專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)和遠(yuǎn)程維修方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)和最適合在該系統(tǒng)中使用的工廠側(cè)客戶端、賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、以及半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法和程序、存儲(chǔ)了該程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體器件時(shí)的處理工序中，有刻蝕、成膜處理、灰化和濺射等各種處理，使用了與這些對(duì)應(yīng)的各種半導(dǎo)體制造裝置。例如，具有在一個(gè)裝置內(nèi)可進(jìn)行多個(gè)處理的所謂成組裝置化了的多室型制造裝置。這種類(lèi)型的裝置是將多個(gè)真空處理室與共同的運(yùn)送室連接、經(jīng)過(guò)具有鎖路功能的預(yù)備真空室、從被連接到運(yùn)送室的運(yùn)進(jìn)運(yùn)出室進(jìn)行被處理基板即半導(dǎo)體晶片的運(yùn)進(jìn)運(yùn)出的裝置，適合于半導(dǎo)體器件的高集成化、高生產(chǎn)率化、被處理物體的污染防止。
由于這樣的半導(dǎo)體制造裝置形成復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，如一旦發(fā)生故障，為了修復(fù)必須使裝置長(zhǎng)時(shí)間停止工作，其結(jié)果是招致生產(chǎn)率的惡化。為了使所處理的半導(dǎo)體的成品率提高，維持規(guī)定的生產(chǎn)率，裝置的維修變得很重要。
然而，現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造裝置的維修通常是在故障發(fā)生時(shí)用電話或傳真等取得障礙的信息后指示處理方法。因此，就有賣(mài)方側(cè)無(wú)法正確地知悉用戶側(cè)設(shè)備的障礙狀態(tài)及維修狀態(tài)，用戶側(cè)的維修程序發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)也不能下達(dá)恰當(dāng)?shù)闹噶钪?lèi)的問(wèn)題。另外，由于得不到正確的障礙信息，對(duì)于該裝置的修復(fù)往往需要很長(zhǎng)的時(shí)間。這時(shí)，即使裝置的賣(mài)方側(cè)的工程師在實(shí)際赴現(xiàn)場(chǎng)處理時(shí)，由于走到現(xiàn)場(chǎng)也無(wú)法正確地掌握障礙的狀況，往往沒(méi)有修復(fù)所需的零部件及工具等，還浪費(fèi)了時(shí)間。這樣，由于賣(mài)方側(cè)對(duì)裝置的故障在開(kāi)始恰當(dāng)?shù)男蘩砬耙〞r(shí)間，所以存在裝置的使用率降低、生產(chǎn)率下降之類(lèi)的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的問(wèn)題而進(jìn)行的，其目的在于即使對(duì)遠(yuǎn)程地點(diǎn)的裝置也能掌握其運(yùn)行狀態(tài)及故障狀態(tài)、用戶方面的維修狀態(tài)等，能迅速提供確切的維修內(nèi)容的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)和最適合在該系統(tǒng)中使用的工廠側(cè)客戶端、賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、以及半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法和程序、存儲(chǔ)了該程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。
為了解決上述課題，按照本發(fā)明的第1方面，在包括了設(shè)置至少1個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的工廠中所設(shè)的工廠側(cè)客戶端、具有進(jìn)行上述半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的管理者的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、以及以可進(jìn)行雙向通信的方式連接上述工廠側(cè)客戶端與上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器的線路網(wǎng)的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)中，提供了一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于上述工廠側(cè)客戶端包括收集上述半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息的數(shù)據(jù)收集部；以及經(jīng)上述線路網(wǎng)將收集到的上述狀態(tài)信息發(fā)送給上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、同時(shí)接收從上述賣(mài)方側(cè)發(fā)送來(lái)的信息的發(fā)送接受部，上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器包括根據(jù)上述狀態(tài)信息判定對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體制造裝置的異常或準(zhǔn)異常的判定部；存儲(chǔ)了與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的維修信息的數(shù)據(jù)庫(kù)部；以及從上述工廠側(cè)客戶端中接收上述狀態(tài)信息、同時(shí)將信息或指令發(fā)送給上述工廠側(cè)客戶端的發(fā)送接收部。按照這樣的結(jié)構(gòu)，由于可在雙向?qū)S側(cè)客戶端和賣(mài)方側(cè)服務(wù)器進(jìn)行數(shù)據(jù)的發(fā)送接收，所以半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程管理成為可能。另外，根據(jù)狀態(tài)信息判定裝置的異?；驕?zhǔn)異常，應(yīng)用存儲(chǔ)了維修信息的數(shù)據(jù)庫(kù)部，進(jìn)行數(shù)據(jù)的檢索，從而在發(fā)生了障礙時(shí)，也能迅速而正確地進(jìn)行障礙的原因的確定。
這時(shí)，上述狀態(tài)信息最好包含上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。運(yùn)行狀態(tài)信息是涉及裝置的運(yùn)行狀態(tài)的數(shù)據(jù)。作為裝置信息，可舉出工藝記錄、機(jī)器記錄、跟蹤記錄等的各種記錄，以及灰塵粒子、缺陷、成品率等的數(shù)據(jù)為例。
另外，上述維修信息最好包含從由涉及上述半導(dǎo)體制造裝置的異常原因、其處理方法、各種參數(shù)的正常值、異常經(jīng)歷、零部件更換經(jīng)歷、零部件的庫(kù)存信息、維修員的計(jì)劃表構(gòu)成的信息組中選擇的1種或多種信息。
上述判定部根據(jù)上述運(yùn)行狀態(tài)信息可設(shè)定為在上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的情況、上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況或在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止超過(guò)規(guī)定次數(shù)的情況下，判定為異常。
另外，上述判定部根據(jù)上述裝置信息最好設(shè)定為在上述半導(dǎo)體制造裝置雖未達(dá)到工藝流程停止，但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到工藝流程停止的狀態(tài)的情況下，判定為準(zhǔn)異常。由此，在陷入深深的障礙狀態(tài)以前，可進(jìn)行為了避免工藝流程停止的處理。
另外，上述判定部最好在判定了上述半導(dǎo)體制造裝置為異?；驕?zhǔn)異常的情況下，比較形成異?；驕?zhǔn)異常前后的上述裝置信息和上述維修信息，推斷異常原因或準(zhǔn)異常原因。例如，如果比較各信息中的參數(shù)，檢測(cè)出異常的參數(shù)，則可推斷對(duì)于該異常參數(shù)的原因。
在被用于上述異常原因或準(zhǔn)異常原因的推斷的上述裝置信息中，最好包含從由工藝記錄、跟蹤記錄或機(jī)器記錄等構(gòu)成的組中選擇的1種或多種記錄信息。這里，所謂工藝記錄是以批為單位的工藝數(shù)據(jù)，所謂跟蹤記錄是對(duì)于1片晶片每秒鐘的工藝數(shù)據(jù)。機(jī)器記錄是表示裝置的工作狀態(tài)的的記錄。另外，在推斷了多種異常原因或準(zhǔn)異常原因的情況下，最好參照該異常原因的發(fā)生頻度，然后，在提示原因時(shí)，可掌握頻度的比例，提示發(fā)生頻度的順序。
被推斷了的異常原因或準(zhǔn)異常原因的結(jié)果是，在被判斷為必須更換零部件的情況下，最好參照零部件的庫(kù)存信息。另外，參照了上述零部件的庫(kù)存信息的結(jié)果是，在規(guī)定的庫(kù)存量以下的情況下，最好進(jìn)行該零部件的自動(dòng)訂貨處理。由此，可避免零部件的庫(kù)存短缺，由于必要的零部件處于常時(shí)保有的狀態(tài)，所以在必須更換零部件時(shí)，常常要迅速地采取應(yīng)對(duì)措施。
按照本發(fā)明的第2方面，在設(shè)置至少1個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的工廠中所設(shè)的工廠側(cè)客戶端中，提供了一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的工廠側(cè)客戶端，其特征在于上述工廠側(cè)客戶端包括收集上述半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息的數(shù)據(jù)收集部；以及經(jīng)可進(jìn)行雙向通信的線路網(wǎng)將所收集到的上述狀態(tài)信息發(fā)送給有進(jìn)行上述半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的管理者的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、同時(shí)上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器接收涉及根據(jù)上述狀態(tài)信息和上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器所擁有的維修信息而進(jìn)行的異?；驕?zhǔn)異常的判定的信息的發(fā)送接受部。
