專利名稱：液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
背景技術(shù)：
液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)以壓力將液體導(dǎo)入油腔，在滑臺(tái)與導(dǎo)軌間形成油膜，憑借油膜使滑臺(tái)和導(dǎo)軌接觸面間處于液體摩擦狀態(tài)。與機(jī)械導(dǎo)軌平臺(tái)相比，其在驅(qū)動(dòng)功率、使用壽命、承載力、抗振性、靈活性等方面都具備優(yōu)勢(shì)。相關(guān)的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用開環(huán)、半閉環(huán)循環(huán)控制方式，通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲桿驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)在導(dǎo)軌上動(dòng)作。然而這種構(gòu)造存在缺陷，電機(jī)振動(dòng)和絲杠傳動(dòng)誤差都會(huì)對(duì)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度造成影響。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型旨在提供一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，以解決上述的問題。在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，提供了一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括:主體，其包括滑臺(tái)、導(dǎo)軌和底座；所述導(dǎo)軌安裝在所述底座上，其槽中嵌入所述滑臺(tái)；驅(qū)動(dòng)裝置，其包括動(dòng)子、定子和三路分油塊；所述定子安裝在所述底座上；所述動(dòng)子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑臺(tái)的下表面；所述三路分油塊安裝在所述滑臺(tái)的上表面；位置檢測(cè)裝置，其包括光柵尺和讀數(shù)頭；所述光柵尺安裝在所述滑臺(tái)的側(cè)表面，其刻度面與所述讀數(shù)頭貼合；所述讀數(shù)頭固定在所述導(dǎo)軌上。本實(shí)用 新型因?yàn)椴捎弥本€電機(jī)以磁力場(chǎng)方式驅(qū)動(dòng)，消除了滾珠絲桿帶來的回程誤差問題；同時(shí)采用高 精度光柵尺進(jìn)行誤差補(bǔ)償，所以提高了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。

此處所說明的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:圖1示出了根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。圖1示出了根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括:主體，其包括滑臺(tái)
1、導(dǎo)軌2和底座3 ;所述導(dǎo)軌2安裝在所述底座3上，其槽中嵌入所述滑臺(tái)I ;驅(qū)動(dòng)裝置，其包括動(dòng)子4、定子5和三路分油塊6 ;所述定子5安裝在所述底座3上；所述動(dòng)子4其一端嵌入所述定子5的槽中，其另一端固定在所述滑臺(tái)I的下表面；所述三路分油塊6安裝在所述滑臺(tái)I的上表面；位置檢測(cè)裝置，其包括光柵尺7和讀數(shù)頭8 ;所述光柵尺7安裝在所述滑臺(tái)I的側(cè)表面，其刻度面與所述讀數(shù)頭8貼合；所述讀數(shù)頭8固定在所述導(dǎo)軌2上。[0011]本實(shí)用新型因?yàn)椴捎弥本€電機(jī)以磁力場(chǎng)方式驅(qū)動(dòng)，所以避免了滾珠絲桿傳動(dòng)的回程誤差問題；同時(shí)采用高精度光柵尺進(jìn)行誤差補(bǔ)償，所以提高了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。優(yōu)選地，主體還包括導(dǎo)軌支撐件9 ;兩條導(dǎo)軌2通過兩條導(dǎo)軌支撐件9對(duì)稱地安裝在底座3上；滑臺(tái)I通過兩個(gè)滑動(dòng)端分別嵌入兩條導(dǎo)軌2中。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)裝置還包括動(dòng)子安裝座10，動(dòng)子4通過動(dòng)子安裝座10安裝在滑臺(tái)I的下表面。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)裝置還包括定子安裝座11，定子5通過定子安裝座11安裝在底座3上。優(yōu)選地，驅(qū)動(dòng)裝置還包括拖鏈12，其側(cè)面與定子5貼合，底面固定在底座3上。優(yōu)選地，位置檢測(cè)裝置還包括讀數(shù)頭安裝座13，讀數(shù)頭8通過讀數(shù)頭安裝座13安裝在導(dǎo)軌2上。優(yōu)選地，光柵尺7為分辨率Inm的陶瓷光柵尺。