半導(dǎo)體工藝的指令執(zhí)行的控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種指令執(zhí)行的控制方法，包括對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的指令對象和對應(yīng)的狀態(tài)對象，其中指令對象中存儲其對應(yīng)指令的指令信息，狀態(tài)對象中存儲其對應(yīng)指令的狀態(tài)信息，狀態(tài)信息包括指令完成條件及指令執(zhí)行狀態(tài)；接收所述上位機(jī)發(fā)出的指令；根據(jù)該指令對應(yīng)的指令對象中所存儲的指令信息控制半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該指令，并在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件滿足時更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)；當(dāng)指令執(zhí)行狀態(tài)更新時，將更新的指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至上位機(jī)。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)多個指令的多線程執(zhí)行以及執(zhí)行狀態(tài)的反饋。
【專利說明】半導(dǎo)體工藝的指令執(zhí)行的控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備控制【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種指令執(zhí)行的控制方法。【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體工藝中上位機(jī)和下位機(jī)之間的通訊通過上位機(jī)向下位機(jī)發(fā)送指令，下位機(jī)向上位機(jī)返回狀態(tài)來實(shí)現(xiàn)。常見的驅(qū)動指令執(zhí)行的方法采用順序結(jié)構(gòu)設(shè)計，即每次只能執(zhí)行一個指令或者返回一個狀態(tài)，當(dāng)完成一個指令之后，再讀取下一個指令的指令信息。此外，所有的指令信息和狀態(tài)信息都在驅(qū)動模塊中保存，造成了驅(qū)動程序響應(yīng)時間長，效率比較低，同時指令信息和狀態(tài)信息的配置只能在驅(qū)動程序中修改，非常繁瑣，不利于擴(kuò)展。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的主要目的旨在提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)在異步驅(qū)動的指令執(zhí)行的控制方法。
[0004]為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種指令執(zhí)行的控制方法，用于在半導(dǎo)體工藝過程中控制半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行上位機(jī)發(fā)出的指令并向所述上位機(jī)反饋指令執(zhí)行狀態(tài)，所述指令執(zhí)行的控制方法包括:對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的指令對象，所述指令對象中存儲其對應(yīng)指令的指令信息；對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的狀態(tài)對象，所述狀態(tài)對象中存儲其對應(yīng)指令的狀態(tài)信息，所述狀態(tài)信息包括指令完成條件及指令執(zhí)行狀態(tài)；接收所述上位機(jī)發(fā)出的指令；根據(jù)該指令對應(yīng)的指令對象中所存儲的指令信息控制所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該指令，并根據(jù)該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件是否滿足而更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)；當(dāng)所述指令對應(yīng)的狀態(tài)對象的指令執(zhí)行狀態(tài)更新時，將更新的所述指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至所述上位機(jī)。
[0005]優(yōu)選地，所述指令信息包括指令名稱，指令執(zhí)行條件，指令執(zhí)行步驟，指令執(zhí)行地址；所述狀態(tài)信息還包括狀態(tài)名稱，狀態(tài)更新通道的名稱，狀態(tài)檢測地址。
[0006]優(yōu)選地，所述指令執(zhí)行的控制方法還包括在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件滿足時，更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)并通過所述狀態(tài)更新通道輸出至所述上位機(jī)；在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件在預(yù)定時間內(nèi)未滿足時，更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)為指令執(zhí)行失敗，并將該指令執(zhí)行失敗的信息輸出至所述上位機(jī)。