這時(shí)，上述狀態(tài)信息最好包含上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。另外，根據(jù)上述運(yùn)行狀態(tài)信息可設(shè)定為在上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的情況、上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況或在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止超過(guò)規(guī)定次數(shù)的情況下，判定為異常。根據(jù)上述裝置信息最好在上述半導(dǎo)體制造裝置雖未達(dá)到工藝流程停止，但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到工藝流程停止的狀態(tài)的情況下，判定為準(zhǔn)異常。另外，上述異常原因或準(zhǔn)異常原因的判定根據(jù)上述裝置信息而進(jìn)行，在該裝置信息中，最好包含從由工藝記錄、跟蹤記錄或機(jī)器記錄等構(gòu)成的組中選擇的1種或多種記錄信息。
按照本發(fā)明的第3方面，提供使計(jì)算機(jī)具有在上述第2方面中所述的起工廠側(cè)客戶端功能的計(jì)算機(jī)程序。另外，按照本發(fā)明的第4方面，提供存儲(chǔ)了上述計(jì)算機(jī)程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。
按照本發(fā)明的第5方面，在經(jīng)可進(jìn)行雙向通信的線路網(wǎng)接收在設(shè)置至少1個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的工廠中所設(shè)的工廠側(cè)客戶端中收集到的上述半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息、有進(jìn)行上述半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的管理者的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器中，提供一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器包括根據(jù)上述狀態(tài)信息判定對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體制造裝置的異?；驕?zhǔn)異常的判定部；存儲(chǔ)了與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的維修信息的數(shù)據(jù)庫(kù)部；以及從上述工廠側(cè)客戶端接收上述狀態(tài)信息、同時(shí)將信息或指令發(fā)送給上述工廠側(cè)客戶端的發(fā)送接收部。
這時(shí)，上述狀態(tài)信息最好包含上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。另外，上述維修信息最好包含從由涉及上述半導(dǎo)體制造裝置的異常原因、其處理方法、各種參數(shù)的正常值、異常經(jīng)歷、零部件更換經(jīng)歷、零部件的庫(kù)存信息、維修員的計(jì)劃表構(gòu)成的信息組中選擇的1種或多種信息。
上述判定部根據(jù)上述運(yùn)行狀態(tài)信息可設(shè)定為在上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的情況、上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況或在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止超過(guò)規(guī)定次數(shù)的情況下，判定為異常。上述判定部根據(jù)上述裝置信息最好在上述半導(dǎo)體制造裝置雖未達(dá)到工藝流程停止，但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到工藝流程停止的狀態(tài)的情況下，判定為準(zhǔn)異常。
上述判定部最好在判定了上述半導(dǎo)體制造裝置為異?；驕?zhǔn)異常的情況下，比較形成異常或準(zhǔn)異常前后的上述裝置信息和上述維修信息，推斷異常原因或準(zhǔn)異常原因。另外，在被用于上述異常原因或準(zhǔn)異常原因的推斷的上述裝置信息中，最好包含從由工藝記錄、跟蹤記錄或機(jī)器記錄構(gòu)成的組中選擇的1種或多種記錄信息。
在推斷了多種異常原因或準(zhǔn)異常原因的情況下，最好參照該異常原因的發(fā)生頻度。另外，被推斷了的異常原因或準(zhǔn)異常原因的結(jié)果是，在被判斷為必須更換零部件的情況下，最好參照零部件的庫(kù)存信息。然后，參照了上述零部件的庫(kù)存信息的結(jié)果是，在規(guī)定的庫(kù)存量以下的情況下，最好進(jìn)行該零部件的自動(dòng)訂貨處理。
按照本發(fā)明的第6方面，提供使計(jì)算機(jī)具有在上述第5方面中所述的起賣(mài)方側(cè)服務(wù)器功能的計(jì)算機(jī)程序。另外，按照本發(fā)明的第7方面，提供存儲(chǔ)了上述計(jì)算機(jī)程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。
按照本發(fā)明的第8方面，這是在包括了設(shè)置至少1個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的工廠中所設(shè)的工廠側(cè)客戶端、有進(jìn)行上述半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的管理者的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、以及以可進(jìn)行雙向通信的方式連接上述工廠側(cè)客戶端與上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器的線路網(wǎng)的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，它提供了一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于上述工廠側(cè)客戶端收集上述半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息，同時(shí)經(jīng)上述線路網(wǎng)將所收集到的上述狀態(tài)信息發(fā)送給上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器根據(jù)上述狀態(tài)信息和與上述半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的維修信息，判定對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體制造裝置的異常或準(zhǔn)異常，同時(shí)將對(duì)應(yīng)于該判定結(jié)果的信息發(fā)送給上述工廠側(cè)客戶端。
這時(shí)，上述狀態(tài)信息最好包含上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。另外，上述判定根據(jù)上述運(yùn)行狀態(tài)信息可設(shè)定為在上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的情況、上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況或在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止超過(guò)規(guī)定次數(shù)的情況下，判定為異常。另外，上述判定根據(jù)上述裝置信息最好設(shè)定為在上述半導(dǎo)體制造裝置雖未達(dá)到工藝流程停止，但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到工藝流程停止的狀態(tài)的情況下，判定為準(zhǔn)異常。
在上述半導(dǎo)體制造裝置被判定為異?；驕?zhǔn)異常的情況下，最好比較形成異?；驕?zhǔn)異常前后的上述裝置信息和上述維修信息，推斷異常原因或準(zhǔn)異常原因。另外，被推斷了的異常原因或準(zhǔn)異常原因的結(jié)果是，在被判斷為必須更換零部件的情況下，最好參照零部件的庫(kù)存信息。然后，參照了上述零部件的庫(kù)存信息的結(jié)果是，在規(guī)定的庫(kù)存量以下的情況下，最好進(jìn)行該零部件的自動(dòng)訂貨處理。
按照本發(fā)明的第9方面，這是在包括了管理在工廠內(nèi)所設(shè)置的半導(dǎo)體制造裝置的用戶側(cè)服務(wù)器和管理經(jīng)可進(jìn)行雙向通信的線路網(wǎng)與上述用戶側(cè)服務(wù)器連接的上述用戶側(cè)服務(wù)器的管理側(cè)服務(wù)器的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，它提供了一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于上述用戶側(cè)服務(wù)器收集包含工廠內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息、故障狀態(tài)信息和在工廠側(cè)的對(duì)上述半導(dǎo)體制造裝置的維修狀態(tài)信息的裝置信息并發(fā)送給上述管理側(cè)服務(wù)器，上述管理側(cè)服務(wù)器根據(jù)上述裝置信息，掌握半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)和在上述工廠側(cè)的對(duì)上述半導(dǎo)體制造裝置的維修狀態(tài)，從被存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)庫(kù)的處理方法中選擇最佳的處理方法并發(fā)送給上述用戶側(cè)服務(wù)器。按照這樣的結(jié)構(gòu)，即使對(duì)遠(yuǎn)程地點(diǎn)的裝置，管理側(cè)也可獲得裝置信息，可掌握裝置的狀態(tài)。另外，參照數(shù)據(jù)庫(kù)，經(jīng)線路網(wǎng)進(jìn)行通信，從而可迅速而正確地提供最佳的處理方法。
