用于加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及芯片測(cè)試技術(shù)，具體涉及一種用于加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]加速度計(jì)是慣性導(dǎo)航和慣性制導(dǎo)系統(tǒng)的基本測(cè)量元件之一，加速度計(jì)本質(zhì)上是一個(gè)振蕩系統(tǒng)，安裝于運(yùn)動(dòng)載體的內(nèi)部，可以用來(lái)測(cè)量載體的運(yùn)動(dòng)加速度。隨著微電子技術(shù)的突飛猛進(jìn)地發(fā)展，加速度計(jì)已經(jīng)廣泛的被應(yīng)用到航天，軍事，工業(yè)，汽車，民用領(lǐng)域，尤其在民用領(lǐng)用，隨著互聯(lián)網(wǎng)終端的普及，加速度計(jì)市場(chǎng)非常廣泛。在加速度計(jì)生產(chǎn)制造過(guò)程中，半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)生產(chǎn)廠家需要對(duì)設(shè)計(jì)生產(chǎn)制造后的加速度計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)與測(cè)試，通常是利用重力場(chǎng)翻滾實(shí)驗(yàn)裝置來(lái)校準(zhǔn)和測(cè)試生產(chǎn)的加速度計(jì)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型提出了一種用于加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)。所述轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)包括:
[0004]主軸；
[0005]主軸電機(jī)，用于產(chǎn)生主軸的轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0006]校準(zhǔn)測(cè)試平臺(tái)，所述校準(zhǔn)測(cè)試平臺(tái)固定于所述主軸上，用于為轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)和轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)提供固定平臺(tái)；以及
[0007]至少一個(gè)安裝于所述校準(zhǔn)測(cè)試平臺(tái)上的轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)和用于產(chǎn)生所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)。
[0008]優(yōu)選地，所述的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)還包括至少一個(gè)電路板單元和至少一個(gè)固定裝置，
[0009]其中，所述電路板單元可拆卸地安裝在所述固定裝置上，用于安放待測(cè)的加速度計(jì)并將加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試的數(shù)據(jù)傳輸至上位機(jī)，
[0010]所述固定裝置固定在轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)上，用于為電路板單元提供固定，并且所述固定裝置包括電路板單元的電源線路與通信線路。
[0011]優(yōu)選地，所述固定裝置包括用于容納所述電路板單元的立方體槽，以及位于槽的側(cè)壁的至少一個(gè)彈簧定位珠，所述電路板單元包括與彈簧定位珠相對(duì)應(yīng)的半圓凹孔。
[0012]優(yōu)選地，所述固定裝置包括電路板單元推進(jìn)口，以及設(shè)置在電路板單元推進(jìn)口處的至少一個(gè)保險(xiǎn)栓，以防止彈簧定位珠與半圓凹孔之間的松動(dòng)。
[0013]優(yōu)選地，所述保險(xiǎn)栓包括L型栓、彈簧、固定件以及螺帽，所述固定件固定在所述固定裝置上，L型栓穿過(guò)固定件，擰緊螺帽壓縮彈簧用于抵消主軸與轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的力。
[0014]優(yōu)選地，所述電路板單元通過(guò)差分信號(hào)傳輸總線同上位機(jī)通信。
[0015]優(yōu)選地，所述主軸電機(jī)同主軸通過(guò)聯(lián)軸器相連。
[0016]優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)還包括電滑環(huán)裝置，所述電滑環(huán)裝置的定子端固定在支撐板上，轉(zhuǎn)子端通過(guò)過(guò)渡件與主軸固定。
[0017]優(yōu)選地，所述主軸為鏤空結(jié)構(gòu)。
[0018]優(yōu)選地，所述鏤空結(jié)構(gòu)的主軸還具有主軸出口，電源線和信號(hào)線從所述電滑環(huán)裝置經(jīng)主軸鏤空口穿入，從所述主軸出口穿出。
[0019]優(yōu)選地，所述電源線和信號(hào)線在所述主軸出口處同主軸固定。
[0020]本實(shí)用新型提出的用于加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)，采用差分信號(hào)傳輸總線實(shí)現(xiàn)上位機(jī)與電路板單元之間的數(shù)據(jù)通信；采用電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試所需的各個(gè)位置快速到位；采用電滑環(huán)裝置以及主軸中心鏤空實(shí)現(xiàn)從電滑環(huán)進(jìn)來(lái)的信號(hào)線從主軸中心穿過(guò)解決了轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中信號(hào)線纏繞被纏繞的問(wèn)題；加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試的數(shù)據(jù)都傳輸至上位機(jī)保存，方便后續(xù)分析。
【附圖說(shuō)明】
[0021]通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的描述，本實(shí)用新型的上述以及其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更為清楚，在附圖中:
[0022]圖1a-1b為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；
[0023]圖2為圖1a-1b中的固定裝置及電路板單元的結(jié)構(gòu)圖；以及