[0007]優(yōu)選地，所述指令執(zhí)行的控制方法還包括讀取所述狀態(tài)檢測地址的變量值，當(dāng)所述狀態(tài)檢測地址的變量值發(fā)生符合設(shè)定的變化時判斷所述指令完成條件滿足；當(dāng)所述狀態(tài)檢測地址的變量值在所述預(yù)定時間內(nèi)未發(fā)生符合所述設(shè)定的變化時判斷所述指令完成條件在所述預(yù)定時間內(nèi)未滿足。
[0008]優(yōu)選地，所述指令執(zhí)行的控制方法還包括在配置文件中配置全部指令的指令信息以及全部所述指令的狀態(tài)信息，每一個所述指令所對應(yīng)的指令對象和狀態(tài)對象根據(jù)所述配置文件創(chuàng)建。[0009]優(yōu)選地，當(dāng)接收所述上位機(jī)發(fā)出的多個指令時，同時根據(jù)該些指令對應(yīng)的指令對象中所存儲的指令信息控制所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該些指令，并根據(jù)該些指令對應(yīng)的狀態(tài)對象所存儲的指令完成條件是否滿足而更新該些狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)。
[0010]本發(fā)明還提供了一種指令執(zhí)行的控制裝置，用于在半導(dǎo)體工藝過程中控制半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行上位機(jī)發(fā)出的指令并向所述上位機(jī)反饋指令執(zhí)行狀態(tài)。所述指令執(zhí)行的控制裝置包括:對象創(chuàng)建模塊，接收模塊，控制模塊和輸出模塊。其中對象創(chuàng)建模塊用于對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的指令對象，以及對每一個所述指令創(chuàng)建對應(yīng)的狀態(tài)對象；其中所述指令對象中存儲其對應(yīng)指令的指令信息，所述狀態(tài)對象中存儲其對應(yīng)指令的狀態(tài)信息，所述狀態(tài)信息包括指令完成條件及指令執(zhí)行狀態(tài)；接收模塊用于接收所述上位機(jī)發(fā)出的指令；控制模塊與所述接收模塊、對象創(chuàng)建模塊相連，根據(jù)該接收的指令所對應(yīng)的指令對象中存儲的指令信息控制所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該指令，并根據(jù)該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件是否滿足而更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)；當(dāng)所述狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)更新時，所述控制模塊觸發(fā)所述輸出模塊將更新的所述指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至所述上位機(jī)。
[0011]優(yōu)選地，所述指令信息包括指令名稱，指令執(zhí)行條件，指令執(zhí)行步驟，指令執(zhí)行地址；所述輸出模塊中具有狀態(tài)更新通道，通過所述狀態(tài)更新通道將更新的所述指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至所述上位機(jī)，所述狀態(tài)信息還包括狀態(tài)名稱，所述狀態(tài)更新通道的名稱，狀態(tài)檢測地址。
[0012]優(yōu)選地，所述控制模塊在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件滿足時，更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)并通過所述狀態(tài)更新通道輸出至所述上位機(jī)；在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件在預(yù)定時間內(nèi)未滿足時更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)為指令執(zhí)行失敗，并將該指令執(zhí)行失敗的信息輸出至所述上位機(jī)。
[0013]優(yōu)選地，所述指令執(zhí)行的控制模塊還包括檢測模塊，用于讀取所述狀態(tài)檢測地址的變量值；當(dāng)所述狀態(tài)檢測地址的變量值發(fā)生符合設(shè)定的變化時，所述控制模塊判斷所述指令完成條件滿足；當(dāng)所述狀態(tài)檢測地址的變量值在所述預(yù)定時間內(nèi)未變化時所述控制模塊判斷所述指令完成條件在所述預(yù)定時間內(nèi)為滿足。
[0014]優(yōu)選地，所述指令執(zhí)行的控制裝置還包括配置文件，其中配置全部所述指令的指令信息以及全部所述指令的狀態(tài)信息，所述對象創(chuàng)建模塊根據(jù)所述配置文件創(chuàng)建每一個所述指令所對應(yīng)的指令對象和狀態(tài)對象。
