生產(chǎn)系統(tǒng)的控制方法及裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體而言，涉及一種生產(chǎn)系統(tǒng)的控制方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體制造過程中，由于生產(chǎn)工藝和過程極其復(fù)雜，每一批次的產(chǎn)品在生產(chǎn)過 程中都要經(jīng)過不同的系統(tǒng)，執(zhí)行許多不同的生產(chǎn)步驟。然而，在當前的生產(chǎn)線上，每一批次 的產(chǎn)品執(zhí)行不同步驟中的不同動作時，或多或少都存在浪費時間的現(xiàn)象。而現(xiàn)有技術(shù)中對 生產(chǎn)步驟所使用時間的統(tǒng)計數(shù)據(jù)分散于多個系統(tǒng)中，不能直觀可見，進而不能進行有效地 數(shù)據(jù)分析以避免浪費生產(chǎn)時間，因而導(dǎo)致延長了生產(chǎn)的生命周期，并降低了生產(chǎn)系統(tǒng)的生 產(chǎn)效率。
[0003] 針對上述的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明實施例提供了一種生產(chǎn)系統(tǒng)的控制方法及裝置，以至少解決由于統(tǒng)計的時 間信息分散于多個系統(tǒng)中，不能有效地統(tǒng)計生產(chǎn)浪費的時間，導(dǎo)致生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)效率降 低的技術(shù)問題。
[0005] 根據(jù)本發(fā)明實施例的一個方面，提供了一種生產(chǎn)系統(tǒng)的控制方法，包括：獲取生產(chǎn) 現(xiàn)場中每批待生產(chǎn)產(chǎn)品在各個生產(chǎn)步驟中所執(zhí)行的事件的時間信息；根據(jù)時間信息計算每 批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行相同的事件的平均執(zhí)行時間，和/或，計算事件的平均執(zhí)行時間與生產(chǎn) 系統(tǒng)的生命周期的比值，其中，生命周期為生產(chǎn)系統(tǒng)中所有事件的執(zhí)行時間的總和；根據(jù)平 均執(zhí)行時間和/或比值調(diào)整對生產(chǎn)系統(tǒng)的控制。
[0006] 可選地，獲取生產(chǎn)現(xiàn)場中每批待生產(chǎn)產(chǎn)品在各個生產(chǎn)步驟中所執(zhí)行的事件的時間 信息之前，包括：將每批待生產(chǎn)產(chǎn)品的各個生產(chǎn)步驟拆分成多個事件，其中，每個事件標識 每批待生產(chǎn)產(chǎn)品在生產(chǎn)步驟中所執(zhí)行的單個操作，事件包括動作事件及等待事件。
[0007] 可選地，根據(jù)時間信息計算每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行相同的事件的平均執(zhí)行時間，和/ 或，計算事件的平均執(zhí)行時間與生產(chǎn)系統(tǒng)的生命周期的比值包括：計算得出等待事件及動 作事件的平均執(zhí)行時間，和/或分別計算等待事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第一比值 及動作事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第二比值。
[0008] 可選地，根據(jù)平均執(zhí)行時間和/或比值調(diào)整對生產(chǎn)系統(tǒng)的控制包括：判斷等待事 件的平均執(zhí)行時間是否大于第一預(yù)定閾值；若判斷出等待事件的平均執(zhí)行時間大于第一預(yù) 定閾值，則指示減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行等待事件的執(zhí)行時間；或者，判斷動作事件的平 均執(zhí)行時間是否大于第二預(yù)定閾值；若判斷出動作事件的平均執(zhí)行時間大于第二預(yù)定閾 值，則指示調(diào)整每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件時的執(zhí)行路徑，以減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行 動作事件的執(zhí)行時間。
[0009] 可選地，根據(jù)平均執(zhí)行時間和/或比值調(diào)整對生產(chǎn)系統(tǒng)的控制包括：判斷等待事 件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第一比值是否大于第三預(yù)定閾值；若判斷出等待事件的平 均執(zhí)行時間與生命周期的第一比值大于第三預(yù)定閾值，則指示減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行等 待事件的執(zhí)行時間；或者，判斷動作事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第二比值是否大于 第四預(yù)定閾值；若判斷出動作事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第二比值大于第四預(yù)定閾 值，則指示調(diào)整每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件時的執(zhí)行路徑，以減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行 動作事件的執(zhí)行時間。
