具有可追蹤性指示物的產(chǎn)品和顯示產(chǎn)品的可追蹤性的方法
【專利摘要】本PG-涂層產(chǎn)品（14）通過使用PBN生產(chǎn)本體（11）被制造，在本體表面的任意部分提供由純凈石墨制成的可追蹤性指示物（12）；并使用PG涂層（13）覆蓋包括可追蹤性指示物的本體表面。通過設(shè)置PG涂層的厚度到100μm或更小，優(yōu)選的80μm或更小，能夠提供足夠的透明度以讀取本體表面標(biāo)記的產(chǎn)品序列號。這是標(biāo)記可追蹤性的合適的方法。由于石墨對PBN和PG沒有不利的影響，產(chǎn)品的內(nèi)在功能和持久性不會受損即使當(dāng)石墨可追蹤性指示物被置于PBN本體表面和PG涂層之間。此外，通過覆蓋本體（21）表面生產(chǎn)PBN護(hù)膜產(chǎn)品（24）也是標(biāo)記可追蹤性的合適方法，其中主體表面具有純石墨的可追蹤性指示物（22），具有厚度700μm或更小的PBN護(hù)膜（23），優(yōu)選的500μm或更小。
【專利說明】具有可追蹤性指示物的產(chǎn)品和顯示產(chǎn)品的可追蹤性的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有可顯追蹤性的產(chǎn)品和產(chǎn)品的可追蹤性的方法，具體的涉及顯示在PBN (熱解氮化硼)產(chǎn)品或PG (熱解石墨)涂層產(chǎn)品上的顯示可追蹤性的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]可追蹤性意味著能夠追蹤目標(biāo)產(chǎn)品的分布?xì)v史，其在食品領(lǐng)域作為食品安全指數(shù)已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。它在工業(yè)產(chǎn)品中的必要性或重要性近年來也得到了認(rèn)識。
[0003]PG具有優(yōu)秀的物理性質(zhì)例如熱傳導(dǎo)性，耐熱性，化學(xué)穩(wěn)定性和抗沖擊性，許多PG涂層產(chǎn)品被生產(chǎn)和使用，其包括由例如PBN的電絕緣材料制成并成型為預(yù)定容器形狀的本體并在表面包括PG涂層。
[0004]例如，在電子束氣相沉積領(lǐng)域(包括離子鍍)其中電子束被用作金屬薄膜在電子元件基體上的氣相沉積的蒸發(fā)的來源，銅質(zhì)的水冷卻的熔爐(爐膛)被填滿用于電子束的發(fā)射的蒸發(fā)物。最新的主流是裝配于爐膛內(nèi)的爐襯填滿用于電子束的發(fā)射的蒸發(fā)物。一個已知的爐襯包括PBN (熱解氮化硼)本體和由導(dǎo)電材料例如PG形成于其表面的護(hù)膜(專利文獻(xiàn)I)。
[0005]若爐襯應(yīng)該是僅由具有層結(jié)構(gòu)的PBN制成，當(dāng)被填滿鋁作為發(fā)射電子束的蒸發(fā)物時，熔融的鋁會由于表面張力蠕升到爐襯的器壁的頂部導(dǎo)致它會滲入到暴露于器壁頂端橫截面的PBN層。當(dāng)這個熔融鋁在冷卻后被固化，它可能會使PBN層延展分層并損壞爐襯。防止這個問題的一個方法是在表面涂層PG。
[0006]可追蹤性對 于這樣的PG涂層產(chǎn)品也是重要的。當(dāng)例如顯示生產(chǎn)日期，生產(chǎn)廠家和檢驗(yàn)結(jié)果等的序列號，被賦予每個PG涂層產(chǎn)品并在計(jì)算機(jī)控制下管理時，這可用于質(zhì)量管控，投訴處理，退貨管理，耐用年限管理等。
[0007]相反的，PBN具有優(yōu)秀的物理性質(zhì)例如絕緣性，耐熱性,化學(xué)穩(wěn)定性和抗沖擊性,其已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用于生產(chǎn)半導(dǎo)體薄片的不同的熔爐和金屬氣相沉積的爐襯(熔爐)。包括本體和PBN涂層的PBN涂層產(chǎn)品也可被經(jīng)常用于加熱薄片和/或基板的加熱器和支撐它們的靜電夾頭，其中所述本體由電絕緣材料例如PBN制成且成型為預(yù)定的形狀，所述PBN涂層形成于其表面。