這時(shí)，上述管理側(cè)服務(wù)器根據(jù)上述維修狀態(tài)，判定在上述工廠側(cè)的上述半導(dǎo)體制造裝置的應(yīng)對(duì)措施方面是否沒(méi)有錯(cuò)誤，在有錯(cuò)誤的情況下，最好將修正該錯(cuò)誤的處理方法發(fā)送給上述用戶側(cè)服務(wù)器。按照這樣的結(jié)構(gòu)，可防止因錯(cuò)誤的應(yīng)對(duì)措施而引起故障或不良現(xiàn)象。


圖1是半導(dǎo)體制造裝置的概略平面圖。
圖2是半導(dǎo)體制造裝置的概略側(cè)面圖。
圖3是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
圖4是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的功能框圖。
圖5是發(fā)送數(shù)據(jù)的輸入畫(huà)面之一例。
圖6是狀態(tài)信息的顯示例。
圖7是運(yùn)行狀態(tài)信息顯示畫(huà)面之一例。
圖8是示出第1實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)的工作的流程圖。
圖9是示出工藝參數(shù)和各氣體的量的圖。
圖10是示出第2實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)的工作的流程圖。
圖11是示出第3實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)的工作的流程圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的刻蝕方法的優(yōu)選實(shí)施形態(tài)。再有，在以下的說(shuō)明和附圖中，對(duì)于具有大致相同功能和結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)要素，通過(guò)標(biāo)以同一符號(hào)而省略其重復(fù)說(shuō)明。
圖1、圖2分別是多室型制造裝置的概略平面圖、概略側(cè)面圖。現(xiàn)參照?qǐng)D1、圖2來(lái)說(shuō)明該制造裝置1的整體結(jié)構(gòu)。在制造裝置1中，在運(yùn)送像半導(dǎo)體晶片W那樣的被處理物體的備有運(yùn)送臂2的真空運(yùn)送室4的周?chē)?jīng)第1～第6閘閥G1～G6，配置第1和第2鎖路室6、8和用于對(duì)半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行各種處理的第1～第4真空處理室10、12、14、16。
第1和第2鎖路室6、8用于維持真空運(yùn)送室4內(nèi)的減壓氣氛，同時(shí)在真空運(yùn)送室4與處于大氣壓氣氛的真空運(yùn)送室4外部之間將半導(dǎo)體晶片W運(yùn)進(jìn)運(yùn)出。利用由第1和第2鎖路室6、8的下部設(shè)置的真空泵和供氣系統(tǒng)組成的壓力調(diào)整機(jī)構(gòu)18，可適當(dāng)?shù)卦O(shè)定第1和第2鎖路室6、8內(nèi)的壓力。另外，第1和第2鎖路室6、8的大氣側(cè)開(kāi)口部分別用第7和第8閘閥G7、G8可自由啟閉地進(jìn)行密閉。第1～第8閘閥G1～G8的啟閉動(dòng)作通過(guò)用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)使構(gòu)成各閘閥的閥體上下運(yùn)動(dòng)來(lái)進(jìn)行。再有，圖2示出了從制造裝置1拆除了第1～第4真空處理室10、12、14、16后的狀態(tài)。
接著，說(shuō)明本發(fā)明第1實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)和方法。圖3是本實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。工廠100a是制造半導(dǎo)體的工廠，站在作為半導(dǎo)體制造裝置的用戶的立場(chǎng)。在工廠100a中設(shè)置客戶端100、半導(dǎo)體制造裝置102、104，用LAN聯(lián)結(jié)它們。工廠100i、...、100n也有服務(wù)器和半導(dǎo)體制造裝置，有同樣的結(jié)構(gòu)。再有，工廠100i、100n擁有的半導(dǎo)體制造裝置取決于工廠，其種類(lèi)、臺(tái)數(shù)可以是各種各樣的。
賣(mài)方200a對(duì)工廠100a、...、100i、...、100n擁有的半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行維修管理。賣(mài)方200a擁有服務(wù)器200、計(jì)算機(jī)202、204、206，它們由公司內(nèi)的網(wǎng)絡(luò)聯(lián)結(jié)?？梢哉J(rèn)為計(jì)算機(jī)202、204、206是設(shè)置于賣(mài)方200a的各部門(mén)、各事務(wù)所的計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)的臺(tái)數(shù)并不限定于此?？蛻舳?00和服務(wù)器200經(jīng)連接成可進(jìn)行雙向通信的線路網(wǎng)即因特網(wǎng)300連接起來(lái)。
圖4中示出了客戶端100和服務(wù)器200的功能框圖。這里，例示了1個(gè)或多個(gè)工廠側(cè)的客戶端100之中的1個(gè)。工廠側(cè)的客戶端100有數(shù)據(jù)收集部110、發(fā)送接收部120和顯示部130。數(shù)據(jù)收集部110每隔規(guī)定的時(shí)間間隔收集半導(dǎo)體制造裝置102、104等的狀態(tài)信息。在狀態(tài)信息中包含裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息、裝置信息、故障狀態(tài)信息、維修狀態(tài)信息等。發(fā)送接收部120將收集到的狀態(tài)信息經(jīng)因特網(wǎng)300發(fā)送給賣(mài)方200a側(cè)的服務(wù)器200，同時(shí)接收從服務(wù)器200發(fā)送來(lái)的信息。顯示部130顯示各種信息。
賣(mài)方200a側(cè)的服務(wù)器200有發(fā)送接收部210、判定部220、數(shù)據(jù)庫(kù)部230、顯示部240和管理部250。發(fā)送接收部210從工廠側(cè)的客戶端100接收狀態(tài)信息，同時(shí)將信息或指令發(fā)送給客戶端100。判定部220根據(jù)狀態(tài)信息判定對(duì)應(yīng)裝置的異常。數(shù)據(jù)庫(kù)部230存儲(chǔ)按裝置類(lèi)別的異常原因及其處理方法、各種參數(shù)的正常值、每種裝置的異常經(jīng)歷和零部件更換經(jīng)歷、零部件的庫(kù)存信息、維修員的計(jì)劃表等的維修信息。數(shù)據(jù)庫(kù)部的數(shù)據(jù)被逐次更新。顯示部240顯示各種信息。管理部250管理各種信息，根據(jù)判定部220的判定結(jié)果進(jìn)行處理，發(fā)出數(shù)據(jù)庫(kù)部230中的檢索指令、對(duì)客戶端100和相關(guān)部門(mén)發(fā)出通知指令。
圖5～圖7示出裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息的例子。圖5是工廠側(cè)的客戶端100所發(fā)送的數(shù)據(jù)的輸入畫(huà)面的一例。作為所發(fā)送數(shù)據(jù)的項(xiàng)目例如有序號(hào)(SN；Serial Number)、裝置類(lèi)別(Type)、日期時(shí)間(Date-Time)、裝置狀態(tài)(Tool Status)、狀態(tài)(Status)、故障碼、注釋(Comment)、負(fù)責(zé)人ID(PID；Personal ID)等。
圖6是示出狀態(tài)、裝置狀態(tài)的信息之一例。狀態(tài)表示裝置的運(yùn)行本身，例如Up Time(運(yùn)行)、Scheduled Down(計(jì)劃停止)、UnscheduledDown(計(jì)劃外停止)，裝置狀態(tài)表示其詳細(xì)的狀態(tài)。即，Up Time(運(yùn)行)更詳細(xì)地表示PRDCT(生產(chǎn))、STDBY(等待)、ENGNI(工程)，ScheduledDown(計(jì)劃停止)更詳細(xì)地表示PMCLE(定期清洗)、PMGRE(定期維修)，Unscheduled Down(計(jì)劃外停止)更詳細(xì)地表示FIXING(修理中)、WAIFIX(待修理)、WAPART(等待零部件)、PROCED(按程序書(shū)修理)、PRODWN(工藝流程停止)，Nonscheduled Down(非計(jì)劃停止)更詳細(xì)地表示DAYOFF(休息日)這樣的“狀態(tài)”的更詳細(xì)的狀態(tài)。在本實(shí)施例中，運(yùn)行狀態(tài)包含這兩者，但為某一方也可。
圖7是根據(jù)接收到的信息用賣(mài)方側(cè)的服務(wù)器200顯示的運(yùn)行狀態(tài)顯示畫(huà)面。這里，輸入日期時(shí)間、裝置、狀態(tài)均被顯示出來(lái)。在顯示畫(huà)面中，如在示出裝置的部分設(shè)置指示器進(jìn)行敲擊，即可看到涉及該裝置的詳細(xì)信息。這些運(yùn)行狀態(tài)信息主要用來(lái)判定裝置的異常。
作為裝置信息，可舉出工藝記錄、機(jī)器記錄、跟蹤記錄等各種記錄，以及灰塵粒子、缺陷、成品率等的數(shù)據(jù)為例。工藝記錄是每批的各種參數(shù)，例如所處理氣體的壓力值及RF功率值的平均值、最大值、最小值等的工藝數(shù)據(jù)。機(jī)器記錄是表示裝置的工作狀態(tài)的記錄。跟蹤記錄是對(duì)1片晶片在每規(guī)定時(shí)間，例如每秒鐘的工藝數(shù)據(jù)。這些裝置信息主要用來(lái)判定發(fā)生異常的原因。
故障狀態(tài)信息是表示裝置的故障狀態(tài)的信息，維修狀態(tài)信息是表示對(duì)工廠側(cè)的裝置的維修狀態(tài)的信息。再有，以運(yùn)行狀態(tài)信息包含故障狀態(tài)信息和維修狀態(tài)信息的一部分及概況的方式可構(gòu)成系統(tǒng)。例如，圖5和圖6中的故障碼與故障狀態(tài)有關(guān)，PMCLE(定期清洗)、PMGRE(定期維修)、FIXING(修理中)、WAIFIX(等待修理)、WAPART(等待零部件)、PROCED(按程序書(shū)修理)與維修狀態(tài)有關(guān)。