[0010] 可選地，根據(jù)平均執(zhí)行時間和/或比值調(diào)整對生產(chǎn)系統(tǒng)的控制包括：若判斷出等 待事件的平均執(zhí)行時間大于第五預(yù)定閾值且等待事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第一 比值大于第六預(yù)定閾值，則指示減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行等待事件的執(zhí)行時間；或者，若判 斷出動作事件的平均執(zhí)行時間大于第七預(yù)定閾值且動作事件的平均執(zhí)行時間與生命周期 的第二比值大于第八預(yù)定閾值，則指示調(diào)整每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件時的執(zhí)行路徑， 以減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件的執(zhí)行時間。
[0011] 根據(jù)本發(fā)明實施例的另一方面，還提供了一種生產(chǎn)系統(tǒng)的控制裝置，包括：獲取單 元，用于獲取生產(chǎn)現(xiàn)場中每批待生產(chǎn)產(chǎn)品在各個生產(chǎn)步驟中所執(zhí)行的事件的時間信息；計 算單元，用于根據(jù)時間信息計算每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行相同的事件的平均執(zhí)行時間，和/或， 計算事件的平均執(zhí)行時間與生產(chǎn)系統(tǒng)的生命周期的比值，其中，生命周期為生產(chǎn)系統(tǒng)中所 有事件的執(zhí)行時間的總和；調(diào)整單元，用于根據(jù)平均執(zhí)行時間和/或比值調(diào)整對生產(chǎn)系統(tǒng) 的控制。
[0012] 可選地，該裝置還包括：拆分單元，用于將每批待生產(chǎn)產(chǎn)品的各個生產(chǎn)步驟拆分成 多個事件，其中，每個事件標識每批待生產(chǎn)產(chǎn)品在生產(chǎn)步驟中所執(zhí)行的單個操作，事件包括 動作事件及等待事件。
[0013] 可選地，計算單元包括：第一計算模塊，用于計算得出等待事件及動作事件的平均 執(zhí)行時間；和/或第二計算模塊，用于分別計算等待事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第 一比值及動作事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第二比值。
[0014] 可選地，調(diào)整單元包括：第一判斷模塊，用于判斷等待事件的平均執(zhí)行時間是否大 于第一預(yù)定閾值；第一指示模塊，用于在判斷出等待事件的平均執(zhí)行時間大于第一預(yù)定閾 值時，指示減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行等待事件的執(zhí)行時間；或者第二判斷模塊，用于判斷 動作事件的平均執(zhí)行時間是否大于第二預(yù)定閾值；第二指示模塊，用于在判斷出動作事件 的平均執(zhí)行時間大于第二預(yù)定閾值時，指示調(diào)整每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件時的執(zhí)行路 徑，以減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件的執(zhí)行時間。
[0015] 可選地，調(diào)整單元包括：第三判斷模塊，用于判斷等待事件的平均執(zhí)行時間與生命 周期的第一比值是否大于第三預(yù)定閾值；第三指示模塊，用于在判斷出等待事件的平均執(zhí) 行時間與生命周期的第一比值大于第三預(yù)定閾值時，指示減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行等待 事件的執(zhí)行時間；或者第四判斷模塊，用于判斷動作事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第 二比值是否大于第四預(yù)定閾值；第四指示模塊，用于在判斷出動作事件的平均執(zhí)行時間與 生命周期的第二比值大于第四預(yù)定閾值時，指示調(diào)整每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件時的執(zhí) 行路徑，以減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件的執(zhí)行時間。
[0016] 可選地，調(diào)整單元包括：第五判斷模塊，用于判斷等待事件的平均執(zhí)行時間是否大 于第五預(yù)定閾值且等待事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第一比值是否大于第六預(yù)定閾 值；第五指示模塊，用于在判斷出等待事件的平均執(zhí)行時間大于第五預(yù)定閾值且等待事件 的平均執(zhí)行時間與生命周期的第一比值大于第六預(yù)定閾值時，指示減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí) 行等待事件的執(zhí)行時間；或者第六判斷模塊，用于判斷動作事件的平均執(zhí)行時間是否大于 第七預(yù)定閾值且動作事件的平均執(zhí)行時間與生命周期的第二比值是否大于第八預(yù)定閾值； 第六指示模塊，用于在判斷出動作事件的平均執(zhí)行時間大于第七預(yù)定閾值且動作事件的平 均執(zhí)行時間與生命周期的第二比值大于第八預(yù)定閾值時，指示調(diào)整每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動 作事件時的執(zhí)行路徑，以減小每批待生產(chǎn)產(chǎn)品執(zhí)行動作事件的執(zhí)行時間。
