專利名稱：改善物料搬運(yùn)效率的方法以及使用該方法的制造系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造流程，特別是涉及一種改善半導(dǎo)體制流中物料搬運(yùn)效率的方法。
背景技術(shù)：
制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execution System，MES)輔助生產(chǎn)管理人員收集現(xiàn)場數(shù)據(jù)及控制現(xiàn)場制造流程，其為提供企業(yè)改善工藝、提高生產(chǎn)效益的工具。自動化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(Automatic Material Handling System，AMHS)是用來將承載一批批集成電路(IC)晶片的晶片盒(Front OpeningUnified Pod，F(xiàn)OUP)，在晶片廠工藝設(shè)備之間傳送。傳統(tǒng)上，晶片制造廠(Wafer Fab)的物料搬運(yùn)是采用手推車式系統(tǒng)，但隨著晶片片尺寸由六時、八時，增大為12時，人工搬運(yùn)已無法負(fù)荷，加上產(chǎn)品的成品率(Yield rate)及潔凈度等因素的考慮，使得自動化物料搬運(yùn)系統(tǒng)在近年來已成為晶片廠或TFT廠必要的配備之一。
上述制造執(zhí)行系統(tǒng)與自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)的發(fā)展，均是為了減輕人力的負(fù)擔(dān)、提升工藝的品質(zhì)、以及降低制造的成本。半導(dǎo)體制造流程說明如下，參考圖1，其是顯示半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖，包括一工藝機(jī)臺(tool)100、一輸出輸入端口(port)150、一機(jī)臺控制系統(tǒng)(ToolControl System，TCS)200、一制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)300、一實(shí)時派工系統(tǒng)(Real-TimeDispatching System，RTD)400、一搬運(yùn)控制系統(tǒng)(Material Control System，MCS)500、一自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)600、一緩沖倉儲(Stocker)700、以及軌道800。
當(dāng)工藝機(jī)臺100處于閑置狀態(tài)時，即沒有任何晶片在工藝機(jī)臺100執(zhí)行半導(dǎo)體工藝時，其回報(bào)一加載就緒訊息給機(jī)臺控制系統(tǒng)200，然后機(jī)臺控制系統(tǒng)200再將該訊息傳送給制造執(zhí)行系統(tǒng)300，以通知其可將另一批晶片搬運(yùn)到工藝機(jī)臺100執(zhí)行半導(dǎo)體工藝。當(dāng)制造執(zhí)行系統(tǒng)300收到該加載就緒訊息時，其會詢問實(shí)時派工系統(tǒng)400接下來欲搬運(yùn)哪一批晶片到工藝機(jī)臺100，然后實(shí)時派工系統(tǒng)400會給制造執(zhí)行系統(tǒng)300一工藝清單，其中載明所欲進(jìn)行半導(dǎo)體工藝的晶片清單。接著制造執(zhí)行系統(tǒng)300決定其中一批晶片后，即傳送一搬運(yùn)要求訊息給搬運(yùn)控制系統(tǒng)500。接著，當(dāng)搬運(yùn)控制系統(tǒng)500收到該搬運(yùn)要求訊息時，其命令自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)600自緩沖倉儲700將指定的晶片經(jīng)由軌道800搬運(yùn)到工藝機(jī)臺100的輸出輸入端口(port)150上。
工藝機(jī)臺100取得該批晶片后即回報(bào)一加載完成訊息給機(jī)臺控制系統(tǒng)200，然后機(jī)臺控制系統(tǒng)200再回報(bào)該加載完成訊息給制造執(zhí)行系統(tǒng)300。當(dāng)制造執(zhí)行系統(tǒng)300收到該加載完成訊息時，其經(jīng)由機(jī)臺控制系統(tǒng)200發(fā)出一控制命令給工藝機(jī)臺100，以告知其進(jìn)行何種半導(dǎo)體工藝(如黃光工藝)。接著，工藝機(jī)臺100根據(jù)該控制命令執(zhí)行相對應(yīng)的半導(dǎo)體工藝，并在執(zhí)行完成后回報(bào)一卸載就緒訊息給機(jī)臺控制系統(tǒng)200，然后機(jī)臺控制系統(tǒng)200再將該卸載就緒訊息傳送給制造執(zhí)行系統(tǒng)300，以通知其可將該批晶片搬運(yùn)離開工藝機(jī)臺100。當(dāng)制造執(zhí)行系統(tǒng)300收到該卸載就緒訊息，其會詢問實(shí)時派工系統(tǒng)400接下來欲將該批晶片搬運(yùn)到哪一工藝機(jī)臺上。詢問實(shí)時派工系統(tǒng)400回復(fù)制造執(zhí)行系統(tǒng)300后，制造執(zhí)行系統(tǒng)300即傳送一搬運(yùn)要求訊息給搬運(yùn)控制系統(tǒng)500，接著搬運(yùn)控制系統(tǒng)500命令自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)600將該批晶片自工藝機(jī)臺100卸載然后搬運(yùn)回緩沖倉儲700。
