所述L3GO規(guī)則中的最后一個(gè)，并且，當(dāng)檢查完所述L3GO規(guī)則中的最后一個(gè)時(shí)，iv)返回步驟(ii)，直到選擇最后的圖示符；并且，當(dāng)選擇了最后的圖示符時(shí)，v)選擇另一單元層并返回步驟(ii)。
71.如權(quán)利要求70所述的IC的設(shè)計(jì)方法，在確定上下文大小的步驟(i)之前還包含以下步驟i1)將所述L3GO規(guī)則進(jìn)行分類。
72.如權(quán)利要求71所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，將L3GO設(shè)計(jì)規(guī)則進(jìn)行分類的步驟(i1)包含以下步驟A)按主題對(duì)所述L3GO規(guī)則進(jìn)行分類；和B)按違反的可容許的程度將部分分類的L3GO規(guī)則進(jìn)行分類。
73.如權(quán)利要求72所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，反復(fù)檢查的步驟(iii)包含以下步驟A)以分類次序選擇分類的L3GO設(shè)計(jì)規(guī)則中的一個(gè)；B)收集所述上下文大?。籆)檢查圖示符是否與選擇的L3GO設(shè)計(jì)規(guī)則匹配；和D)將任何匹配的圖示符標(biāo)記為錯(cuò)誤或允許。
74.如權(quán)利要求73所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，對(duì)于在步驟(C)中的任何不匹配的圖示符，步驟(iii)包含返回步驟(A)并選擇分類的L3GO設(shè)計(jì)規(guī)則的下一個(gè)。
75.如權(quán)利要求63所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，產(chǎn)生目標(biāo)布局的步驟(c)包含以下步驟i)選擇支配圖示符擴(kuò)展的確立規(guī)則；ii)在掃描電路設(shè)計(jì)中掃描圖示符，從而為選擇的確立規(guī)則的應(yīng)用識(shí)別圖示符；iii)將選擇的確立規(guī)則應(yīng)用于所述圖示符中的各識(shí)別的圖示符上；和iv)當(dāng)完成時(shí)標(biāo)記所述圖示符的各識(shí)別的圖示符。
76.如權(quán)利要求75所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，選擇確立規(guī)則的步驟(i)包含以下步驟A)從最具體到最不具體將確立規(guī)則進(jìn)行分類；和B)選擇所述確立規(guī)則中的最具體的一個(gè)。
77.如權(quán)利要求76所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，產(chǎn)生目標(biāo)布局的步驟(c)包含重復(fù)步驟(i)-(iv)，使得以分類的次序選擇所述確立規(guī)則的每一個(gè)，直到選擇所有的確立規(guī)則。
78.如權(quán)利要求77所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，在產(chǎn)生目標(biāo)布局的步驟(c)中，將所述確立規(guī)則應(yīng)用于所述圖示符和子圖示符中。
79.如權(quán)利要求63所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，從目標(biāo)布局產(chǎn)生掩模的步驟(d)包含以下步驟i)為掩模形狀產(chǎn)生準(zhǔn)備目標(biāo)布局；ii)從準(zhǔn)備的目標(biāo)布局產(chǎn)生掩模形狀數(shù)據(jù)；iii)從掩模形狀數(shù)據(jù)產(chǎn)生晶片外形；和iv)從晶片外形產(chǎn)生電路模型。
80.如權(quán)利要求79所述的IC的設(shè)計(jì)方法，還包括在步驟(a)-(f)中的每一步中，為包含以前遇到的L3GO圖案的以前遇到的圖案，監(jiān)視電路設(shè)計(jì)，并且，當(dāng)在所述步驟的每一步和所述步驟的組合中遇到以前遇到的圖案中的一個(gè)時(shí)，提供高速緩存的結(jié)果用于以前遇到的圖案。
81.一種IC的設(shè)計(jì)方法，包括以下步驟a)對(duì)于電路設(shè)計(jì)中的以前遇到的圖示符圖案，監(jiān)視電路設(shè)計(jì)中的圖示符圖案；和b)用以前確定的結(jié)果代替識(shí)別的以前遇到的圖示符圖案。
82.如權(quán)利要求81所述的IC的設(shè)計(jì)方法，監(jiān)視圖示符圖案的步驟(a)包含以下步驟i)對(duì)于網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)中的各個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)將表示圖示符占有的圖示符圖案進(jìn)行編碼；ii)相對(duì)于與以前遇到的圖示符圖案對(duì)應(yīng)的高速緩存的編碼的指示，檢查各編碼的指示；iii)對(duì)于各不匹配的網(wǎng)格點(diǎn)，標(biāo)記各相鄰的邊緣；和iv)從網(wǎng)格和圖示符設(shè)計(jì)中去除任何不是標(biāo)記的網(wǎng)格點(diǎn)的鄰區(qū)的邊緣。
83.如權(quán)利要求82所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，編碼步驟(i)包含對(duì)指示圖示符與鄰近的邊緣相交的圖案進(jìn)行編碼。
84.如權(quán)利要求83所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，編碼的圖案是十二位圖案，該十二位圖案指示在選擇的網(wǎng)格點(diǎn)上圖示符與12個(gè)鄰近的邊緣相交。
85.如權(quán)利要求82所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，代替識(shí)別的以前遇到的圖示符圖案的步驟(b)包含以下步驟i)選擇一個(gè)網(wǎng)格點(diǎn)；ii)檢查鄰近選擇的網(wǎng)格點(diǎn)的剩余的邊緣，是否在選擇的網(wǎng)格點(diǎn)的圖案的編碼與在以前選擇的網(wǎng)格點(diǎn)的以前檢查的圖案匹配；和iii)在選擇的網(wǎng)格點(diǎn)上用結(jié)果代替以前檢查的圖案。
86.如權(quán)利要求85所述的IC的設(shè)計(jì)方法，其中，還包含重復(fù)步驟(b)(i)-(iii)，直到選擇所有的網(wǎng)格點(diǎn)。
全文摘要
提供一種用于設(shè)計(jì)復(fù)雜集成電路(IC)的設(shè)計(jì)系統(tǒng)、IC設(shè)計(jì)的方法和所用的程序產(chǎn)品。布局單元接收以網(wǎng)格和圖示符格式表示各部分的電路說明。檢查單元檢查設(shè)計(jì)的網(wǎng)格和圖示符部分。確立單元從檢查的設(shè)計(jì)產(chǎn)生目標(biāo)布局。數(shù)據(jù)準(zhǔn)備單元準(zhǔn)備用于掩模制造的目標(biāo)布局。圖案高速緩存單元用用于提高設(shè)計(jì)效率的以前高速緩存的結(jié)果選擇性地代替設(shè)計(jì)的各部分。
文檔編號(hào)G06F17/50GK1734744SQ200510066808
公開日2006年2月15日 申請(qǐng)日期2005年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月12日
發(fā)明者約翰·M.·科恩, 詹姆斯·A.·卡爾普, 阿爾里奇·A.·芬科勒, 刑福倫, 馬克·A.拉維恩, 李金福, 拉斯·W.·列布曼, 格利高里·A.·諾斯洛浦, 成樂根, 拉瑪·N.·塞恩, 萊昂·斯托克, 皮爾特·J.·沃爾特根斯 申請(qǐng)人:國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司