專利名稱：管理襯底加工設(shè)備的設(shè)備信息的襯底加工系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)將半導(dǎo)體襯底上執(zhí)行預(yù)定加工的襯底加工設(shè)備、用于液晶顯示器的玻璃襯底、用于光掩模的玻璃襯底或用于光盤的襯底(下文中間稱為“襯底”)與計(jì)算機(jī)互相連接。
背景技術(shù)：
通過執(zhí)行一系列諸如清洗、保護(hù)層涂覆、曝光、顯影、腐蝕、形成層間絕緣膜和襯底上的熱加工的加工制造諸如半導(dǎo)體器件或液晶顯示器的產(chǎn)品。通常，有內(nèi)置保護(hù)層涂覆加工、內(nèi)置顯影加工單元等的襯底加工設(shè)備執(zhí)行這種加工。設(shè)在襯底加工設(shè)備上的傳送機(jī)器人連續(xù)地將襯底傳送到各加工單元，從而在沉底上執(zhí)行一系列加工。
自動(dòng)控制這種襯底加工，襯底加工設(shè)備存儲應(yīng)用程序數(shù)據(jù)、設(shè)置信息等用于自動(dòng)控制。換句話說，根據(jù)設(shè)置信息的內(nèi)容用應(yīng)用程序來控制襯底加工設(shè)備。
存儲在襯底加工設(shè)備中的設(shè)置信息包括襯底加工設(shè)備常用的基本信息和襯底加工設(shè)備所固有的信息。當(dāng)襯底加工設(shè)備主要由缺省的基本信息控制時(shí)，由于設(shè)置環(huán)境或襯底加工設(shè)備的制造錯(cuò)誤，不能用相同的設(shè)置內(nèi)容來執(zhí)行最佳控制。因而，必須校正基本信息來執(zhí)行控制，每個(gè)襯底加工設(shè)備都累積這種校正信息作為固有信息。
因而，固有信息是每個(gè)用戶和每個(gè)襯底加工設(shè)備所固有的信息。因而，為了將導(dǎo)致了一些諸如硬件故障和丟失累積信息的故障的襯底加工設(shè)備返回到出故障以前的狀態(tài)，就必須周期性地備份設(shè)置信息。而且，當(dāng)用戶以自定義方式改變設(shè)置信息時(shí)，可以要求過去的設(shè)置信息。而且，在這種情況下，為了用過去的設(shè)置信息操作襯底加工設(shè)備，必須周期性地備份設(shè)置信息。通常，用戶在每個(gè)襯底加工設(shè)備中在活動(dòng)盤等中備份設(shè)置信息。
然而，在活動(dòng)盤等中備份襯底加工設(shè)備的設(shè)置信息很耗時(shí)，造成了用戶的負(fù)擔(dān)。尤其是當(dāng)設(shè)置了大量襯底加工設(shè)備時(shí)，備份操作顯著造成了等待改進(jìn)的用戶的負(fù)擔(dān)。
另外，必須使備份處理間隔最小化，以便備份數(shù)據(jù)有效。然而，備份處理的負(fù)擔(dān)太重，以至于要求用戶頻繁執(zhí)行周期備份處理是不實(shí)際的。
上述基本信息(以初始階段設(shè)在襯底加工設(shè)備中)包括很大量的設(shè)置項(xiàng)。用戶或支持人員先在襯底加工設(shè)備中設(shè)置基本信息，從而根據(jù)基本信息操作襯底加工設(shè)備。用戶還響應(yīng)各襯底加工設(shè)備設(shè)置固有信息。換句話說，用戶根據(jù)基本信息用固有信息校正襯底加工設(shè)備的操作，從而執(zhí)行最佳控制。
如上所述，設(shè)在襯底加工設(shè)備中的基本信息包括很大量的設(shè)置項(xiàng)。如果設(shè)置信息對于一些大量的項(xiàng)是錯(cuò)誤的，襯底加工設(shè)備就不能執(zhí)行計(jì)劃的操作。
當(dāng)設(shè)有多個(gè)襯底加工設(shè)備的工廠中多個(gè)人員分別在不同的襯底加工設(shè)備中設(shè)置基本信息時(shí)，例如，可以因人為誤差而使襯底加工設(shè)備的基本信息的設(shè)置內(nèi)容不同。這種情況下，即使襯底加工設(shè)備執(zhí)行相同的加工也不能生產(chǎn)出相同的產(chǎn)品。
而且，當(dāng)證明設(shè)在各襯底加工設(shè)備中的基本信息包括襯底加工設(shè)備操作導(dǎo)致的設(shè)置誤差時(shí)，很難從大量設(shè)置項(xiàng)中發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤設(shè)置內(nèi)容。
形成上述襯底加工設(shè)備的元件也包括耗材。例如，設(shè)在清洗加工單元中用于清洗襯底的清洗刷和設(shè)在燈退火設(shè)備中用于用光輻照快速退火襯底的燈通常是耗材。另外，用于驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)器人等的形成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的皮帶、滾筒和電動(dòng)機(jī)等也是耗材。
這種因使用而消耗和損壞的耗材顯著耗損后就不能用了，因此，必須周期性訂購新的元件以替換耗材。
然而，通常，在耗材耗損或損壞之后才訂購和采購新的元件，因此新的元件到達(dá)需一段時(shí)間，降低了設(shè)備的工作效率。因而，最好管理襯底加工設(shè)備中耗材的壽命，在一個(gè)襯底加工工廠中裝有多個(gè)襯底加工設(shè)備，要求管理所有襯底加工設(shè)備中的耗材是個(gè)很大的工作。
而且，通常，大量這種襯底加工設(shè)備設(shè)在制造半導(dǎo)體器件等的一個(gè)襯底加工工廠中并由大量操作員來操作。因而必須為操縱設(shè)備的方法而適當(dāng)?shù)嘏嘤?xùn)無經(jīng)驗(yàn)不熟練的操作員。當(dāng)改變了設(shè)備的說明書等時(shí)，也需對熟練操作員講授新的操作方法。
通常，操作員必須分組參加關(guān)于設(shè)備的講授，為各組重復(fù)講授，或集合在一個(gè)襯底加工設(shè)備周圍統(tǒng)一講解。
然而，這種情況下，必須重復(fù)講授相同內(nèi)容，否則就不能充分訓(xùn)練所有的操作員，其不利之處使襯底加工設(shè)備的用戶和銷售者都喪失效率。
發(fā)明概述本發(fā)明涉及一種管理襯底加工設(shè)備的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，能經(jīng)網(wǎng)絡(luò)通信。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，能經(jīng)網(wǎng)絡(luò)通信的管理襯底加工設(shè)備的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)包括第一存儲部件，存儲控制信息，用于控制襯底加工設(shè)備的操作；復(fù)制信息獲取部件，獲取存儲在第一存儲部件中的控制信息的復(fù)制信息；和存儲部件，在第二存儲部件中存儲用復(fù)制信息獲取部件獲取的復(fù)制信息，第二存儲部件包括在經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接到襯底加工設(shè)備的信息存儲計(jì)算機(jī)中。
經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接到信息存儲計(jì)算機(jī)的存儲部件存儲用于襯底加工設(shè)備的控制信息，從而不必對記錄媒體備份操作。因此，用戶與備份操作有關(guān)的負(fù)擔(dān)顯著減輕。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)使襯底加工設(shè)備和支持計(jì)算機(jī)互相連接的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)中，支持計(jì)算機(jī)包括第一存儲部件，存儲襯底加工設(shè)備初始所需的基本信息；和基本信息發(fā)送部件，將基本信息經(jīng)網(wǎng)絡(luò)發(fā)送給襯底加工設(shè)備。襯底加工設(shè)備包括第二存儲部件，存儲從支持計(jì)算機(jī)收到的基本信息，襯底加工設(shè)備初始狀態(tài)裝有存儲在第二存儲部件中的基本信息。
可以正確和容易地在襯底加工設(shè)備的導(dǎo)入和重置中執(zhí)行初始化。
在有襯底加工設(shè)備的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)和管理襯底加工設(shè)備的計(jì)算機(jī)(都連接到網(wǎng)絡(luò))中，本發(fā)明的又一方面中，襯底加工設(shè)備包括耗損測量部件，測量襯底加工設(shè)備的元件耗損。襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)包括耗損信息累積部件，累積耗損測量部件測量的耗損，耗損信息公開部件使耗損信息累積部件中累積的耗損可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)從計(jì)算機(jī)讀取。
可以有效管理襯底加工設(shè)備的元件耗損。
根據(jù)本發(fā)明的再一方面，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)使多個(gè)襯底加工設(shè)備和計(jì)算機(jī)互相連接的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)中，計(jì)算機(jī)包括教育信息發(fā)布部件，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)發(fā)布與多個(gè)襯底加工設(shè)備操作有關(guān)的教育信息，多個(gè)襯底加工設(shè)備中的每一個(gè)都包括接收部件，接收從計(jì)算機(jī)發(fā)布的教育信息；和顯示部件，顯示用接收部件收到的教育信息。
計(jì)算機(jī)經(jīng)網(wǎng)絡(luò)發(fā)布與多個(gè)襯底加工設(shè)備操作有關(guān)的教育信息，從而可以有效給予操作員操作教育。
本發(fā)明也涉及一種襯底加工設(shè)備管理方法，用于管理襯底加工設(shè)備。
本發(fā)明也涉及一種襯底加工設(shè)備，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接到預(yù)定計(jì)算機(jī)。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種簡便備份存儲在襯底加工設(shè)備中的信息的技術(shù)，同時(shí)減輕用戶工作負(fù)擔(dān)。
本發(fā)明的另一方面是提供一種網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，用于簡便而可靠地設(shè)置襯底加工設(shè)備的初始操作，同時(shí)減輕用戶或支持人員的工作負(fù)擔(dān)。
本發(fā)明的又一方面是提供一種技術(shù)，能有效管理襯底加工設(shè)備部件的耗損。
本發(fā)明的還一方面是提供一種襯底加工系統(tǒng)，能有效而可操作地教育操作員。
結(jié)合附圖，從下面對本發(fā)明的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述和其它目的、方面和優(yōu)點(diǎn)將更明顯。


圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)的示意性框圖；圖2是襯底加工設(shè)備的示意性平面圖；圖3是顯示用于襯底加工設(shè)備的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的框圖；圖4說明了信息存儲服務(wù)器或支持計(jì)算機(jī)的基本結(jié)構(gòu)；圖5說明了設(shè)置信息的示例內(nèi)容；圖6說明了處方(recipe)數(shù)據(jù)的示例內(nèi)容；圖7是顯示根據(jù)第一實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的框圖；圖8是根據(jù)本發(fā)明包括進(jìn)度控制部分的本地指令(local instruction)部分的框圖；圖9是顯示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的框圖；圖10說明了根據(jù)第二實(shí)施例的支持計(jì)算機(jī)中管理的版本的設(shè)備基本數(shù)據(jù)；圖11示意性說明了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)；圖12是根據(jù)第三實(shí)施例的襯底加工設(shè)備的示意性平面圖；圖13示意性說明了圖12所示襯底加工設(shè)備的表面清洗加工單元的結(jié)構(gòu)；圖14是顯示根據(jù)第三實(shí)施例的用于襯底加工設(shè)備的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的框圖；
