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檢測(cè)設(shè)備的制造方法_3

文檔序號(hào):9162934閱讀:來源:國(guó)知局
頭的第一顯微熒光計(jì)的自動(dòng)聚焦模塊可被配置 成整合來自用于設(shè)備的第二顯微熒光計(jì)的自動(dòng)聚焦模塊的數(shù)據(jù)。這樣,用于第一顯微熒光 計(jì)的自動(dòng)聚焦模塊可以基于所感知的第一顯微熒光計(jì)的焦點(diǎn)位置和所感知的第二顯微熒 光計(jì)的焦點(diǎn)位置改變第一顯微熒光計(jì)的焦點(diǎn)。因此,用于自動(dòng)聚焦模塊的檢測(cè)器可以以通 常專用于在讀取頭上聚焦的這樣一種方式被配置而不被配置成用于分析影像采集。來自兩 個(gè)不同的自動(dòng)聚焦模塊的信息可用于確定讀取頭的尖端傾斜??梢曰诩舛藘A斜信息通過 一個(gè)或多個(gè)顯微熒光計(jì)的補(bǔ)償驅(qū)動(dòng)糾正不希望的尖端傾斜。
[0098] 盡管關(guān)于導(dǎo)向螺桿電機(jī)對(duì)自動(dòng)聚焦進(jìn)行了示例,應(yīng)當(dāng)理解,可以使用使用了其他 驅(qū)動(dòng)形式的自動(dòng)聚焦模塊,包括例如,使用壓電電機(jī)或音圈電機(jī)代替上文所示例的導(dǎo)向螺 桿電機(jī)的那些自動(dòng)聚焦模塊。
[0099] 讀取頭可以包括例如被附接到支架上的兩個(gè)或多于兩個(gè)顯微熒光計(jì)。對(duì)于利用多 通道流動(dòng)池的實(shí)施例,讀取頭可以包括對(duì)應(yīng)于流動(dòng)池中的通道的數(shù)量的多個(gè)顯微熒光計(jì)。 如前面由圖4的實(shí)例所展示的,每個(gè)流動(dòng)池通道可以存在一個(gè)以上的顯微熒光計(jì)。在特定 的實(shí)施例中,讀取頭可以對(duì)每個(gè)流動(dòng)通道提供單個(gè)顯微熒光計(jì)。在圖6A所示的示例性布置 中,流動(dòng)池具有四個(gè)通道,并且讀取頭具有四個(gè)顯微熒光計(jì)。該圖示出了流動(dòng)池和顯微熒光 計(jì)的物鏡的頂部平面圖。為了便于展示,除了物鏡沒有示出顯微熒光計(jì)的部件;然而,那些 部件可以被定位成實(shí)現(xiàn)緊湊的設(shè)計(jì),例如,沿著本文其他地方所示例的連線。如圖6A所示, 四個(gè)物鏡可以按線性關(guān)系進(jìn)行布置,使得物鏡被緊密地堆積并且一條假想直線穿過每個(gè)物 鏡的中心點(diǎn)。假想線可相對(duì)于y維度偏移一定角度,y維度對(duì)應(yīng)于流動(dòng)池的最長(zhǎng)維度(或 掃描的方向)。所述角度在x-y象限中可以在0°和90°之間,并且可以被選擇以適應(yīng)流動(dòng) 池中的通道的間隔(以及讀取頭中的物鏡的間隔)。圖6A示出了穿過密集堆積的物鏡的連 線的相對(duì)較低的角度偏移,其適應(yīng)相對(duì)緊密堆積的通道??梢允褂幂^高的角度偏移以適應(yīng) 彼此以較大距離間隔開的通道或較不密集堆積的物鏡。
[0100] 圖6B示出了成兩行的多個(gè)物鏡的布置。這里流動(dòng)池包括八個(gè)通道并且讀取頭具 有八個(gè)顯微熒光計(jì)。成兩行的物鏡的整體堆積近似為直線形。該布置適應(yīng)密集堆積的物鏡 和兩組密集堆積的通道(即,四個(gè)密集堆積的第一組通道和四個(gè)密集堆積的第二組通道)。 在該實(shí)例中,兩組密集堆積的通道以比將四個(gè)一組的每組中的單獨(dú)的通道間隔開的間距更 大的間距間隔開。應(yīng)當(dāng)理解,成兩行的物鏡的整體堆積可以偏離直線形,以適應(yīng)不同的通道 布置。此外,如所述的,相對(duì)于單行的物鏡,可以改變穿過兩行物鏡的中心的假想線的偏移 角度和/或可以改變物鏡之間的距離以適應(yīng)不同的通道布置。