[0015]優(yōu)選地，當(dāng)所述接收模塊接收所述上位機(jī)發(fā)出的多個指令時，所述控制模塊同時根據(jù)該些指令對應(yīng)的指令對象中所存儲的指令信息控制所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該些指令，并在該些指令對應(yīng)的狀態(tài)對象所存儲的指令的完成條件滿足時更新該些狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)。
[0016]本發(fā)明所提出的指令執(zhí)行的控制方法和裝置，通過為每個指令創(chuàng)建單獨(dú)的指令對象和狀態(tài)對象，能夠?qū)崿F(xiàn)不同指令的執(zhí)行和狀態(tài)更新互不影響，從而可實(shí)現(xiàn)指令執(zhí)行的異步驅(qū)動。另一方面，對于每一個指令的狀態(tài)對象，當(dāng)其存儲的指令完成條件滿足時再進(jìn)行指令執(zhí)行狀態(tài)的更新，這樣既保證了執(zhí)行狀態(tài)更新的實(shí)時性和同時性，也避免了同一個執(zhí)行狀態(tài)多次更新，影響控制裝置的工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】[0017]圖1為本發(fā)明的指令執(zhí)行的控制裝置的方塊圖；
[0018]圖2為本發(fā)明的指令執(zhí)行的控制方法的流程圖；
[0019]圖3為本發(fā)明一實(shí)施例指令執(zhí)行控制裝置配置文件的示意圖；
[0020]圖4為本發(fā)明一實(shí)施例指令執(zhí)行控制方法中指令執(zhí)行的流程圖；
[0021]圖5為本發(fā)明一實(shí)施例指令執(zhí)行控制方法中指令的執(zhí)行狀態(tài)更新的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0023]圖1為本發(fā)明半導(dǎo)體工藝的指令執(zhí)行的控制裝置的方塊圖；圖2為本發(fā)明半導(dǎo)體工藝的指令執(zhí)行的控制方法的流程圖，以下將結(jié)合圖1和圖2對本發(fā)明的指令執(zhí)行控制裝置和控制方法進(jìn)行說明。
[0024]本發(fā)明的指令執(zhí)行控制裝置用于在半導(dǎo)體工藝過程中接收來自上位機(jī)的指令，控制半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行指令并向上位機(jī)反饋指令執(zhí)行狀態(tài)。該控制裝置位于下位機(jī)中，應(yīng)用DeviceNet技術(shù)與上位機(jī)以及半導(dǎo)體設(shè)備連接,該控制裝置也可以稱為DeviceNet驅(qū)動模塊?，F(xiàn)有技術(shù)中的DeviceNet驅(qū)動模塊的驅(qū)動方式的為單線程來實(shí)現(xiàn)，其啟動后每次只能執(zhí)行一個指令或者返回一個狀態(tài)，如此來順序執(zhí)行。而本發(fā)明的控制裝置可以實(shí)現(xiàn)多線程的異步驅(qū)動。請參考圖1和圖2，控制裝置包括對象創(chuàng)建模塊10，接收模塊20，控制模塊30和輸出模塊40。當(dāng)要進(jìn)行指令執(zhí)行控制時，首先對象創(chuàng)建模塊10進(jìn)行步驟SI，對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的指令對象，對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的狀態(tài)對象。指令對象中存儲著其對應(yīng)指令的指令信息，狀態(tài)對象中則存儲著其對應(yīng)指令的狀態(tài)信息，這里的狀態(tài)信息包括指令完成條件及指令執(zhí)行狀態(tài)。然后，接收模塊20進(jìn)行步驟S2，接收由上位機(jī)發(fā)出的指令?？刂颇K30與接收模塊20和對象創(chuàng)建模塊10相連，其根據(jù)接收模塊20所接收的指令所對應(yīng)的指令對象中存儲著的指令信息來控制半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該指令；此外，控制模塊30還在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件滿足時更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)(步驟S3)。當(dāng)該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)更新時，控制模塊30觸發(fā)輸出模塊40將更新的指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至上位機(jī)(步驟S4)。本發(fā)明中，當(dāng)指令執(zhí)行狀態(tài)更新時將其反饋至上位機(jī)，這樣既保證了指令執(zhí)行狀態(tài)更新的實(shí)時性和同時性，也提高了控制裝置的工作效率。另一方面，如果接收模塊20接收的指令所對應(yīng)的狀態(tài)對象中存儲的指令完成條件在預(yù)定時間內(nèi)始終未滿足，那么控制模塊30會將該指令執(zhí)行失敗的信息通過輸出模塊40輸出至上位機(jī)。