圖15說明了信息存儲服務(wù)器、支持計(jì)算機(jī)或訂購接受服務(wù)器的基本結(jié)構(gòu)；圖16是顯示根據(jù)第三實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖；圖17是顯示根據(jù)第三實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)中程序的流程圖；圖18說明了示例性耗損信息；圖19是顯示根據(jù)第三實(shí)施例的另一襯底加工系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖，它設(shè)有具有報(bào)警功能和傳送元件訂購信號功能的襯底加工設(shè)備；圖20是顯示根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)示例性功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖；圖21是顯示根據(jù)第四實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)的另一示例性功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖。
最佳實(shí)施例描述現(xiàn)在，參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例。
1.第一實(shí)施例首先，描述根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的整體襯底加工系統(tǒng)10的概況。圖1示意性說明了襯底加工系統(tǒng)10的結(jié)構(gòu)。如圖1所示，多個(gè)襯底加工設(shè)備1和信息存儲服務(wù)器2包括在襯底加工工廠4中，支持計(jì)算機(jī)3包括在支持中心5中，襯底加工設(shè)備1、信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3在襯底加工系統(tǒng)10中經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6互連。在支持中心5上公布遙控襯底加工設(shè)備1的遙控人員。
襯底加工工廠4中，襯底加工設(shè)備1和信息存儲服務(wù)器2經(jīng)LAN(局域網(wǎng))41互連。LAN41經(jīng)有路由器、防火墻等功能的連接器42連接到諸如因特網(wǎng)的廣域網(wǎng)61。支持中心5也有連接到支持計(jì)算機(jī)3的LAN51，該LAN51也經(jīng)有路由器、防火墻等功能的連接器52連接到諸如因特網(wǎng)的廣域網(wǎng)61。因此，襯底加工設(shè)備1、信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3可以相互進(jìn)行多種類型的數(shù)據(jù)通信。整個(gè)說明書中，41和51和廣域網(wǎng)61通常稱為網(wǎng)絡(luò)6。
參考圖1，襯底加工工廠4可以包括單個(gè)襯底加工設(shè)備1來代替多個(gè)襯底加工設(shè)備1，支持中心5也可包括單個(gè)支持計(jì)算機(jī)3來代替多個(gè)支持計(jì)算機(jī)3。
現(xiàn)在描述設(shè)在襯底加工工廠4上的每個(gè)襯底加工設(shè)備1。圖2是襯底加工設(shè)備1的示意性平面圖。該襯底加工設(shè)備1執(zhí)行保護(hù)層涂覆加工、顯影加工和接下來在襯底上的熱加工。襯底加工設(shè)備1包括分度器ID，從載體遞送未加工的襯底，同時(shí)接收加工后的襯底并將其存儲在載體中；涂覆加工單元(所謂的旋涂器)SC，當(dāng)旋轉(zhuǎn)襯底以向其涂覆光刻膠將光刻膠時(shí)滴到襯底的主要表面上；顯影加工單元(所謂的旋轉(zhuǎn)顯影器(spin developer))SD，將顯影劑供應(yīng)給曝光的襯底，從而執(zhí)行顯影加工；和傳送機(jī)器人TR，傳送分度器ID和各個(gè)加工單元之間的襯底。熱加工單元(未畫)經(jīng)扇形濾波單元布置在上述涂覆加工單元SC和顯影加工單元SD上。設(shè)置加熱襯底的加熱單元(所謂的熱板)和冷卻加熱的襯底的冷卻單元(所謂的冷板)將襯底加工到恒溫，作為熱處理單元。整個(gè)說明書中，涂覆加工單元SC、顯影加工單元SD和熱加工單元通常稱為加工單元110，在襯底上執(zhí)行預(yù)定加工。
圖3是顯示用于襯底加工設(shè)備1的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的框圖。如圖3所示，用于襯底加工設(shè)備1的控制系統(tǒng)由控制整體設(shè)備1的系統(tǒng)控制部分100和單獨(dú)控制多個(gè)加工單元110的單元控制部分115組成。
以統(tǒng)一方式控制整體設(shè)備1的系統(tǒng)控制部分100包括微機(jī)。詳細(xì)地說，系統(tǒng)控制部分100包括CPU101，起主體部分作用；ROM102，起存儲基本程序等的只讀存儲器作用；RAM103，起主要定義運(yùn)算工作區(qū)域的隨機(jī)存取存儲器作用；存儲部分104，它包括硬盤等，存儲應(yīng)用程序數(shù)據(jù)等；和通信部分105，執(zhí)行與外部裝置的數(shù)據(jù)通信。它們用總線190彼此連接。
通信部分105經(jīng)網(wǎng)絡(luò)接口(未畫)連接到網(wǎng)絡(luò)6，以便襯底加工設(shè)備1可以將多種數(shù)據(jù)傳送到信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3等或從信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3等接收多種數(shù)據(jù)。通信部分105可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6執(zhí)行有線通信或無線電通信，本實(shí)施例中使用有線通信系統(tǒng)。
和系統(tǒng)控制部分100和多個(gè)加工單元110一起，顯示部分130(顯示多種信息)、操作部分140(接受操作員的處方輸入操作、命令操作等)、閱讀器150(從諸如磁盤或磁光盤等的記錄媒體91讀取多種數(shù)據(jù))也電連接到總線190。因此，數(shù)據(jù)可以在系統(tǒng)控制部分100的控制下經(jīng)總線190在襯底加工設(shè)備1的各個(gè)部分之間傳送。
實(shí)踐中，每個(gè)加工單元110包括單元控制部分115以及襯底加工部分116，襯底加工部分116起加工襯底的工作部分(例如，旋轉(zhuǎn)襯底的機(jī)構(gòu)、將加工溶液釋放到襯底上的機(jī)構(gòu)、加熱襯底的機(jī)構(gòu)等)的作用。單元控制部分115(單獨(dú)控制加工單元110)控制和監(jiān)控設(shè)有該單元控制部分115的加工單元110的襯底加工部分116的操作。換句話說，上述系統(tǒng)控制部分100負(fù)責(zé)統(tǒng)一控制整個(gè)襯底加工設(shè)備1，而每個(gè)單元控制部分115負(fù)責(zé)控制響應(yīng)每個(gè)襯底加工部分116的加工內(nèi)容。單元控制部分115包括類似系統(tǒng)控制部分100的微機(jī)。更具體地說，單元控制部分115包括CPU111，起主體作用；ROM112，起存儲基本程序等的只讀存儲器的作用；RAM113，起主要定義運(yùn)算工作區(qū)域的隨機(jī)存取存儲器作用；存儲部分114，它包括用電池備份的SRAM，用于存儲多種數(shù)據(jù)。
系統(tǒng)控制部分100的存儲部分104存儲控制程序152，起用于和整體設(shè)備1有關(guān)的系統(tǒng)控制的應(yīng)用程序的作用；設(shè)置信息151，用于判定襯底加工設(shè)備1的操作等(見圖7)。當(dāng)系統(tǒng)控制部分100的CPU101根據(jù)控制程序152和設(shè)置信息151執(zhí)行運(yùn)算處理時(shí)，隨后在整個(gè)襯底加工設(shè)備1上實(shí)現(xiàn)操作控制和數(shù)據(jù)處理單元控制部分115的存儲部分114存儲控制程序153，它起應(yīng)用程序的作用，用于響應(yīng)加工單元110的襯底加工部分116的加工內(nèi)容的單元控制。當(dāng)單元控制部分115的CPU111根據(jù)控制程序153執(zhí)行運(yùn)算處理時(shí)，隨后在襯底加工部分116上實(shí)現(xiàn)操作控制和數(shù)據(jù)處理。
因此，用于控制襯底加工設(shè)備1操作的控制信息包括控制程序152和153，用于控制襯底加工設(shè)備1；和設(shè)置信息151，用于判定襯底加工設(shè)備1的操作，而存儲部分104和114形成了存儲控制信息的第一存儲裝置。
現(xiàn)在描述布置在襯底加工工廠4上的信息存儲服務(wù)器2和布置在支持中心5上的每個(gè)支持計(jì)算機(jī)3。信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3的硬盤結(jié)構(gòu)類似于普通計(jì)算機(jī)。因而，參考圖4描述每個(gè)信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3(彼此類似)的基本結(jié)構(gòu)。如圖4所示，通過將CPU21或31(CPU21用于信息存儲服務(wù)器2，CPU31用于支持計(jì)算機(jī)3這也應(yīng)用于下文的描述)、存儲基本程序的ROM22或32和存儲多種信息的RAM23或33連接到總線形成各信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3。硬盤24或34(存儲諸如應(yīng)用程序的多種信息)、顯示器25或35(顯示多種信息)、鍵盤26a或36a和鼠標(biāo)26b或36b(從操作員接受輸入操作)、閱讀器27或37(從諸如磁盤或磁光盤的記錄媒體91讀取多種數(shù)據(jù))和通信部分28或38(經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6與外部裝置通信)也經(jīng)接口(I/F)等適當(dāng)連接到總線。
各信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3可以經(jīng)閱讀器27或37從記錄媒體91讀取數(shù)據(jù)，并將其存儲在硬盤24或34中。各信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3也可以經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6從另一服務(wù)器下載數(shù)據(jù)，并將其存儲在硬盤24或34中。CPU21或31根據(jù)存儲在硬盤24或34中的多種程序執(zhí)行運(yùn)算處理以執(zhí)行不同的操作。
襯底加工設(shè)備1的操作由存儲在存儲部分104或114中的控制程序152或153根據(jù)上文描述流程處方的程序來控制?？刂瞥绦?52或153根據(jù)存儲在存儲部分104中的設(shè)置信息151來控制襯底加工設(shè)備1。圖5說明了存儲在存儲部分104的設(shè)置信息151的示例性內(nèi)容。
設(shè)置信息151包括與襯底加工設(shè)備1總控制有關(guān)的設(shè)置信息和與各加工單元110控制有關(guān)的設(shè)置信息，假設(shè)系統(tǒng)控制部分100的存儲部分104共同存儲設(shè)置信息151(包括本實(shí)施例中的設(shè)置信息151)?；蛘?，各單元控制部分115的存儲部分114可存儲各加工單元110的設(shè)置信息。
設(shè)置信息151是包括處方數(shù)據(jù)151a、設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b和設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c的數(shù)據(jù)。操作員經(jīng)操作部分140輸入控制這些數(shù)據(jù)151a、151b和151c，從而按需更新。或者支持計(jì)算機(jī)3或信息存儲服務(wù)器2可以通過遙控來輸入控制設(shè)置信息151。
處方數(shù)據(jù)151a是定義襯底加工設(shè)備1的程序的數(shù)據(jù)。換句話說，襯底加工設(shè)備1的傳送機(jī)器人TR根據(jù)處方數(shù)據(jù)151a中描述的加工進(jìn)度將襯底傳送到目標(biāo)加工單元110。
