提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，通過添加信號線直接連接輸入輸出控制盤與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，制程設(shè)備機臺的需求信號能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)能夠根據(jù)需求信號做出相應(yīng)的反應(yīng)，同時輸入輸出控制盤也根據(jù)需求信號來控制閥門箱，并將相應(yīng)的化學(xué)物品提供給制程設(shè)備機臺。從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)從輸入輸出控制盤到化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)中的信號線和中央數(shù)據(jù)采集盤出現(xiàn)的信號傳輸中斷問題，進(jìn)而能夠根據(jù)制程設(shè)備機臺發(fā)出的需求信號正常的為制程設(shè)備機臺提供所需化學(xué)物品。
【專利說明】提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明設(shè)計半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中，通常需要用到大量的具有劇毒性和高腐蝕性的化學(xué)物品來滿足生產(chǎn)需要，例如氫氟酸、磷酸等。在正常的生產(chǎn)過程中，制程設(shè)備機臺向廠務(wù)的化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)發(fā)出需求信號，廠務(wù)的化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)接受到需求信號后會做出相應(yīng)的反應(yīng)并且發(fā)出反應(yīng)信號，從而控制閥門打開，向制程設(shè)備機臺輸送所需的化學(xué)物品。
[0003]目前，半導(dǎo)體行業(yè)通常都是采用控制網(wǎng)線來傳遞需求信號，實現(xiàn)制程設(shè)備機臺和廠務(wù)的化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)之間的通訊。請參考圖1，現(xiàn)有的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)包括:制程設(shè)備機臺(POU) 10 ;與所述制程設(shè)備機臺10連接的閥門箱(VMB) 20 ;與所述閥門箱20連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel)30 ;與所述輸入輸出控制盤30連接的中央數(shù)據(jù)采集盤(DCP Master) 40 ;以及與所述中央數(shù)據(jù)采集盤40連接的化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)(CCSS Unit)50，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50包括化學(xué)物品供應(yīng)單元(圖未示)和信號輸入單元(圖未示)。此外，所述制程設(shè)備機臺10與閥門箱20之間設(shè)置有第一段管路61，所述閥門箱20與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50之間設(shè)置有第二段管路62。
[0004]所述制程設(shè)備機臺10、閥門箱20、輸入輸出控制盤30、中央數(shù)據(jù)采集盤40以及化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50依次通過信號線進(jìn)行信號連接。具體地說，所述制程設(shè)備機臺10提出需求信號并傳輸至所述閥門箱20 ;所述閥門箱20再將需求信號傳輸至所述輸入輸出控制盤30 ;所述輸入輸出控制盤30將需求信號傳輸至所述中央數(shù)據(jù)采集盤40 ;所述中央數(shù)據(jù)采集盤40將需求信號傳輸至所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50中的信號輸入單元；所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)再根據(jù)所述需求信號做出相應(yīng)的反應(yīng)，控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元通過第二段管路62向制程設(shè)備機臺10供應(yīng)化學(xué)物品(例如是氫氟酸、磷酸等酸液);所述輸入輸出控制盤30會根據(jù)需求信號做出相應(yīng)的反應(yīng)，再將反應(yīng)信號反饋至所述閥門箱20 ;所述閥門箱20根據(jù)所述反應(yīng)信號來打開或者關(guān)閉所述閥門單元中的閥門，從而達(dá)到為所述制程設(shè)備機臺10提供或不提供所需化學(xué)物品的效果。這樣便能夠?qū)崿F(xiàn)所述制程設(shè)備機臺10與所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50的化學(xué)物品的傳輸。