[0025]每一個指令對象所存儲的指令信息包括指令名稱，指令執(zhí)行條件，指令執(zhí)行步驟，指令執(zhí)行地址等相關(guān)信息，而每一個狀態(tài)對象所存儲的狀態(tài)信息除了指令完成條件和指令執(zhí)行狀態(tài)之外，還包括狀態(tài)名稱，狀態(tài)更新通道的名稱和狀態(tài)檢測地址等，其中狀態(tài)檢測地址與各傳感器連接，用于獲取傳感器的狀態(tài)。狀態(tài)更新通道為傳輸模塊中將更新的指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至上位機(jī)的通道。較佳的，指令完成條件可包括多個條件，這些條件之間具有邏輯關(guān)系，如邏輯與關(guān)系或邏輯或關(guān)系。每個條件中都要求一個對應(yīng)的傳感器的狀態(tài)變化符合設(shè)定，也即是相應(yīng)的狀態(tài)檢測地址的變量值發(fā)生符合設(shè)定的變化。因此，控制裝置還包括一個檢測模塊50，用于讀取狀態(tài)檢測地址的變量值，以獲得傳感器狀態(tài)。如果檢測模塊50讀取到某一條件對應(yīng)的狀態(tài)檢測地址的變量值發(fā)生符合該條件設(shè)定的變化時，如從“O”變化為“1”，那么該條件滿足。對于具有多個條件的指令完成條件來說，若多個條件為邏輯與關(guān)系時，則必須每一個條件均滿足，指令完成條件才滿足；而若多個條件為邏輯或的關(guān)系時，任一個條件滿足，則指令完成條件即為滿足。控制模塊30判斷指令完成條件滿足時，更新指令執(zhí)行狀態(tài)。因此，當(dāng)檢測到對應(yīng)地址的變量值發(fā)生符合要求的變化時，該指令的執(zhí)行狀態(tài)才會更新，由此可避免了同一個狀態(tài)多次更新。另一方面，如果某一條件對應(yīng)的狀態(tài)檢測地址的變量值在預(yù)定時間內(nèi)始終沒有發(fā)生符合該條件設(shè)定的變化，那么該條件不滿足，導(dǎo)致指令完成條件也不滿足，此時控制模塊30將通過輸出模塊的狀態(tài)更新通道輸出指令執(zhí)行失敗的信息至上位機(jī)。
[0026]此外，控制裝置還包括配置文件，該配置文件中配置了全部指令的指令信息以及全部指令的狀態(tài)信息，對象創(chuàng)建模塊10根據(jù)這一配置文件創(chuàng)建每一個指令所對應(yīng)的指令對象和狀態(tài)對象。圖3所示為本發(fā)明一實(shí)施例配置文件是以XML格式的形式記錄一個指令Clamp的指令信息和狀態(tài)信息的示意圖。本實(shí)施例中上位機(jī)發(fā)出的全部指令都是以這種形式存儲的。其中CmdInfo表示指令的信息，IOObject對應(yīng)的是指令所屬的模塊，ChannelName是發(fā)送指令的通道名稱，CmdName是指令名稱，UpdateChannelName是指令狀態(tài)更新通道的名稱，CmdStep是指令執(zhí)行步驟，比如Clamp指令需要通過四個步驟才能完成，每個步驟Step中包含了步驟執(zhí)行的具體地址，且每個步驟都有對應(yīng)執(zhí)行條件Condition,FinishedCondition是指令完成條件。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，配置文件也可以以其他格式的形式記錄指令信息和指令的狀態(tài)信息，本發(fā)明并不加以限制。
[0027]圖4和圖5為本發(fā)明一具體實(shí)施例的指令執(zhí)行的指令執(zhí)行和指令執(zhí)行狀態(tài)更新的流程圖。
[0028]如圖4所示，當(dāng)進(jìn)行指令執(zhí)行時，控制裝置接收到一個指令(如Clamp指令)后立即啟動執(zhí)行該指令的線程，然后通過指令的參數(shù)信息(如指令的名稱，ID等)獲取其對應(yīng)的指令對象，如果該指令對象存在則繼續(xù)獲取指令對象中所有的指令信息，包括指令執(zhí)行步驟，指令完成條件，執(zhí)行地址等，如果指令對象為空則結(jié)束該線程。當(dāng)控制模塊從指令信息中獲取指令執(zhí)行步驟以后，將控制半導(dǎo)體設(shè)備按執(zhí)行步驟的順序執(zhí)行每一個步驟，在每一次執(zhí)行步驟前控制模塊會先判斷當(dāng)前狀態(tài)是否滿足執(zhí)行該步驟的條件，如果滿足則通過該步驟的執(zhí)行地址執(zhí)行該步驟；如果不滿足則等待直到條件滿足時再執(zhí)行，如果等待的時間超過了設(shè)定的時間，則說明該步驟的執(zhí)行條件未滿足，則該步驟無法執(zhí)行，結(jié)束該指令的線程。當(dāng)前步驟執(zhí)行完后會控制模塊判斷是否所有的執(zhí)行步驟都已經(jīng)執(zhí)行完畢，如果完畢則說明該指令執(zhí)行完成，如果還有步驟需要執(zhí)行，則繼續(xù)轉(zhuǎn)入下一步驟的執(zhí)行。本實(shí)施例是以一個指令為例進(jìn)行說明，實(shí)際上當(dāng)控制裝置接收多個指令時，可并行啟動對應(yīng)這些指令的線程，實(shí)現(xiàn)多線程執(zhí)行。