以目前半導(dǎo)體倉儲管理來說，工藝機(jī)臺目前處于閑置狀態(tài)，則制造執(zhí)行系統(tǒng)將欲進(jìn)行半導(dǎo)體工藝的晶片，通過自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)搬運(yùn)至該工藝機(jī)臺上。當(dāng)欲執(zhí)行工藝的機(jī)臺目前正對其它批晶片進(jìn)行工藝處理時，則需先將該批晶片搬運(yùn)到緩沖倉儲內(nèi)暫存，待該工藝機(jī)臺執(zhí)行完成且又處于閑置狀態(tài)時，再將該比晶片搬運(yùn)至該工藝機(jī)臺。然而，若該工藝機(jī)臺所屬的緩沖倉儲目前并無空的儲位，則該批晶片必須先搬運(yùn)到其它緩沖倉儲，待該工藝機(jī)臺執(zhí)行完成且又處于閑置狀態(tài)時，再將該批晶片自其它緩沖倉儲搬運(yùn)至該工藝機(jī)臺。
舉例來說，參考圖2，其是顯示晶片在工藝機(jī)臺與緩沖倉儲間搬運(yùn)的關(guān)系示意圖。某一批晶片欲搬運(yùn)到工藝機(jī)臺3執(zhí)行一半導(dǎo)體工藝，當(dāng)工藝機(jī)臺3目前正對其它批晶片進(jìn)行工藝處理時，則需先將該批晶片搬運(yùn)到緩沖倉儲A內(nèi)暫存以等待工藝機(jī)臺3執(zhí)行完成。若緩沖倉儲A目前并無空的儲位，而緩沖倉儲B則有空的儲位，則該批晶片搬運(yùn)到緩沖倉儲B。當(dāng)工藝機(jī)臺3執(zhí)行完成時，將該批晶片自緩沖倉儲B直接搬運(yùn)至緩沖倉儲。
自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)為單向搬運(yùn)系統(tǒng)，由上述的搬運(yùn)流程可知，該批晶片由緩沖倉儲B搬離，然后須沿著箭頭方向搬運(yùn)到緩沖倉儲A，如此會花費(fèi)許多時間在搬運(yùn)晶片上，若該批晶片系被存放在更遠(yuǎn)的緩沖倉儲內(nèi)，則將導(dǎo)致搬運(yùn)時間過長，而使得工藝機(jī)臺3一直處于閑置狀態(tài)，進(jìn)而導(dǎo)致制造成本的升高且工藝效率的降低。因此，本發(fā)明即披露了一種方法以改善物料搬運(yùn)的效率。

發(fā)明內(nèi)容
基于上述目的，本發(fā)明實(shí)施例披露了一種改善物料搬運(yùn)效率的方法。定義一預(yù)約計(jì)數(shù)值與一倉儲計(jì)數(shù)值。一監(jiān)控程序檢查該預(yù)約計(jì)數(shù)值與該倉儲計(jì)數(shù)值。當(dāng)該預(yù)約計(jì)數(shù)值為0且該倉儲計(jì)數(shù)值為0，一制造執(zhí)行系統(tǒng)將存放在一預(yù)留儲位的一在制品載入到一工藝機(jī)臺，并且將該預(yù)約計(jì)數(shù)值與該倉儲計(jì)數(shù)值分別加1。當(dāng)該預(yù)約計(jì)數(shù)值為0且該倉儲計(jì)數(shù)值大于0，該制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品加載到該工藝機(jī)臺，并且將該預(yù)約計(jì)數(shù)值加1。當(dāng)該預(yù)約計(jì)數(shù)值大于0，該制造執(zhí)行系統(tǒng)預(yù)約一在制品，并且將該在制品搬運(yùn)到該工藝機(jī)臺。


圖1示出了傳統(tǒng)半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的架構(gòu)示意圖。
圖2示出了晶片在工藝機(jī)臺與緩沖倉儲間搬運(yùn)的關(guān)系示意圖。
圖3示出了本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的制造流程的工作流程示意圖。
圖4示出了本發(fā)明實(shí)施例的預(yù)留儲位與工藝機(jī)臺間的關(guān)系示意圖。
圖5A、5B示出了本發(fā)明實(shí)施例的改善物料搬運(yùn)效率方法的步驟流程圖。
附圖符號說明100～工藝機(jī)臺150～輸出輸入端口200～機(jī)臺控制系統(tǒng)300～制造執(zhí)行系統(tǒng)