圖6說明了處方數(shù)據(jù)151a中描述的示例性流程處方。參考圖6，以循環(huán)方式用傳送機(jī)器人TR傳送的各襯底以下面的順序加工步驟1在熱板中的附著力增強(qiáng)加工；步驟2在冷板中的冷卻加工；步驟3在任何涂覆加工單元SC中的保護(hù)層涂覆加工；步驟4在熱板中的預(yù)焙加工；因此，處方數(shù)據(jù)151a(是定義襯底加工設(shè)備1程序的信息)用戶的技術(shù)訣竅而存儲。換句話說，用戶建立能執(zhí)行最有效加工的處方數(shù)據(jù)151a，并根據(jù)處方數(shù)據(jù)151a控制襯底加工設(shè)備1。
設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b是襯底加工設(shè)備1所共有的信息，即，用于襯底加工設(shè)備1的缺省設(shè)置信息。每個(gè)加工單元110中，襯底加工設(shè)備1包括大量工作部分和諸如傳送機(jī)器人的控制部分設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b定義了劃分工作部分和控制部分的設(shè)置值。例如，設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b包括諸如機(jī)器人基本數(shù)據(jù)、溫度控制數(shù)據(jù)等的數(shù)據(jù)。
機(jī)器人基本數(shù)據(jù)定義了傳送機(jī)器人TR的操作。換句話說，機(jī)器人基本數(shù)據(jù)定義了傳送機(jī)器人TR操作的設(shè)置值(關(guān)于移動(dòng)距離的設(shè)置值、用于臂選擇角度的設(shè)置值等)，將襯底傳送到每個(gè)加工單元110、分度器ID、熱加工單元等。溫度控制數(shù)據(jù)設(shè)置了襯底加工設(shè)備1中的熱加工單元溫度等。
設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c是固有設(shè)置用于多個(gè)襯底加工設(shè)備1中每一個(gè)的校正數(shù)據(jù)。襯底加工設(shè)備1可以基本用相同的設(shè)置信息來控制，即，設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b，當(dāng)它們結(jié)構(gòu)相同時(shí)，實(shí)踐中必須校正每個(gè)設(shè)備的信息。這是因?yàn)橐r底加工設(shè)備1的結(jié)構(gòu)嚴(yán)格來講是有離差的，還因?yàn)橐箜憫?yīng)環(huán)境來進(jìn)行調(diào)節(jié)，原因是襯底加工設(shè)備1的設(shè)置位置或設(shè)置環(huán)境之間有差異。換句話說，設(shè)置信息必須對每個(gè)設(shè)備1校正，以便襯底加工設(shè)備1執(zhí)行相同的加工，從而得到相同的加工結(jié)果。
例如，設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c包括諸如教導(dǎo)數(shù)據(jù)和溫度控制校正數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)。
教導(dǎo)數(shù)據(jù)是用于校正上述機(jī)器人基本數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)。當(dāng)襯底加工設(shè)備1結(jié)構(gòu)彼此相同時(shí)，傳送機(jī)器人TR可以基本根據(jù)相同的設(shè)置信息來執(zhí)行相同操作。然而，傳送機(jī)器人TR(包括大量元件和可移動(dòng)部分)由于結(jié)構(gòu)之間的細(xì)微差異而導(dǎo)致操作誤差。因而，傳送機(jī)器人TR的操作被調(diào)節(jié)為最佳，用于該調(diào)節(jié)的設(shè)置信息存儲為教導(dǎo)數(shù)據(jù)。傳送機(jī)器人TR的控制可以通過用教導(dǎo)數(shù)據(jù)校正機(jī)器人基本數(shù)據(jù)來最優(yōu)化。
溫度控制校正數(shù)據(jù)是用于響應(yīng)襯底加工設(shè)備1設(shè)置位置和設(shè)置環(huán)境之間的差異而校正缺省設(shè)置的溫度控制數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)。
因此，處方數(shù)據(jù)151a確定每個(gè)襯底加工設(shè)備1的加工步驟順序，而缺省設(shè)置的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b和作為每個(gè)設(shè)備1的校正數(shù)據(jù)的設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c控制襯底加工設(shè)備1的操作。當(dāng)被存儲作為用戶的技術(shù)訣竅的處方數(shù)據(jù)151a和是每個(gè)設(shè)備1的固有數(shù)據(jù)的設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c是極重要的信息，不易恢復(fù)這些數(shù)據(jù)151a和151c。因而必須有效備份數(shù)據(jù)151a和151c，防止其消失。
已經(jīng)描述了襯底加工系統(tǒng)10和襯底加工設(shè)備1的硬盤結(jié)構(gòu)、形成它的信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3以及設(shè)置信息151的內(nèi)容，現(xiàn)在描述襯底加工系統(tǒng)10的功能和加工內(nèi)容。圖7是顯示襯底加工系統(tǒng)10功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖。
參考圖7，系統(tǒng)控制部分100的CPU101運(yùn)行維護(hù)程序154，從而實(shí)現(xiàn)了本地指令部分121、復(fù)制信息獲取部分122、和恢復(fù)處理部分123作為處理部分。存儲部分104存儲維護(hù)程序154。
參考圖7，信息存儲服務(wù)器2的CPU21運(yùn)行維護(hù)程序252，從而實(shí)現(xiàn)了存儲部分221和差異提取部分222作為處理部分。支持計(jì)算機(jī)3的CPU31允許維護(hù)程序351，從而實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程指令部分321作為處理部分。硬盤34存儲維護(hù)程序351。
本地指令部分121有將用于設(shè)置信息151和控制程序152和153的備份處理的指令命令傳送到復(fù)制信息獲取部分122的功能，和將用于設(shè)置信息151和控制程序152和153的恢復(fù)處理的指令命令傳送到恢復(fù)處理部分123的功能。
當(dāng)因內(nèi)設(shè)的進(jìn)程功能確定備份定時(shí)的時(shí)候，本地指令部分121傳送備份處理的指令命令。除根據(jù)進(jìn)程功能周期性備份處理外，用戶可以通過襯底加工設(shè)備1的操作部分140執(zhí)行輸入操作，從而明確指令對設(shè)置信息151和控制程序152和153備份處理。
換句話說，由于根據(jù)進(jìn)程功能的指令，設(shè)置信息151等易計(jì)劃的方式自動(dòng)備份。另一方面，用戶可以置備份處理，以在維護(hù)之前或設(shè)備1臨時(shí)存儲之前在任意時(shí)間點(diǎn)保持當(dāng)前的設(shè)備狀態(tài)。
當(dāng)本地指令部分121發(fā)布備份處理的指令命令時(shí)，復(fù)制信息獲取部分122產(chǎn)生存儲在系統(tǒng)控制部分100的存儲部分104中的設(shè)置信息151和控制程序152以及存儲單元控制部分115的存儲部分114中的控制程序153的復(fù)制信息，并將產(chǎn)生的復(fù)制信息(即，設(shè)置信息151和控制程序152和153的數(shù)據(jù))經(jīng)LAN41傳送到信息存儲服務(wù)器2。
備份處理可以對設(shè)置信息151和控制程序152和153所有的數(shù)據(jù)執(zhí)行，或只對單個(gè)數(shù)據(jù)執(zhí)行。
如圖8所示，本地指令部分121包括進(jìn)程控制部分121a。進(jìn)程控制部分121a是設(shè)置備份處理進(jìn)程的功能部分，本地指令部分121根據(jù)設(shè)在進(jìn)程控制部分121a中的進(jìn)程設(shè)置傳送備份處理的指令命令。進(jìn)程設(shè)定顯示了在什么時(shí)間備份哪個(gè)信息。
例如，有可能安排備份處理每周備份設(shè)置信息151而每個(gè)月備份控制程序152和153。也可能設(shè)置備份所有數(shù)據(jù)還是備份差異數(shù)據(jù)，如下所述。例如，可能設(shè)置一個(gè)進(jìn)程對設(shè)置信息151每周備份所有數(shù)據(jù)而每天備份差異數(shù)據(jù)。用戶可以通過操作部分140設(shè)置進(jìn)程。在顯示部分130上顯示向?qū)Р藛尉透奖懔耍杂脩艨梢愿鶕?jù)菜單設(shè)置進(jìn)程。
從復(fù)制信息獲取部分122發(fā)送的復(fù)制信息被傳送給信息存儲服務(wù)器2的存儲部分221，所以存儲部分221在作為第二存儲裝置的硬盤24中存儲復(fù)制信息。圖7顯示了作為備份數(shù)據(jù)251存儲在硬盤24中的復(fù)制信息。
為了備份差異數(shù)據(jù)，即，但進(jìn)程控制部分121a指定差異數(shù)據(jù)的備份操作或用戶明確指令備份差異數(shù)據(jù)時(shí)，復(fù)制信息獲取部分122將表示備份差異數(shù)據(jù)的信息添加到復(fù)制信息并將其發(fā)送到存儲部分221。存儲部分221可以在硬盤24中存儲設(shè)置信息151和控制程序152和153作為完全數(shù)據(jù)，當(dāng)收到指令備份差異數(shù)據(jù)的信息時(shí)，差異提取部分222提取備份對象數(shù)據(jù)的差異數(shù)據(jù)，然后將復(fù)制信息存儲在硬盤24中。
換句話說，差異提取部分222比較從復(fù)制信息獲取部分122收到的復(fù)制信息和存儲在硬盤24中的備份數(shù)據(jù)251，并提取差異數(shù)據(jù)。
當(dāng)根據(jù)本地指令部分121的進(jìn)程功能周期性執(zhí)行備份處理時(shí)，例如，以每次存儲完全數(shù)據(jù)的方法，存儲在硬盤24中的備份數(shù)據(jù)251的質(zhì)量顯著增高。不僅最后的數(shù)據(jù)而且過去備份的數(shù)據(jù)也可被要求作為備份數(shù)據(jù)251。例如，可以接受請求設(shè)備1的設(shè)置信息返回到幾周前的狀態(tài)。另外，可以接受將試驗(yàn)和誤差改變的流程處方返回到2個(gè)月以前。
因而，在長時(shí)期內(nèi)在大量的點(diǎn)遺留備份數(shù)據(jù)251很有效，而硬盤24的容量不受限。因而，差異提取部分222提取復(fù)制信息和先前的備份數(shù)據(jù)251之間的差異數(shù)據(jù)并只在硬盤24中存儲差異數(shù)據(jù)。
因此，根據(jù)第一實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10在經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6連接到襯底加工設(shè)備1的信息存儲服務(wù)器2中周期性存儲設(shè)置信息151作為備份數(shù)據(jù)251，以控制襯底加工設(shè)備1和控制程序152和153的操作，以便用戶可不執(zhí)行復(fù)雜的備份操作。
尤其是，襯底加工設(shè)備1有根據(jù)用戶技術(shù)竅門更新的處方數(shù)據(jù)151a和調(diào)節(jié)設(shè)備1的設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c，同時(shí)在實(shí)際設(shè)置位置工作，因此，周期性備份這些處方數(shù)據(jù)151a和151c十分重要，以防止它們消失。
襯底加工設(shè)備1設(shè)在清潔的房間里，當(dāng)經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6連接的信息存儲服務(wù)器2設(shè)在清潔房間外時(shí)，備份處理所存儲的數(shù)據(jù)可以在清潔房間外被維護(hù)。