接著，參照?qǐng)D8詳細(xì)地說(shuō)明使用本實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)對(duì)半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行遠(yuǎn)程維修的方法。圖8是示出本實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)的工作的流程圖。在各工廠10中設(shè)置的客戶端100的數(shù)據(jù)收集部110收集用LAN連接的半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息(步驟S101)。如前所述，裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息均包含在狀態(tài)信息中。
收集到的狀態(tài)信息由發(fā)送接收部120經(jīng)因特網(wǎng)300發(fā)送給賣(mài)方200a的服務(wù)器200(步驟S102)。步驟S101、S102中的收集、發(fā)送操作在本實(shí)施形態(tài)中例如以每5分鐘等的規(guī)定時(shí)間間隔進(jìn)行，但考慮到管理的容易程度或裝置的負(fù)荷等，設(shè)定為30分鐘、1小時(shí)等時(shí)間也沒(méi)有關(guān)系。另外，關(guān)于運(yùn)行狀態(tài)信息，也可在運(yùn)行狀態(tài)發(fā)生變化時(shí)發(fā)送出去。
所發(fā)送的狀態(tài)信息被賣(mài)方200a的服務(wù)器200的發(fā)送接收部210接收(步驟S103)。根據(jù)該狀態(tài)信息，服務(wù)器200監(jiān)視裝置的狀態(tài)(步驟S104)。該監(jiān)視內(nèi)容可由圖7所示的畫(huà)面加以確認(rèn)。在步驟S104中，為了判定異常，要進(jìn)行各種檢驗(yàn)和參數(shù)的計(jì)算等。
接著，由判定部220進(jìn)行異常的判定(步驟S105)。以下，舉出異常的判定方法的例子。首先，根據(jù)裝置的計(jì)劃外停止(UnscheduledDown)，可判定異常。作為第1種方法，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的場(chǎng)合，判定為異常。例如，設(shè)規(guī)定時(shí)間為5小時(shí)，規(guī)定比例為20％的場(chǎng)合，計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)1小時(shí)時(shí)，判定為異常。因此，服務(wù)器200可算出規(guī)定時(shí)間內(nèi)的計(jì)劃外停止時(shí)間的總值和該總值時(shí)間對(duì)規(guī)定時(shí)間的比例。
作為第2種方法，在計(jì)劃外停止時(shí)間經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間以上的場(chǎng)合，判定為異常。例如，設(shè)規(guī)定時(shí)間為1小時(shí)，在計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)1小時(shí)時(shí)，判定為異常。作為第3種方法，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的計(jì)劃外停止的次數(shù)超過(guò)規(guī)定次數(shù)的場(chǎng)合，判定為異常。例如，設(shè)規(guī)定時(shí)間為5小時(shí)，規(guī)定次數(shù)為5次的場(chǎng)合，在5小時(shí)以內(nèi)計(jì)劃外停止發(fā)生6次以上時(shí)，判定為異常。為此，服務(wù)器200計(jì)算出規(guī)定時(shí)間內(nèi)的計(jì)劃外停止的次數(shù)。
或者，在沒(méi)有裝置的計(jì)劃外停止，裝置的操作員所輸入的運(yùn)行狀態(tài)信息的注釋中，在輸入由工廠的操作員宣布裝置為異常的意旨的場(chǎng)合，也可判定為異常。另外，應(yīng)用圖6所示的裝置狀態(tài)的PRODWN的時(shí)間、次數(shù)進(jìn)行判定也可。另外，最好根據(jù)上述那樣的規(guī)定比例、次數(shù)等工藝條件、裝置類(lèi)別等適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定。
在步驟S105中被判定為不是異常的場(chǎng)合，繼續(xù)進(jìn)行監(jiān)視。在被判定為異常的場(chǎng)合，將被判定為異常的前后的維修信息與裝置信息進(jìn)行比較，推斷異常原因(步驟S106)。在存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)庫(kù)部230的維修信息中，由于存儲(chǔ)了按裝置類(lèi)別的異常原因、各種參數(shù)的正常值、每種裝置的異常經(jīng)歷和零部件更換經(jīng)歷等，所以如參照這些數(shù)據(jù)，將各種參數(shù)與數(shù)據(jù)庫(kù)中的正常值進(jìn)行比較，確定何種參數(shù)為異常，檢測(cè)出異常的參數(shù)，則可推斷與該異常參數(shù)對(duì)應(yīng)的原因。
在裝置信息中包含了各種記錄。例如，將工藝記錄內(nèi)出現(xiàn)的參數(shù)值與數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)預(yù)先存儲(chǔ)的正常值進(jìn)行比較，推斷表現(xiàn)出異常值的參數(shù)是何種參數(shù)，在數(shù)據(jù)庫(kù)中檢索與該異常參數(shù)對(duì)應(yīng)的異常的原因。對(duì)于跟蹤記錄，也可同樣地進(jìn)行。這時(shí)，可采用將工藝記錄與跟蹤記錄平均化了的數(shù)據(jù)。也可只用工藝記錄、跟蹤記錄中的某一方，或者按工藝記錄推斷大致的異常參數(shù)后，在跟蹤記錄中進(jìn)行更詳細(xì)的調(diào)查，確定異常參數(shù)等，也可兩者并用。另外，也可在工藝結(jié)束后，將該工藝的平均值與各工藝的值進(jìn)行比較，判定是否良好。
圖9是某工藝中所排氣體的監(jiān)測(cè)結(jié)果，示出了所排氣體中包含的各種氣體C2F6、SiF4、C2F4、CF4、COF2的量。在圖9(a)中以所施加的高頻功率值為參數(shù)，在圖9(b)中以C5F8的流量為參數(shù)。在該工藝中，所施加的功率3300W、C5F8的流量18sccm是由制造方法確定的正常值。
在圖9(a)中，所施加的高頻功率為2800W時(shí)各氣體的量與所施加的功率為3300W時(shí)相比，COF2突出地增多，C2F4也多，反之，CF4減少。所施加的功率為3800W時(shí)與所施加的功率為3300時(shí)相比，SiF4增多，COF2減少。在圖9(b)中，C5F8的流量為15sccm時(shí)與C5F8的流量為18sccm時(shí)相比，C2F4、CF4均減少。C5F8的流量為21sccm時(shí)與C5F8的流量為18sccm時(shí)相比，C2F4突出地增多。
這樣，已知在所排氣體中的各氣體量隨所施加的高頻功率值的變動(dòng)及C5F8流量的變動(dòng)而變動(dòng)。因而，如果使因這樣的各種參數(shù)及其變動(dòng)引起的狀態(tài)及其趨勢(shì)存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)庫(kù)中，則發(fā)生異常時(shí)，對(duì)于推斷該異常的原因是有效的。
在按機(jī)器記錄進(jìn)行判斷的場(chǎng)合，如果確認(rèn)是否在進(jìn)行按照用于執(zhí)行工藝的程序或流量的工作，有著未進(jìn)行恰當(dāng)工作的工作，則可在數(shù)據(jù)庫(kù)中檢索因該工作不良而引起的異常原因。另外，工藝數(shù)據(jù)的異常參數(shù)也往往有多個(gè)，這時(shí)，可以與機(jī)器記錄等的其它記錄的異常相關(guān)地檢索異常的原因。例如，在按機(jī)器記錄檢測(cè)出大致的異常部位后，為了檢測(cè)出該異常部位的異常原因，可采用跟蹤記錄等，將相關(guān)參數(shù)與閾值進(jìn)行比較。
檢索的結(jié)果是，判明所推斷的原因的有無(wú)(步驟S107)。如果存在所推斷的原因，則進(jìn)行對(duì)該推斷的原因的處理方法及為該處理所需的零部件、夾具、維修員(工程師)的計(jì)劃表等的檢索(步驟S108)。根據(jù)該檢索結(jié)果，將異常原因、處理方法、零部件、可最短處理的時(shí)間等通知工廠方面(步驟S109)。作為該通知的內(nèi)容，例如可采用“異常要素氣體壓力下降，推斷的原因○○部破損，處理方法1.更換零部件○和△，2.清洗×部，工程師○月○日○時(shí)可到達(dá)”等。
再有，在考慮多個(gè)異常原因的場(chǎng)合，可從數(shù)據(jù)庫(kù)參照該發(fā)生頻度，從發(fā)生頻度高者中進(jìn)行提示。此外，可參照各裝置的異常經(jīng)歷、零部件更換經(jīng)歷這兩者或其中某一方，排列所推斷原因的順序并按該順序進(jìn)行提示。例如，施加于上部電極的高頻功率值與閾值相比為異常，在數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)的檢索結(jié)果中，該高頻功率的異常的推斷原因有多個(gè)時(shí)，設(shè)定顯示頻度的百分比等，可按數(shù)據(jù)庫(kù)中的裝置的各類(lèi)別的發(fā)生頻度順序提示其推斷原因及其處理方法。
步驟S108中的檢索結(jié)果是，當(dāng)處理僅按對(duì)工廠下達(dá)的指令進(jìn)行的場(chǎng)合，憑所通知的指令內(nèi)容采取相應(yīng)的措施。在處理時(shí)判斷為必須更換零部件的場(chǎng)合，要參照數(shù)據(jù)庫(kù)中零部件的庫(kù)存信息(步驟S116)。在零部件有庫(kù)存，需要發(fā)運(yùn)零部件時(shí)，向工廠方面通知零部件發(fā)運(yùn)的意旨，向賣(mài)方的有關(guān)部門(mén)通知零部件的發(fā)運(yùn)指令。另外，參照零部件的庫(kù)存信息的結(jié)果是，在規(guī)定的庫(kù)存量以下時(shí)，進(jìn)行該零部件的自動(dòng)訂貨處理。再有，在步驟S107中未判明所推斷的原因時(shí)，向維修負(fù)責(zé)人發(fā)出采取相應(yīng)措施的指令(步驟S115)。上述那樣的處理操作由管理部250執(zhí)行。