[0008]例如，專利文獻(xiàn)2公開了具有加熱機(jī)械的靜電夾頭，其通過獲得由機(jī)器加工的基本上為杯狀或帽狀的石墨基體被生產(chǎn)，通過CVD(化學(xué)氣相沉積)在基體的兩個表面形成PBN絕緣層，通過CVD方法在上表面形成PG (熱解石墨)層，去除部分的PG層以形成預(yù)定樣式的夾頭電極，以同樣的方式在頂部的背面和側(cè)壁的外側(cè)的預(yù)定區(qū)域形成PG加熱層，然后通過CVD方法形成PBN護(hù)膜覆蓋整體。
[0009]可追蹤性對于這樣的PBN涂層產(chǎn)品也是重要的，當(dāng)例如顯示生產(chǎn)日期，生產(chǎn)廠家和檢驗(yàn)結(jié)果等的序列號，被賦予每個PG涂層產(chǎn)品并在計(jì)算機(jī)控制下管理時，這可用于質(zhì)量管控，投訴處理，退貨管理，耐用年限管理等。
[0010]賦予PG涂層產(chǎn)品或PBN涂層產(chǎn)品可追蹤性指示物的傳統(tǒng)方法是在其作為最終產(chǎn)品被生產(chǎn)之后手寫或雕刻其序列號到PG涂層產(chǎn)品或PBN涂層產(chǎn)品的底部。
[0011]然而，通過手寫或者雕刻所顯示的PG涂層產(chǎn)品或PBN涂層產(chǎn)品的序列號本身會變得逐漸的不清楚和難以辨認(rèn)，因?yàn)镻G涂層產(chǎn)品或PBN涂層產(chǎn)品在苛刻的條件下被重復(fù)的使用和擦洗。
[0012]例如，當(dāng)若干PG涂層產(chǎn)品在不同的過程例如上述電子束氣相沉積中被使用，通常產(chǎn)品具有不同的產(chǎn)品批號。此外，一個特定的PG涂層產(chǎn)品在特定的過程或者特定的裝置中并不總是使用于同樣的位置。由于這些原因，若在PG涂層產(chǎn)品使用后被拿起時序列號會變得難以辨認(rèn)，所述PG涂層產(chǎn)品的可追蹤性徹底的失去。
[0013]這也發(fā)生于PBN涂層產(chǎn)品。當(dāng)PBN涂層產(chǎn)品例如加熱器或靜電夾頭被用于薄片制作過程，通常產(chǎn)品具有不同的產(chǎn)品批號。此外，一個特定的PBN涂層產(chǎn)品在特定的過程或者特定的裝置中并不總是使用于同樣的位置。由于這些原因，若在PBN涂層產(chǎn)品使用后被拿起時序列號會變得難以辨認(rèn)，所述PBN涂層產(chǎn)品的可追蹤性徹底的失去。
[0014]此外，雕刻序列號會損壞PG或PBN涂層產(chǎn)品，導(dǎo)致所述產(chǎn)品內(nèi)在的功能和/或持久性的減弱。因此，這不是優(yōu)選的方法。
[0015]專利文獻(xiàn)I JP H09-059766A
[0016]專利文獻(xiàn)2 JP2005-142496A

【發(fā)明內(nèi)容】

[0017]發(fā)明解決的問題
[0018]本發(fā)明的目的在于提供新的，有用的顯示可追蹤性的方法，其可被實(shí)施替代傳統(tǒng)的手寫或雕刻方法。
[0019]更具體的，本發(fā)明的目的在于提供具有即使被重復(fù)使用和擦洗仍具有可視性的可追蹤性指示物的PG涂層產(chǎn)品，以及提供可追蹤性顯示方法以好的和持續(xù)時間長的可視性用于顯示PG涂層產(chǎn)品的可追蹤性。
[0020]本發(fā)明的另一個目的在于提供具有即使被重復(fù)使用和擦洗仍具有可視性的可追蹤性指示物的PBN涂層產(chǎn)品，以及提供可追蹤性顯示方法以好的和持續(xù)時間長的可視性用于顯示PBN涂層產(chǎn)品的可追蹤性。
[0021]解決問題的手段
[0022]在生產(chǎn)不同的PG涂層產(chǎn)品的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)已被公認(rèn)是不透明的PG涂層，可通過控制涂層的厚度變得透明的事實(shí)。在這個發(fā)現(xiàn)的基礎(chǔ)上，他們通過重復(fù)的研究和試驗(yàn)終于發(fā)現(xiàn)本發(fā)明用以解決上述問題。
