一種用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器的制造方法
【專(zhuān)利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及測(cè)控儀器的技術(shù)領(lǐng)域，特別是磁電傳感器的技術(shù)領(lǐng)域。
【【背景技術(shù)】】
[0002]微氣流檢測(cè)被廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)、氣密性測(cè)試等領(lǐng)域，微氣流的氣流影響非常微弱，極易受到外界環(huán)境的擾動(dòng)而無(wú)法辨識(shí)，所以對(duì)微氣流的檢測(cè)，不僅需要高精度的檢測(cè)儀器，還需要保證檢測(cè)環(huán)境的氣流不受影響，這對(duì)檢測(cè)儀器的使用造成了很大的障礙，所以有必要設(shè)計(jì)一種檢測(cè)裝置，能夠應(yīng)用到密閉空間而不影響對(duì)外信息交互和能量傳遞。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0003]本發(fā)明的目的就是解決現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題，提出一種用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器，能夠使傳感器的檢測(cè)部分位于密閉空間，使檢測(cè)環(huán)境無(wú)氣流干擾，且傳感器的檢測(cè)部分無(wú)能耗，非常適用于執(zhí)行長(zhǎng)期實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的任務(wù)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器，包括柔性膜架、軟性永磁片、超磁致伸縮薄膜、磁極導(dǎo)體和檢測(cè)導(dǎo)體;所述超磁致伸縮薄膜通過(guò)磁控濺射法在所述軟性永磁片的表面噴射堆積而成，所述軟性永磁片兩端分別粘貼在所述柔性膜架上，所述磁極導(dǎo)體具有兩根，分別設(shè)置在超磁致伸縮薄膜兩端處的柔性膜架上，所述檢測(cè)導(dǎo)體兩端對(duì)應(yīng)兩根磁極導(dǎo)體的外端;所述柔性膜架、軟性永磁片、超磁致伸縮薄膜、磁極導(dǎo)體組成傳感器檢測(cè)部分，位于密閉容器內(nèi)，所述柔性膜架的兩端設(shè)置有粘貼片，所述粘貼片設(shè)置在密閉容器的內(nèi)壁面上;所述檢測(cè)導(dǎo)體位于所述密閉容器的外壁面上，所述磁極導(dǎo)體與所述檢測(cè)導(dǎo)體通過(guò)磁場(chǎng)進(jìn)行連接;所述檢測(cè)導(dǎo)體上纏繞有感應(yīng)線圈，所述感應(yīng)線圈的兩端接到電流檢測(cè)設(shè)備上。
[0005]作為優(yōu)選，所述感應(yīng)線圈在檢測(cè)導(dǎo)體上的纏繞圈數(shù)η大于100圈。
[0006]作為優(yōu)選，所述超磁致伸縮薄膜的厚度大于0.5mm。
[0007]作為優(yōu)選，所述軟性永磁片的厚度小于所述超磁致伸縮薄膜的厚度。
[0008]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明通過(guò)將超磁致伸縮薄膜通過(guò)磁控濺射法堆積附著在軟性永磁片的表面，并通過(guò)柔性膜架進(jìn)行支撐，使得柔性膜架在收到微弱氣流的沖擊時(shí)，便會(huì)形成一定程度的彎折，從而使傳感器的檢測(cè)部分具有較高的靈敏度;通過(guò)設(shè)置在密閉容器內(nèi)部的磁極導(dǎo)體與設(shè)置在密閉容器外部的檢測(cè)導(dǎo)體之間進(jìn)行磁場(chǎng)連接，使得密閉容器內(nèi)外的傳感器部分無(wú)需線連接，被測(cè)區(qū)域可以得到完好的密閉，不會(huì)受到外界環(huán)境的干擾，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性;通過(guò)在檢測(cè)導(dǎo)體上纏繞大于100圈的感應(yīng)線圈，使得由于電磁感應(yīng)生成的電流大小能夠足夠達(dá)到電流檢測(cè)設(shè)備的最低檢測(cè)極限值，從而省去電流放大器等輔助器件的使用，降低成本和設(shè)備系統(tǒng)的復(fù)雜度。
