，提高激光干涉儀的測(cè)量精度。
[0020]本申請(qǐng)的激光干涉儀結(jié)構(gòu)以及標(biāo)定方法，在最強(qiáng)相長干涉時(shí)，改變測(cè)量環(huán)境，記錄標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)和標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)形成最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫，在實(shí)際測(cè)量過程中，如果存在由于環(huán)境因素而導(dǎo)致干涉測(cè)量光電探測(cè)器組不能夠正常檢測(cè)到最強(qiáng)相長干涉時(shí)，可以根據(jù)標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)和標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)與最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)進(jìn)行比對(duì)，如果存在有匹配數(shù)據(jù)，則該位置為最強(qiáng)相長干涉，如此使得本申請(qǐng)的激光干涉儀實(shí)現(xiàn)抗環(huán)境干擾的能力。
[0021]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，還包括有步驟四、生成最弱干涉數(shù)據(jù)庫:在空氣潔凈的環(huán)境下控制所述微動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)，當(dāng)射向所述標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器的干涉光束為最弱相消干涉時(shí)固定所述微動(dòng)平臺(tái)，記錄此時(shí)標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)和標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)，改變空氣環(huán)境使所述標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)變化，同時(shí)記錄若干個(gè)標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)以及對(duì)應(yīng)的標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)，得到最弱干涉數(shù)據(jù)庫。
[0022]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，重復(fù)所述步驟四，每次選取不同的標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器和標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器，得到z個(gè)最弱干涉數(shù)據(jù)庫。
[0023]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，還包括有步驟五、生成l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫，η為大于或等2的正整數(shù)，在空氣潔凈的環(huán)境下控制所述微動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)，當(dāng)射向所述標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器的干涉光束為最強(qiáng)相長干涉時(shí)，再繼續(xù)移動(dòng)1/2η波長的距離，記錄此時(shí)標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)和標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)，然后改變空氣環(huán)境使所述標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)變化，同時(shí)記錄若干個(gè)所述標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)以及對(duì)應(yīng)的標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)，得到l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫。
[0024]在兩束激光發(fā)生干涉時(shí)，相鄰的最強(qiáng)相長干涉與最弱相消干涉之間的光程差為半個(gè)波長，在本申請(qǐng)的標(biāo)定方法中，對(duì)最強(qiáng)相長干涉、最弱相消干涉、l/η波長干涉都進(jìn)行了標(biāo)定，也就是說，在采用本申請(qǐng)的激光干涉儀進(jìn)行實(shí)際測(cè)量時(shí)，可以根據(jù)標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)和標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器讀數(shù)與最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫、最弱干涉數(shù)據(jù)庫、l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)進(jìn)行比對(duì)，根據(jù)數(shù)據(jù)的匹配情況確定該位置是最強(qiáng)相長干涉、最弱相消干涉還是l/η波長干涉。使得本申請(qǐng)的激光干涉儀不僅能夠抗環(huán)境干擾，而且還提高了測(cè)量精度。
[0025]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，重復(fù)所述步驟五，每次選取不同的標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器和標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器，得到z個(gè)l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫。
[0026]本實(shí)用新型還公開了一種采用上述激光干涉儀以及標(biāo)定方法的測(cè)量方法，
[0027]—種采用對(duì)比式抗干擾微動(dòng)階梯平面反射鏡激光干涉儀和標(biāo)定方法的測(cè)量方法:
[0028]在實(shí)際測(cè)量環(huán)境中，設(shè)所述標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器測(cè)量到的信號(hào)讀數(shù)為X，所述標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器測(cè)量得到的信號(hào)讀數(shù)為y，將X值和1值在最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫、最弱干涉數(shù)據(jù)庫、l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫中進(jìn)行比對(duì)，當(dāng)X值和y值與最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫中的某一組值相匹配，則認(rèn)為此位置為最強(qiáng)相長干涉位置，當(dāng)X值和1值與最弱干涉數(shù)據(jù)庫中的某一組值相匹配，則認(rèn)為此位置為最弱相消干涉位置，當(dāng)X值和1值與l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫中的某一組值相匹配，則認(rèn)為此位置為l/η波長干涉位置。