[0023]根據(jù)權(quán)利要求1的本發(fā)明為包括本體和形成于其表面的PG涂層的PG涂層產(chǎn)品，其特征在于在本體表面的任何位置由石墨制成的可追蹤性指示物，所述可追蹤性指示物穿過厚度為100 μ m或更小的所述PG涂層從外側(cè)可視。通過設(shè)置PG涂層的厚度為100 μ m或更小，能夠提供足夠的透明度以讀取本體表面的可追蹤性指示物。
[0024]根據(jù)本發(fā)明，可追蹤性指示物在PG涂層產(chǎn)品的生產(chǎn)中被提供于本體和PG涂層之間，使得可追蹤性指示物不會丟失即使被重復(fù)的使用和擦洗。此外，本體和PG涂層不會損壞，使其對PG涂層廣品能夠保持內(nèi)在的功能和持久性。
[0025]根據(jù)權(quán)利要求2的本發(fā)明為生產(chǎn)具有可追蹤性指示物的PG涂層產(chǎn)品的方法，其特征在于生產(chǎn)本體，在本體表面的任何位置提供由石墨制成的可追蹤性指示物，并用厚度為IOOym或更小的所述PG涂層來涂層包括可追蹤性指示物的本體表面。通過設(shè)置PG涂層的厚度為100 μ m或更小，能夠提供足夠的透明度以讀取本體表面的可追蹤性指示物。
[0026]根據(jù)權(quán)利要求3的本發(fā)明為具有可追蹤性指示物的PBN涂層產(chǎn)品，其特征在于由石墨制成的可追蹤性指示物被提供于在本體的PBN表面的任何位置，其中該本體至少是表面由PBN制成，PBN護(hù)膜覆蓋包括可追蹤性指示物的PBN表面，所述PBN護(hù)膜具有700 μ m或更小的厚度，所述可追蹤性指示物從外側(cè)穿過所述PBN護(hù)膜可視。通過設(shè)置PBN護(hù)膜的厚度為700 μ m或更小，能夠提供足夠的透明度以讀取PBN本體表面的可追蹤性的指示。
[0027]根據(jù)權(quán)利要求3的本發(fā)明，在PBN涂層產(chǎn)品的PBN本體表面的預(yù)定位置提供的所述可追蹤性指示物被形成于PBN表面的PBN護(hù)膜涂層，使得可追蹤性指示物不會丟失即使被重復(fù)的使用和擦洗。
[0028]此外，由于石墨不會對PBN的物理性質(zhì)產(chǎn)生不利的影響，可追蹤性指示物被置于PBN本體表面和PBN護(hù)膜之間不會對PBN產(chǎn)品內(nèi)在的功能和持久性產(chǎn)生損壞。
[0029]根據(jù)權(quán)利要求4的本發(fā)明為顯示PBN產(chǎn)品的可追蹤性的方法，其特征在于生產(chǎn)本體其中至少表面由PBN制成，在本體的PBN表面的任何位置提供石墨制成的可追蹤性指示物，并用PBN護(hù)膜覆蓋包括可追蹤性指示物的表面，所述PBN護(hù)膜具有700 μ m或更小的厚度使得所述可追蹤性指示物從外側(cè)穿過所述PBN護(hù)膜可視。通過設(shè)置PBN護(hù)膜的厚度為700 μ m或更小，能夠提供足夠的透明度以讀取PBN本體表面的可追蹤性指示物。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1為示出根據(jù)本發(fā)明生產(chǎn)具有可追蹤性指示物的PG涂層產(chǎn)品的過程的流程圖；
[0031]圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的PG涂層PBN爐襯(PG涂層產(chǎn)品)；
`[0032]圖3為示出本發(fā)明的實(shí)施例1中通過設(shè)置PG涂層的厚度到10 μ m所生產(chǎn)的PG涂層PBN爐襯(PG涂層產(chǎn)品)的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；
[0033]圖4為示出本發(fā)明的實(shí)施例1中通過設(shè)置PG涂層的厚度到20 μ m所生產(chǎn)的PG涂層PBN爐襯(PG涂層產(chǎn)品)的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；
[0034]圖5為示出本發(fā)明的實(shí)施例1中通過設(shè)置PG涂層的厚度到30 μ m所生產(chǎn)的PG涂層PBN爐襯(PG涂層產(chǎn)品)的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；