工廠方面接收在步驟S107中所發(fā)出的通知(步驟SD110)。然后，判斷賣(mài)方的維修員(工程師)是否要采取相應(yīng)的措施(步驟S111)，如屬必要，則將其意旨反饋給賣(mài)方。當(dāng)無(wú)必要時(shí)，將其意旨反饋給賣(mài)方，由工廠方面的人員采取相應(yīng)的措施(步驟S112)。判斷處理是否完畢(步驟S113)，當(dāng)處理完畢時(shí)，結(jié)束程序；未完畢時(shí)，返回到步驟S101，如此重復(fù)進(jìn)行，直至處理完畢。賣(mài)方接收到在步驟S111中所判斷的是否需要采取相應(yīng)的措施的回答(步驟S114)后，判斷是否需要采取相應(yīng)的措施(步驟S115)，如屬必要，則由維修負(fù)責(zé)人(工程師)發(fā)出采取相應(yīng)措施的指令(步驟S116)，結(jié)束處理。當(dāng)步驟S115中無(wú)需采取相應(yīng)的措施時(shí)，回到步驟S104，繼續(xù)監(jiān)視。
如上所述，按照本實(shí)施形態(tài)，由于利用因特網(wǎng)發(fā)送接收數(shù)據(jù)，參照數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行與障礙有關(guān)的檢索，所以半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程管理成為可能，在障礙發(fā)生時(shí)，也可迅速而正確地進(jìn)行障礙原因的確定。對(duì)涉及裝置的信息可進(jìn)行集中的研討，正確的診斷成為可能，也可進(jìn)行裝置的咨詢業(yè)務(wù)。另外，由于裝置的狀態(tài)信息可利用配置在網(wǎng)絡(luò)上的多臺(tái)計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示，有可能由多人同時(shí)對(duì)裝置進(jìn)行監(jiān)視，對(duì)信息的掌握和共享可同時(shí)達(dá)到。進(jìn)而，由于采用以網(wǎng)絡(luò)連接的顯示器可在世界各地得到裝置的信息，所以如果在世界上的指定區(qū)域配置人員，對(duì)裝置相互進(jìn)行監(jiān)視，則夜間無(wú)需人員值守，僅由白天的工作人員即可達(dá)到高品質(zhì)的24小時(shí)支持。另外，通過(guò)在世界上的至少1個(gè)地點(diǎn)按24小時(shí)體制配置可進(jìn)行支持的人員，也可以以最少限度的人員支持世界各地的裝置。
接著，說(shuō)明本發(fā)明第2實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)和方法。與本實(shí)施形態(tài)的第1實(shí)施形態(tài)的不同點(diǎn)在于，工廠側(cè)的服務(wù)器與賣(mài)方側(cè)的服務(wù)器常時(shí)地連接在一起，在判定時(shí)除了上述的異常狀態(tài)外，也往往能判定準(zhǔn)異常狀態(tài)。由于本實(shí)施形態(tài)中的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施形態(tài)相同，所以其說(shuō)明從略。
本實(shí)施形態(tài)中的工廠側(cè)的服務(wù)器與賣(mài)方側(cè)的服務(wù)器也具有與圖4相同的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施形態(tài)中的工廠側(cè)的客戶端100有數(shù)據(jù)收集部110、發(fā)送接收部120和顯示部130。數(shù)據(jù)收集部110每隔規(guī)定的時(shí)間間隔收集半導(dǎo)體制造裝置102、104等的狀態(tài)信息。在狀態(tài)信息中包含了裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息等。發(fā)送接收部120將收集到的狀態(tài)信息經(jīng)因特網(wǎng)300發(fā)送給賣(mài)方200a側(cè)的服務(wù)器200，同時(shí)接收從服務(wù)器200發(fā)送來(lái)的信息。顯示部130顯示各種信息。
本實(shí)施形態(tài)中的賣(mài)方200a側(cè)的服務(wù)器200有發(fā)送接收部210、判定部220、數(shù)據(jù)庫(kù)部230、顯示部240和管理部250。發(fā)送接收部210從工廠側(cè)的客戶端100接收狀態(tài)信息，同時(shí)將信息或指令發(fā)送給客戶端100。判定部220根據(jù)狀態(tài)信息判定對(duì)應(yīng)裝置的異?；驕?zhǔn)異常。數(shù)據(jù)庫(kù)部230存儲(chǔ)按裝置類(lèi)別的異常原因及其處理方法、各種參數(shù)的正常值、異常值、準(zhǔn)異常值、各裝置的異常經(jīng)歷和零部件更換經(jīng)歷、零部件的庫(kù)存信息、維修員的計(jì)劃表等的維修信息。數(shù)據(jù)庫(kù)部的數(shù)據(jù)被逐次更新。顯示部240顯示各種信息。管理部250管理各種信息，根據(jù)判定部220的判定結(jié)果進(jìn)行處理，發(fā)出數(shù)據(jù)庫(kù)部230中的檢索指令、對(duì)客戶端100和相關(guān)部門(mén)發(fā)出通知指令。
這里，作為準(zhǔn)異常值和異常值的定義，異常值是裝置被設(shè)定為停止的值，準(zhǔn)異常值是裝置雖未達(dá)到停止但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到停止的值，將具有這樣的準(zhǔn)異常值的參數(shù)時(shí)的狀態(tài)定義為準(zhǔn)異常狀態(tài)。
接著，參照?qǐng)D10詳細(xì)地說(shuō)明應(yīng)用本實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)進(jìn)行半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修的方法。圖10是示出本實(shí)施形態(tài)的系統(tǒng)的工作的流程圖。設(shè)置于各工廠10的客戶端100的數(shù)據(jù)收集部110收集用LAN連接的半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息(步驟S201)。如上所述，在狀態(tài)信息中包含裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。
收集到的狀態(tài)信息由發(fā)送接收部120經(jīng)因特網(wǎng)300發(fā)送給賣(mài)方200a的服務(wù)器200(步驟S202)。步驟S201、S202中的收集、發(fā)送操作在本實(shí)施形態(tài)中常時(shí)地進(jìn)行。
所發(fā)送的狀態(tài)信息由賣(mài)方200a的服務(wù)器200的發(fā)送接收部210接收(步驟S203)。根據(jù)該狀態(tài)信息，服務(wù)器200大體上以實(shí)時(shí)方式監(jiān)視裝置的狀態(tài)(步驟S204)。該監(jiān)視內(nèi)容可用圖7、圖8所示的畫(huà)面加以確認(rèn)。在步驟S204中，為了判定異?；驕?zhǔn)異常，進(jìn)行了各種檢驗(yàn)和參數(shù)的計(jì)算等。
準(zhǔn)異常的判定方法基本上與異常的判定方法一樣，可以僅變更其閾值而設(shè)定?；蛘撸瑸榱藴?zhǔn)異常的判定，可采用與異常的判定不同的參數(shù)或項(xiàng)目。
根據(jù)上述那樣的判定方法，由判定部220進(jìn)行準(zhǔn)異常的判定(步驟S205)。這里，在被判定為不是準(zhǔn)異常時(shí)，進(jìn)入下面的步驟，與第1實(shí)施形態(tài)一樣，進(jìn)行異常的判定(步驟S105)，以下，進(jìn)行與第1實(shí)施形態(tài)相同的工作。
在被判定為準(zhǔn)異常時(shí)，通過(guò)檢索存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)庫(kù)部230中的信息，推斷準(zhǔn)異常的原因及其處理方法(步驟S206)。原因的推斷方法與第1實(shí)施形態(tài)中的異常的原因的推斷方法相同。然后，向工廠側(cè)的客戶端100通知這是準(zhǔn)異常狀態(tài)，并且通知準(zhǔn)異常原因及其處理方法(步驟S207)。這時(shí)，在推斷多種原因的場(chǎng)合，也可從數(shù)據(jù)庫(kù)中參照其發(fā)生頻度，按發(fā)生頻度的順序提示多種推斷原因及其處理方法。
工廠側(cè)接收該通知(步驟S208)，根據(jù)通知內(nèi)容進(jìn)行處理，將對(duì)該通知的應(yīng)答從客戶端100再次向賣(mài)方側(cè)的服務(wù)器200發(fā)送(步驟S209)。服務(wù)器200在接收到工廠的應(yīng)答(步驟S210)后，判斷是否需要采取相應(yīng)的措施(步驟S211)，如屬必要，則進(jìn)至步驟S108，進(jìn)行處理方法、零部件、夾具、維修員的計(jì)劃表等的檢索。在無(wú)需采取相應(yīng)的措施時(shí)，進(jìn)至步驟S204，繼續(xù)監(jiān)視。
如上所述，按照本實(shí)施形態(tài)，除了第1實(shí)施形態(tài)的效果外，還得到以下的效果。由于客戶端100與服務(wù)器200常時(shí)地連接在一起，可常時(shí)地發(fā)送接收數(shù)據(jù)，所以實(shí)時(shí)地采取相應(yīng)的措施成為可能。另外，由于進(jìn)行準(zhǔn)異常狀態(tài)的判定，檢測(cè)出在準(zhǔn)異常狀態(tài)時(shí)故障停止等的計(jì)劃外停止的預(yù)兆，為了避免這一點(diǎn)而發(fā)出處理的指令，所以在陷入深深的障礙的狀態(tài)前進(jìn)行處理是可能的，進(jìn)而對(duì)運(yùn)行效率的提高作出貢獻(xiàn)成為可能。
在上述例子中說(shuō)明了在異常時(shí)從賣(mài)方向工廠方面進(jìn)行通知的例子，但也可設(shè)定為在除此以外的場(chǎng)合也進(jìn)行通知。例如，由于通過(guò)管理數(shù)據(jù)庫(kù)可得知障礙發(fā)生頻度、裝置的維修經(jīng)歷等，所以按裝置類(lèi)別就障礙的發(fā)生頻度高者而言通知其意旨和有效的處理方法，或者，可根據(jù)各裝置的零部件的更換經(jīng)歷管理各零部件的更換、清洗、定期檢查等時(shí)期，如為這些時(shí)期，則通知其意旨。
接著，說(shuō)明本發(fā)明第3實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)和方法。由于本實(shí)施形態(tài)中的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與圖3所示的第1實(shí)施形態(tài)的相同，故省略了該部分的說(shuō)明。本實(shí)施形態(tài)的特征是，判定進(jìn)行維修時(shí)的相應(yīng)措施是否沒(méi)有錯(cuò)誤，在有錯(cuò)誤時(shí)即進(jìn)行校正。以下，重點(diǎn)說(shuō)明這一點(diǎn)。
