專利名稱：一種微型磁通門傳感器制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微型磁通門傳感器，具體涉及是一種弱磁場檢測傳感器。
(二)
背景技術(shù)：
磁通門傳感器分辨率高，測量弱磁場范圍寬,具有可靠、簡易、經(jīng)濟(jì)耐用,能夠直接測量磁 場的分量和適于在高速運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中使用等特點(diǎn)。近年來隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)以及 集成電路工藝的日益成熟，磁通門傳感器開始向集成化、微型化方向發(fā)展。
目前微型化的磁通門傳感器主要利用PCB工藝、CMOS工藝、MEMS工藝等技術(shù)實(shí)現(xiàn)。 上面所述的各種工藝制作的探頭結(jié)構(gòu)主要分為兩種， 一種是采用平面線圈結(jié)構(gòu)，另一種是采 用螺線管實(shí)現(xiàn)探頭的結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)都能實(shí)現(xiàn)磁通門傳感器的性能，但是由于受結(jié)構(gòu)工藝材 料所限，采用上述工藝實(shí)現(xiàn)的磁通門傳感器普遍存在靈敏度低，噪聲高，需要高頻激勵(lì)等特 點(diǎn)。從而限制其在磁測領(lǐng)域的應(yīng)用。
(三)
發(fā)明內(nèi)容
. 本發(fā)明的目的是提供一種可以在降低不對(duì)稱噪聲，保證高靈敏度的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)磁通門傳
感器微型化的微型磁通門傳感器制作方法。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的磁通門傳感器由骨架，磁芯，激勵(lì)線圈和感應(yīng)線圈構(gòu)成， 為雙芯對(duì)稱結(jié)構(gòu)，采用模具澆注的方法將磁芯和骨架一體化成型，然后在骨架上纏繞激勵(lì)線 圈，將骨架截?cái)喾聪虿⒃谝黄?，在兩骨架外面纏繞感應(yīng)線圈形成微型磁通門傳感器。
本發(fā)明還有這樣一些技術(shù)特征-
1、 所述的磁芯為鈷基納米晶軟磁絲，或磁導(dǎo)率高，磁飽和強(qiáng)度低的軟磁絲；
2、 所述的骨架釆用的澆注材料是E44收縮率小，且耐熱，耐酸堿，相對(duì)惰性的樹脂，骨 架模具由骨架固定端，線圈堵頭，堵頭對(duì)接處，線圈斷開處和線圈繞線柱構(gòu)成，傳感 器澆注傳感器模具時(shí)，用玻璃纖維和磁芯材料束在一起，放入模具內(nèi)，然后澆注；
3、 所述的采用模具澆注的方法時(shí)將一束玻璃纖維與鈷基納米晶軟磁絲束成一束，放入模
具內(nèi)，將樹脂配好比例，注入模具中，加溫成型，脫模，在脫模后的一體化骨架上纏
繞線圈，先在線圈繞線柱上纏繞激勵(lì)線圈，繞制圈數(shù)完成后，直接以同樣的繞制方向
在線圈繞線柱上繞制另一半激勵(lì)線圈，激勵(lì)線圈繞完之后，在線圈斷開處截?cái)喙羌埽?br> 將繞線柱倒過來，即將堵頭與堵頭的堵頭對(duì)接處對(duì)接，保證激勵(lì)線圈的反向纏繞和對(duì)
稱性，然后在兩激勵(lì)線圈的最外面，包上一層絕緣紙，繞制感應(yīng)線圈；感應(yīng)線圈繞制
完畢后，截?cái)嗑€圈固定端，完成磁通門傳感器的制作。本發(fā)明提供的是一種微型磁通門傳感器制作方法，將納米晶軟磁芯放入骨架模具內(nèi)，通 過澆注樹脂來制作一體化骨架，利用雙芯對(duì)稱結(jié)構(gòu)來做磁通門傳感器，由于采用模具制作骨 架，極大的提高了差分探頭的對(duì)稱度，.還能降低傳感器的尺寸，從而兼顧了靈敏度和微型化 兩方面的要求。
本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)在于1、保證磁通門傳感器高靈敏度；2、制作的磁通門傳感器體積??；3、 制作的磁通門傳感器低功耗；4、制作的磁通門傳感器成本低。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，因?yàn)椴捎媚?具制作傳感器骨架，兩個(gè)差分骨架一致性好，能降低因?yàn)閭鞲衅鞑粚?duì)稱帶來的噪聲，提高傳 感器的分辨率和精度，同時(shí)因?yàn)椴捎梦⑿湍＞邅碇谱鱾鞲衅鞴羌埽菀讓?shí)現(xiàn)傳感器的微型化， 大大降低傳感器的尺寸。
(四)


圖1為本發(fā)明傳感器結(jié)構(gòu)簡單框圖。