[0101] 圖7展示了多個(gè)物鏡的布置,其中穿過物鏡的中心的假想線相對(duì)于流動(dòng)池的最長(zhǎng) 維度(或掃描的方向)成90°的角度。假想線沿著X軸延伸。在該實(shí)例中,物鏡為兩排, 并且它們是六邊形堆積的。六邊形堆積提供在x-y平面內(nèi)最緊湊的優(yōu)點(diǎn)。讀取頭顯示為具 有六個(gè)物鏡,并且流動(dòng)池具有六個(gè)通道。應(yīng)當(dāng)理解,類似的布置可用于僅具有四個(gè)物鏡的讀 取頭或用于具有多于六個(gè)物鏡(例如,如圖8、圖9和圖13中所示的八個(gè)物鏡)的讀取頭。 通過視覺比較顯然可見,流動(dòng)池通道在圖7的布置中比在圖6的布置中間隔地更開。然而, 在兩種情況下的通道的間隔在有用和方便的范圍內(nèi),例如,用于核酸測(cè)序應(yīng)用。
[0102] 如圖6和圖7的實(shí)例所展示的,讀取頭中的每個(gè)物鏡可被定位成對(duì)單個(gè)流動(dòng)通道 的至少一部分進(jìn)行成像。每個(gè)物鏡可被定位成對(duì)具有幾個(gè)通道的流動(dòng)池的唯一的一個(gè)通道 進(jìn)行成像。例如,當(dāng)位于特定的y-平臺(tái)位置時(shí),單個(gè)物鏡可被定位成對(duì)唯一的一個(gè)通道的 一部分進(jìn)行成像。在y維度上進(jìn)行掃描可以允許通道的全部或部分通過物鏡被成像。在一 些情況下,例如當(dāng)在物鏡(或顯微熒光計(jì)的其他限制性的光學(xué)部件)的視場(chǎng)直徑比所述通 道的寬度小時(shí),還可以在X維度上掃描物鏡以對(duì)通道的全部或部分進(jìn)行成像??梢远ㄎ欢?個(gè)物鏡和它們各自的顯微熒光計(jì),使得其中幾個(gè)物鏡被定位成各自獲取唯一的一個(gè)通道的 至少一部分的影像。當(dāng)然,在y和/或X方向上可以發(fā)生包含多個(gè)物鏡及其各自的顯微熒 光計(jì)的讀取頭的移動(dòng),以對(duì)每個(gè)相應(yīng)的通道的全部或部分進(jìn)行成像。這些特定的配置可用 于如以上所示例的多通道流動(dòng)池。然而,應(yīng)當(dāng)理解,以上所述的配置和基本原理可以應(yīng)用于 幾個(gè)單獨(dú)的流動(dòng)池的適當(dāng)布置,每個(gè)單獨(dú)的流動(dòng)池僅具有單個(gè)通道。此外,如通常對(duì)于本文 所述的方法和設(shè)備的情況,所述布置可以應(yīng)用于基板而不是流動(dòng)池。
[0103] 圖8中示出了具有八個(gè)顯微熒光計(jì)的布置的讀取頭1000的透視圖。每個(gè)顯微熒 光計(jì)具有類似于圖3所示的緊湊的設(shè)計(jì)。為了便于展示,在圖8中標(biāo)記了僅一個(gè)顯微熒光 計(jì)的部件并且將在此進(jìn)行描述。然而,如圖8可見,顯微熒光計(jì)中的每一個(gè)具有相似的部件 和配置。在每個(gè)顯微熒光計(jì)中存在兩個(gè)激勵(lì)源,包括綠色發(fā)光二極管1040和紅色發(fā)光二 極管1030。來自這些發(fā)光二極管的激勵(lì)光分別穿過綠色發(fā)光二極管聚光透鏡1075和紅色 發(fā)光二極管聚光透鏡1076。發(fā)光二極管折疊鏡1074將綠色激勵(lì)輻射反射至組合器二色鏡 1073,該組合器二色鏡1073將綠色激勵(lì)輻射反射通過激光二極管分束器1072,然后通過激 勵(lì)投影透鏡1071到達(dá)激勵(lì)/發(fā)射二色鏡1060,該激勵(lì)/發(fā)射二色鏡1060將綠色激勵(lì)輻射 反射通過物鏡1010。