[0029]請繼續(xù)參考圖5所示的指令執(zhí)行狀態(tài)更新的流程圖，同樣是以Clamp指令為例，當(dāng)該指令開始執(zhí)行時，控制模塊根據(jù)該指令獲取對應(yīng)的狀態(tài)對象，并通過狀態(tài)對象獲取該指令的完成條件，然后檢測模塊開始檢測相關(guān)的狀態(tài)檢測地址的變量值，當(dāng)狀態(tài)檢測地址的變量值均發(fā)生符合設(shè)定的變化時，說明指令完成條件滿足?？刂颇K將更新指令執(zhí)行狀態(tài)，并通過輸出模塊的狀態(tài)更新通道向上位機(jī)反饋更新的指令執(zhí)行狀態(tài)。另一方面，如果在預(yù)定時間內(nèi)檢測的狀態(tài)檢測地址的變量值一直沒有發(fā)生符合設(shè)定的變化，則說明指令完成條件將無法滿足，此時控制模塊將通過狀態(tài)更新通道向上位機(jī)輸出指令執(zhí)行失敗的信息。本實(shí)施例以一個指令Clmap為例進(jìn)行說明，實(shí)際上當(dāng)控制裝置接收多個指令時，可并行地對這些指令的執(zhí)行狀態(tài)進(jìn)行更新，實(shí)現(xiàn)多線程的執(zhí)行狀態(tài)更新。
[0030]綜上所述，指令執(zhí)行的控制方法和裝置，通過為每個指令創(chuàng)建單獨(dú)的指令對象和狀態(tài)對象，能夠?qū)崿F(xiàn)不同指令的執(zhí)行和狀態(tài)更新互不影響，從而可實(shí)現(xiàn)指令執(zhí)行的異步驅(qū)動。另一方面，對于每一個指令的狀態(tài)對象，當(dāng)其存儲的指令完成條件滿足時再進(jìn)行指令執(zhí)行狀態(tài)的更新，這樣既保證了執(zhí)行狀態(tài)更新的實(shí)時性和同時性，也避免了同一個執(zhí)行狀態(tài)多次更新，影響控制裝置的工作效率。
[0031]雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述諸多實(shí)施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動與潤飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種指令執(zhí)行的控制方法，用于在半導(dǎo)體工藝過程中控制半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行上位機(jī)發(fā)出的指令并向所述上位機(jī)反饋指令執(zhí)行狀態(tài)，其特征在于，所述控制方法包括: 對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的指令對象，所述指令對象中存儲其對應(yīng)指令的指令信息； 對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的狀態(tài)對象，所述狀態(tài)對象中存儲其對應(yīng)指令的狀態(tài)信息，所述狀態(tài)信息包括指令完成條件及指令執(zhí)行狀態(tài)； 接收所述上位機(jī)發(fā)出的指令； 根據(jù)該指令對應(yīng)的指令對象中所存儲的指令信息控制所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該指令，并在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件滿足時更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)； 當(dāng)所述指令對應(yīng)的狀態(tài)對象的指令執(zhí)行狀態(tài)更新時，將更新的所述指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至所述上位機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的指令執(zhí)行的控制方法，其特征在于，所述指令信息包括指令名稱，指令執(zhí)行條件，指令執(zhí)行步驟，指令執(zhí)行地址；所述狀態(tài)信息還包括狀態(tài)名稱，狀態(tài)更新通道的名稱，狀態(tài)檢測地址。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的指令執(zhí)行的控制方法，其特征在于，還包括: 在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件在預(yù)定時間內(nèi)未滿足時，將該指令執(zhí)行失敗的信息輸出至所述上位機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的指令執(zhí)行的控制方法，其特征在于，還包括，讀取所述狀態(tài)檢測地址的變量值，當(dāng)所述狀態(tài)檢測地址的變量值發(fā)生符合設(shè)定的變化時判斷所述指令完成條件滿足；當(dāng)所述狀態(tài)檢測地址的變量值在所述預(yù)定時間內(nèi)未發(fā)生符合所述設(shè)定的變化時判斷所述指令完成條件在所述預(yù)定時間內(nèi)未滿足。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的指令執(zhí)行的控制方法，其特征在于，還包括，在配置文件中配置全部指令的指令信息以及全部所述指令的狀態(tài)信息，每一個所述指令所對應(yīng)的指令對象和狀態(tài)對象根據(jù)所述配置文件創(chuàng)建。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的指令執(zhí)行的控制方法，其特征在于，當(dāng)接收所述上位機(jī)發(fā)出的多個指令時，同時根據(jù)該些指令對應(yīng)的指令對象中所存儲的指令信息控制所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該些指令，并根據(jù)該些指令對應(yīng)的狀態(tài)對象所存儲的指令完成條件是否滿足而更新該些狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)。
