技術(shù)編號(hào)：6272580
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種控制化學(xué)液溫度的裝置。背景技術(shù)在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備工藝中，針對(duì)進(jìn)入工藝腔室中化學(xué)液粘度不一致的情況，在工藝過程中，通過加熱器加熱到一定溫度的化學(xué)液流經(jīng)到各個(gè)工藝腔室的路徑不同，因而到達(dá)各工藝腔室的化學(xué)液的粘度和溫度不同，不能夠很好的滿足工藝要求，對(duì)清洗的效果帶來一定的影響。目前的工藝方案中控制化學(xué)液粘度的裝置都只在主管路上安裝加熱器對(duì)化學(xué)液進(jìn)行加熱，加熱后的化學(xué)液通過多條并行管路進(jìn)入到各自的工藝腔室。過程...
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