紅色激勵(lì)輻射從紅色發(fā)光二極管聚光透鏡1076穿過到達(dá)組合器二色 鏡1073,然后紅色激勵(lì)輻射沿著與綠色激勵(lì)輻射相同的路徑。物鏡1010被定位成收集發(fā)射 輻射,并將其引導(dǎo)通過激勵(lì)/發(fā)射二色鏡1060,該激勵(lì)/發(fā)射二色鏡1060將發(fā)射輻射傳送 到CMOS影像傳感器1080。激光二極管1301被定位成經(jīng)由與透鏡組1401耦合的激光二極 管將輻射引導(dǎo)至激光二極管分束器1072,該激光二極管分束器1072將激光二極管輻射反 射通過激勵(lì)投影透鏡1071、激勵(lì)/發(fā)射二色鏡1060和物鏡1010。自動(dòng)聚焦模塊1600被耦 合到物鏡1010的至少部分并且被配置成上下(即沿z維度)平移物鏡1010。自動(dòng)聚焦模 塊可以但不需要包括圖5中所示例的自動(dòng)聚焦設(shè)備的部件。應(yīng)當(dāng)理解,附加的光學(xué)部件可 以存在于讀取頭1000中,該讀取頭1000包括但不限于圖8所示例的那些。此外,某些光學(xué) 部件可以不存在于讀取頭1000中或者在讀取頭1000中被修改以適合特定應(yīng)用。印刷電路 板1701和1702可被配置成與檢測(cè)器、自動(dòng)聚焦模塊和/或激勵(lì)源連通。
[0104] 圖9示出了讀取頭1000的底部平面圖。再次為了便于展示,在圖9中標(biāo)記了僅一 個(gè)顯微熒光計(jì)的部件并在此進(jìn)行描述。紅色發(fā)光二極管1030示出為與散熱器1201熱連通 并且與紅色發(fā)光二極管聚光透鏡1076光學(xué)對(duì)準(zhǔn)。在該圖中,綠色發(fā)光二極管被紅色發(fā)光二 極管1030遮擋并且激勵(lì)路徑的大部分被自動(dòng)聚焦模塊1600遮擋。物鏡1010作為CMOS影 像傳感器1080的一部分是可見的;然而,在該圖中發(fā)射路徑的大部分被遮擋。從圖中明顯 可見,物鏡被布置成兩排并且成六邊形堆積。
[0105] 以上所描述的配置示例了讀取頭,其中顯微熒光計(jì)中的每一個(gè)包括至少一個(gè)輻射 源、分束器和檢測(cè)器,其中分束器被定位成將來自激勵(lì)輻射源的激勵(lì)輻射引導(dǎo)至物鏡,以及 將來自物鏡的發(fā)射輻射引導(dǎo)至檢測(cè)器,其中激勵(lì)輻射和發(fā)射輻射在互相正交的方向上被引 導(dǎo)。在圖8和圖9所示例的實(shí)施例中,用于幾個(gè)顯微熒光計(jì)的檢測(cè)器被布置在與物鏡聚焦于 其上的公共平面相對(duì)的讀取頭的第一側(cè)上,輻射源的一個(gè)子集被布置在讀取頭的第二側(cè)上 (第二側(cè)正交于第一側(cè)并正交于公共平面)并且輻射源的第二子集被布置在讀取頭的第三 側(cè)上(第三側(cè)與第二側(cè)相對(duì),正交于第一側(cè)并正交于公共平面)。可選地,并且如圖4中所 示例的,用于幾個(gè)顯微熒光計(jì)的輻射源被布置在與物鏡聚焦于其上的公共平面相對(duì)的讀取 頭的第一側(cè)上,檢測(cè)器的第一子集被布置在讀取頭的第二側(cè)上(第二側(cè)正交于第一側(cè)并正 交于公共平面)并且檢測(cè)器的第二子集被布置在支架的第三側(cè)上(第三側(cè)與第二側(cè)相對(duì), 正交于第一側(cè)并正交于公共平面)。