[0005]但是在實際生產(chǎn)過程中，輸入輸出控制盤30與中央數(shù)據(jù)采集盤40之間的信號線、中央數(shù)據(jù)采集盤40與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50之間的信號線、或者中央數(shù)據(jù)采集盤40其中任何一處出現(xiàn)問題都將會導(dǎo)致信號傳輸?shù)闹袛?，化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)50無法接受到需求信號，從而致使制程設(shè)備機臺10無法獲得所需的化學(xué)物品。若制程設(shè)備機臺10無法獲得化學(xué)物品，必須停止生產(chǎn)。此時不但需要花費時間分別對各處信號線和中央數(shù)據(jù)采集盤40進(jìn)行故障排查，而且還將導(dǎo)致制程設(shè)備機臺10中正在生產(chǎn)的晶圓損傷甚至報廢。因此，如何避免此類問題的發(fā)生，便成了本領(lǐng)域亟需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明提出一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中從輸入輸出控制盤到化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)中的信號線和中央數(shù)據(jù)采集盤出現(xiàn)故障時不能繼續(xù)為制程設(shè)備機臺提供化學(xué)物品的問題。
[0007]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，包括:制程設(shè)備機臺(POU);與所述制程設(shè)備機臺連接的閥門箱(VMB);與所述閥門箱連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel);以及化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)(CCSS Unit);所述制程設(shè)備機臺與閥門箱之間設(shè)置有第一段管路，所述閥門箱與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)之間設(shè)置有第二段管路；其中，所述輸入輸出控制盤直接通過信號線與所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)進(jìn)行信號連接。
[0008]進(jìn)一步的，所述閥門箱包括信號單元和閥門單元；所述信號單元與所述制程設(shè)備機臺與所述輸入輸出控制盤連接，所述閥門單元與所述制程設(shè)備機臺通過所述第一段管路連接，所述信號單元控制所述閥門單元中的閥門的開關(guān)。
[0009]進(jìn)一步的，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)包括化學(xué)物品供應(yīng)單元和信號輸入單元，所述化學(xué)物品供應(yīng)單元與所述閥門箱通過所述第二段管路連接，所述信號輸入單元與所述輸入輸出控制盤通過信號線連接，所述信號輸入單元控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元供應(yīng)化學(xué)物
品O
[0010]進(jìn)一步的，還包括一中央數(shù)據(jù)采集盤，與所述輸入輸出控制盤和所述信號輸入單元連接。
[0011]進(jìn)一步的，所述輸入輸出控制盤包括數(shù)據(jù)輸出模塊和繼電器，所述數(shù)據(jù)輸出模塊與所述繼電器連接。
[0012]進(jìn)一步的，所述繼電器與所述信號輸入單元的信號端口通過一根信號線連接，所述繼電器與所述信號輸入單元的公共端口通過另一根信號線連接。
[0013]進(jìn)一步的，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)還包括一硬線故障報警單元，所述硬線故障報警單元用以檢測所述輸入輸出控制盤和中央數(shù)據(jù)采集盤是否傳輸信號至所述信號輸入單
J Li ο
[0014]進(jìn)一步的，所述信號線為硬線(Hard cable)。
[0015]進(jìn)一步的，所述硬線為24V的信號線。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的主要有益效果在于:提出一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，通過添加信號線直接連接輸入輸出控制盤與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，制程設(shè)備機臺的需求信號能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)能夠根據(jù)需求信號做出相應(yīng)的反應(yīng)，同時輸入輸出控制盤也根據(jù)需求信號來控制閥門箱，并將相應(yīng)的化學(xué)物品提供給制程設(shè)備機臺。從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)從輸入輸出控制盤到化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)中的信號線和中央數(shù)據(jù)采集盤出現(xiàn)的信號傳輸中斷問題，進(jìn)而能夠根據(jù)制程設(shè)備機臺發(fā)出的需求信號正常的為制程設(shè)備機臺提供所需化學(xué)物品。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本發(fā)明實施例一中提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本發(fā)明實施例一中輸入輸出控制盤與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)連線的結(jié)構(gòu)示意圖；[0020]圖4為本發(fā)明實施例二中提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0021]為了便于理解，下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0022]實施例一