400～實(shí)時派工系統(tǒng)500～搬運(yùn)控制系統(tǒng)600～自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)700～緩沖倉儲750～預(yù)留儲位800～軌道900～監(jiān)控程序具體實(shí)施方式
為使本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉出較佳實(shí)施例，并結(jié)合附圖詳細(xì)說明如下。
本發(fā)明實(shí)施例披露了一種改善物料搬運(yùn)效率的方法以及使用該方法的制造系統(tǒng)。
為了改善物料搬運(yùn)的效率，本發(fā)明實(shí)施例在緩沖倉儲內(nèi)預(yù)留了數(shù)個儲位給每一工藝機(jī)臺，并且通過軟件控制的方式以達(dá)到其目的。
本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的架構(gòu)如圖3所示，與傳統(tǒng)半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的架構(gòu)相比，其還包括一監(jiān)控程序900，用以監(jiān)控工藝機(jī)臺100、制造執(zhí)行系統(tǒng)300、以及緩沖倉儲700的在制品批數(shù)變化，并且根據(jù)數(shù)量變化執(zhí)行相對應(yīng)的操作，以及緩沖倉儲700還包括一預(yù)留儲位750，用以存放欲載入至工藝機(jī)臺100的在制品。參考圖2，其示出了半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的制造流程的工作流程示意圖。此外，如上文所述，本發(fā)明實(shí)施例在緩沖倉儲內(nèi)預(yù)留了數(shù)個儲位給每一工藝機(jī)臺。舉例來說，參考圖3，緩沖倉儲A具有20個儲位，其中儲位1、儲位2、以及儲位3為預(yù)留儲位。在緩沖倉儲A所屬的機(jī)臺群組中包括工藝機(jī)臺1、工藝機(jī)臺2、以及工藝機(jī)臺3，每一工藝機(jī)臺所需的儲位數(shù)量沒有一定，通常只需一個或二個儲位即符合目前半導(dǎo)體制造系統(tǒng)之制造流程所需，但實(shí)際上并不以此為限。因此，在本發(fā)明實(shí)施例中，為工藝機(jī)臺1、工藝機(jī)臺2、以及工藝機(jī)臺3分別各預(yù)留一個儲位(預(yù)留儲位1、預(yù)留儲位2、以及預(yù)留儲位3)。
此外，為制造執(zhí)行系統(tǒng)300與緩沖倉儲700的工藝機(jī)臺1(本發(fā)明實(shí)施例只以工藝機(jī)臺1為例)分別定義一預(yù)約計(jì)數(shù)值與一倉儲計(jì)數(shù)值(以下分別稱為MES_Count與Stocker_Count)，用以記錄制造執(zhí)行系統(tǒng)300在操作過程中與緩沖倉儲700的預(yù)留儲位1的在制品數(shù)量變化。
目前的半導(dǎo)體制造流程在物料搬運(yùn)系統(tǒng)中應(yīng)用了一種「預(yù)約(reserve)機(jī)制」，其是當(dāng)工藝機(jī)臺處于閑置狀態(tài)時，制造執(zhí)行系統(tǒng)會為該工藝機(jī)臺預(yù)約一批在制品，并且通知自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)將該批在制品搬運(yùn)到該工藝機(jī)臺。在該批在制品搬運(yùn)到該工藝機(jī)臺之前，若有其它批在制品以人工方式加載該工藝機(jī)臺，該工藝機(jī)臺將不會對其執(zhí)行工藝操作。而本發(fā)明實(shí)施例提出了一種「預(yù)先預(yù)約(pre-reserve)機(jī)制」，其是在工藝機(jī)臺仍對某批在制品執(zhí)行工藝操作，制造執(zhí)行系統(tǒng)即先將欲在該工藝機(jī)臺執(zhí)行工藝操作的下一批在制品搬運(yùn)到該工藝機(jī)臺所屬的緩沖倉儲之預(yù)留儲位中，以待該工藝機(jī)臺完成目前之工藝操作后將該下一批在制品載入到該工藝機(jī)臺，如此將可有效節(jié)省物料搬運(yùn)的時間。
以下先簡述「預(yù)先預(yù)約(pre-reserve)機(jī)制」的概念。參考圖4，其示出了本發(fā)明實(shí)施例的預(yù)留儲位與工藝機(jī)臺間的關(guān)系示意圖。以工藝機(jī)臺1為例，當(dāng)其正執(zhí)行一工藝操作，且目前預(yù)留儲位1是空的，以及緩沖倉儲A中的其它儲位并無等待欲加載至工藝機(jī)臺1執(zhí)行工藝操作的在制品，則制造執(zhí)行系統(tǒng)為工藝機(jī)臺1預(yù)約一批在制品(該批在制品可能存放于緩沖倉儲B或其它緩沖倉儲)，并且通知自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)將該批在制品搬運(yùn)到預(yù)留儲位1存放，然后等到工藝機(jī)臺1完成目前的工藝操作后，將該批在制品載入到該工藝機(jī)臺1。本發(fā)明實(shí)施例只考慮上述狀況，若工藝機(jī)臺1正執(zhí)行一工藝操作，且緩沖倉儲A中的其它儲位有等待欲加載至工藝機(jī)臺1執(zhí)行工藝操作的在制品，則制造執(zhí)行系統(tǒng)不會執(zhí)行上述「預(yù)先預(yù)約」操作。