[0035]圖6為示出本發(fā)明的實(shí)施例1中通過設(shè)置PG涂層的厚度到80 μ m所生產(chǎn)的PG涂層PBN爐襯(PG涂層產(chǎn)品)的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；
[0036]圖7為示出本發(fā)明的實(shí)施例1中通過設(shè)置PG涂層的厚度到100 μ m所生產(chǎn)的PG涂層PBN爐襯(PG涂層產(chǎn)品)的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；
[0037]圖8為示出根據(jù)本發(fā)明生產(chǎn)具有可追蹤性指示物的PBN護(hù)膜產(chǎn)品的過程的流程圖；
[0038]圖9為示出根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的具有可追蹤性指示物的PBN護(hù)膜產(chǎn)品的例子的橫截面；
[0039]圖10為示出根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的具有可追蹤性指示物的PBN護(hù)膜產(chǎn)品的另一個例子的橫截面；[0040]圖11為示出本發(fā)明的實(shí)施例2中通過設(shè)置PBN護(hù)膜的厚度到300 μ m所生產(chǎn)的PBN護(hù)膜產(chǎn)品的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；
[0041]圖12為示出本發(fā)明的實(shí)施例2中通過設(shè)置PBN護(hù)膜的厚度到500 μ m所生產(chǎn)的PBN護(hù)膜產(chǎn)品的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；
[0042]圖13為示出本發(fā)明的實(shí)施例2中通過設(shè)置PBN護(hù)膜的厚度到700 μ m所生產(chǎn)的PBN護(hù)膜產(chǎn)品的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；
[0043]圖14為示出本發(fā)明的實(shí)施例2中通過設(shè)置PBN護(hù)膜的厚度到900 μ m所生產(chǎn)的PBN護(hù)膜產(chǎn)品的產(chǎn)品序列號(可追蹤性指示物)的可見性的照片；以及
[0044]圖15為示出根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的具有可追蹤性指示物的PBN護(hù)膜產(chǎn)品的另一個例子的橫截面。
【具體實(shí)施方式】
[0045]圖1為示出根據(jù)本發(fā)明生產(chǎn)具有可追蹤性指示物的PG涂層產(chǎn)品的過程的流程圖。
[0046]首先，PG涂層產(chǎn)品的本體被生產(chǎn)(S11)。例如，當(dāng)PG涂層具有可追蹤性指示物的PBN爐襯將被生產(chǎn)時，PBN爐襯的本體通過CVD方法(化學(xué)氣相沉積)生產(chǎn)。本體材料并不被特別的限制不過優(yōu)選的為不會因石墨而變壞，因?yàn)榭勺钭粉櫺灾甘疚飳⒈皇褂檬x予在該處且然后PG涂層將被形成于其上。這樣優(yōu)選的材料包括例如PBN和SiC。
[0047]然后，在Sll生產(chǎn)的本體從芯軸被移除，代表產(chǎn)品的可追蹤性的產(chǎn)品序列號被標(biāo)記在它的表面的不明顯的地方，例如在底部(S12)。這個指示物由石墨制成，優(yōu)選的為純凈的石墨，以不影響在下個步驟S13被涂層的PG涂層的物理性質(zhì)。
[0048]然后，可追蹤性指示物被提供的整體表面(優(yōu)選的上下表面)被用PG涂層。此時，通過控制薄膜沉積的條件以形成PG涂層的厚度為100 μ m或更小，可提供足夠的透明度用于讀取提供在本體表面的可追蹤性指示物。