[0023]請參考圖2，一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，包括:制程設(shè)備機臺(POU) 100 ;與所述制程設(shè)備機臺100連接的閥門箱(VMB) 200 ;與所述閥門箱200連接的輸入輸出控制盤(I/O Panel) 300 ;以及化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)(CCSS Unit) 500 ;所述制程設(shè)備機臺100與閥門箱200之間設(shè)置有第一段管路610，所述閥門箱200與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500之間設(shè)置有第二段管路620 ;其中，所述輸入輸出控制盤300直接通過信號線700與所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500進(jìn)行信號連接。
[0024]其中，所述閥門箱200包括信號單元和閥門單元(圖未示);所述信號單元與所述制程設(shè)備機臺100與所述輸入輸出控制盤300連接，所述閥門單元與所述制程設(shè)備機臺100通過所述第一段管路610連接，所述信號單元控制所述閥門單元中的閥門的開關(guān)。
[0025]在本實施例中，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500包括化學(xué)物品供應(yīng)單元(圖未示)和信號輸入單元510，所述化學(xué)物品供應(yīng)單元與所述閥門箱300通過所述第二段管路620連接，所述信號輸入單元510與輸入輸出控制盤300通過信號線700連接，所述信號輸入單元510控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元供應(yīng)化學(xué)物品。
[0026]在本實施例中，所述制程設(shè)備機臺100提出需求信號，并傳輸至所述閥門箱200 ；所述閥門箱200再將需求信號傳輸至所述輸入輸出控制盤300 ;所述輸入輸出控制盤300再將需求信號傳輸至所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500 ;化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500根據(jù)所述需求信號做出相應(yīng)的反應(yīng)，控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元通過第二段管路620向閥門箱200供應(yīng)化學(xué)物品；所述輸入輸出控制盤300會根據(jù)需求信號做出相應(yīng)的反應(yīng)，再將反應(yīng)信號反饋至所述閥門箱200 ;所述閥門箱200根據(jù)所述反應(yīng)信號來打開所述閥門單元的閥門，從而達(dá)到化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)通過第二段管路620和第一段管路610為所述制程設(shè)備機臺100提供所需化學(xué)物品的效果。
[0027]請參考圖3，在本實施例中，所述輸入輸出控制盤300包括數(shù)據(jù)輸出模塊310和繼電器320，所述數(shù)據(jù)輸出模塊310與所述繼電器320連接。所述繼電器320與所述信號輸入單元510的信號端口通過一根信號線700連接，所述繼電器320與所述信號輸入單元510的公共端口(即接地端)通過另一根信號線700連接，從而實現(xiàn)信號的傳輸。
[0028]其中，所述信號線700可以為硬線(Hard cable)，其規(guī)格為24V。
[0029]綜上所述，本實施例通過添加信號線直接連接輸入輸出控制盤與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，制程設(shè)備機臺的需求信號能夠通過輸入輸出控制盤直接傳輸至化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)，化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)再根據(jù)所述需求信號做出相應(yīng)的反應(yīng)，控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元通過第二段管路向閥門箱供應(yīng)化學(xué)物品，閥門箱依據(jù)來自輸入輸出控制盤的反應(yīng)信號的指示，將相應(yīng)的化學(xué)物品提供給制程設(shè)備機臺。從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的信號傳輸出現(xiàn)中斷的問題，進(jìn)而能夠根據(jù)制程設(shè)備機臺發(fā)出的需求信號正常的為制程設(shè)備機臺提供所需化學(xué)物品。
[0030]實施例二[0031]參考圖4，本實施例的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)與實施例一相比，還包括一中央數(shù)據(jù)采集盤400，所述中央數(shù)據(jù)采集盤400與輸入輸出控制盤300和信號輸入單元510連接。本實施例中，當(dāng)制程設(shè)備機臺100發(fā)出的需求信號通過所述閥門箱200傳輸至所述輸入輸出控制盤300之后，分成兩路，一路傳輸至所述中央數(shù)據(jù)采集盤400，所述中央數(shù)據(jù)采集盤400再將需求信號傳輸至所述信號輸入單元510，另一路直接傳輸至所述信號輸入單元510。同理，所述信號輸入單元510依據(jù)接收到的需求信號做出相應(yīng)的反應(yīng)，控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元通過第二段管路向所述閥門箱200供應(yīng)化學(xué)物品，所述閥門箱200再依據(jù)來自輸入輸出控制盤的相應(yīng)反應(yīng)信號打開所述閥門單元內(nèi)的閥門并給所述制程設(shè)備機臺100提供所需化學(xué)物品。