參考圖3，接下來將詳述本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體制造流程的操作過程，其中該系統(tǒng)中的部分可能不會敘述到以簡化說明，相關(guān)操作與圖1中所述的操作雷同。將MES_Count與Stocker_Count的初始值分別設(shè)定為1，其表示為工藝機(jī)臺100在緩沖倉儲700中預(yù)留一個儲位。
當(dāng)工藝機(jī)臺100正執(zhí)行一工藝操作時，監(jiān)控程序900檢查MES_Count的值(監(jiān)控程序900每隔一既定時間即會執(zhí)行該檢查操作)。當(dāng)MES_Count的值為1，表示制造執(zhí)行系統(tǒng)300尚未執(zhí)行預(yù)先預(yù)約的操作(此時Stocker_Count的值亦應(yīng)為1)，因此監(jiān)控程序900發(fā)出一控制命令，令制造執(zhí)行系統(tǒng)300執(zhí)行一預(yù)先預(yù)約操作，并且將欲在工藝機(jī)臺100執(zhí)行工藝操作的下一批在制品搬運(yùn)到緩沖倉儲700。制造執(zhí)行系統(tǒng)300完成該預(yù)先操約操作后，將MES_Count的值減1而變?yōu)?。接著制造執(zhí)行系統(tǒng)300發(fā)出一搬運(yùn)要求訊息給搬運(yùn)控制系統(tǒng)500，當(dāng)搬運(yùn)控制系統(tǒng)500搬運(yùn)控制系統(tǒng)500收到該搬運(yùn)要求訊息，其命令自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)600，將指定的在制品搬運(yùn)到緩沖倉儲700中的預(yù)留儲位750。當(dāng)該批在制品存放到預(yù)留儲位750時，將Stocker_Count的值減1而變?yōu)?(此時MES_Count與Stocker_Count的值皆為0)。而當(dāng)該批在制品被載入到工藝機(jī)臺100時，MES_Count的值加1而變?yōu)?，Stocker_Count的值也因?yàn)樵撆谥破繁话犭x預(yù)留儲位750而加1故變?yōu)?。
上文說明MES_Count與Stock er_Count的值的變化。接下來說明監(jiān)控程序900的運(yùn)作流程。
監(jiān)控程序900檢查MES_Count的值，并且根據(jù)該值的變化以及工藝機(jī)臺100是否正在執(zhí)行工藝操作而響應(yīng)不同操作。第一種狀況為工藝機(jī)臺100正在執(zhí)行工藝操作時，第二種狀況為當(dāng)工藝機(jī)臺100完成目前的工藝操作，并且發(fā)出一加載完成訊息給制造執(zhí)行系統(tǒng)300時(即表示工藝機(jī)臺100為處于閑置狀況時)。
就第一種狀況來說，若MES_Count的值為0，則監(jiān)控程序900不執(zhí)行任何操作。若MES_Count的值為1，則監(jiān)控程序900令制造執(zhí)行系統(tǒng)300執(zhí)行一預(yù)先預(yù)約操作(如前文所述)。在第一種狀況中不考慮Stocker_Count的值為何。
就第二種狀況來說，若MES_Count的值為0，且若Stocker_Count的值為0，表示制造執(zhí)行系統(tǒng)300已預(yù)先預(yù)約一批在制品并且已存放到預(yù)留儲位750中，則制造執(zhí)行系統(tǒng)300將存放在預(yù)留儲位750的在制品加載到工藝機(jī)臺100以執(zhí)行工藝操作，此時MES_Count與Stocker_Count的值分別加1而變?yōu)?。
若MES_Count的值為0，且若Stocker_Count的值為1，表示制造執(zhí)行系統(tǒng)300已預(yù)先預(yù)約一批在制品但尚未存放到預(yù)留儲位750，故直接將該批在制品加載到工藝機(jī)臺100以執(zhí)行工藝操作，此時MES_Count的值加1而變?yōu)?。
若MES_Count的值為1(此時Stocker_Count的值亦應(yīng)為1)，表示在制造執(zhí)行系統(tǒng)300執(zhí)行預(yù)先預(yù)約操作前，工藝機(jī)臺100已完成目前的工藝操作，因此制造執(zhí)行系統(tǒng)300直接預(yù)約一批在制品，并通過自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)600將該批在制品搬運(yùn)到工藝機(jī)臺100并且載入。