[0009]本發(fā)明的特征及優(yōu)點(diǎn)將通過(guò)實(shí)施例結(jié)合附圖進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
【【附圖說(shuō)明】】
[0010]圖1是本發(fā)明用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器的主視圖；
[0011]圖2是本發(fā)明用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器實(shí)際應(yīng)用的示意圖。
[0012]圖中:1-柔性膜架、2-軟性永磁片、3-超磁致伸縮薄膜、4-磁極導(dǎo)體、5-粘貼片、6_密閉容器、7-檢測(cè)導(dǎo)體、8-感應(yīng)線圈。
【【具體實(shí)施方式】】
[0013]參閱圖1和圖2，本發(fā)明一種用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器，包括柔性膜架1、軟性永磁片2、超磁致伸縮薄膜3、磁極導(dǎo)體4和檢測(cè)導(dǎo)體7;所述超磁致伸縮薄膜3通過(guò)磁控濺射法在所述軟性永磁片2的表面噴射堆積而成，所述軟性永磁片2兩端分別粘貼在所述柔性膜架I上，所述磁極導(dǎo)體4具有兩根，分別設(shè)置在超磁致伸縮薄膜3兩端處的柔性膜架I上，所述檢測(cè)導(dǎo)體7兩端對(duì)應(yīng)兩根磁極導(dǎo)體4的外端;所述柔性膜架1、軟性永磁片2、超磁致伸縮薄膜
3、磁極導(dǎo)體4組成傳感器檢測(cè)部分，位于密閉容器6內(nèi)，所述柔性膜架I的兩端設(shè)置有粘貼片5，所述粘貼片5設(shè)置在密閉容器6的內(nèi)壁面上;所述檢測(cè)導(dǎo)體7位于所述密閉容器6的外壁面上，所述磁極導(dǎo)體4與所述檢測(cè)導(dǎo)體7通過(guò)磁場(chǎng)進(jìn)行連接;所述檢測(cè)導(dǎo)體7上纏繞有感應(yīng)線圈8，所述感應(yīng)線圈8的兩端接到電流檢測(cè)設(shè)備上。
[0014]所述感應(yīng)線圈8在檢測(cè)導(dǎo)體7上的纏繞圈數(shù)η大于100圈。
[0015]所述超磁致伸縮薄膜3的厚度大于0.5mm。
[0016]所述軟性永磁片2的厚度小于所述超磁致伸縮薄膜3的厚度。
[0017]本發(fā)明工作過(guò)程:
[0018]本發(fā)明一種用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器在工作過(guò)程中，將要檢測(cè)微氣流的空間在密閉容器6內(nèi)，粘貼片5粘貼在密閉容器6的內(nèi)壁上，微弱氣流對(duì)柔性膜架I的沖擊使得柔性膜架I發(fā)生變形，迫使軟性永磁片2與超磁致伸縮薄膜3受到變形，軟性永磁片2與超磁致伸縮薄膜3構(gòu)成一個(gè)磁回路，軟性永磁片2還經(jīng)過(guò)磁極導(dǎo)體4和檢測(cè)導(dǎo)體7構(gòu)成一個(gè)磁回路，當(dāng)超磁致伸縮薄膜3發(fā)生變形時(shí)，根據(jù)逆磁致伸縮效應(yīng)，內(nèi)部磁通量會(huì)發(fā)生變化，從而影響到另一個(gè)磁回路中的磁通量發(fā)生變化，從而使得感應(yīng)線圈8中檢測(cè)到感應(yīng)電流，可以計(jì)算出超磁致伸縮薄膜3中磁通量的變化情況，從而根據(jù)磁致伸縮材料的本構(gòu)方程計(jì)算出超磁致伸縮薄膜3的變形量，求得微弱氣流的參數(shù)。
[0019]本發(fā)明，通過(guò)將超磁致伸縮薄膜通過(guò)磁控濺射法堆積附著在軟性永磁片的表面，并通過(guò)柔性膜架進(jìn)行支撐，使得柔性膜架在收到微弱氣流的沖擊時(shí)，便會(huì)形成一定程度的彎折，從而使傳感器的檢測(cè)部分具有較高的靈敏度;通過(guò)設(shè)置在密閉容器內(nèi)部的磁極導(dǎo)體與設(shè)置在密閉容器外部的檢測(cè)導(dǎo)體之間進(jìn)行磁場(chǎng)連接，使得密閉容器內(nèi)外的傳感器部分無(wú)需線連接，被測(cè)區(qū)域可以得到完好的密閉，不會(huì)受到外界環(huán)境的干擾，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性；通過(guò)在檢測(cè)導(dǎo)體上纏繞大于100圈的感應(yīng)線圈，使得由于電磁感應(yīng)生成的電流大小能夠足夠達(dá)到電流檢測(cè)設(shè)備的最低檢測(cè)極限值，從而省去電流放大器等輔助器件的使用，降低成本和設(shè)備系統(tǒng)的復(fù)雜度。