[0032]在本實施例中，所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500還包括一硬線故障報警單元(圖未示)，所述硬線故障報警單元用以檢測所述輸入輸出控制盤300和中央數(shù)據(jù)采集盤400是否傳輸信號至所述信號輸入單元510。所述硬線故障報警單元與所述信號輸入單元510相連，用于檢測所述信號線700是否正常工作或出現(xiàn)故障。當(dāng)所述制程設(shè)備機臺100提出需求信號，經(jīng)過所述閥門箱200和所述輸入輸出控制盤300之后，需求信號會有兩條支路傳輸至所述信號輸入單元510，一條支路是經(jīng)由所述信號線700直接傳輸至所述信號輸入單元510，另一條支路是經(jīng)由所述中央數(shù)據(jù)采集盤400傳輸至所述信號輸入單元510。若所述信號輸入單元510只接收到經(jīng)由所述中央數(shù)據(jù)采集盤400傳輸?shù)男盘枺敲淳驼f明所述信號線700出現(xiàn)了故障。此時所述硬線故障報警單元則會發(fā)出報警信號。
[0033]在本實施例中，當(dāng)輸入輸出控制盤300與中央數(shù)據(jù)采集盤400之間的信號線、中央數(shù)據(jù)采集盤400與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500之間的信號線、或者中央數(shù)據(jù)采集盤400其中任何一處出現(xiàn)故障時，制程設(shè)備機臺100提出的需求信號可以通過所述信號線700傳輸至所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500，從而化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)500依舊可以接收信號并為所述制程設(shè)備機臺100提供所需的化學(xué)物品。由此可見，本實施例不僅僅可以有效的避免現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，還能檢測信號線700或數(shù)據(jù)收集器400是否處于正常狀態(tài)，起到雙重保護的作用。
[0034]本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。
[0035]以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不對本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，包括:制程設(shè)備機臺；與所述制程設(shè)備機臺連接的閥門箱；與所述閥門箱連接的輸入輸出控制盤；以及化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)；所述制程設(shè)備機臺與閥門箱之間設(shè)置有第一段管路，所述閥門箱與化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)之間設(shè)置有第二段管路；其特征在于，所述輸入輸出控制盤直接通過信號線與所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)進(jìn)行信號連接。
2.如權(quán)利要求1所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述閥門箱包括信號單元和閥門單元；所述信號單元與所述制程設(shè)備機臺與所述輸入輸出控制盤連接，所述閥門單元與所述制程設(shè)備機臺通過所述第一段管路連接，所述信號單元控制所述閥門單元中的閥門的開關(guān)。
3.如權(quán)利要求1所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)包括化學(xué)物品供應(yīng)單元和信號輸入單元，所述化學(xué)物品供應(yīng)單元與所述閥門箱通過所述第二段管路連接，所述信號輸入單元與所述輸入輸出控制盤通過信號線連接，所述信號輸入單元控制所述化學(xué)物品供應(yīng)單元供應(yīng)化學(xué)物品。
4.如權(quán)利要求3所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:還包括一中央數(shù)據(jù)采集盤，與所述輸入輸出控制盤和所述信號輸入單元連接。
5.如權(quán)利要求4所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述輸入輸出控制盤包括數(shù)據(jù)輸出模塊和繼電器，所述數(shù)據(jù)輸出模塊與所述繼電器連接。
6.如權(quán)利要求5所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述繼電器與所述信號輸入單元的信號端口通過一根信號線連接，所述繼電器與所述信號輸入單元的公共端口通過另一根信號線連接。
7.如權(quán)利要求4所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述化學(xué)物品供應(yīng)系統(tǒng)還包括一硬線故障報警單元，所述硬線故障報警單元用以檢測所述輸入輸出控制盤和中央數(shù)據(jù)采集盤是否傳輸信號至所述信號輸入單元。
8.如權(quán)利要求3中所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述信號線為硬線。
9.如權(quán)利要求7所述的提供化學(xué)物品的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述硬線為24V的信號線。
【文檔編號】G05B19/04GK103792856SQ201210434971
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2012年11月2日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月2日
【發(fā)明者】張文武, 朱江寧, 刁春華, 周鵬 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司