如上文所述，監(jiān)控程序900每隔一既定時間檢查MES_Count的值，并且根據(jù)其數(shù)值的變化而令制造執(zhí)行系統(tǒng)300執(zhí)行相對應(yīng)的操作。當(dāng)MES_Count的值為1，監(jiān)控程序900令制造執(zhí)行系統(tǒng)300執(zhí)行一預(yù)先預(yù)約操作，將MES_Count的值減1，并且令自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)600預(yù)先將預(yù)先預(yù)約的在制品搬運(yùn)到緩沖倉儲700中的預(yù)留儲位750，以達(dá)到減少搬運(yùn)物料的時間，從而提高工藝效率。當(dāng)被預(yù)先預(yù)約的在制品加載到工藝機(jī)臺100時，制造執(zhí)行系統(tǒng)300將MES_Count的值加1，然后監(jiān)控程序900持續(xù)檢查MES_Count的值。接下來要敘述本發(fā)明實(shí)施例的改善物料搬運(yùn)效率的方法。
圖5示出了本發(fā)明實(shí)施例的改善物料搬運(yùn)效率方法的步驟流程圖。
首先，定義一預(yù)約計(jì)數(shù)值與一倉儲計(jì)數(shù)值(以下分別稱為MES_Count與Stocker_Count)，并且提供一監(jiān)控程序、一制造執(zhí)行系統(tǒng)、一工藝機(jī)臺、以及一緩沖倉儲中的一預(yù)留儲位(步驟S1)。接著，執(zhí)行一監(jiān)控程序(步驟S2)，該監(jiān)控程序判斷該工藝機(jī)臺是否正執(zhí)行一工藝操作(步驟S3)，若該工藝機(jī)臺正執(zhí)行一工藝操作，接著判斷MES_Count的值是否為0(步驟S4)。若MES_Count的值為0，接著判斷Stocker_Count的值是否為0(步驟S5)。若Stocker_Count的值為0，則該制造執(zhí)行系統(tǒng)將存放在該預(yù)留儲位的一在制品載入到該工藝機(jī)臺(步驟S6)，然后將MES_Count與Stocker_Count的值分別加1(步驟S7)。若Stocker_Count的值大于0，該制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品加載到該工藝機(jī)臺(步驟S8)，然后將MES_Count的值加1(步驟S9)。若該工藝機(jī)臺正執(zhí)行一工藝操作，且若MES_Count的值大于0，則該制造執(zhí)行系統(tǒng)預(yù)約一批在制品(步驟S10)，并將該批在制品搬運(yùn)到該工藝機(jī)臺(步驟S11)。
若該工藝機(jī)臺并無執(zhí)行任何工藝操作，則判斷MES_Count的值是否為0(步驟S12)。若MES_Count的值為0，則監(jiān)控程序不執(zhí)行任何操作(步驟S13)。若MES_Count的值大于0，則監(jiān)控程序令制造執(zhí)行系統(tǒng)執(zhí)行一預(yù)先預(yù)約操作(步驟S14)。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以本發(fā)明的權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種改善物料搬運(yùn)效率的方法，其使用于一半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，其中上述半導(dǎo)體制造系統(tǒng)至少包括一監(jiān)控程序、一制造執(zhí)行系統(tǒng)、一工藝機(jī)臺、以及一緩沖倉儲中之一預(yù)留儲位，包括下列步驟定義一預(yù)約計(jì)數(shù)值與一倉儲計(jì)數(shù)值；上述監(jiān)控程序檢查上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為一既定值且上述倉儲計(jì)數(shù)值為該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將存放在上述預(yù)留儲位的一在制品載入到上述工藝機(jī)臺；將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值分別加1；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為該既定值且上述倉儲計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品加載到上述工藝機(jī)臺；將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值加1；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)預(yù)約一在制品；以及將上述在制品搬運(yùn)到上述工藝機(jī)臺。
2.如權(quán)利要求1所述的改善物料搬運(yùn)效率的方法，其中，上述操作步驟是執(zhí)行于上述工藝機(jī)臺正執(zhí)行一工藝操作時。