該液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)以直線電機(jī)替代伺服電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，通過磁力場(chǎng)使動(dòng)子和定子相互作用，從而驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)；配置分辨率Inm的陶瓷光柵尺作為位置檢測(cè)裝置。該液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)無需滾珠絲桿傳動(dòng)，所以消除了滾珠絲桿引起的回程誤差問題；通過配置高精度的位置檢測(cè)裝置進(jìn)行誤差補(bǔ)償，所以提高了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。從以上描述可以看出，本液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有以下有益效果:1、配置高精度的位置檢測(cè)裝置，實(shí)現(xiàn)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)過程的誤差補(bǔ)償，提高重復(fù)定位的精度；
2、采用直線電機(jī)的驅(qū)動(dòng)方式，進(jìn)行全閉環(huán)的循環(huán)控制，降低系統(tǒng)能耗，延長設(shè)備使用壽命；3、組成平臺(tái)的零件都是獨(dú)立、可拆卸的，能根據(jù)實(shí)際情況需要進(jìn)行靈活的變更設(shè)計(jì)，降低制造成本。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，包括: 主體，其包括滑臺(tái)(I)、導(dǎo)軌(2)和底座(3);所述導(dǎo)軌(2)安裝在所述底座(3)上，其槽中嵌入所述滑臺(tái)(I); 驅(qū)動(dòng)裝置，其包括動(dòng)子(4)、定子(5)和三路分油塊(6);所述定子(5)安裝在所述底座(3)上；所述動(dòng)子(4)其一端嵌入所述定子(5)的槽中，其另一端固定在所述滑臺(tái)(I)的下表面；所述三路分油塊(6)安裝在所述滑臺(tái)(I)的上表面； 位置檢測(cè)裝置，其包括光柵尺(7 )和讀數(shù)頭(8 );所述光柵尺(7 )安裝在所述滑臺(tái)(I)的側(cè)表面，其刻度面與所述讀數(shù)頭(8)貼合；所述讀數(shù)頭(8)固定在所述導(dǎo)軌(2)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述主體還包括導(dǎo)軌支撐件(9);兩條所述導(dǎo)軌(2)通過兩條所述導(dǎo)軌支撐件(9)對(duì)稱地安裝在所述底座(3)上；所述滑臺(tái)(I)通過兩個(gè)滑動(dòng)端分別嵌入兩條所述導(dǎo)軌(2)中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括動(dòng)子安裝座(10)，所述動(dòng)子(4)通過所述動(dòng)子安裝座(10)安裝在所述滑臺(tái)(I)的下表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括定子安裝座(11)，所述定子(5 )通過所述定子安裝座(11)安裝在所述底座(3 )上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括拖鏈(12)，其側(cè)面與所述定 子(5)貼合，底面固定在所述底座(3)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述位置檢測(cè)裝置還包括讀數(shù)頭安裝座(13)，所述讀數(shù)頭(8 )通過所述讀數(shù)頭安裝座(13)安裝在所述導(dǎo)軌(2 )上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述光柵尺(7)為分辨率Inm的陶瓷光柵尺。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括主體，其包括滑臺(tái)、導(dǎo)軌和底座；所述導(dǎo)軌安裝在所述底座上，其槽中嵌入所述滑臺(tái)；驅(qū)動(dòng)裝置，其包括動(dòng)子、定子和三路分油塊；所述定子安裝在所述底座上；所述動(dòng)子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑臺(tái)的下表面；所述三路分油塊安裝在所述滑臺(tái)的上表面；位置檢測(cè)裝置，其包括光柵尺和讀數(shù)頭；所述光柵尺安裝在所述滑臺(tái)的側(cè)表面，其刻度面與所述讀數(shù)頭貼合；所述讀數(shù)頭固定在所述導(dǎo)軌上。該液體靜壓運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由于采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，避免了滾珠絲桿傳動(dòng)的回程誤差問題；配備用于運(yùn)動(dòng)誤差補(bǔ)償?shù)奈恢脵z測(cè)裝置，所以提高了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。
文檔編號(hào)G05D3/12GK203102016SQ20122061685
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2012年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月20日
發(fā)明者趙春花 申請(qǐng)人:昆山允可精密工業(yè)技術(shù)有限公司