[0029]本申請(qǐng)的測(cè)量方法，通過X值和y值確定當(dāng)前干涉光束的干涉情況，以此實(shí)現(xiàn)抗環(huán)境干擾的能力，同時(shí)還提高了測(cè)量精度。
[0030]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，設(shè)定y值的匹配閾值Λ，設(shè)最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫、最弱干涉數(shù)據(jù)庫、l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫中標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器對(duì)應(yīng)的數(shù)值為r，根據(jù)X值對(duì)最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫、最弱干涉數(shù)據(jù)庫、l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫進(jìn)行y’的查詢，如果存在y’使| y-y’ |〈Λ，再區(qū)分y’所在的數(shù)據(jù)庫，如果y’在最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫內(nèi)，則認(rèn)為此位置為最強(qiáng)相長干涉位置，如果y’在最弱干涉數(shù)據(jù)庫內(nèi)，則認(rèn)為此位置為最弱相消干涉位置，如果y’在l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫內(nèi)，則認(rèn)為此位置為l/η波長干涉位置。
[0031]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，設(shè)最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫、最弱干涉數(shù)據(jù)庫、l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫中標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器對(duì)應(yīng)的數(shù)值為X’，在實(shí)際測(cè)量中，選擇最接近實(shí)際測(cè)量值X的X’作為匹配值，根據(jù)X’值對(duì)最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫、最弱干涉數(shù)據(jù)庫、l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫進(jìn)行y’進(jìn)行查詢，如果存在y’使|y_y’ |〈 Λ，再區(qū)分y’所在的數(shù)據(jù)庫，如果y’在最強(qiáng)干涉數(shù)據(jù)庫內(nèi)，則認(rèn)為此位置為最強(qiáng)相長干涉位置，如果y’在最弱干涉數(shù)據(jù)庫內(nèi)，則認(rèn)為此位置為最弱相消干涉位置，如果1，在l/η波長干涉數(shù)據(jù)庫內(nèi)，則認(rèn)為此位置為l/η波長干涉位置。
[0032]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述匹配閾值Λ的大小保證在進(jìn)行數(shù)據(jù)查詢時(shí)，當(dāng)滿足y-y’ |〈Λ時(shí)，y’為唯一值。當(dāng)匹配閾值Λ較大時(shí)，可能會(huì)出現(xiàn)一組χ值和y值匹配到兩組或者多組X’值和y’值，給測(cè)量帶來不便，所以先匹配閾值Λ，使在測(cè)量過程中一組χ值和y值最多匹配一組χ’值和y’值，方便測(cè)量。
[0033]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，所述匹配閾值Λ的大小按照實(shí)際測(cè)量的精度要求進(jìn)行設(shè)定，當(dāng)需要高精度的測(cè)量值時(shí)，采用較小的匹配閾值，當(dāng)不需要高精度測(cè)量值時(shí)，采用較大的匹配閾值。
[0034]作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，設(shè)Λ= 5%。
[0035]在本申請(qǐng)的測(cè)量方法中，通過設(shè)置匹配閾值Λ，根據(jù)實(shí)際測(cè)量精度的需要設(shè)置匹配閾值Λ的大小，以此方便測(cè)量過程中，數(shù)據(jù)的匹配選擇，降低測(cè)量難度。
[0036]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果:
[0037]本申請(qǐng)的對(duì)比式抗干擾微動(dòng)階梯平面反射鏡激光干涉儀，首先通過設(shè)置多光束、微動(dòng)階梯平面反射鏡以及角反射鏡提高激光干涉儀的測(cè)量精度，同時(shí)通過設(shè)置反射測(cè)量光電探測(cè)器，激光干涉測(cè)量環(huán)境發(fā)生變化后，可以通過對(duì)移動(dòng)平面反射鏡反射激光強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量，激光干涉狀態(tài)不再直接由干涉測(cè)量光電探測(cè)器組的信號(hào)大小確定，而是由反射測(cè)量光電探測(cè)器與干涉測(cè)量光電探測(cè)器組共同決定，可以大大提高激光干涉儀的抗干擾能力。
[0038]本申請(qǐng)其他實(shí)施方案的有益效果:
[0039]本申請(qǐng)的激光干涉儀，不僅能夠確定最強(qiáng)相長干涉的位置，而且還能夠確定最弱相消干涉的位置及l(fā)/η波長干涉位置，所以，使得本申請(qǐng)的激光干涉儀不僅能夠抗環(huán)境干擾，而且還提高了測(cè)量精度；并且，本申請(qǐng)的測(cè)量方法、標(biāo)定方法、多光束激光源、微動(dòng)階梯平面反射鏡之間相互配合，進(jìn)一步的提高了本申請(qǐng)激光干涉儀的測(cè)量精度。
【附圖說明】
:
[0040]圖1為本實(shí)用新型激光干涉儀結(jié)構(gòu)的光路示意圖；
[0041]圖2為移動(dòng)平面反射鏡移動(dòng)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖，
[0042]圖中標(biāo)記:
[0043]1-激光源，2-微動(dòng)階梯平面反射鏡，3-移動(dòng)平面反射鏡，4-干涉測(cè)量光電探測(cè)器組，5-分光鏡組，6-反射測(cè)量光電探測(cè)器組，7-第一激光束組，8-第二激光束組，9-反射激光束組，10-微動(dòng)平臺(tái)，21-反射平面，41-干涉測(cè)量光電探測(cè)器，41a-標(biāo)定干涉測(cè)量光電探測(cè)器，51-第一分光鏡，52-第二分光鏡，61-反射測(cè)量光電探測(cè)器，61a-標(biāo)定反射測(cè)量光電探測(cè)器。
【具體實(shí)施方式】
[0044]下面結(jié)合試驗(yàn)例及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。但不應(yīng)將