技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種數(shù)字同軸全息顯微三維工件臺控制系統(tǒng)，三維工件臺控制結(jié)構(gòu)由X軸電機(jī)(1)、X軸光柵尺(4)、X軸限位開關(guān)(7)、Y軸電機(jī)(2)、Y軸光柵尺(5)、Y軸限位開關(guān)(8)、Z軸電機(jī)(3)、Z軸光柵尺(6)和Z軸限位開關(guān)(9)構(gòu)成。每軸電機(jī)和光柵尺構(gòu)成閉環(huán)定位控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)工件臺的快速、精準(zhǔn)定位，限位開關(guān)防止超出行程。步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和光柵尺根據(jù)精度進(jìn)行設(shè)置，光柵位置實(shí)時(shí)通過USB通信傳輸?shù)诫娔X端。MCU根據(jù)移動(dòng)距離和速度，計(jì)算并設(shè)置PWM周期參數(shù)，通過五相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)對電機(jī)的高精度控制，且三軸獨(dú)立可控。實(shí)驗(yàn)表明，該三維工件臺的定位控制系統(tǒng)能夠達(dá)到數(shù)字同軸全息顯微移動(dòng)要求，其閉環(huán)系統(tǒng)穩(wěn)定性和精度高，具備很強(qiáng)的實(shí)用性。

技術(shù)研發(fā)人員：田鵬;杜津;楊杰;楊帆;嚴(yán)偉;胡松;周毅;李凡星;姚靖威;鄧欽元
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
文檔號碼：201611096640
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.02
技術(shù)公布日：2017.05.17