7.一種指令執(zhí)行的控制裝置，用于在半導(dǎo)體工藝過程中控制半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行上位機(jī)發(fā)出的指令并向所述上位機(jī)反饋指令執(zhí)行狀態(tài)，其特征在于，所述控制裝置包括: 對象創(chuàng)建模塊，用于對每一個指令創(chuàng)建對應(yīng)的指令對象，以及對每一個所述指令創(chuàng)建對應(yīng)的狀態(tài)對象；其中所述指令對象中存儲其對應(yīng)指令的指令信息，所述狀態(tài)對象中存儲其對應(yīng)指令的狀態(tài)信息，所述狀態(tài)信息包括指令完成條件及指令執(zhí)行狀態(tài)； 接收模塊，用于接收所述上位機(jī)發(fā)出的指令； 控制模塊，與所述接收模塊、對象創(chuàng)建模塊相連，根據(jù)該接收的指令所對應(yīng)的指令對象中存儲的指令信息控制所 述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行該指令，并在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件滿足時而更新該狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)；以及 輸出模塊，當(dāng)所述狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)更新時，所述控制模塊觸發(fā)所述輸出模塊將更新的所述指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至所述上位機(jī)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的指令執(zhí)行的控制裝置，其特征在于，所述指令信息包括指令名稱，指令執(zhí)行條件，指令執(zhí)行步驟，指令執(zhí)行地址；所述輸出模塊中具有狀態(tài)更新通道，通過所述狀態(tài)更新通道將更新的所述指令執(zhí)行狀態(tài)輸出至所述上位機(jī)，所述狀態(tài)信息還包括狀態(tài)名稱，所述狀態(tài)更新通道的名稱，狀態(tài)檢測地址。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的指令執(zhí)行的控制裝置，其特征在于，所述控制模塊在該指令對應(yīng)的狀態(tài)對象中所存儲的指令完成條件在預(yù)定時間內(nèi)未滿足時，將該指令執(zhí)行失敗的信息通過所述狀態(tài)更新通道輸出至所述上位機(jī)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的指令執(zhí)行的控制裝置，其特征在于，還包括檢測模塊，用于讀取所述狀態(tài)檢測地址的變量值；當(dāng)所述狀態(tài)檢測地址的變量值發(fā)生符合設(shè)定的變化時，所述控制模塊判斷所述指令完成條件滿足；當(dāng)所述狀態(tài)檢測地址的變量值在所述預(yù)定時間內(nèi)未變化時所述控制模塊判斷所述指令完成條件在所述預(yù)定時間內(nèi)為滿足。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的指令執(zhí)行的控制裝置，其特征在于，還包括配置文件，其中配置全部所述指令的指令信息以及全部所述指令的狀態(tài)信息，所述對象創(chuàng)建模塊根據(jù)所述配置文件創(chuàng)建每一個所述指令所對應(yīng)的指令對象和狀態(tài)對象。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的指令執(zhí)行的控制裝置，其特征在于，當(dāng)所述接收模塊接收所述上位機(jī)發(fā)出的多個指令時，所述控制模塊同時根據(jù)該些指令對應(yīng)的指令對象中所存儲的指令信息控制所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí) 行該些指令，并在該些指令對應(yīng)的狀態(tài)對象所存儲的指令的完成條件滿足時更新該些狀態(tài)對象中的指令執(zhí)行狀態(tài)。
【文檔編號】G05B19/418GK103777618SQ201410058368
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年2月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月20日
【發(fā)明者】黃揚(yáng)君, 魏靖南, 賈軼群, 劉建濤 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司