[0106] 除了上述其中激勵(lì)和發(fā)射路徑是正交的實(shí)施例,其中發(fā)射和激勵(lì)路徑是平行的配 置也是可用的。在這種情況下,一個(gè)或多個(gè)激勵(lì)輻射源和檢測(cè)器可以存在于讀取頭的同一 側(cè)上。圖10中示出了一種用于顯微熒光計(jì)800的示例性布局,其中來自激勵(lì)源805的激勵(lì) 福射穿過激勵(lì)光學(xué)器件806到達(dá)棱鏡表面807,該棱鏡表面807將激勵(lì)福射反射到棱鏡表 面802,該棱鏡表面802將激勵(lì)輻射反射通過物鏡801。發(fā)射穿過物鏡801、然后通過分束器 802到達(dá)投影透鏡803,并且然后到達(dá)檢測(cè)器804。發(fā)射路徑平行于激勵(lì)路徑的大部分。檢 測(cè)器和激勵(lì)輻射源位于顯微熒光計(jì)的同一側(cè)上,與檢測(cè)平面相對(duì)且平行。引導(dǎo)件810被配 置成與流動(dòng)池或基板相互作用以對(duì)準(zhǔn)物鏡。在本文所述的其他顯微熒光計(jì)中可以使用類 似的引導(dǎo)件。用于顯微熒光計(jì)800的布局是示例性的,用于展示激勵(lì)和發(fā)射路徑的平行布 置的目的。可以包括其他部件,如本文其他圖中所示的那些,包括但不限于自動(dòng)聚焦模塊。 例如,用于自動(dòng)聚焦模塊的激勵(lì)源809被示出并產(chǎn)生激勵(lì),該激勵(lì)通過棱鏡表面807并被棱 鏡表面802反射以穿過物鏡801。幾個(gè)顯微熒光計(jì)800可以被布置成具有如圖6和圖7所 示例的一行或多行的物鏡。
[0107] 如以上示例性的實(shí)施例所展示的,讀取頭可以包括多個(gè)物鏡,每個(gè)物鏡專用于單 個(gè)顯微熒光計(jì)。因此,本申請(qǐng)的顯微熒光計(jì)可以包括多種光學(xué)部件,如一個(gè)或多個(gè)檢測(cè)器、 激勵(lì)輻射源、分束器、透鏡、反射鏡等,其形成光具組,該光具組引導(dǎo)激勵(lì)輻射通過單個(gè)物鏡 和/或接收通過單個(gè)物鏡的發(fā)射輻射。在這樣的實(shí)施例中,物鏡可以被配置為具有寬視場(chǎng) 的微距透鏡。在可選的實(shí)施例中,本申請(qǐng)的顯微熒光計(jì)可以包括多種光學(xué)部件,其引導(dǎo)通過 幾個(gè)物鏡的激勵(lì)輻射和/或接收通過幾個(gè)物鏡的發(fā)射輻射。因此,單個(gè)顯微熒光計(jì)可以包 括包含幾個(gè)物鏡的幾個(gè)光具組。在每個(gè)顯微熒光計(jì)包括幾個(gè)物鏡的實(shí)施例中,物鏡可以可 選地被配置為微距透鏡陣列。在特定的顯微熒光計(jì)中的幾個(gè)物鏡中的每一個(gè)物鏡(例如, 在微距透鏡陣列中的每個(gè)微距透鏡)可以可選地被配置用于獨(dú)立聚焦,由此每一個(gè)物鏡可 以在Z維度上獨(dú)立于同一顯微熒光計(jì)中的其他物鏡而移動(dòng)??蛇x地或另外地,幾個(gè)物鏡可 以被配置用于全局聚焦,使得它們可以全都在Z維度上一起移動(dòng)。
[0108] 應(yīng)當(dāng)理解,本文所述的讀取頭的各個(gè)部件可以以各種方式進(jìn)行混合和匹配以實(shí)現(xiàn) 與本文所示例的那些類似的功能。例如,如在前面段落中所述的,讀取頭可以包括幾個(gè)物鏡 并且那些物鏡中的每一個(gè)可專用于單個(gè)顯微熒光計(jì),或者可選地,那些物鏡中的幾個(gè)可以 由單個(gè)顯微熒光計(jì)共享。類似地,并且如本文前面所述的,每個(gè)顯微熒光計(jì)可以包括至少一 個(gè)專用激勵(lì)源,或者可選地,兩個(gè)或多于兩個(gè)顯微熒光計(jì)可以從共享的輻射源接收激勵(lì)輻 射。因此,在特定的讀取頭中的顯微熒光計(jì)的數(shù)量和本文所示例的用于任何顯微熒光計(jì)實(shí) 施例的部件的數(shù)量之間不需要一一對(duì)應(yīng)。相反,如用于顯微熒光計(jì)中的本文所示例的部件 中的一個(gè)或多個(gè)可被特定的讀取頭中的幾個(gè)顯微熒光計(jì)所共享。