3.如權(quán)利要求2所述的改善物料搬運(yùn)效率的方法，其中，上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值的初始值大于該既定值。
4.如權(quán)利要求3所述的改善物料搬運(yùn)效率的方法，其中，當(dāng)上述工藝機(jī)臺并無執(zhí)行任何工藝操作且上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為該既定值時，上述監(jiān)控程序不執(zhí)行任何操作。
5.如權(quán)利要求4所述的改善物料搬運(yùn)效率的方法，其中，當(dāng)上述工藝機(jī)臺并無執(zhí)行任何工藝操作且上述預(yù)約計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述監(jiān)控程序令上述制造執(zhí)行系統(tǒng)執(zhí)行一預(yù)先預(yù)約操作。
6.如權(quán)利要求5所述的改善物料搬運(yùn)效率的方法，其中，當(dāng)上述制造執(zhí)行系統(tǒng)執(zhí)行上述預(yù)先預(yù)約操作時，將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值減1。
7.如權(quán)利要求6所述的改善物料搬運(yùn)效率的方法，其中，該既定值為0。
8.如權(quán)利要求3所述的改善物料搬運(yùn)效率的方法，其中，當(dāng)上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品搬運(yùn)到上述預(yù)留儲位時，將上述倉儲計(jì)數(shù)值減1。
9.一種制造系統(tǒng)，其用以執(zhí)行使用一改善物料搬運(yùn)效率方法的一制造流程且至少包括一監(jiān)控程序、一制造執(zhí)行系統(tǒng)、一工藝機(jī)臺、以及一緩沖倉儲內(nèi)的一預(yù)留儲位，上述改善物料搬運(yùn)效率的方法包括下列步驟定義一預(yù)約計(jì)數(shù)值與一倉儲計(jì)數(shù)值；上述監(jiān)控程序檢查上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為一既定值且上述倉儲計(jì)數(shù)值為該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將存放在上述預(yù)留儲位的一在制品載入到上述工藝機(jī)臺；將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值分別加1；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為該既定值且上述倉儲計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品加載到上述工藝機(jī)臺；將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值加1；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)預(yù)約一在制品；以及將上述在制品搬運(yùn)到上述工藝機(jī)臺。
10.如權(quán)利要求9所述的制造系統(tǒng)，其中，上述操作步驟是執(zhí)行于上述工藝機(jī)臺正執(zhí)行一工藝操作時。
11.如權(quán)利要求10所述的制造系統(tǒng)，其中，上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值之初始值大于該既定值。
12.如權(quán)利要求11所述的制造系統(tǒng)，其中，當(dāng)上述工藝機(jī)臺并無執(zhí)行任何工藝操作且上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為該既定值時，上述監(jiān)控程序不執(zhí)行任何操作。
13.如權(quán)利要求12所述的制造系統(tǒng)，其中，當(dāng)上述工藝機(jī)臺并無執(zhí)行任何工藝操作且上述預(yù)約計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述監(jiān)控程序令上述制造執(zhí)行系統(tǒng)執(zhí)行一預(yù)先預(yù)約操作。
14.如權(quán)利要求13所述的制造系統(tǒng)，其中，當(dāng)上述制造執(zhí)行系統(tǒng)執(zhí)行上述預(yù)先預(yù)約操作時，將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值減1。
15.如權(quán)利要求14所述的制造系統(tǒng)，其中，該既定值為0。