本實(shí)施形態(tài)中的功能框圖也可在圖4中表示，但各部的功能與第1實(shí)施形態(tài)的功能稍有不同?，F(xiàn)參照?qǐng)D4說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)中各部的功能。在圖4中示出了客戶端100和服務(wù)器200的功能框圖。這里，例示了1個(gè)或多個(gè)工廠側(cè)的客戶端100中之一。工廠側(cè)的客戶端100有數(shù)據(jù)收集部110、發(fā)送接收部120和顯示部130。數(shù)據(jù)收集部110收集半導(dǎo)體制造裝置102、104等的狀態(tài)信息。發(fā)送接收部120將收集到的狀態(tài)信息經(jīng)因特網(wǎng)300發(fā)送給賣(mài)方200a側(cè)的服務(wù)器200，同時(shí)接收從服務(wù)器200發(fā)送來(lái)的信息。顯示部130顯示各種信息。
賣(mài)方200a側(cè)的服務(wù)器200有發(fā)送接收部210、判定部220、數(shù)據(jù)庫(kù)部230、顯示部240和管理部250。發(fā)送接收部210從工廠側(cè)的客戶端100接收狀態(tài)信息，同時(shí)將信息或指令發(fā)送給客戶端100。判定部220根據(jù)狀態(tài)信息判定對(duì)工廠側(cè)的裝置采取的相應(yīng)措施是否沒(méi)有錯(cuò)誤。數(shù)據(jù)庫(kù)部230存儲(chǔ)與按裝置類(lèi)別的故障狀態(tài)對(duì)應(yīng)的處理方法、每種裝置的異常經(jīng)歷和零部件更換經(jīng)歷等信息。數(shù)據(jù)庫(kù)部的數(shù)據(jù)被逐次更新。顯示部240顯示各種信息。管理部250根據(jù)狀態(tài)信息掌握裝置的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)和對(duì)工廠側(cè)的裝置的維修狀態(tài)，管理各種信息，根據(jù)判定部220的判定結(jié)果進(jìn)行處理，發(fā)出數(shù)據(jù)庫(kù)部230中的檢索指令、對(duì)客戶端100發(fā)出通知指令。
在狀態(tài)信息中，與第1實(shí)施形態(tài)一樣，包含裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息、裝置信息、故障狀態(tài)信息和維修狀態(tài)信息，例如，包含了示出裝置ID、裝置型號(hào)、日期時(shí)間、裝置狀態(tài)和故障的狀態(tài)的錯(cuò)誤消息(報(bào)警)，示出工作內(nèi)容和維修內(nèi)容的注釋等。由于工廠側(cè)的客戶端100每當(dāng)在規(guī)定時(shí)間或者每當(dāng)裝置的運(yùn)行狀態(tài)、維修狀態(tài)有變化時(shí)就發(fā)送這樣的信息，所以賣(mài)方側(cè)的服務(wù)器200總是能掌握工廠的裝置的狀態(tài)。
圖11是示出上述系統(tǒng)的工作的流程圖。在各工廠中，對(duì)各半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行處理(步驟DS301)。然后，設(shè)置于各工廠的客戶端100的數(shù)據(jù)收集部110收集用LAN連接的半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息(步驟S302)。如上所述，在狀態(tài)信息中包含裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息、故障狀態(tài)信息和對(duì)工廠側(cè)的裝置的維修狀態(tài)信息。收集到的狀態(tài)信息由發(fā)送接收部120經(jīng)因特網(wǎng)300發(fā)送給賣(mài)方200a的服務(wù)器200(步驟S303)。在步驟S302、S303中的收集、發(fā)送操作可每隔規(guī)定的時(shí)間間隔進(jìn)行，或者也可將客戶端100與服務(wù)器200常時(shí)地連接在一起并常時(shí)地進(jìn)行?；蛘?，可在運(yùn)行狀態(tài)有變化時(shí)或故障發(fā)生時(shí)、維修內(nèi)容有變化時(shí)逐一地發(fā)送出去。
所發(fā)送的狀態(tài)信息被賣(mài)方200a的服務(wù)器200的發(fā)送接收部210接收(步驟S304)。根據(jù)該狀態(tài)信息，服務(wù)器200掌握裝置的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)和對(duì)工廠側(cè)的裝置的維修狀態(tài)(步驟S305)。這時(shí)，可根據(jù)裝置狀態(tài)中所包含的指令、注釋等關(guān)鍵詞，掌握裝置的狀態(tài)。
然后，在數(shù)據(jù)庫(kù)部230中檢索對(duì)裝置的狀態(tài)最佳的處理方法(步驟S306)。例如，如果處于裝置發(fā)生故障、發(fā)出錯(cuò)誤消息的狀態(tài)，則在數(shù)據(jù)庫(kù)部中檢索與該消息對(duì)應(yīng)的處理方法。接著，根據(jù)狀態(tài)信息，由判定部220判定工廠側(cè)的半導(dǎo)體制造裝置的相應(yīng)措施是否沒(méi)有錯(cuò)誤(步驟S307)。在有錯(cuò)誤的場(chǎng)合，在數(shù)據(jù)庫(kù)部230中檢索校正該錯(cuò)誤的處理方法(步驟S308)。然后，將相應(yīng)的措施中有錯(cuò)誤一事和用于校正錯(cuò)誤的處理方法發(fā)送給工廠側(cè)的客戶端100(步驟S309)。在步驟S307中當(dāng)被判定為沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，繼續(xù)掌握裝置的狀態(tài)。
工廠方面接收在步驟S309中發(fā)送的信息(步驟S310)。工廠方面判定有無(wú)這樣的信息的接收(步驟S311)，當(dāng)有接收時(shí)，判定用于校正的處理方法是否要付諸實(shí)施(步驟S312)。當(dāng)要實(shí)施時(shí)，繼續(xù)進(jìn)行直接用于校正的處理(步驟S313)，返回到步驟S302，繼續(xù)狀態(tài)信息的收集。當(dāng)在步驟S311中無(wú)接收時(shí)，返回到步驟S301，繼續(xù)進(jìn)行處理。當(dāng)在步驟S312中用于校正的處理方法未付諸實(shí)施時(shí)，返回到步驟S301，進(jìn)行處理。再有，工廠方面在步驟S303中發(fā)送了信息后，判定修理是否完畢(步驟S314)，當(dāng)完畢時(shí)，程序結(jié)束；當(dāng)未完畢時(shí)，移至判定來(lái)自賣(mài)方側(cè)的接收的有無(wú)的步驟S311，以后如上所述進(jìn)行處理。
如上所述，按照本實(shí)施形態(tài)，由于即使對(duì)遠(yuǎn)程地點(diǎn)的裝置，管理層也可利用因特網(wǎng)得到與裝置有關(guān)的信息，總是可以掌握裝置的故障的狀態(tài)和對(duì)其的處理的狀態(tài)，通過(guò)參照數(shù)據(jù)庫(kù)，可迅速得到最佳的處理方法，所以工廠側(cè)的相應(yīng)的措施有錯(cuò)誤時(shí)，也能立即糾正該錯(cuò)誤，提供校正錯(cuò)誤的最佳的處理方法。
再有，在上述實(shí)施形態(tài)中，在客戶端100與服務(wù)器200之間的數(shù)據(jù)的發(fā)送接收中，可對(duì)數(shù)據(jù)加密發(fā)送，經(jīng)防火墻(Fire Wall)取入到數(shù)據(jù)庫(kù)中，再解讀密碼，同時(shí)在各裝置中設(shè)置防火墻，分別獨(dú)立地設(shè)定密碼。由此，可防止第三者獲得信息，可提供安全性高的系統(tǒng)。
再有，在上述實(shí)施形態(tài)中，使工廠側(cè)客戶端100擁有與賣(mài)方側(cè)服務(wù)器200所擁有的判定部220具有同樣功能的判定部，也可進(jìn)行同樣的判定。
以上，參照

了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施形態(tài)，但不言而喻，本發(fā)明不限定于這樣的例子。如為業(yè)內(nèi)人士，則在權(quán)利要求的范圍所記述的技術(shù)思想的范疇內(nèi)，顯然可聯(lián)想到各種變例或修正例，關(guān)于它們，當(dāng)然也可被理解為屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。
例如，作為本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體制造裝置，已舉出圖1、圖2中所示的裝置為例進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限定于這樣的例子。
以上，如詳細(xì)地說(shuō)明過(guò)的那樣，按照本發(fā)明，半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程管理成為可能，在障礙發(fā)生時(shí)，可迅速而正確地進(jìn)行障礙原因的確定。另外，在準(zhǔn)異常狀態(tài)時(shí)，由于為了避免因障礙引起的停止的計(jì)劃外停止而發(fā)出處理的指令，所以在陷入深深的障礙的狀態(tài)前，處理是可能的，可更加有助于運(yùn)行效率和生產(chǎn)率的提高。進(jìn)而，通過(guò)在世界上的指定區(qū)域配置人員，夜間無(wú)需人員值守，僅由白天的工作人員即可達(dá)到高品質(zhì)的24小時(shí)支持，另外，通過(guò)在世界上的至少1個(gè)地點(diǎn)按24小時(shí)體制配置可進(jìn)行支持的人員，也可以以最少限度的人員支持世界各地的裝置。另外，按照本發(fā)明的另一觀點(diǎn)，即使對(duì)遠(yuǎn)程地點(diǎn)的裝置也可掌握運(yùn)行狀態(tài)及故障狀態(tài)、用戶側(cè)的裝置的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)、以及維修狀態(tài)等，提供恰當(dāng)?shù)木S修內(nèi)容。特別是，即使在用戶側(cè)采取錯(cuò)誤的應(yīng)對(duì)措施時(shí)，也可立即糾正，提供最適合于校正的處理方法成為可能。由此，可避免因錯(cuò)誤的應(yīng)對(duì)措施而引起的深深的故障，可有助于運(yùn)行效率和生產(chǎn)率的提高。