本實(shí)施例中，用戶可以經(jīng)襯底加工設(shè)備1的操作部分140手動(dòng)執(zhí)行備份處理，或者，信息服務(wù)器2經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)送用于備份處理的指令命令。因此用于備份處理的指令命令可以從清潔房間外發(fā)送。
信息存儲服務(wù)器2可不必設(shè)在襯底加工工廠4中?；蛘撸到y(tǒng)管理中心可設(shè)在襯底加工工廠4附近，經(jīng)專線傳送備份數(shù)據(jù)251。
根據(jù)上述處理，信息存儲服務(wù)器2周期性或在任意時(shí)間保存設(shè)置信息151和控制程序152和153的備份數(shù)據(jù)251。
包括在系統(tǒng)控制部分100中的恢復(fù)處理部分123從硬盤24取得備份數(shù)據(jù)251，用于恢復(fù)設(shè)置信息151和控制程序152和153。
可以在任何時(shí)候恢復(fù)設(shè)置信息151和控制程序152和153。例如，恢復(fù)設(shè)置信息151和控制程序152和153可以因硬件故障而消失，或用戶在維護(hù)操作時(shí)錯(cuò)誤地丟失數(shù)據(jù)。這種情況下，在非正?；謴?fù)時(shí)間恢復(fù)數(shù)據(jù)，用戶可以請求將設(shè)置信息151和控制程序152和153返回到過去的備份數(shù)據(jù)。
例如，用戶可以請求將更新以來操作襯底加工設(shè)備1的處方數(shù)據(jù)151a返回到先前的處方數(shù)據(jù)151a。另外，重新精細(xì)地控制傳送機(jī)器人TR的操作和更新教導(dǎo)數(shù)據(jù)的用戶可以請求將教導(dǎo)數(shù)據(jù)返回到先前狀態(tài)。
這種情況下，用戶經(jīng)襯底加工設(shè)備1的操作部分140輸入恢復(fù)處理的指令。更具體地說，用戶通過指定關(guān)于要恢復(fù)的數(shù)據(jù)的信息、恢復(fù)目標(biāo)等來指令恢復(fù)處理。因此，本地指令部分121將恢復(fù)指令命令發(fā)送到恢復(fù)處理部分123?；謴?fù)處理部分123參考存儲在信息存儲服務(wù)器2的硬盤24中的備份數(shù)據(jù)251，提取必須的信息和執(zhí)行恢復(fù)處理。
當(dāng)作為恢復(fù)處理的目標(biāo)而指定的設(shè)置信息151和控制程序152和153作為完全數(shù)據(jù)恢復(fù)時(shí)，恢復(fù)處理部分123提取同樣完全數(shù)據(jù)并將其存儲在系統(tǒng)控制部分100的存儲部分104中或單元控制部分115的存儲部分114中。
當(dāng)作為恢復(fù)處理的目標(biāo)而指定的設(shè)置信息151和控制程序152和153作為差異數(shù)據(jù)保留時(shí)，恢復(fù)處理部分123提取通過累積在備份差異數(shù)據(jù)的日期以前備份的完全數(shù)據(jù)和從完全數(shù)據(jù)和指定數(shù)據(jù)備份日期開始的差異數(shù)據(jù)而獲得的數(shù)據(jù)。因此，恢復(fù)處理部分123也恢復(fù)關(guān)于作為差異數(shù)據(jù)存儲的備份數(shù)據(jù)251的完全數(shù)據(jù)。
根據(jù)第一實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10中，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6與各襯底加工設(shè)備1連接的信息存儲服務(wù)器2存儲備份數(shù)據(jù)，從而可以在恢復(fù)處理中通過網(wǎng)絡(luò)6簡單地執(zhí)行恢復(fù)操作。因此，可以在短時(shí)間內(nèi)完成恢復(fù)操作，從而提高襯底加工設(shè)備1的工作效率。
如上所述，系統(tǒng)控制部分100的本地指令部分121發(fā)送處理命令，從而執(zhí)行備份處理。本地指令部分121根據(jù)進(jìn)度功能，或當(dāng)用戶經(jīng)襯底加工設(shè)備1的操作部分140輸入指令時(shí)發(fā)送備份處理命令。
根據(jù)第一實(shí)施例的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中，支持中心5的每個(gè)支持計(jì)算機(jī)3經(jīng)廣域網(wǎng)61連接到襯底加工設(shè)備1，也可能通過從支持計(jì)算機(jī)3遙控來執(zhí)行備份處理。
當(dāng)遙控襯底加工設(shè)備1的人員在支持中心5的支持計(jì)算機(jī)3中輸入備份處理指令時(shí)，遠(yuǎn)程指令部分321經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)送備份處理命令。當(dāng)備份處理命令被傳送到襯底加工設(shè)備1中的復(fù)制信息獲取部分122時(shí)，執(zhí)行類似于上述的處理。
當(dāng)支持中心5通過遙控執(zhí)行備份處理時(shí)，可以提供更易于接受的用戶支持系統(tǒng)。備份數(shù)據(jù)251可以被傳送給支持中心5。
2.第二實(shí)施例現(xiàn)在描述本發(fā)明的第二實(shí)施例。根據(jù)第二實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10的整體示意性結(jié)構(gòu)與圖1所示相同。襯底加工設(shè)備1的硬件結(jié)構(gòu)與參考圖2和3所述的第一實(shí)施例相同。各信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3的硬件結(jié)構(gòu)也與參考圖4所述的第一實(shí)施例相同。
與第一實(shí)施例類似，通過存儲在存儲部分104和存儲部分114中的控制程序152和153根據(jù)先前所述流程處方的程序來控制襯底加工設(shè)備1的操作?？刂瞥绦?52和153根據(jù)存儲在存儲部分104中的設(shè)置信息151控制襯底加工設(shè)備1。
設(shè)置信息151的內(nèi)容與圖5所示的第一實(shí)施例相同。然而，在參考第一實(shí)施例說明的那些以外，設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b包括很大量的數(shù)據(jù)種類。這些是每個(gè)襯底加工設(shè)備1初始化的信息，當(dāng)在大量數(shù)據(jù)中錯(cuò)誤設(shè)置了部分?jǐn)?shù)據(jù)內(nèi)容時(shí)，襯底加工設(shè)備1不能執(zhí)行計(jì)劃的操作。而有可能用設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c校正襯底加工設(shè)備1的操作，如果設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b未可靠地設(shè)為基本信息，這種校正極其復(fù)雜或不可能。因而，在襯底加工設(shè)備1的導(dǎo)入和重置中，必須正確地設(shè)置設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b。
圖9是顯示根據(jù)第二實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10的功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖。參考圖9，系統(tǒng)控制部分100的CPU101運(yùn)行維護(hù)程序154，從而實(shí)現(xiàn)基本數(shù)據(jù)請求部分1121、版本獲取部分1122和基本數(shù)據(jù)注冊部分1123作為處理部分。存儲部分104存儲維護(hù)程序154。
參考圖9，信息存儲服務(wù)器2的CPU21運(yùn)行維護(hù)程序252，從而實(shí)現(xiàn)基本數(shù)據(jù)請求部分1221作為處理部分。硬盤24存儲維護(hù)程序252。
參考圖9，支持計(jì)算機(jī)3的CPU31運(yùn)行維護(hù)程序351，從而實(shí)現(xiàn)基本數(shù)據(jù)設(shè)置部分作為處理部分。硬盤34存儲維護(hù)程序351。
基本數(shù)據(jù)請求部分1121是將對設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的發(fā)送請求從襯底加工設(shè)備1發(fā)送到支持中心5的功能部分。用戶指令經(jīng)設(shè)在襯底加工設(shè)備1上的操作部分140獲取設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b。相應(yīng)該指令，基本數(shù)據(jù)請求部分1121請求支持計(jì)算機(jī)3的基本數(shù)據(jù)設(shè)置部分1321發(fā)送設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b。
為了簡化操作員的輸入操作，顯示部分130可以顯示菜單以獲取設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b。當(dāng)根據(jù)向?qū)нM(jìn)行輸入操作時(shí)，可以減輕操作員的負(fù)擔(dān)。如果支持中心5有多個(gè)支持計(jì)算機(jī)3且請求發(fā)送設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的支持計(jì)算機(jī)3不固定，操作員就通過輸入操作指定支持計(jì)算機(jī)3發(fā)送設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b。
版本獲取部分1122是檢測控制程序152版本的功能部分，控制程序152控制整體的襯底加工設(shè)備1。襯底加工設(shè)備1請求支持計(jì)算機(jī)3發(fā)送設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b，設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的設(shè)置內(nèi)容隨控制襯底加工設(shè)備1的控制程序152的軟件版本而變化。因而，襯底加工設(shè)備1將控制程序152的軟件版本公布給支持計(jì)算機(jī)3，從而請求發(fā)送相應(yīng)于軟件版本的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b。
包括在信息存儲服務(wù)器2中的基本數(shù)據(jù)請求部分1221也包括與包括在襯底加工設(shè)備1中的基本數(shù)據(jù)請求部分1121類似的功能。當(dāng)操作員經(jīng)鍵盤26a或鼠標(biāo)26b在信息存儲服務(wù)器2中輸入用于基本數(shù)據(jù)的請求指令時(shí)，基本數(shù)據(jù)請求部分1221發(fā)送用于設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的發(fā)送請求指令。
然而，假設(shè)當(dāng)信息存儲服務(wù)器2請求發(fā)送設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b時(shí)，執(zhí)行指定注冊設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的襯底加工設(shè)備1的操作。這樣，信息存儲服務(wù)器2可以發(fā)送對關(guān)于設(shè)在襯底加工工廠4中的襯底加工設(shè)備1的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的發(fā)送請求?；緮?shù)據(jù)請求部分1221請求經(jīng)LAN41將軟件版本獲取到襯底加工設(shè)備1的版本獲取部分1122。因此，基本數(shù)據(jù)請求部分1221在指定軟件版本之后將對設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的發(fā)送請求發(fā)送到支持計(jì)算機(jī)3。
圖10顯示了存儲在支持計(jì)算機(jī)3的硬盤34中的多種版本的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b。設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的版本相應(yīng)于用于襯底加工設(shè)備1的控制程序152的版本。