[0109] 本申請(qǐng)的讀取頭尤其可用于掃描方法和設(shè)備,例如,由于提供低慣性的其相對(duì)緊 湊的尺寸和輕的質(zhì)量。減小的慣性使得讀取頭在運(yùn)動(dòng)之后更快地停下,從而使得比更高慣 性的讀取頭更快速地獲得高分辨率影像,對(duì)于讀取頭的殘余運(yùn)動(dòng)將造成模糊或分辨率的損 失。將在下面進(jìn)一步詳細(xì)闡述用于實(shí)現(xiàn)讀取頭的運(yùn)動(dòng)的配置。然而,首先應(yīng)當(dāng)注意,低慣性 的優(yōu)點(diǎn),并不意在對(duì)本文所述的設(shè)備或方法進(jìn)行限定或要求。相反,本申請(qǐng)的讀取頭針對(duì)全 部或部分的檢測(cè)協(xié)議可以被保持在靜止位置。例如,可以使用讀取頭進(jìn)行測(cè)序方法(如使 用本文所述的流體和成像步驟的那些測(cè)序方法),所述讀取頭在測(cè)序方法的至少一個(gè)以及 或許所有的循環(huán)期間是靜態(tài)的。
[0110] 如靜態(tài)讀取頭實(shí)施例的第一個(gè)實(shí)例,讀取頭可包括足夠數(shù)量的顯微熒光計(jì)以對(duì)表 面或其他對(duì)象的所需部分進(jìn)行檢測(cè)或成像。因此,讀取頭不需要在X或y維度上移動(dòng)。例 如,幾個(gè)顯微熒光計(jì)可以被線性地布置成沿著流動(dòng)池通道的整個(gè)長(zhǎng)度(或至少沿著有效目 標(biāo)長(zhǎng)度)捕獲影像幀。類似地,使用如本文所述的幾排顯微熒光計(jì)的適當(dāng)?shù)亩逊e布置,(存 在于一個(gè)或多個(gè)流動(dòng)池中的)幾個(gè)流動(dòng)池通道可以沿其整個(gè)長(zhǎng)度(或至少沿著有效目標(biāo)長(zhǎng) 度)進(jìn)行成像。如本文之前所述,針對(duì)各個(gè)通道獲得的影像幀可以是但并不必須是連續(xù)的。 [0111] 如靜態(tài)讀取頭實(shí)施例的第二個(gè)實(shí)例,讀取頭可相對(duì)于X和y維度維持在某一固定 位置,同時(shí)在X和/或y維度上對(duì)正由讀取頭進(jìn)行檢測(cè)的基板進(jìn)行平移。例如,可以提供一 種具有平移平臺(tái)的設(shè)備,所述平移平臺(tái)被設(shè)置成將基板呈現(xiàn)給讀取頭。平移平臺(tái)可以步進(jìn) 或連續(xù)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行移動(dòng)以允許靜態(tài)讀取頭掃描基板。在特定的實(shí)施例中,基板是可以被固定 到平移平臺(tái)的流動(dòng)池。流動(dòng)池可作為如下文所示例的那些流體卡盤的一部分被平移,或者 流動(dòng)池可以獨(dú)立于任何流體卡盤被平移。因此,平移平臺(tái)可被配置成固定流動(dòng)池所附接的 流體卡盤并沿著流動(dòng)池移動(dòng)流體卡盤或者平移平臺(tái)可被配置成僅移動(dòng)流動(dòng)池同時(shí)流體卡 盤保持在靜態(tài)或固定位置中。
[0112] 根據(jù)以上實(shí)例,可以通過掃描頭(或顯微熒光計(jì))的實(shí)際運(yùn)動(dòng)、基板的實(shí)際運(yùn)動(dòng), 或兩者的實(shí)際運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)掃描頭(或顯微熒光計(jì))和基板之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。應(yīng)當(dāng)理解,在 以上第一和第二示例性實(shí)施例中所涉及的靜態(tài)讀取頭相對(duì)于z維度上的運(yùn)動(dòng)不必是靜態(tài) 的。相反,靜態(tài)讀取頭可以包括一個(gè)或多個(gè)具有自動(dòng)聚焦模塊的顯微熒光計(jì)??蛇x地或另 外地,讀取頭可以作為整體在z維度上移動(dòng),例如,以實(shí)現(xiàn)至少以粗略的估計(jì)的全局聚焦。