工業(yè)上的可利用性本發(fā)明可用于從遠(yuǎn)程地點(diǎn)管理和維修刻蝕裝置等半導(dǎo)體制造裝置時(shí)所使用的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)、最適合在該系統(tǒng)中使用的工廠側(cè)客戶端、賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、以及半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法和程序、存儲(chǔ)了該程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，它是包括了設(shè)置至少1個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的工廠中所設(shè)的工廠側(cè)客戶端、具有進(jìn)行上述半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的管理者的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、以及以可進(jìn)行雙向通信的方式連接上述工廠側(cè)客戶端與上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器的線路網(wǎng)的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于上述工廠側(cè)客戶端包括收集上述半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息的數(shù)據(jù)收集部；以及經(jīng)上述線路網(wǎng)將收集到的上述狀態(tài)信息發(fā)送給上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、同時(shí)接收從上述賣(mài)方側(cè)發(fā)送來(lái)的信息的發(fā)送接受部，上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器包括根據(jù)上述狀態(tài)信息判定對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體制造裝置的異?；驕?zhǔn)異常的判定部；存儲(chǔ)了與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的維修信息的數(shù)據(jù)庫(kù)部；以及從上述工廠側(cè)客戶端中接收上述狀態(tài)信息、同時(shí)將信息或指令發(fā)送給上述工廠側(cè)客戶端的發(fā)送接收部。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于上述維修信息包含從由涉及上述半導(dǎo)體制造裝置的異常原因、其處理方法、各種參數(shù)的正常值、異常經(jīng)歷、零部件更換經(jīng)歷、零部件的庫(kù)存信息、維修員的計(jì)劃表構(gòu)成的信息組中選擇的1種或多種信息。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于上述狀態(tài)信息包含上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。
4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于上述判定部根據(jù)上述運(yùn)行狀態(tài)信息，在上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的情況、上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況或在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止超過(guò)規(guī)定次數(shù)的情況下，判定為異常。
5.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于上述判定部根據(jù)上述裝置信息，在上述半導(dǎo)體制造裝置雖未達(dá)到工藝流程停止，但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到工藝流程停止的狀態(tài)的情況下，判定為準(zhǔn)異常。
6.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于上述判定部在判定了上述半導(dǎo)體制造裝置為異?；驕?zhǔn)異常的情況下，比較形成異常或準(zhǔn)異常前后的上述裝置信息和上述維修信息，推斷異常原因或準(zhǔn)異常原因。
7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于在被用于上述異常原因或準(zhǔn)異常原因的推斷的上述裝置信息中，包含從由工藝記錄、跟蹤記錄或機(jī)器記錄構(gòu)成的組中選擇的1種或多種記錄信息。
8.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于在推斷了多種異常原因或準(zhǔn)異常原因的情況下，參照該異常原因的發(fā)生頻度。
9.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于被推斷了的異常原因或準(zhǔn)異常原因的結(jié)果是，在被判斷為必須更換零部件的情況下，參照零部件的庫(kù)存信息。
10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)，其特征在于參照了上述零部件的庫(kù)存信息的結(jié)果是，在規(guī)定的庫(kù)存量以下的情況下，進(jìn)行該零部件的自動(dòng)訂貨處理。
11.一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的工廠側(cè)客戶端，它設(shè)在設(shè)置至少1個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的工廠中，其特征在于上述工廠側(cè)客戶端包括收集上述半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息的數(shù)據(jù)收集部；以及經(jīng)可進(jìn)行雙向通信的線路網(wǎng)將所收集到的上述狀態(tài)信息發(fā)送給有進(jìn)行上述半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的管理者的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、同時(shí)上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器接收涉及根據(jù)上述狀態(tài)信息和上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器所擁有的維修信息而進(jìn)行的異常或準(zhǔn)異常的判定的信息的發(fā)送接受部。
12.如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的工廠側(cè)客戶端，其特征在于上述狀態(tài)信息包含上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。
13.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的工廠側(cè)客戶端，其特征在于根據(jù)上述運(yùn)行狀態(tài)信息，在上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的情況、上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況或在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止超過(guò)規(guī)定次數(shù)的情況下，判定為異常。
14.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的工廠側(cè)客戶端，其特征在于根據(jù)上述裝置信息，在上述半導(dǎo)體制造裝置雖未達(dá)到工藝流程停止，但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到工藝流程停止的狀態(tài)的情況下，判定為準(zhǔn)異常。
15.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的工廠側(cè)客戶端，其特征在于上述異常原因或準(zhǔn)異常原因的判定根據(jù)上述裝置信息而進(jìn)行，在該裝置信息中，包含從由工藝記錄、跟蹤記錄或機(jī)器記錄等構(gòu)成的組中選擇的1種或多種記錄信息。
16.一種計(jì)算機(jī)程序，使計(jì)算機(jī)具有在權(quán)利要求11中所述的工廠側(cè)客戶端的功能。
17.一種存儲(chǔ)介質(zhì)，存儲(chǔ)在權(quán)利要求16中所述的計(jì)算機(jī)程序。
18.一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，它在經(jīng)可進(jìn)行雙向通信的線路網(wǎng)接收在設(shè)置至少1個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的工廠中所設(shè)的工廠側(cè)客戶端中收集到的上述半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息、有進(jìn)行上述半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的管理者，其特征在于上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器包括根據(jù)上述狀態(tài)信息判定對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體制造裝置的異?；驕?zhǔn)異常的判定部；存儲(chǔ)了與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的維修信息的數(shù)據(jù)庫(kù)部；以及從上述工廠側(cè)客戶端中接收上述狀態(tài)信息、同時(shí)將信息或指令發(fā)送給上述工廠側(cè)客戶端的發(fā)送接收部。
19.如權(quán)利要求18所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于上述維修信息包含從由涉及上述半導(dǎo)體制造裝置的異常原因、其處理方法、各種參數(shù)的正常值、異常經(jīng)歷、零部件更換經(jīng)歷、零部件的庫(kù)存信息、維修員的計(jì)劃表構(gòu)成的信息組中選擇的1種或多種信息。