[0024]圖3a_3b為圖1a-1b中電滑環(huán)裝置與主軸鏤空結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下基于實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行描述，但是本實(shí)用新型并不僅僅限于這些實(shí)施例。在下文對(duì)本實(shí)用新型的細(xì)節(jié)描述中，詳盡描述了一些特定的細(xì)節(jié)部分。對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)沒(méi)有這些細(xì)節(jié)部分的描述也可以完全理解本實(shí)用新型。為了避免混淆本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)，公知的方法、過(guò)程、流程、元件和電路并沒(méi)有詳細(xì)敘述。
[0026]此外，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在此提供的附圖都是為了說(shuō)明的目的，并且附圖不一定是按比例繪制的。
[0027]圖1a和Ib為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。用于加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)包括:主軸電機(jī)1001、聯(lián)軸器1002、主軸1003、校準(zhǔn)測(cè)試平臺(tái)1004、4個(gè)固定裝置1005、4個(gè)電路板單元1006、過(guò)渡件1007、電滑環(huán)裝置1008、支撐板1009、底板1010、背蓋1011、4個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)1012、4個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)1013、擋板1014以及軸承1015。本實(shí)施例的轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)四個(gè)加速度計(jì)的同時(shí)測(cè)試。
[0028]盡管未在圖中示出，該轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)還包括用于驅(qū)動(dòng)主軸電機(jī)1001的第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)1013的第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)器以及外部的上位機(jī)。上位機(jī)通過(guò)第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)器連接主軸電機(jī)1001，通過(guò)第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)器連接轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)1013，實(shí)現(xiàn)對(duì)主軸1003與轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)1012的精確控制，保證上位機(jī)對(duì)主軸1003與轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)1012實(shí)現(xiàn)安全，高精度的控制。上位機(jī)與電路板單元1006之間通過(guò)差分信號(hào)傳輸總線實(shí)現(xiàn)指令和數(shù)據(jù)通信(在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，所述傳輸總線為RS485串行總線標(biāo)準(zhǔn))，并制定本系統(tǒng)通信傳輸協(xié)議，保證上位機(jī)與電路板單元1006之間實(shí)現(xiàn)正常，安全的通信。
[0029]主軸電機(jī)1001用于產(chǎn)生主軸1003的轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)1013用于產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)1012的轉(zhuǎn)動(dòng)。主軸1003結(jié)合轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)1012轉(zhuǎn)動(dòng)，為加速度計(jì)各個(gè)方向提供重力加速度。主軸1003采用鏤空結(jié)構(gòu)為電源線和通信線提供通道，主軸電機(jī)1001與主軸1003，通過(guò)聯(lián)軸器1002相連，在動(dòng)力傳動(dòng)中，聯(lián)軸器1002還有緩沖、減振和提高軸系動(dòng)態(tài)性能的作用。
[0030]支撐板1009和底板1010為主軸1003提供了運(yùn)動(dòng)支架，及固定支撐，使主軸1003與轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)1012能夠穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0031]校準(zhǔn)測(cè)試平臺(tái)1004與主軸1003通過(guò)一組排列螺絲相互固定聯(lián)結(jié)。固定后的校準(zhǔn)測(cè)試平臺(tái)1004為轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)1012、轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)1013、主控中心電路板提供了固定平臺(tái)。
[0032]固定裝置1005固定在轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)上，還為轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)1013提供通信線路。固定裝置1005為加速度計(jì)校準(zhǔn)測(cè)試的電路板單元1006提供固定，防止在轉(zhuǎn)動(dòng)翻轉(zhuǎn)過(guò)程中，電路板單元1006松動(dòng)或者掉落。固定裝置1005包括電路板單元1006的電源線路和通信線路。電路板單元1006用于加速度計(jì)校準(zhǔn)與測(cè)試的數(shù)據(jù)采集。
[0033]電滑環(huán)裝置1008實(shí)現(xiàn)電源與通信線路通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置而不出現(xiàn)線纜纏繞。
[0034]電源與通信線路從轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)外引入，通過(guò)電滑環(huán)裝置1008，從主軸中心鏤空端穿過(guò)，然后在靠近校準(zhǔn)測(cè)試平臺(tái)附近的主軸出口穿出，引入校準(zhǔn)測(cè)試平臺(tái)1004的背面，最后這些電源與通信線被引入到主控中心電路板、固定裝置1005以及轉(zhuǎn)動(dòng)盤(pán)電機(jī)1013。
[0035]圖2為圖1a-1b中的固定裝置及電路板單元的結(jié)構(gòu)圖，固定裝置1005包括:電源接頭座3001、彈簧定位珠3002、電