根據(jù)第二實(shí)施例，當(dāng)相應(yīng)于控制整個(gè)襯底加工設(shè)備1的控制程序152的軟件版本管理設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b時(shí)，也可管理相應(yīng)于控制各加工單元的控制程序153的設(shè)備基本數(shù)據(jù)。這種情況下，系統(tǒng)控制部分100的版本獲取部分1122也檢測存儲在單元控制部分115的存儲部分114中的控制程序153的版本信息。
當(dāng)從基本數(shù)據(jù)請求部分1121(或基本數(shù)據(jù)請求部分1221)收到對設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的發(fā)送請求指令時(shí)，支持計(jì)算機(jī)3的基本數(shù)據(jù)設(shè)置部分1321獲取包括在發(fā)送請求指令數(shù)據(jù)中的控制程序152軟件版本，并從硬盤34提取相應(yīng)于該軟件版本的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b?；緮?shù)據(jù)設(shè)置部分1321將提取的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b發(fā)送到襯底加工設(shè)備1。
在襯底加工設(shè)備1中，基本數(shù)據(jù)注冊部分1123接收支持計(jì)算機(jī)3發(fā)送的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b，并存儲在存儲部分104中。因此，隨后，襯底加工設(shè)備1相應(yīng)于用于該襯底加工設(shè)備1的控制程序152初始化。
圖10顯示的狀態(tài)下，安裝有控制程序152版本1.0的襯底加工設(shè)備1A存儲設(shè)備基本數(shù)據(jù)(Ver1.0)，安裝有控制程序152版本2.0的襯底加工設(shè)備1B存儲設(shè)備基本數(shù)據(jù)(Ver2.0)。
因此，根據(jù)第二實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10可以容易地獲取設(shè)備基本數(shù)據(jù)152b和反映襯底加工設(shè)備1上的設(shè)備基本數(shù)據(jù)152b，設(shè)備基本數(shù)據(jù)152b是用于經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制襯底加工設(shè)備1的基本信息，從而，隨后，可以在相同襯底加工設(shè)備1上執(zhí)行穩(wěn)定的初始化操作。而且，當(dāng)在由相同軟件版本控制的多個(gè)襯底加工設(shè)備1上執(zhí)行初始化操作時(shí)，襯底加工設(shè)備1彼此統(tǒng)一地初始化。換句話說，多個(gè)襯底加工設(shè)備1的初始化狀態(tài)可以彼此同步。這樣，當(dāng)操作員手動(dòng)復(fù)制設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b時(shí)，就可能完全避免設(shè)備1之間設(shè)置造成的離差。
在每個(gè)襯底加工設(shè)備1中注冊設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b之后，各襯底加工設(shè)備1執(zhí)行固有調(diào)諧。隨后，根據(jù)從支持計(jì)算機(jī)3收到的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b和各設(shè)備2建立的設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c優(yōu)化控制各襯底加工設(shè)備1。
第二實(shí)施例中，當(dāng)支持計(jì)算機(jī)3確定安裝在襯底加工設(shè)備1中的控制程序152的軟件版本從而發(fā)送適當(dāng)?shù)脑O(shè)備基本數(shù)據(jù)151b時(shí)，如果各襯底加工設(shè)備1將其類型作為信息公布給支持計(jì)算機(jī)3，當(dāng)不同的襯底加工設(shè)備1混雜存在時(shí)，可能響應(yīng)各襯底加工設(shè)備1的類型發(fā)送設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b。
第二實(shí)施例中，當(dāng)支持計(jì)算機(jī)3管理對襯底加工設(shè)備1公共設(shè)置的設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b時(shí)，支持計(jì)算機(jī)3可以用管理設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c來代替它。如上所述，當(dāng)設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c是每個(gè)設(shè)備1固有的信息時(shí)，數(shù)據(jù)151c就可以不必在另一設(shè)備中直接應(yīng)用，用戶可以對另一設(shè)備1使用對某個(gè)襯底加工設(shè)備1設(shè)置的設(shè)備固有數(shù)據(jù)151c作為技術(shù)竅門。
第二實(shí)施例中，當(dāng)包括在系統(tǒng)控制部分100中的版本獲取部分1122自動(dòng)檢測控制程序152軟件版本時(shí)，功能部分就不重要了。如上所述，當(dāng)經(jīng)操作部分140輸入對設(shè)備基本數(shù)據(jù)151b的發(fā)送請求指令時(shí)，用戶可以指定設(shè)備1的軟件版本。為了避免人為誤差，版本獲取部分1122自動(dòng)檢測軟件版本更好。
3.第三實(shí)施例現(xiàn)在描述本發(fā)明的第三實(shí)施例。圖11示意性說明了根據(jù)第三實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10A的結(jié)構(gòu)。如圖11所示，襯底加工系統(tǒng)10A的這種結(jié)構(gòu)是包括在襯底加工工廠4中的多個(gè)加工設(shè)備1C和信息存儲服務(wù)器2；包括在支持中心5中的支持計(jì)算機(jī)3，這里，襯底加工設(shè)備1C的支持人員公布出來；和包括在元件中心7中的訂購接受服務(wù)器8，元件中心7將襯底加工設(shè)備1的元件供應(yīng)給襯底加工工廠4。多個(gè)加工設(shè)備1C和信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3和訂購接受服務(wù)器8都經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6互連。
襯底加工系統(tǒng)10A中，信息存儲服務(wù)器2累積描述裝配在襯底加工設(shè)備1C上的耗材(下文中，名詞“元件”指耗材)的耗損的耗損信息，以便支持計(jì)算機(jī)3可以經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6讀取所存儲的耗損信息。訂購接受服務(wù)器8接受經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6對元件的訂購。
襯底加工工廠4中，襯底加工設(shè)備1C和信息存儲服務(wù)器2經(jīng)LAN(局域網(wǎng))41互連。LAN41經(jīng)有路由器、防火墻等功能的連接器42連接到諸如因特網(wǎng)的廣域網(wǎng)61。支持中心5也有與支持計(jì)算機(jī)3連接的LAN51，該LAN51也經(jīng)有路由器、防火墻等功能的連接器52連接到諸如因特網(wǎng)的廣域網(wǎng)61。元件中心7也有與訂購接受服務(wù)器8連接的LAN71，該LAN71也經(jīng)有路由器、防火墻等功能的連接器72連接到諸如因特網(wǎng)的廣域網(wǎng)61。這樣，可以在襯底加工設(shè)備1C、信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3和訂購接受服務(wù)器8之間進(jìn)行多種數(shù)據(jù)通信。整個(gè)說明書中，LAN41、51和71以及廣域網(wǎng)61通常稱為網(wǎng)絡(luò)6。
參考圖11，或者，包括多個(gè)襯底加工設(shè)備1C的襯底加工工廠4可包括單個(gè)襯底加工設(shè)備1C?；蛘撸ǘ鄠€(gè)支持計(jì)算機(jī)3的支持中心5也可包括單個(gè)支持計(jì)算機(jī)3。而且，或者，元件中心7也可包括多個(gè)訂購接受服務(wù)器8。
現(xiàn)在，描述布置在襯底加工工廠4上的每個(gè)襯底加工設(shè)備1C。圖12是襯底加工設(shè)備1C的示意性平面圖。該襯底加工設(shè)備1C清洗襯底的前后表面。襯底加工設(shè)備1C包括分度器ID，當(dāng)收到加工的襯底時(shí)遞送來自載體的未加工襯底和將其存儲在載體中；表面清洗加工單元SS，使清洗刷與襯底表面接觸或在旋轉(zhuǎn)襯底時(shí)使前者接近后者，從而執(zhí)行襯底清洗加工；后表面清洗加工單元SSR，使清洗刷與襯底的后表面接觸或在旋轉(zhuǎn)襯底時(shí)使前者與后者接觸，從而執(zhí)行后表面清洗加工；和傳送機(jī)器人TR，在分度器ID和各清洗加工單元之間傳送襯底。襯底加工設(shè)備1C也包括表面反轉(zhuǎn)單元(未畫)。
圖13示意性說明了各表面清洗加工單元SS的結(jié)構(gòu)。表面清洗加工單元SS即所謂的旋轉(zhuǎn)洗滌器。旋轉(zhuǎn)卡盤13即所謂的真空卡盤，它真空吸住襯底W的后表面，從而水平保持襯底W。電動(dòng)機(jī)(未畫)的電動(dòng)機(jī)軸14掛在旋轉(zhuǎn)卡盤13下表面中央。電動(dòng)機(jī)經(jīng)電動(dòng)機(jī)軸14旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)卡盤13，從而旋轉(zhuǎn)其保持的襯底W。
繞襯底W布置杯15，以接收和恢復(fù)旋轉(zhuǎn)襯底W所散射的加工溶液。杯15用提升機(jī)構(gòu)(未畫)垂直移動(dòng)。當(dāng)垂直機(jī)構(gòu)將杯15向下移動(dòng)時(shí)，杯15的上端在旋轉(zhuǎn)卡盤13的下前方。這種狀態(tài)下，傳送機(jī)器人TR可以將襯底W引入到旋轉(zhuǎn)卡盤13中和從旋轉(zhuǎn)卡盤13釋放。當(dāng)向上移動(dòng)時(shí)，杯15包圍旋轉(zhuǎn)卡盤13所保持的襯底W，而杯15的上端位于襯底W的上前方。杯15向上移動(dòng)時(shí)清洗襯底W。
在刷臂12的前端裝配清洗刷11。刷臂12垂直移動(dòng)并可經(jīng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未畫)在水平平面上擺動(dòng)。當(dāng)在襯底W上執(zhí)行表面清洗加工時(shí)，刷臂12擺動(dòng)，同時(shí)使清洗刷11與襯底W表面接觸或使前者接近后者并旋轉(zhuǎn)襯底W，從而去除粘到襯底W表面的諸如顆粒的雜質(zhì)。每個(gè)后表面清洗加工單元SSR(結(jié)構(gòu)基本類似于表面清洗加工單元SS)都用所謂的機(jī)械夾來抓住襯底W的邊緣，從而水平保持襯底W，如旋轉(zhuǎn)卡盤13。第三實(shí)施例中，表面清洗加工單元SS和后表面清洗加工單元SSR通常指在襯底上執(zhí)行預(yù)定加工的加工單元110。
圖14是顯示用于襯底加工設(shè)備1C的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的框圖。如圖14所示，用于襯底加工設(shè)備1C的控制系統(tǒng)由控制襯底加工設(shè)備1C的系統(tǒng)控制部分100和分別控制多個(gè)加工單元110的單元控制部分115構(gòu)成。
以統(tǒng)一方式控制襯底加工設(shè)備1C的系統(tǒng)控制部分100包括微機(jī)。更具體地說，系統(tǒng)控制部分100包括CPU101，起主體部分作用；ROM102，起存儲基本程序等的只讀存儲器作用；RAM103，起主要定義運(yùn)算工作區(qū)域的隨機(jī)存取存儲器作用；存儲部分104，它包括硬盤等，存儲應(yīng)用程序數(shù)據(jù)等；和通信部分105，執(zhí)行與外部裝置的數(shù)據(jù)通信。它們用總線190彼此連接。
通信部分105經(jīng)網(wǎng)絡(luò)接口(未畫)連接到網(wǎng)絡(luò)6，以便襯底加工設(shè)備1C可以將多種數(shù)據(jù)傳送到信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3等或從信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3等接收多種數(shù)據(jù)。通信部分105可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6執(zhí)行有線通信或無線電通信，本實(shí)施例中使用有線通信系統(tǒng)。