[0113] 現(xiàn)在返回到讀取頭被平移的實(shí)施例中,圖11和圖12分別示出了用于讀取頭的示 例性y平移平臺(tái)200的頂視圖和底視圖。在該示例性實(shí)施例中,y平臺(tái)被配置成用于在y維 度上但不在X維度上的平移。因此,由y平移平臺(tái)200攜帶的讀取頭將能夠在y維度上運(yùn) 動(dòng)并且其中的讀取頭或各個(gè)顯微熒光計(jì)可能能夠(例如,經(jīng)由自動(dòng)聚焦)在z維度上運(yùn)動(dòng), 但是讀取頭將不能夠在X維度上運(yùn)動(dòng)。讀取頭可被固定到具有被定位以支撐讀取頭的底側(cè) 的基座區(qū)域241和被配置成限制讀取頭從一側(cè)到另一側(cè)運(yùn)動(dòng)的框架240的支架201。支架 201還包括凸緣引導(dǎo)件243和項(xiàng)圈引導(dǎo)件242。在基座區(qū)域241中的開口 244在讀取頭和 將由讀取頭進(jìn)行檢測(cè)的基板之間提供窗口。支架201的上述部件可以形成整體結(jié)構(gòu)。
[0114] 支架被配置成經(jīng)由第一軸203和第二軸204沿y平臺(tái)框架207移動(dòng),項(xiàng)圈引導(dǎo)件 242沿著第一軸203延伸且凸緣引導(dǎo)件243沿著第二軸204延伸。所述軸沿著y軸線定向, 使得經(jīng)由引導(dǎo)件引導(dǎo)支架201以沿著y維度來回滑動(dòng)。通過插入到第一側(cè)壁250中的基準(zhǔn) 215以及插入到第二側(cè)壁251中的基準(zhǔn)218將第一軸203保持到y(tǒng)平臺(tái)框架207。第一軸 203由支撐構(gòu)件252夾緊到基準(zhǔn)215中且由支撐構(gòu)件253夾緊到基準(zhǔn)218中。通過插入到 第一側(cè)壁250中的基準(zhǔn)214以及插入到第二側(cè)壁251中的基準(zhǔn)217將第二軸204保持到y(tǒng) 平臺(tái)框架207。第二軸204由軸夾緊件206夾緊到基準(zhǔn)214中以及由軸夾緊件205夾緊到 基準(zhǔn)217中。
[0115] 支架201的運(yùn)動(dòng)由導(dǎo)向螺桿202的旋轉(zhuǎn)所驅(qū)動(dòng),導(dǎo)向螺桿202通過導(dǎo)向螺母260 擰入并且通過插入到第一側(cè)壁250中的基準(zhǔn)以及插入到在第二側(cè)壁251中的基準(zhǔn)219被固 定到y(tǒng)平臺(tái)框架207。導(dǎo)向螺桿202通過夾緊第一軸203的相同的支撐構(gòu)件252和253被 夾緊在位。導(dǎo)向螺桿202的旋轉(zhuǎn)由電機(jī)212驅(qū)動(dòng),該電機(jī)212被安裝到支撐構(gòu)件252。編碼 器208被配置成經(jīng)由皮帶210與電機(jī)212相互作用,該皮帶210與編碼器上的轉(zhuǎn)子209和 電機(jī)212上的轉(zhuǎn)子211相互作用。皮帶張緊器220與皮帶210相互作用。
[0116] 開口 230經(jīng)過y平臺(tái)框架207的底板216。開口 230被定位成當(dāng)支架201橫過y 平臺(tái)框架時(shí)適應(yīng)支架201的基座區(qū)域241中的開口 244的軌跡。讀取頭被定位在支架中, 使得通過開口 244以及通過開口 230沿著支架所橫過的軌跡引導(dǎo)物鏡。因此,開口 230經(jīng) 由被固定到支架的讀取頭的運(yùn)動(dòng)適應(yīng)沿著y軸線的細(xì)長(zhǎng)區(qū)域的成像。