20.如權(quán)利要求18所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于上述狀態(tài)信息包含上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。
21.如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于上述判定部根據(jù)上述運(yùn)行狀態(tài)信息，在上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的情況、上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況或在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止超過(guò)規(guī)定次數(shù)的情況下，判定為異常。
22.如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于上述判定部根據(jù)上述裝置信息，在上述半導(dǎo)體制造裝置雖未達(dá)到工藝流程停止，但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到工藝流程停止的狀態(tài)的情況下，判定為準(zhǔn)異常。
23.如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于上述判定部在上述半導(dǎo)體制造裝置被判定為異?；驕?zhǔn)異常的情況下，比較形成異?；驕?zhǔn)異常前后的上述裝置信息和上述維修信息，推斷異常原因或準(zhǔn)異常原因。
24.如權(quán)利要求23所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于在被用于上述異常原因或準(zhǔn)異常原因的推斷的上述裝置信息中，包含從由工藝記錄、跟蹤記錄或機(jī)器記錄構(gòu)成的組中選擇的1種或多種記錄信息。
25.如權(quán)利要求23所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于在推斷了多種異常原因或準(zhǔn)異常原因的情況下，參照該異常原因的發(fā)生頻度。
26.如權(quán)利要求23所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于被推斷了的異常原因或準(zhǔn)異常原因的結(jié)果是，在被判斷為必須更換零部件的情況下，參照零部件的庫(kù)存信息。
27.如權(quán)利要求26所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修系統(tǒng)的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，其特征在于參照了上述零部件的庫(kù)存信息的結(jié)果是，在規(guī)定的庫(kù)存量以下的情況下，進(jìn)行該零部件的自動(dòng)訂貨處理。
28.一種計(jì)算機(jī)程序，使計(jì)算機(jī)具有在權(quán)利要求18中所述的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器的功能。
29.一種存儲(chǔ)介質(zhì)，存儲(chǔ)在權(quán)利要求28中所述的計(jì)算機(jī)程序。
30.一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其中，包括了設(shè)置至少1個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的工廠中所設(shè)的工廠側(cè)客戶端、有進(jìn)行上述半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的管理者的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器、以及以可進(jìn)行雙向通信的方式連接上述工廠側(cè)客戶端與上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器的線路網(wǎng)，其特征在于上述工廠側(cè)客戶端收集上述半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)信息，同時(shí)經(jīng)上述線路網(wǎng)將所收集到的上述狀態(tài)信息發(fā)送給上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器，上述賣(mài)方側(cè)服務(wù)器根據(jù)上述狀態(tài)信息和與上述半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的維修信息，判定對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體制造裝置的異?；驕?zhǔn)異常，同時(shí)將對(duì)應(yīng)于該判定結(jié)果的信息發(fā)送給上述工廠側(cè)客戶端。
31.如權(quán)利要求30所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于上述狀態(tài)信息包含上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息和裝置信息。
32.如權(quán)利要求31所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于在上述半導(dǎo)體制造裝置被判定為異?；驕?zhǔn)異常的情況下，比較形成異?；驕?zhǔn)異常前后的上述裝置信息和上述維修信息，推斷異常原因或準(zhǔn)異常原因。
33.如權(quán)利要求31所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于上述判定根據(jù)上述運(yùn)行狀態(tài)信息，在上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間的比例超過(guò)規(guī)定比例的情況、上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止時(shí)間超過(guò)規(guī)定時(shí)間的情況或在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的上述半導(dǎo)體制造裝置的計(jì)劃外停止超過(guò)規(guī)定次數(shù)的情況下，判定為異常。
34.如權(quán)利要求33所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于在上述半導(dǎo)體制造裝置被判定為異?；驕?zhǔn)異常的情況下，比較形成異?；驕?zhǔn)異常前后的上述裝置信息和上述維修信息，推斷異常原因或準(zhǔn)異常原因。
35.如權(quán)利要求31所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于上述判定根據(jù)上述裝置信息，在上述半導(dǎo)體制造裝置雖未達(dá)到工藝流程停止，但如經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間有可能達(dá)到工藝流程停止的狀態(tài)的情況下，判定為準(zhǔn)異常。
36.如權(quán)利要求32所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于被推斷了的異常原因或準(zhǔn)異常原因的結(jié)果是，在被判斷為必須更換零部件的情況下，參照零部件的庫(kù)存信息。
37.如權(quán)利要求36所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于參照了上述零部件的庫(kù)存信息的結(jié)果是，在規(guī)定的庫(kù)存量以下的情況下，進(jìn)行該零部件的自動(dòng)訂貨處理。
38.一種半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其中，包括了管理在工廠內(nèi)設(shè)置的半導(dǎo)體制造裝置的用戶側(cè)服務(wù)器和管理經(jīng)可進(jìn)行雙向通信的線路網(wǎng)與上述用戶側(cè)服務(wù)器連接的上述用戶側(cè)服務(wù)器的管理側(cè)服務(wù)器，其特征在于上述用戶側(cè)服務(wù)器收集包含工廠內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)信息、故障狀態(tài)信息和在工廠側(cè)的對(duì)上述半導(dǎo)體制造裝置的維修狀態(tài)信息的裝置信息并發(fā)送給上述管理側(cè)服務(wù)器，上述管理側(cè)服務(wù)器根據(jù)上述裝置信息，掌握半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)和在上述工廠側(cè)的對(duì)上述半導(dǎo)體制造裝置的維修狀態(tài)，從被存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)庫(kù)的處理方法中選擇最佳的處理方法并發(fā)送給上述用戶側(cè)服務(wù)器。
39.如權(quán)利要求38所述的半導(dǎo)體制造裝置的遠(yuǎn)程維修方法，其特征在于上述管理側(cè)服務(wù)器根據(jù)上述維修狀態(tài)，判定在上述工廠側(cè)的上述半導(dǎo)體制造裝置的應(yīng)對(duì)措施方面是否沒(méi)有錯(cuò)誤，在有錯(cuò)誤的情況下，將修正該錯(cuò)誤的處理方法發(fā)送給上述用戶側(cè)服務(wù)器。
全文摘要
設(shè)置半導(dǎo)體制造裝置的工廠側(cè)客戶端100和進(jìn)行半導(dǎo)體制造裝置的維修管理的賣(mài)方側(cè)服務(wù)器200被連接到可進(jìn)行雙向通信的線路網(wǎng)即因特網(wǎng)300，可相互發(fā)送和接收?？蛻舳?00收集裝置的狀態(tài)信息并發(fā)送給服務(wù)器200。服務(wù)器200根據(jù)該狀態(tài)信息，判定裝置的異?；驕?zhǔn)異常，在異常或準(zhǔn)異常時(shí)，檢索數(shù)據(jù)庫(kù)，推斷原因、處理方法，并將原因、處理方法等的維修信息和指令通知客戶端100。
文檔編號(hào)G05B19/00GK1505830SQ02808988
公開(kāi)日2004年6月16日 申請(qǐng)日期2002年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月27日
發(fā)明者芳賀直行, 町田晃 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社, 富士通Amd半導(dǎo)體株式會(huì)社