[0020]上述實(shí)施例是對(duì)本發(fā)明的說(shuō)明，不是對(duì)本發(fā)明的限定，任何對(duì)本發(fā)明簡(jiǎn)單變換后的方案均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器，其特征在于:包括柔性膜架(I)、軟性永磁片(2)、超磁致伸縮薄膜(3)、磁極導(dǎo)體(4)和檢測(cè)導(dǎo)體(7);所述超磁致伸縮薄膜(3)通過(guò)磁控濺射法在所述軟性永磁片(2)的表面噴射堆積而成，所述軟性永磁片(2)兩端分別粘貼在所述柔性膜架(I)上，所述磁極導(dǎo)體(4)具有兩根，分別設(shè)置在超磁致伸縮薄膜(3)兩端處的柔性膜架(I)上，所述檢測(cè)導(dǎo)體(7)兩端對(duì)應(yīng)兩根磁極導(dǎo)體(4)的外端;所述柔性膜架(1)、軟性永磁片(2)、超磁致伸縮薄膜(3)、磁極導(dǎo)體(4)組成傳感器檢測(cè)部分，位于密閉容器(6)內(nèi)，所述柔性膜架(I)的兩端設(shè)置有粘貼片(5)，所述粘貼片(5)設(shè)置在密閉容器(6)的內(nèi)壁面上;所述檢測(cè)導(dǎo)體(7)位于所述密閉容器(6)的外壁面上，所述磁極導(dǎo)體(4)與所述檢測(cè)導(dǎo)體(7)通過(guò)磁場(chǎng)進(jìn)行連接;所述檢測(cè)導(dǎo)體(7)上纏繞有感應(yīng)線圈(8)，所述感應(yīng)線圈(8)的兩端接到電流檢測(cè)設(shè)備上。2.如權(quán)利要求1所述的用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器，其特征在于:所述感應(yīng)線圈(8)在檢測(cè)導(dǎo)體(7)上的纏繞圈數(shù)η大于100圈。3.如權(quán)利要求1所述的用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器，其特征在于:所述超磁致伸縮薄膜(3)的厚度大于0.5mm。4.如權(quán)利要求1所述的用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器，其特征在于:所述軟性永磁片(2)的厚度小于所述超磁致伸縮薄膜(3)的厚度。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于微氣流檢測(cè)的磁電傳感器，包括柔性膜架、軟性永磁片、超磁致伸縮薄膜、磁極導(dǎo)體和檢測(cè)導(dǎo)體；超磁致伸縮薄膜通過(guò)磁控濺射法在所述軟性永磁片的表面噴射堆積而成，軟性永磁片兩端分別粘貼在柔性膜架上，磁極導(dǎo)體具有兩根，分別設(shè)置在超磁致伸縮薄膜兩端處的柔性膜架上；位于密閉容器內(nèi)，所述柔性膜架的兩端設(shè)置有粘貼片，所述粘貼片設(shè)置在密閉容器的內(nèi)壁面上；所述檢測(cè)導(dǎo)體位于所述密閉容器的外壁面上，所述磁極導(dǎo)體與所述檢測(cè)導(dǎo)體通過(guò)磁場(chǎng)進(jìn)行連接；所述檢測(cè)導(dǎo)體上纏繞有感應(yīng)線圈。本實(shí)用新型能夠使傳感器的檢測(cè)部分位于密閉空間，使檢測(cè)環(huán)境無(wú)氣流干擾，且傳感器的檢測(cè)部分無(wú)能耗，非常適用于執(zhí)行長(zhǎng)期實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的任務(wù)。
【IPC分類(lèi)】G01L9/16, G01P13/00
【公開(kāi)號(hào)】CN205317811
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620067284
【發(fā)明人】繆雪峰
【申請(qǐng)人】繆雪峰
【公開(kāi)日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2016年1月22日