[0017] 在本發(fā)明實施例中，通過獲取每批待生產(chǎn)產(chǎn)品在生產(chǎn)系統(tǒng)中各個生產(chǎn)步驟所執(zhí)行 的事件的時間信息，得到執(zhí)行相同事件的平均執(zhí)行時間，和/或，計算事件的平均執(zhí)行時間 與生產(chǎn)系統(tǒng)的生命周期的比值，進而根據(jù)上述計算結(jié)果調(diào)整對生產(chǎn)系統(tǒng)的控制，實現(xiàn)了將 生產(chǎn)系統(tǒng)中的各個生產(chǎn)步驟拆分成更小單位的事件，通過調(diào)整各個事件的執(zhí)行時間，從而 實現(xiàn)對生產(chǎn)系統(tǒng)的控制，達到了縮短生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)周期，進而提高生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)效率 的技術(shù)效果，進而解決了由于統(tǒng)計的時間信息分散于多個系統(tǒng)中，不能有效地統(tǒng)計生產(chǎn)浪 費的時間，導(dǎo)致生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)效率降低的技術(shù)問題。
【附圖說明】
[0018] 此處所說明的附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，本發(fā) 明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當限定。在附圖中：
[0019] 圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的一種可選的生產(chǎn)系統(tǒng)的控制方法的流程圖；
[0020] 圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的一種可選的生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)過程的示意圖；
[0021] 圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的另一種可選的生產(chǎn)系統(tǒng)的控制方法的流程圖；
[0022] 圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例的另一種可選的生產(chǎn)系統(tǒng)中所執(zhí)行的事件的示意圖；
[0023] 圖5是根據(jù)本發(fā)明實施例的一種可選的生產(chǎn)系統(tǒng)控制裝置的示意圖；以及
[0024] 圖6是根據(jù)本發(fā)明實施例的另一種可選的生產(chǎn)系統(tǒng)控制裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0025] 下文中將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細說明本發(fā)明。需要說明的是，在不沖突的 情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0026] 實施例1
[0027] 根據(jù)本發(fā)明實施例，提供了一種生產(chǎn)系統(tǒng)的控制方法，如圖1所示，該方法包括：
[0028] S102,獲取生產(chǎn)現(xiàn)場中每批待生產(chǎn)產(chǎn)品在各個生產(chǎn)步驟中所執(zhí)行的事件的時間信 息；
[0029] 可選地，在本實施例中上述情景可以應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過程中，例如，如 圖2所示，半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)過程包括：天車系統(tǒng)的傳輸步驟，跑貨系統(tǒng)的監(jiān)控步 驟，機臺系統(tǒng)的處理步驟，上述舉例只是一種示例，本申請對此不作限定。
[0030] 可選地，在本實施例中所執(zhí)行的事件可以為但不限于：每批待生產(chǎn)產(chǎn)品在生產(chǎn)步 驟中所執(zhí)行的單個操作，例如，在天車系統(tǒng)的傳輸步驟中的舉起、搬動、吞入到貨架，由貨架 吐出?？蛇x地，在本實施例中的時間信息包括但不限于：事件的起始時間、事件的終止時間。
[0031] 例如，將產(chǎn)品由貨架Stockerl傳輸?shù)截浖躍tocker2,上述過程中包括以下事 件：搬起產(chǎn)品到貨架Stockerl的入口 MI，在貨架Stockerl上傳輸，由貨架Stockerl的 出口 MO搬走，天車傳輸，放置到貨架Stocker2的入口 TI,其中，事件"搬起產(chǎn)品到貨架 Stockerl的入口 MI "的時間信息包括以下內(nèi)容：起始時間為2013-8-1619:31:26,終止時間 為 2013-8