[0049]因此，這樣生產(chǎn)的PG涂層產(chǎn)品(S14)具有提供于本體表面和PG涂層之間的可追蹤性指示物，其可穿過PG涂層從外側(cè)可視，這樣可跟蹤性指示物不會丟失即使在長時間內(nèi)被重復(fù)的使用和擦洗?？勺粉櫺灾甘疚镉墒牧现瞥?，其不會對例如PBN制成的本體的內(nèi)在物理性質(zhì)和功能產(chǎn)生任何的影響，以及對PG涂層也是如此。
[0050]本發(fā)明將關(guān)于實(shí)施例進(jìn)行細(xì)節(jié)的描述。
[0051]實(shí)施例1
[0052]PBN爐襯本體11通過熱CVD方法生產(chǎn)，通過下述的方式即PBN被氣相沉積到預(yù)定形狀的芯軸上。具體的，用于爐襯的芯軸被安裝于電爐子內(nèi)，真空泵被連接于該處以降低爐內(nèi)的壓力到ITorr或更低，在其中三氯化硼(BCl3)和氨氣(NH3)被以1.0L/min和3.0L/min的流速，分別的，同載氣一起，被引入，以引發(fā)在1900°C下20h的反應(yīng)。這樣獲得的PBN爐襯本體11具有壁厚1mm，內(nèi)直徑70mm和外直徑72mm的杯狀形狀。
[0053]這個PBN爐襯本體11被從芯軸移除，然后顯示可追蹤性的產(chǎn)品序列號12被采用純凈石墨制成的筆標(biāo)記于底部。產(chǎn)品序列號12包括所有樣品在上排都有的數(shù)字序列“12345”和在下排顯示PG涂層13厚度(見下)的數(shù)字序列“01”- “05”，其通過使用具有數(shù)字形狀孔的繪制模板標(biāo)記。
[0054]然后，PG被氣相沉積到PBN爐襯本體11的整個表面上(上下表面)，在其上產(chǎn)品序列號12已經(jīng)被標(biāo)記，通過類似上述的熱CVD方法形成導(dǎo)體層13，這樣如圖2所示的PG涂層PBN爐襯14 (PG涂層產(chǎn)品)被生產(chǎn)。在這個例子中，沉積條件被控制使得PG涂層13具有不同的五個厚度，即10 μ m, 20 μ m, 30 μ m, 80 μ m 100 μ m，數(shù)字序列“OI”- “05”被如前所述的預(yù)先標(biāo)記在產(chǎn)品序列號的下排，用來區(qū)分。
[0055]關(guān)于這樣生產(chǎn)的這五個PG涂層PBN爐襯14，產(chǎn)品序列號12從外表面肉眼被清晰地看到或者不能被觀察到。結(jié)果被示于下表1和圖5到圖7中。
[0056]表1
[0057]
【權(quán)利要求】
1.包括本體和形成于其表面的PG涂層的PG涂層產(chǎn)品，其特征在于在本體表面的任意位置的由石墨制成的可追蹤性指示物，所述可追蹤性指示物穿過具有100 μ m或更小的厚度的PG涂層從外側(cè)可視。
2.生產(chǎn)具有可追蹤性指示物的PG涂層產(chǎn)品的方法，其特征在于生產(chǎn)本體，在本體表面的任何位置提供由石墨制成的可追蹤性指示物，并用厚度為100 μ m或更小的所述PG涂層來涂層包括可追蹤性指示物的本體表面。
3.具有可追蹤性指示物的PBN涂層產(chǎn)品，其特征在于由石墨制成的可追蹤性指示物被提供于至少是表面由PBN制成的本體的PBN表面的任何位置，所述PBN層覆蓋包括可追蹤性指示物的PBN表面，所述PBN護(hù)膜具有700 μ m或更小的厚度，所述可追蹤性指示物從外側(cè)穿過所述PBN護(hù)膜可視。
4.顯示PBN產(chǎn)品的可追蹤性的方法，其特征在于生產(chǎn)本體其中至少其表面由PBN制成，在本體的PBN表面的任意位置提供石墨制成的可追蹤性指示物，并用PBN護(hù)膜覆蓋包括可追蹤性指示物的表面，所述PBN護(hù)膜具有700 μ m或更小的厚度使得所述可追蹤性指示物從外側(cè)穿過所述PBN護(hù)膜可視。
【文檔編號】G05B19/418GK103748261SQ201280031456
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2012年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2011年6月30日
【發(fā)明者】森川裕次, 松井誠彥, 長谷川知男 申請人:邁圖高新材料日本有限公司