[0117] 圖13中示出了 y平移平臺(tái)200和讀取頭1000之間的結(jié)構(gòu)和功能關(guān)系。相對(duì)于y 平移平臺(tái)200的掃描方向的物鏡1010的定向類似于圖7中所示例的(只是讀取頭1000具 有附加的兩個(gè)物鏡)。流動(dòng)池可以相對(duì)于如圖7所示的y平移平臺(tái)200來定向。
[0118] 如上面所示例,支架可被配置成例如在掃描操作中移動(dòng)讀取頭??蛇x地或另外地, 支架可被配置成防止讀取頭的各個(gè)顯微熒光計(jì)之間在X和y維度上的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。例如如果 讀取頭包括防止各個(gè)顯微熒光計(jì)之間的相對(duì)橫向運(yùn)動(dòng)的其他結(jié)構(gòu)元件,支架不需要提供這 一功能。例如,讀取頭可以由共同模塑的組件形成。共同模塑的組件也可被固定到支架。然 而,在一些實(shí)施例中,支架在防止讀取頭的各個(gè)顯微熒光計(jì)之間的相對(duì)橫向運(yùn)動(dòng)中可以至 少起到輔助作用。此外,應(yīng)當(dāng)理解,由共同模塑的組件形成的讀取頭可以用于沒有采用支架 的實(shí)施例中。
[0119] 用于本文所述的方法或設(shè)備中的y平臺(tái)可被配置成經(jīng)由不連續(xù)或連續(xù)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行 掃描。不連續(xù)的掃描,經(jīng)常稱為步進(jìn)掃描,通常涉及顯微熒光計(jì)或掃描頭在y (或X)方向上 的增量運(yùn)動(dòng)以及運(yùn)動(dòng)之間的檢測(cè)(例如,影像獲取),同時(shí)顯微熒光計(jì)或掃描頭處于臨時(shí)靜 止?fàn)顟B(tài)。另一方面,連續(xù)掃描通常涉及檢測(cè)或影像獲取,同時(shí)顯微熒光計(jì)或掃描頭在移動(dòng)。 在特定的實(shí)施例中,可以以時(shí)間延遲積分(TDI)模式進(jìn)行連續(xù)掃描。因此,由像素元件沿掃 描維度獲得的信號(hào)可被收集在公共區(qū)段中,并作為單一的值來讀出。TDI模式可提供增加的 信號(hào)處理速率和增加的精確度的優(yōu)點(diǎn)。例如在US 7, 329, 860中描述了可被包括在顯微熒 光計(jì)或讀取頭中以適應(yīng)TDI模式檢測(cè)的示例性光學(xué)布置,所述文獻(xiàn)在此引入作為參考。
[0120] 編碼器或其他裝置可以控制顯微熒光計(jì)或掃描頭在X或y維度上的運(yùn)動(dòng),例如以 適應(yīng)連續(xù)或非連續(xù)的掃描方式。在y-平臺(tái)200的實(shí)例中,編碼器208可以控制運(yùn)動(dòng)。如本 文之前所述,掃描(無(wú)論通過連續(xù)或不連續(xù)技術(shù))可導(dǎo)致從被檢測(cè)的基板或其他對(duì)象獲取 連續(xù)或不連續(xù)的幀。因此,通過掃描進(jìn)行成像的部分的總和可以是連續(xù)的(但不重疊)、不 連續(xù)的或重疊的。系統(tǒng)不需要被配置成獲取整個(gè)基板或?qū)ο螅ɡ?,陣列表面)的影像?且不需要以使得產(chǎn)生合成影像的方式來這樣做。
[0121] 圖14中示出了一種用于檢測(cè)設(shè)備的電氣框圖。讀出印刷電路板(PCB)存在于讀取 頭(參見,例如,圖8中的PCB 1701和1702)中并且被連接到通常包含在檢測(cè)設(shè)備殼體內(nèi) 的主PCB。在
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