和系統(tǒng)控制部分100和多個(gè)加工單元110一起，顯示部分130(顯示多種信息)、操作部分140(從操作員接受處方輸入操作和命令操作)、閱讀器150(從諸如磁盤或磁光盤等的記錄媒體91讀取多種數(shù)據(jù))也電連接到總線190。因此，數(shù)據(jù)可以在系統(tǒng)控制部分100的控制下經(jīng)總線190在襯底加工設(shè)備1C的各個(gè)部分之間傳送。
實(shí)踐中，每個(gè)加工單元110包括單元控制部分115以及襯底加工部分116，襯底加工部分116起加工襯底的工作部分(例如，旋轉(zhuǎn)襯底的機(jī)構(gòu)、將加工溶液釋放到襯底上的機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)清洗刷11的機(jī)構(gòu)等)的作用。單元控制部分115(單獨(dú)控制加工單元110)控制和監(jiān)控設(shè)有該單元控制部分115的加工單元110的襯底加工部分116的操作。換句話說，上述系統(tǒng)控制部分100負(fù)責(zé)統(tǒng)一控制整個(gè)襯底加工設(shè)備1C，而每個(gè)單元控制部分115負(fù)責(zé)控制響應(yīng)每個(gè)襯底加工部分116的加工內(nèi)容。單元控制部分115包括類似系統(tǒng)控制部分100的微機(jī)。更具體地說，單元控制部分115包括CPU111，起主體作用；ROM112，起存儲基本程序等的只讀存儲器的作用；RAM113，起主要定義運(yùn)算工作區(qū)域的隨機(jī)存取存儲器作用；存儲部分114，它包括用電池備份的SRAM，用于存儲多種數(shù)據(jù)。
各加工單元110還設(shè)有定時(shí)器117和計(jì)算器118。定時(shí)器117有測量諸如例如加工單元110的清洗刷11元件使用時(shí)間(換為新的清洗刷11后用于襯底加工的時(shí)間)的功能。當(dāng)加工單元110設(shè)有多個(gè)元件時(shí)，定時(shí)器117測量每個(gè)元件的使用時(shí)間。計(jì)算器118有計(jì)算諸如例如加工單元110的清洗刷11的元件加工的襯底數(shù)(換為新清洗刷11后加工的襯底數(shù))的功能。當(dāng)加工單元110設(shè)有多個(gè)元件時(shí)，計(jì)算器118測量每個(gè)元件的加工襯底數(shù)。
系統(tǒng)控制部分100的ROM102和存儲部分104預(yù)先存儲關(guān)于整體設(shè)備1C的系統(tǒng)控制程序。當(dāng)系統(tǒng)控制部分100的CPU101根據(jù)系統(tǒng)控制程序執(zhí)行運(yùn)算處理時(shí)，隨后，在整個(gè)襯底加工設(shè)備1C上實(shí)現(xiàn)操作控制和數(shù)據(jù)處理。單元控制部分115的ROM112和存儲部分114預(yù)先存儲響應(yīng)加工單元110的襯底加工部分116的加工內(nèi)容的單元控制程序。當(dāng)單元控制部分115的CPU111根據(jù)單元控制程序執(zhí)行運(yùn)算處理時(shí)，隨后在襯底加工部分116上實(shí)現(xiàn)操作控制和數(shù)據(jù)處理。
可以通過經(jīng)閱讀器150從記錄媒體91讀取或經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6從預(yù)定服務(wù)器存儲器等下載來獲取和更新這些程序。每個(gè)程序都有一個(gè)版本，當(dāng)更新程序時(shí)，改變用于識別版本的諸如數(shù)值的版本信息。系統(tǒng)控制部分100的存儲部分104存儲襯底加工設(shè)備1C運(yùn)行的每個(gè)程序的版本信息。
現(xiàn)在描述布置在襯底加工工廠4上的信息存儲服務(wù)器2、布置在支持中心5上的支持計(jì)算機(jī)3和布置在元件中心7上的訂購接受服務(wù)器8。信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3和訂購接受服務(wù)器8的硬盤結(jié)構(gòu)與普通計(jì)算機(jī)類似。因而，參考圖15，描述彼此類似的信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3和訂購接受服務(wù)器8的基本結(jié)構(gòu)。如圖15所示，通過將CPU21、31或81(CPU21用于信息存儲服務(wù)器2，CPU31用于支持計(jì)算機(jī)3，CPU81用于訂購接受服務(wù)器8這也應(yīng)用于下面的描述)、ROM22、32或82(存儲基本程序)和RAM23、33或83(存儲多種信息)連接到總線來形成信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3和訂購接受服務(wù)器8。硬盤24、34或84(存儲多種信息)、顯示器25、35或85(顯示多種信息)、鍵盤26a、36a或86a和鼠標(biāo)26b、36b或86b(從操作員接受輸入)、閱讀器27、37或87(從諸如光盤、磁盤或磁光盤的記錄媒體91讀取多種數(shù)據(jù))以及通信部分28、38或88(經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6與外部裝置通信)也適當(dāng)經(jīng)接口(I/F)等連接到總線。
各信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3和訂購接受服務(wù)器8可以經(jīng)閱讀器27、37或87從記錄媒體91讀取程序或?qū)⒊绦虼鎯υ谟脖P24、34或84里。各信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3和訂購接受服務(wù)器8也可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6從另一服務(wù)器下載程序和將其存儲在硬盤24、34或84里。CPU21、31或81根據(jù)存儲在硬盤24、34或84中的程序執(zhí)行運(yùn)算處理以執(zhí)行操作。換句話說，隨后，根據(jù)程序執(zhí)行運(yùn)算操作的結(jié)果是，信息存儲服務(wù)器2作為信息存儲服務(wù)器2執(zhí)行操作，支持計(jì)算機(jī)3作為支持計(jì)算機(jī)3執(zhí)行操作，訂購接受服務(wù)器8作為訂購接受服務(wù)器8執(zhí)行操作。
已經(jīng)描述了襯底加工系統(tǒng)10A、襯底加工設(shè)備1C和形成它們的信息存儲服務(wù)器2、支持計(jì)算機(jī)3和訂購接受服務(wù)器8，現(xiàn)在描述襯底加工系統(tǒng)10A的功能和加工內(nèi)容。圖16是顯示襯底加工系統(tǒng)10A功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖。圖17是顯示襯底加工系統(tǒng)10A中程序的流程圖。參考圖16，信息存儲服務(wù)器2的CPU21運(yùn)行處理程序，從而將耗損信息注冊部分231和信息公開部分236分別作為處理部分來實(shí)現(xiàn)，支持計(jì)算機(jī)3的CPU31運(yùn)行處理程序，從而將WEB瀏覽器312、報(bào)警部分313和訂購信號發(fā)送部分314分別作為處理部分來實(shí)現(xiàn)。
在圖17的步驟S1，測量襯底加工設(shè)備1C的元件耗損。測量每個(gè)加工單元110的耗損。根據(jù)本實(shí)施例，定時(shí)器117測量諸如清洗刷11的元件的使用時(shí)間作為耗損。單元控制部分115收集每個(gè)加工單元110測得的耗損并將其發(fā)送到系統(tǒng)控制部分100。系統(tǒng)控制部分100收集每個(gè)襯底加工設(shè)備1C測得的耗損并將襯底加工設(shè)備1C的每個(gè)元件耗損經(jīng)LAN41從通信部分105發(fā)送到信息存儲服務(wù)器2的耗損信息注冊部分231。
然后，過程進(jìn)行到圖17的步驟S2，所以耗損信息注冊部分231在硬盤24中注冊襯底加工設(shè)備1C的每個(gè)元件的耗損。硬盤24逐漸存儲襯底加工設(shè)備1C的每個(gè)元件耗損作為耗損信息241。
圖18說明了示例性耗損信息241。參考圖18，“設(shè)備”列顯示了分配給各襯底加工設(shè)備1C的識別號，“元件”列表示耗材名稱，“使用時(shí)間”和“加工襯底數(shù)”列表示耗損。本實(shí)施例應(yīng)用使用時(shí)間作為耗損，因此耗損信息241不描述加工襯底數(shù)。如圖18所示，耗損信息241累積關(guān)于布置在襯底加工工廠4上的每個(gè)襯底加工設(shè)備1C的每個(gè)元件的耗損。對于有設(shè)備號“8101”的襯底加工設(shè)備1C，例如，耗損信息241記錄設(shè)有“刷2”的清洗刷11的使用時(shí)間是12小時(shí)。定時(shí)器117以恒定間期測量每個(gè)元件的使用時(shí)間，耗損信息注冊部分231連續(xù)在硬盤24中登記測量結(jié)果，從而構(gòu)建耗損信息241。
信息公開部分236公開可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6讀取的信息存儲服務(wù)器2的硬盤24中累積的耗損信息241。支持中心5的人員可以經(jīng)WEB瀏覽器312通過從信息公開部分236獲取硬盤24中累積的耗損信息241和在顯示器35上顯示它來讀取耗損信息241，以確認(rèn)布置在襯底加工工廠4上的襯底加工設(shè)備1C的每個(gè)元件的耗損。因此，支持中心5可以有效地管理襯底加工設(shè)備1C的每個(gè)元件的耗損。經(jīng)WEB瀏覽器312規(guī)律地獲取耗損信息241。
支持計(jì)算機(jī)3的CPU31根據(jù)經(jīng)WEB瀏覽器312獲取的耗損信息241，確定襯底加工設(shè)備1C的元件耗損是否超過預(yù)設(shè)值(步驟S3)。CPU31對注冊在耗損信息241中的每個(gè)元件進(jìn)行該確定，即，對多個(gè)襯底加工設(shè)備1C的每個(gè)元件進(jìn)行確定。當(dāng)任何元件的耗損超過了預(yù)定值，即，當(dāng)使用時(shí)間超過了預(yù)定值時(shí)，過程進(jìn)行到步驟S4，所以報(bào)警部分313發(fā)出警報(bào)，提示更換元件。換句話說，報(bào)警部分313在硬盤24中累積的元件耗損達(dá)到預(yù)定值時(shí)發(fā)出警報(bào)提示更換元件。例如，可以在顯示器35上顯示警報(bào)或發(fā)出聲音。
維護(hù)襯底加工設(shè)備1C的人員可以通過提示更換的警報(bào)認(rèn)出元件達(dá)到其使用壽命。
第三實(shí)施例中，當(dāng)任何元件的耗損超過了預(yù)設(shè)值時(shí)，過程進(jìn)行到步驟S5，所以訂購信號發(fā)送部分314將對新元件的訂購信號發(fā)送到訂購接受服務(wù)器8。當(dāng)硬盤24中累積的耗損元件的耗損達(dá)到預(yù)定值時(shí)，訂購信號發(fā)送部分314將用于更換該元件的新元件訂購信號發(fā)送到訂購接受服務(wù)器8。
當(dāng)訂購接受服務(wù)器8收到訂購信號時(shí)，元件中心7立即將供應(yīng)新元件的處理送到襯底加工工廠4。步驟S4和S5彼此順序替換，或同時(shí)執(zhí)行。
根據(jù)第三實(shí)施例，隨后，當(dāng)襯底加工設(shè)備1C的任何元件損耗掉或損壞時(shí)，已經(jīng)在襯底加工工廠4預(yù)備了新元件，從而可立即更換該元件，元件更換造成的襯底加工設(shè)備1C停止時(shí)間可以最小化，以便可以防止設(shè)備1C工作效率顯著降低。
因而，如上所述的預(yù)定值最好恰設(shè)為元件耗損到要求更換而不能使用的狀態(tài)的值。當(dāng)任何元件在例如100小時(shí)的使用時(shí)間后不能使用時(shí)，將90小時(shí)的時(shí)期設(shè)為要求更換的值。每個(gè)元件的壽命可通過試驗(yàn)來獲得，計(jì)算要求更換的值，或可以用以上述方式從累積的耗損信息241推測而獲得要求更換的值。更具體地說，耗損信息241記錄每個(gè)元件的耗損，以便可以掌握元件不可使用時(shí)耗損。每個(gè)元件的壽命可以通過掌握導(dǎo)致多個(gè)元件不可使用狀態(tài)的耗損水平或?qū)ζ溥M(jìn)行推測處理來獲得，以便可以根據(jù)壽命來確定元件恰耗損到不可使用狀態(tài)之前的值(要求更換的值)。
