專利名稱：一種控制化學(xué)液溫度的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種控制化學(xué)液溫度的裝置。
背景技術(shù)：
在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備工藝中，針對進(jìn)入工藝腔室中化學(xué)液粘度不一致的情況，在工藝過程中，通過加熱器加熱到一定溫度的化學(xué)液流經(jīng)到各個(gè)工藝腔室的路徑不同，因而到達(dá)各工藝腔室的化學(xué)液的粘度和溫度不同，不能夠很好的滿足工藝要求，對清洗的效果帶來一定的影響。目前的工藝方案中控制化學(xué)液粘度的裝置都只在主管路上安裝加熱器對化學(xué)液進(jìn)行加熱，加熱后的化學(xué)液通過多條并行管路進(jìn)入到各自的工藝腔室。過程中，各個(gè)工藝腔室與加熱器的距離有遠(yuǎn)有近，兩者之間由于管路長度的不同，散失的熱量以及水分的揮發(fā)存在一定的差異，這就使得每個(gè)工藝腔室中化學(xué)液的粘度和溫度的一致性得不到保證，不能很好的滿足工藝要求，另一方面，由于加熱器和工藝腔室之間還有一些距離，當(dāng)化學(xué)液到達(dá)工藝腔室時(shí)由于熱量的散失化學(xué)液的溫度會(huì)有所降低，導(dǎo)致實(shí)際的化學(xué)液工藝溫度與加熱器控制的溫度有較大的偏差，不能實(shí)時(shí)反映當(dāng)前的工藝溫度。

實(shí)用新型內(nèi)容(一 )所要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型通過提供一種控制化學(xué)液溫度的裝置，提高了各個(gè)工藝腔室化學(xué)液溫度和粘度的一致性。( 二 )技術(shù)方案本實(shí)用新型提供了一種控制化學(xué)液溫度的裝置，主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動(dòng)閥，其特征在于，在氣動(dòng)閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。優(yōu)選的，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連。優(yōu)選的，在每個(gè)加熱裝置上連接控制器。優(yōu)選的，所述控制器為數(shù)字顯示溫控器。優(yōu)選的，在所述加熱裝置與工藝腔室間靠近工藝腔室側(cè)的管路上分別安裝溫度傳感器。(三)有益效果本實(shí)用新型可以有效的解決實(shí)際的化學(xué)液工藝溫度與加熱器控制的溫度有較大的偏差，不能實(shí)時(shí)滿足當(dāng)前的工藝溫度的問題；同時(shí)解決了每個(gè)工藝腔室中化學(xué)液的粘度和溫度的一致性得不到保證，不能很好的滿足工藝要求的問題。其方法簡單易行，不僅可以實(shí)時(shí)控制并顯示化學(xué)液的溫度，也提高了各工藝腔室化學(xué)液粘度和溫度的一致性。
圖1為本實(shí)用新型提供的控制化學(xué)液溫度的裝置。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。本實(shí)用新型提供了一種控制化學(xué)液溫度的裝置，主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動(dòng)閥，其特征在于，在氣動(dòng)閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室，各工藝腔室與加熱裝置的距離一致。這樣不僅可以保證各工藝腔室化學(xué)液溫度的一致性，而且各工藝腔室的化學(xué)液粘度的一致性也可以得到保證?？蛇x的，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連；加熱帶裝置較簡單容易實(shí)現(xiàn)。可選的，在每個(gè)加熱裝置上連接控制器；控制器可實(shí)時(shí)控制調(diào)節(jié)加熱帶的溫度，更好的使進(jìn)入各工藝腔室的化學(xué)液溫度保持一致。所述控制器可選為數(shù)字顯示溫控器，實(shí)時(shí)顯示監(jiān)測溫度?？蛇x的，在所述加熱裝置與工藝腔室間靠近工藝腔室側(cè)的管路上分別安裝溫度傳感器；溫度傳感器與數(shù)顯溫控器結(jié)合更好的實(shí)時(shí)控制并監(jiān)測化學(xué)液的溫度。具體如圖1所示:一種控制化學(xué)液溫度的裝置，化學(xué)液在主管路上先經(jīng)過氣動(dòng)閥(11)進(jìn)入到水槽
(2)中，再經(jīng)氣動(dòng)閥(12)到達(dá)泵(3)，泵(3)通過管路將化學(xué)液輸送到加熱器(4)中加熱，加熱器的出口附近設(shè)置一溫度傳感器(5)監(jiān)測溫度，加熱后的化學(xué)液進(jìn)入并行管路，化學(xué)液分別經(jīng)過4個(gè)氣動(dòng)閥(13)進(jìn)入到各自的工藝腔室(8)進(jìn)行工藝。在進(jìn)行工藝之前的一段管路上纏繞一段加熱帶(6)，加熱帶到管路出口的距離在不影響工藝的情況下盡可能縮短，這樣不僅可以保證各工藝腔室的化學(xué)液溫度的一致性，而且各工藝腔室化學(xué)液粘度的一致性也可以得到保證。加熱帶的接頭與電源直接相連，并在各加熱帶上連接一個(gè)數(shù)顯溫控器(7)來實(shí)時(shí)控制并顯示加熱帶的溫度，在4條管路出口附近分別安裝一個(gè)溫度傳感器TS (5)測量化學(xué)液的溫度，TS與數(shù)顯溫控器結(jié)合實(shí)時(shí)控制并監(jiān)測化學(xué)液的溫度，通過對化學(xué)液溫度的控制來改變其粘度，由于將加熱裝置設(shè)置在化學(xué)液即將進(jìn)行工藝的管路部分，這相較于以前的只在主路上加熱化學(xué)液的方案，更容易保證化學(xué)液在進(jìn)行工藝時(shí)更加滿足溫度要求。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種控制化學(xué)液溫度的裝置，主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動(dòng)閥，其特征在于，在氣動(dòng)閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。
2.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連。
3.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，在每個(gè)加熱裝置上連接控制器。
4.如權(quán)利要求3所述裝置，其特征在于，所述控制器為數(shù)字顯示溫控器。
5.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，在所述加熱裝置與工藝腔室間靠近工藝腔室側(cè)的管路上分別安裝溫度傳感器。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種控制化學(xué)液溫度的裝置，該裝置主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動(dòng)閥，其中，在氣動(dòng)閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。通過本實(shí)用新型提高了各個(gè)工藝腔室化學(xué)液粘度和溫度的一致性。
文檔編號G05D23/20GK203012549SQ201220710280
公開日2013年6月19日 申請日期2012年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月20日
發(fā)明者周傳霞, 吳儀, 裴立坤, 何金群, 賈星杰 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司