16.如權(quán)利要求11所述的制造系統(tǒng)，其中，當(dāng)上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品搬運(yùn)到上述預(yù)留儲位時，將上述倉儲計(jì)數(shù)值減1。
17.一種儲存媒體，用以儲存一計(jì)算機(jī)程序，上述計(jì)算機(jī)程序包括多個程序代碼，其用以加載至一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中并且使得上述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行一種改善物料搬運(yùn)效率的方法，上述方法包括下列步驟定義一預(yù)約計(jì)數(shù)值與一倉儲計(jì)數(shù)值；上述監(jiān)控程序檢查上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為一既定值且上述倉儲計(jì)數(shù)值為該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將存放在上述預(yù)留儲位的一在制品載入到上述工藝機(jī)臺；將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值分別加1；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為該既定值且上述倉儲計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品加載到上述工藝機(jī)臺；將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值加1；當(dāng)上述預(yù)約計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述制造執(zhí)行系統(tǒng)預(yù)約一在制品；以及將上述在制品搬運(yùn)到上述工藝機(jī)臺。
18.如權(quán)利要求17所述的儲存媒體，其中，上述操作步驟是執(zhí)行于上述工藝機(jī)臺正執(zhí)行一工藝操作時。
19如權(quán)利要求18所述的儲存媒體，其中，上述預(yù)約計(jì)數(shù)值與上述倉儲計(jì)數(shù)值之初始值大于該既定值。
20.如權(quán)利要求19所述的儲存媒體，其中，當(dāng)上述工藝機(jī)臺并無執(zhí)行任何工藝操作且上述預(yù)約計(jì)數(shù)值為該既定值時，上述監(jiān)控程序不執(zhí)行任何操作。
21.如權(quán)利要求20所述的儲存媒體，其中，當(dāng)上述工藝機(jī)臺并無執(zhí)行任何工藝操作且上述預(yù)約計(jì)數(shù)值大于該既定值時，上述監(jiān)控程序令上述制造執(zhí)行系統(tǒng)執(zhí)行一預(yù)先預(yù)約操作。
22.如權(quán)利要求21所述的儲存媒體，其中，當(dāng)上述制造執(zhí)行系統(tǒng)執(zhí)行上述預(yù)先預(yù)約操作時，將上述預(yù)約計(jì)數(shù)值減1。
23.如權(quán)利要求22所述的儲存媒體，其中，該既定值為0。
24.如權(quán)利要求19所述的儲存媒體，其中，當(dāng)上述制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品搬運(yùn)到上述預(yù)留儲位時，將上述倉儲計(jì)數(shù)值減1。
全文摘要
一種改善物料搬運(yùn)效率的方法。定義一預(yù)約計(jì)數(shù)值與一倉儲計(jì)數(shù)值。一監(jiān)控程序檢查該預(yù)約計(jì)數(shù)值與該倉儲計(jì)數(shù)值。當(dāng)該預(yù)約計(jì)數(shù)值為0且該倉儲計(jì)數(shù)值為0，一制造執(zhí)行系統(tǒng)將存放在一預(yù)留儲位的一在制品載入到一工藝機(jī)臺，并且將該預(yù)約計(jì)數(shù)值與該倉儲計(jì)數(shù)值分別加1。當(dāng)該預(yù)約計(jì)數(shù)值為0且該倉儲計(jì)數(shù)值大于0，該制造執(zhí)行系統(tǒng)將一在制品加載到該工藝機(jī)臺，并且將該預(yù)約計(jì)數(shù)值加1。當(dāng)該預(yù)約計(jì)數(shù)值大于0，該制造執(zhí)行系統(tǒng)預(yù)約一在制品，并且將該在制品搬運(yùn)到該工藝機(jī)臺。
文檔編號G05B15/02GK1920718SQ20051009651
公開日2007年2月28日 申請日期2005年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月22日
發(fā)明者徐健 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司