第三實(shí)施例中，信息存儲服務(wù)器2布置在襯底加工工廠4中，本發(fā)明不限于此，但只要它可連接到網(wǎng)絡(luò)6，能與襯底加工設(shè)備1C和支持計(jì)算機(jī)3通信，信息存儲服務(wù)器2可以布置到任何地方。
第三實(shí)施例中，當(dāng)任何元件的耗損超過預(yù)定值時(shí)，同時(shí)執(zhí)行報(bào)警和訂購信號的發(fā)送，也可執(zhí)行二者之一。當(dāng)只執(zhí)行報(bào)警且支持中心5的支持人員意識到任何元件達(dá)到其壽命終點(diǎn)而用電子郵件等向元件中心7訂購新元件時(shí)，隨后，當(dāng)襯底加工設(shè)備1C損耗或損壞時(shí)，襯底加工工廠4準(zhǔn)備新元件，從而可以立即更換該元件，可以防止襯底加工設(shè)備1C工作效率顯著減低。
可既不執(zhí)行報(bào)警也不執(zhí)行訂購信號發(fā)送。這種情況下，隨后，支持中心5的支持人員監(jiān)控耗損信息241，確定更換時(shí)期和用電子郵件等向元件中心7訂購新元件。
第三實(shí)施例中，耗損信息241構(gòu)成為讓支持計(jì)算機(jī)3確定任何元件的耗損是否超過了預(yù)定值(要求更換的值)，或者，襯底加工設(shè)備1C的系統(tǒng)控制部分100可以直接將元件耗損發(fā)送到支持計(jì)算機(jī)3而無須構(gòu)成耗損信息241。
第三實(shí)施例中，當(dāng)使用時(shí)間用作耗損時(shí)，或者，加工襯底數(shù)可用作耗損。當(dāng)加工的襯底數(shù)用作耗損時(shí)，計(jì)算器118測量用諸如清洗刷11的任何元件加工的襯底數(shù)作為耗損。處理測量的耗損與上述使用時(shí)間相同。也在這種情況下，可以獲得類似于將使用時(shí)間用作耗損的情況下類似的效果?；蛘?，可以同時(shí)使用使用時(shí)間和加工襯底數(shù)作為耗損。這種情況下，當(dāng)使用時(shí)間和加工襯底數(shù)超過預(yù)設(shè)值時(shí)均可報(bào)警或發(fā)送對新元件的訂購信號。
而且，不僅是支持計(jì)算機(jī)3而且襯底加工設(shè)備1C或支持計(jì)算機(jī)3也可有報(bào)警功能和發(fā)送對新元件的訂購信號的功能。圖19是顯示設(shè)有襯底加工設(shè)備1C(有報(bào)警功能和發(fā)送元件訂購信號功能)的襯底加工系統(tǒng)10A的功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖。參考圖19，有與圖16相同功能的部件用相同的參考數(shù)字表示。參考圖19，系統(tǒng)控制部分100的CPU101運(yùn)行處理程序，從而實(shí)現(xiàn)訂購信號發(fā)送部分108和報(bào)警部分109，分別作為與圖16所示的訂購信號發(fā)送部分314和報(bào)警部分313起相同作用的處理部分。
這種情況下，系統(tǒng)控制部分100(嚴(yán)格來講，是CPU101)確定定時(shí)器117或計(jì)算器118測量的耗損是否超出了預(yù)定值(要求更換的值)，以便報(bào)警部分109從顯示部分130等給出警報(bào)或訂購信號發(fā)送部分108經(jīng)對新元件的訂購信號從通信部分105經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)送到訂購接受服務(wù)器8。這種情況下也可獲得類似于第三實(shí)施例的效果。
假設(shè)襯底加工設(shè)備1C在襯底上執(zhí)行清洗加工，在第三實(shí)施例中管理形成它的清洗刷11的耗損，本發(fā)明不限于此，也可以將根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)應(yīng)用到管理例如用光照射加熱襯底形成燈退火設(shè)備的燈耗損的情況。而且，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)也可用于管理用于驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)器人TR的皮帶、滾筒、電動(dòng)機(jī)等耗損的情況。
4.第四實(shí)施例現(xiàn)在描述本發(fā)明的第四實(shí)施例。根據(jù)第四實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10的整個(gè)結(jié)構(gòu)與圖1所示相同。然而，根據(jù)第四實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10中，每個(gè)支持計(jì)算機(jī)3將與各襯底加工設(shè)備1操作有關(guān)的教育信息經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)布給襯底加工設(shè)備1，在支持中心5公布遞送關(guān)于襯底加工設(shè)備1操作的講稿的人員。
襯底加工設(shè)備1的硬件結(jié)構(gòu)與參考圖2和3描述的第一實(shí)施例中的硬件結(jié)構(gòu)相同。而且，信息存儲服務(wù)器2和支持計(jì)算機(jī)3的硬件結(jié)構(gòu)也與參考圖4描述的第一實(shí)施例的硬件結(jié)構(gòu)相同。
圖20是顯示根據(jù)第四實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10的功能結(jié)構(gòu)的功能性框圖。參考圖20，系統(tǒng)控制部分100的CPU101運(yùn)行控制程序，從而實(shí)現(xiàn)發(fā)布請求部分2108作為處理部分，支持計(jì)算機(jī)3的CPU31運(yùn)行控制程序，從而實(shí)現(xiàn)發(fā)布部分2315作為處理部分。
包括在支持中心5中的支持計(jì)算機(jī)3內(nèi)的硬盤34存儲教育程序2341，以便分散部分2315可以從通信部分38經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)布關(guān)于襯底加工工廠4的各襯底加工設(shè)備1操作的教育信息。例如，可以使用流發(fā)布技術(shù)作為發(fā)布模式。通信部分105接收從支持計(jì)算機(jī)3發(fā)布的教育信息并將其顯示在顯示部分130上。
關(guān)于發(fā)布定時(shí)，教育信息可以同時(shí)發(fā)布到布置在確定襯底加工工廠4上的多個(gè)襯底加工設(shè)備1，無論存在/不存在來自襯底加工設(shè)備1的發(fā)布請求，或者，可以只發(fā)布到存在發(fā)布請求的襯底加工設(shè)備1。更具體地說，當(dāng)從操作部分140輸入發(fā)布請求命令時(shí)，發(fā)布請求部分2108將發(fā)布請求從通信部分105經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)送到支持計(jì)算機(jī)3。接收發(fā)布請求的支持計(jì)算機(jī)3的發(fā)布部分2315將教育信息從通信部分38經(jīng)網(wǎng)絡(luò)6發(fā)布給襯底加工設(shè)備1。
在將關(guān)于操作說明的講稿同時(shí)遞送給大量襯底加工工廠4的操作員時(shí)，教育信息可同時(shí)發(fā)布到多個(gè)襯底加工設(shè)備1。大量操作員可以用分配給各小組的襯底加工設(shè)備1來操作設(shè)備1和觀看顯示在顯示部分130上的教育信息的方法來學(xué)習(xí)。
在將關(guān)于操作說明的講稿遞送給部分不熟練的襯底加工工廠4操作員的情況下，操作員可以被公布給襯底加工設(shè)備1，它反過來產(chǎn)生發(fā)布請求以便教育信息只發(fā)布給該襯底加工設(shè)備1。操作員可以通過觀看顯示部分130上顯示的教育信息來學(xué)會(huì)操作設(shè)備1的方法。
在任何一種情況下，設(shè)備銷售者可以通過簡單地建立教育程序2341和將其存儲在支持計(jì)算機(jī)3中來遞送關(guān)于操作說明的講稿，而用戶可以在預(yù)期的時(shí)間反復(fù)保有關(guān)于操作說明的講稿，有效地教育操作員操作。
第四實(shí)施例中，支持計(jì)算機(jī)3存儲教育程序2341，以便支持中心5將教育信息經(jīng)因特網(wǎng)遞送給襯底加工設(shè)備1，或者，信息存儲服務(wù)器2可以起支持計(jì)算機(jī)3的作用。圖21是顯示根據(jù)第四實(shí)施例的襯底加工系統(tǒng)10另一示例性功能結(jié)構(gòu)的框圖。參考圖21，信息存儲服務(wù)器2的CPU21運(yùn)行控制程序，從而實(shí)現(xiàn)發(fā)布部分2215作為處理部分。
包括在信息存儲服務(wù)器2中的硬盤24存儲教育程序2241。信息存儲服務(wù)器2的CPU21讀取和運(yùn)行該2241，以便發(fā)布部分2215可以從通信部分28經(jīng)LAN41發(fā)布襯底加工工廠4的各襯底加工設(shè)備1的操作。發(fā)布的模式和定時(shí)類似于上述實(shí)施例。
而且，當(dāng)經(jīng)LAN41發(fā)布教育信息時(shí)，設(shè)備銷售者可以通過簡單地建立教育程序2241和將其存儲在信息存儲服務(wù)器2中來遞送關(guān)于操作說明的講稿，而用戶可以在預(yù)期的時(shí)間反復(fù)保有關(guān)于操作說明的講稿，有效地教育操作員操作。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)可用于任何襯底加工設(shè)備，諸如用光照射加熱襯底的燈退火設(shè)備，執(zhí)行去除顆粒的清洗加工同時(shí)旋轉(zhuǎn)襯底的清洗設(shè)備，或例如通過將襯底浸漬到加工溶液(諸如氫氟酸)中執(zhí)行表面加工的浸漬設(shè)備，在襯底上執(zhí)行預(yù)定加工。
雖然已顯示和詳細(xì)描述了本發(fā)明，上述描述都是說明性的而非限制。因而，可以理解，可以涉及大量修改和改變而不背離本發(fā)明的范圍。
權(quán)利要求
1.一種管理襯底加工設(shè)備的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，能經(jīng)網(wǎng)絡(luò)通信，包括a)第一存儲部件，存儲控制信息，用于控制襯底加工設(shè)備的操作；b)復(fù)制信息獲取部件，獲取存儲在所述第一存儲部件中的所述控制信息的復(fù)制信息；和c)存儲部件，在第二存儲部件中存儲用所述復(fù)制信息獲取部件獲取的所述復(fù)制信息，第二存儲部件包括在經(jīng)所述網(wǎng)絡(luò)連接到所述襯底加工設(shè)備的信息存儲計(jì)算機(jī)中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述控制信息包括用于控制所述襯底加工設(shè)備的控制程序。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述控制信息包括定義所述襯底加工設(shè)備所述操作的設(shè)置信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述設(shè)置信息包括基本信息，用于定義所述襯底加工設(shè)備的所述操作，和校正信息，添加到所述基本信息，用于優(yōu)化所述襯底加工設(shè)備的控制。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，還包括d)進(jìn)程控制部分，讓所述復(fù)制信息獲取部件周期性執(zhí)行獲取所述復(fù)制信息的處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的襯底加工設(shè)備，其中所述存儲部件包括c-1)提取所述復(fù)制信息獲取部件獲取的所述控制信息的所述復(fù)制信息和已存儲在所述第二存儲部件中的復(fù)制信息之間的差異信息，和c-2)在所述第二存儲部件中存儲所述差異信息的部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，還包括e)遙控計(jì)算機(jī)，經(jīng)廣域網(wǎng)與所述襯底加工設(shè)備連接，包括發(fā)送獲取所述復(fù)制信息的指令命令到所述復(fù)制信息獲取部件的遠(yuǎn)程指令部件。