圖2為本發(fā)明模具結(jié)構(gòu)圖。
圖3為未纏繞感應(yīng)線圈傳感器示意圖。
圖4為雙磁芯結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明-
結(jié)合附圖，本實(shí)施例首先用有機(jī)溶劑清潔模具表面，然后將一束玻璃纖維與鈷基納米晶 軟磁絲束成一束，放入模具內(nèi)，將樹脂配好比例，注入模具中，加溫成型，脫模。在脫模后 的一體化成型的磁芯和骨架3上纏繞線圈，先在線圈繞線柱ll上纏繞激勵(lì)線圈1，繞制圈數(shù) 完成后，直接以同樣的繞制方向在線圈繞線柱9上繞制另一半激勵(lì)線圈1。激勵(lì)線圈繞完之 后，在線圈斷開處7截?cái)喙羌埽瑢⒗@線柱9倒過來，即將堵頭10與堵頭5的堵頭對(duì)接處12 對(duì)接，這樣就能保證激勵(lì)線圈的反向纏繞和對(duì)稱性，線圈堵頭6和線圈堵頭8在外端。然后 在兩激勵(lì)線圈的最外面，包上一層絕緣紙，繞制感應(yīng)線圈2。感應(yīng)線圈繞制完畢后，截?cái)嗑€ 圈固定端4，完成磁通門傳感器的制作。
權(quán)利要求
1、一種微型磁通門傳感器制作方法，磁通門傳感器由骨架，磁芯，激勵(lì)線圈和感應(yīng)線圈構(gòu)成，為雙芯對(duì)稱結(jié)構(gòu)，其特征在于采用模具澆注的方法將磁芯和骨架一體化成型，然后在骨架上纏繞激勵(lì)線圈，將骨架截?cái)喾聪虿⒃谝黄?，在兩骨架外面纏繞感應(yīng)線圈形成微型磁通門傳感器。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微型磁通門傳感器制作方法，其特征在于所述的磁芯為 鈷基納米晶軟磁絲，或磁導(dǎo)率高，磁飽和強(qiáng)度低的軟磁絲。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微型磁通門傳感器制作方法，其特征在于所述的骨架采 用的澆注材料是E44收縮率小，且耐熱，耐酸堿，相對(duì)惰性的樹脂，骨架模具由骨架固定端， 線圈堵頭，堵頭對(duì)接處，線圈斷開處和線圈繞線柱構(gòu)成，傳感器澆注傳感器模具時(shí)，用玻璃 纖維和磁芯材料束在一起，放入模具內(nèi)，然后澆注。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種微型磁通門傳感器制作方法，其特征在于所述的采用模 具澆注的方法時(shí)將一束玻璃纖維與鈷基納米晶軟磁絲束成一束，放入模具內(nèi)，將樹脂配好比 例，注入模具中，加溫成型，脫模，在脫模后的一體化骨架上纏繞線圈，先在線圈繞線柱上 纏繞激勵(lì)線圈，繞制圈數(shù)完成后，直接以同樣的繞制方向在線圈繞線柱上繞制另一半激勵(lì)線 圈，激勵(lì)線圈繞完之后，在線圈斷開處截?cái)喙羌?，將繞線柱倒過來，即將堵頭與堵頭的堵頭 對(duì)接處對(duì)接，保證激勵(lì)線圈的反向纏繞和對(duì)稱性，然后在兩激勵(lì)線圈的最外面，包上一層絕 緣紙，繞制感應(yīng)線圈；感應(yīng)線圈繞制完畢后，截?cái)嗑€圈固定端，完成磁通門傳感器的制作。
全文摘要
本發(fā)明提供的是一種微型磁通門傳感器制作方法。磁通門傳感器由骨架，磁芯，激勵(lì)線圈和感應(yīng)線圈構(gòu)成，為雙芯對(duì)稱結(jié)構(gòu)，采用模具澆注的方法將磁芯和骨架一體化成型，然后在骨架上纏繞激勵(lì)線圈，將骨架截?cái)喾聪虿⒃谝黄?，在兩骨架外面纏繞感應(yīng)線圈形成微型磁通門傳感器。本發(fā)明采用模具澆注的方法將磁芯和骨架一體化成型，然后在骨架上纏繞激勵(lì)線圈，將骨架截?cái)喾聪虿⒃谝黄?，在兩骨架外面纏繞感應(yīng)線圈形成微型磁通門傳感器。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，因?yàn)椴捎媚＞咧谱鱾鞲衅鞴羌?，兩個(gè)差分骨架一致性好，能降低因?yàn)閭鞲衅鞑粚?duì)稱帶來的噪聲，提高傳感器的分辨率和精度，同時(shí)因?yàn)椴捎梦⑿湍＞邅碇谱鱾鞲衅鞴羌?，容易?shí)現(xiàn)傳感器的微型化，大大降低傳感器的尺寸。
文檔編號(hào)G01R33/04GK101672901SQ20081013706
公開日2010年3月17日 申請(qǐng)日期2008年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月5日
發(fā)明者劉曉為, 董長春, 陳偉平 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)