8.一種經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接到預(yù)定計(jì)算機(jī)的襯底加工設(shè)備，包括a)第一存儲部件，存儲控制信息，用于控制所述襯底加工設(shè)備的操作；b)復(fù)制信息獲取部件，獲取存儲在所述第一存儲部件中的所述控制信息的復(fù)制信息；和c)發(fā)送部件，將所述復(fù)制信息獲取部件獲取的所述復(fù)制信息發(fā)送到所述計(jì)算機(jī)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的襯底加工設(shè)備，其中所述控制信息包括控制程序，用于控制所述襯底加工設(shè)備。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的襯底加工設(shè)備，其中所述控制信息包括設(shè)置信息，定義所述襯底加工設(shè)備的所述操作。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的襯底加工設(shè)備，其中所述設(shè)置信息包括基本信息，用于定義所述襯底加工設(shè)備的所述操作，和校正信息，添加到所述基本信息，用于優(yōu)化所述襯底加工設(shè)備的控制。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的襯底加工設(shè)備，還包括d)進(jìn)程控制部件，讓所述復(fù)制信息獲取部件周期性執(zhí)行獲取所述復(fù)制信息的處理。
13.一種襯底加工設(shè)備管理方法，用于管理襯底加工設(shè)備，包括步驟a)獲取控制信息的復(fù)制信息(存儲在包括在所述襯底加工設(shè)備中的第一存儲部件里)，用于控制所述襯底加工設(shè)備的操作；和b)將所述步驟a)獲取的所述復(fù)制信息存儲在包括在信息存儲計(jì)算機(jī)中的第二存儲部件里，信息存儲計(jì)算機(jī)經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接到所述襯底加工設(shè)備。
14.一種襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)使襯底加工設(shè)備和支持計(jì)算機(jī)互連，其中所述支持計(jì)算機(jī)包括a-1)第一存儲部件存儲所述襯底加工設(shè)備初始化所必須的基本信息，和a-2)基本信息發(fā)送部件將所述基本信息經(jīng)所述網(wǎng)絡(luò)發(fā)送到所述襯底加工設(shè)備，所述襯底加工設(shè)備包括b-1)第二存儲部件存儲從所述支持計(jì)算機(jī)收到的所述基本信息，和所述襯底加工設(shè)備的初始化狀態(tài)安裝有存儲在所述第二存儲部件中的所述基本信息。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述基本信息是對相同類型的襯底加工設(shè)備共有設(shè)置的信息。
16.根據(jù)權(quán)利要求15的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述基本信息是隨控制所述襯底加工設(shè)備的控制程序版本改變的信息，所述襯底加工設(shè)備還包括b-2)公布部件將安裝在所述襯底加工設(shè)備中的所述控制程序版本公布給所述支持計(jì)算機(jī)，和所述基本信息發(fā)送部件包括a-2-1)將相應(yīng)于所述襯底加工設(shè)備公布的所述控制程序版本的基本信息公布給所述襯底加工設(shè)備。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述襯底加工設(shè)備還包括b-3)指令所述支持計(jì)算機(jī)對所述基本信息的發(fā)送請求的部件。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述支持計(jì)算機(jī)還包括a-3)指令所述襯底加工設(shè)備發(fā)送所述基本信息的部件。
19.一種襯底加工設(shè)備，用作為初始化信息存儲在存儲部件中的基本信息控制，包括a)接收部件，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)從連接到所述襯底加工設(shè)備的計(jì)算機(jī)接收所述基本信息；和b)存儲部件，將收到的所述基本信息存儲在所述存儲部件中。
20.根據(jù)權(quán)利要求19的襯底加工設(shè)備，其中所述基本信息是相同類型的襯底加工設(shè)備共有設(shè)置的信息。
21.根據(jù)權(quán)利要求20的襯底加工設(shè)備，其中所述基本信息是隨控制所述襯底加工設(shè)備的控制程序版本變化的信息，所述襯底加工設(shè)備還包括c)公布部件，將安裝在所述襯底加工設(shè)備中的所述控制程序版本公布給所述計(jì)算機(jī)。
22.根據(jù)權(quán)利要求21的襯底加工設(shè)備，還包括d)指令所述計(jì)算機(jī)對所述基本信息的發(fā)送請求的部件。
23.一種管理襯底加工設(shè)備的襯底加工設(shè)備管理方法，襯底加工設(shè)備用基本信息來控制，基本信息作為初始化信息存儲在存儲部件中，該方法包括步驟a)從經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接到所述襯底加工設(shè)備的計(jì)算機(jī)接收所述基本信息；和b)將收到的所述基本信息存儲在所述存儲部件中。
24.一種有襯底加工設(shè)備的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)和一種管理所述襯底加工設(shè)備的計(jì)算機(jī)，它們都連接到網(wǎng)絡(luò)，其中所述襯底加工設(shè)備包括耗損測量部分，它測量所述襯底加工設(shè)備元件的耗損，所述襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)包括耗損信息累積部件，累積耗損測量部件測量的耗損；和耗損信息公開部件，使所述耗損信息累積部件中累積的所述耗損可經(jīng)網(wǎng)絡(luò)從所述計(jì)算機(jī)讀取。
25.根據(jù)權(quán)利要求24的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述耗損測量部件測量所述元件的使用時(shí)間作為所述耗損。
26.根據(jù)權(quán)利要求24的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述耗損測量部件測量用所述元件加工的襯底數(shù)作為所述耗損。
27.根據(jù)權(quán)利要求24的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述計(jì)算機(jī)包括報(bào)警部件，當(dāng)所述耗損信息累積部件中累積的所述元件的所述耗損達(dá)到預(yù)定值時(shí)，發(fā)出警報(bào)提示更換所述元件。
28.根據(jù)權(quán)利要求27的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中接受元件訂購的訂購接受服務(wù)器連接到所述網(wǎng)絡(luò)，和所述計(jì)算機(jī)還包括訂購信號發(fā)送部件，當(dāng)所述耗損信息累積部件中累積的所述元件的所述耗損達(dá)到預(yù)定值時(shí)，將關(guān)于更換新元件的訂購信號發(fā)送到所述訂購接受服務(wù)器。
29.一種有襯底加工設(shè)備的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)和一種管理所述襯底加工設(shè)備的計(jì)算機(jī)，它們都連接到網(wǎng)絡(luò)，其中所述多個(gè)襯底加工設(shè)備均包括耗損測量部件，測量所述襯底加工設(shè)備的元件耗損，所述襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，包括報(bào)警部件，當(dāng)所述元件的所述耗損達(dá)到預(yù)定值時(shí)發(fā)出警報(bào)以提示更換任一所述多個(gè)襯底加工設(shè)備的所述元件。
30.一種有襯底加工設(shè)備的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)、一種管理所述襯底加工設(shè)備的計(jì)算機(jī)和一種接受訂購所述襯底加工設(shè)備元件的訂購接受服務(wù)器，它們都連接到網(wǎng)絡(luò)，其中所述襯底加工設(shè)備包括耗損測量部件，測量所述襯底加工設(shè)備的所述元件的耗損，所述襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)包括訂購信號發(fā)送部件，當(dāng)所述襯底加工設(shè)備的所述元件的所述耗損達(dá)到預(yù)定值時(shí)，將用新元件更換所述元件的訂購信號發(fā)送到所述訂購接受服務(wù)器。
31.一種襯底加工設(shè)備管理方法，管理襯底加工設(shè)備元件的更換，該方法包括步驟測量所述襯底加工設(shè)備的所述元件的耗損；和當(dāng)所述襯底加工設(shè)備的所述元件的所述耗損達(dá)到預(yù)定值時(shí)，將用新元件更換所述元件的訂購信號發(fā)送到接受元件訂購的訂購接受服務(wù)器。
32.根據(jù)權(quán)利要求31的襯底加工設(shè)備管理方法，還包括當(dāng)所述襯底加工設(shè)備的所述元件的所述耗損達(dá)到所述預(yù)定值時(shí)，發(fā)出警報(bào)提示更換所述元件的步驟。
33.一種襯底加工設(shè)備，在襯底上執(zhí)行預(yù)定加工，包括耗損測量部件，測量所述襯底加工設(shè)備的元件耗損；和耗損信息發(fā)送部件，從所述襯底加工設(shè)備向外發(fā)送所述耗損測量部件測得的所述耗損。
34.一種襯底加工設(shè)備，在所述襯底上執(zhí)行預(yù)定加工，包括耗損測量部件，測量所述襯底加工設(shè)備的元件耗損；和訂購信號發(fā)送部件，當(dāng)所述元件的所述耗損達(dá)到預(yù)定值時(shí)，從所述襯底加工設(shè)備向外發(fā)送用新元件更換所述元件的訂購信號。
35.根據(jù)權(quán)利要求34的襯底加工設(shè)備，還包括報(bào)警部件，當(dāng)所述元件的所述耗損達(dá)到所述預(yù)定值時(shí)，發(fā)出警報(bào)提示更換所述元件。
36.一種襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)使多個(gè)襯底加工設(shè)備和計(jì)算機(jī)互連，其中所述計(jì)算機(jī)包括教育信息發(fā)布部件，經(jīng)所述網(wǎng)絡(luò)發(fā)布與所述多個(gè)襯底加工設(shè)備的操作有關(guān)的教育信息，和所述多個(gè)襯底加工設(shè)備均包括接收部件，接收從所述計(jì)算機(jī)發(fā)布的所述教育信息，和顯示部件，顯示所述接收部件收到的所述教育信息。
37.根據(jù)權(quán)利要求36的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述多個(gè)襯底加工設(shè)備中還都包括發(fā)布請求部件，請求所述計(jì)算機(jī)發(fā)布所述教育信息。
38.根據(jù)權(quán)利要求36的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述計(jì)算機(jī)同時(shí)將所述教育信息發(fā)布給多個(gè)襯底加工設(shè)備。
39.根據(jù)權(quán)利要求36的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述網(wǎng)絡(luò)是因特網(wǎng)。
40.根據(jù)權(quán)利要求36的襯底加工設(shè)備管理系統(tǒng)，其中所述網(wǎng)絡(luò)是局域網(wǎng)。
全文摘要
一種襯底加工設(shè)備和一種信息存儲服務(wù)器，經(jīng)網(wǎng)絡(luò)互連。襯底加工設(shè)備的存儲部分存儲設(shè)置信息和控制程序，根據(jù)設(shè)置信息和控制程序控制襯底加工設(shè)備的操作。襯底加工設(shè)備根據(jù)進(jìn)程發(fā)送備份指令命令。響應(yīng)該指令命令，襯底加工設(shè)備產(chǎn)生存儲在上述存儲部分中的指定信息的副本并將復(fù)制信息經(jīng)網(wǎng)絡(luò)發(fā)送到信息存儲服務(wù)器。信息存儲服務(wù)器將收到的復(fù)制信息存儲在硬盤中作為備份數(shù)據(jù)。信息存儲服務(wù)器也可以只存儲復(fù)制信息的差異數(shù)據(jù)。因此，可以有效備份用于控制襯底加工設(shè)備操作的信息。
文檔編號G05B19/418GK1404102SQ02142579
公開日2003年3月19日 申請日期2002年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月6日
發(fā)明者北本徹, 龜井謙治, 井上秀和, 濱田哲也 申請人:大日本屏影象制造株式會(huì)社