通路的死體積最小化以防止峰擴(kuò)展，并且使峰尖銳，從而保持峰之間的分辨率。
[0071]在這種情況下，在使用栗傳送洗脫液和樣品的過程中，保持全部通道之間的壓力相同以當(dāng)在通道之間改變通路時形成流體的穩(wěn)定流動。
[0072]具體地，在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的液相色譜設(shè)備I中，根據(jù)作為起始點的切換閥400來改變通路并且恒定地保持供給洗脫液的栗的流量，保持引入洗脫液的切換閥400的前級的所有部分的壓力相同并且保持切換閥400的后級的通路的壓力相同，以在對閥進(jìn)行切換時防止壓力變化，從而確保測量穩(wěn)定性。
[0073]為此，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的液相色譜設(shè)備I可以被配置成還包括壓力控制模塊710，其連接至切換閥400以恒定地保持與切換閥400連接的通路之間的壓力。
[0074]在這種情況下，壓力控制模塊710可以被配置成包括第一壓力控制模塊711和第二壓力控制模塊712，其中，第一壓力控制模塊711設(shè)置在第二洗脫液供給栗220與切換閥400的第二進(jìn)口420之間，第二壓力控制模塊712設(shè)置在切換閥400的第二出口440與第二抑制器720之間。
[0075]可以使用四個端口或更多個端口中的多個端口來不同地配置切換閥400，但是在這種情況下，可以保持洗脫液在其中流動的部分的總壓力相同。
[0076]在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的液相色譜設(shè)備I中，第一柱510和第二柱610生成了最大壓力，并且在這種情況下，生成的壓力變成如數(shù)百psi的高壓。
[0077]在根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的液相色譜設(shè)備I中，當(dāng)?shù)谝幌疵撘汗┙o栗210和第二洗脫液供給栗220在高壓狀態(tài)下操作并且然后壓力通過切換閥400的切換操作立即下降或上升時，第一抑制器620和第二抑制器720可能容易受損，并且因為需要長的時間來使設(shè)定流量穩(wěn)定，所以即使通過切換閥400的切換操作仍需要恒定地保持壓力。
[0078]S卩，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的液相色譜設(shè)備I為了穩(wěn)定的測量不管切換方向而恒定地保持洗脫液所流經(jīng)的通路的壓力，其中，壓力可以是500psi或更少。
[0079]因此，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的液相色譜設(shè)備I被配置成包括壓力控制模塊710，并且該壓力控制模塊710設(shè)置有引入流體的流體進(jìn)口和排出流體的流體出口以當(dāng)流體通過時生成壓力。
[0080]壓力控制模塊710可以是壓力調(diào)節(jié)器或孔口，但是在沒有限制的情況下可以被改變成其他裝置。
[0081 ]同時，出于分析的目的，切換閥400根據(jù)分析目標(biāo)物質(zhì)改變切換時間。
[0082]例如，如果第一柱510中的分析目標(biāo)物質(zhì)組分的保留時間被設(shè)置為大約5分鐘，則可以經(jīng)過大約6分鐘的時間對切換閥400進(jìn)行切換，并且如果第一柱510中的分析目標(biāo)物質(zhì)組分的保留時間被設(shè)置為大約3分鐘，則可以經(jīng)過大約4分鐘的時間對切換閥400進(jìn)行切換。
[0083]如圖7所示，根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施方式的液相色譜設(shè)備可以被配置成還包括第三洗脫液供給栗230。在這種情況下，壓力控制模塊710被設(shè)置在所增加的排水管道中以防止壓力由于切換閥400的切換操作而立即下降。
[0084]同時，在用來制造半導(dǎo)體或顯示器的潔凈室的情況下，物質(zhì)如HF和Hcl與工藝惡劣狀態(tài)直接相關(guān)，并且因此污染物的濃度管理非常重要。換言之，通過準(zhǔn)確且快速地測量HF和Hcl的濃度，可以當(dāng)生成了超過管理濃度的污染物時執(zhí)行快速應(yīng)對。
[0085]即使在潔凈室、用于來自煙囪的廢氣的遠(yuǎn)程監(jiān)測系統(tǒng)以及大氣環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)中，準(zhǔn)確快速的測量技術(shù)也非常重要。
[0086]具體地，為了將液相色譜方法應(yīng)用于用于來自煙囪的廢氣的遠(yuǎn)程監(jiān)測系統(tǒng)(TMS)，液相色譜方法需要滿足法律標(biāo)準(zhǔn)，并且需要具有與作為相關(guān)領(lǐng)域的測量技術(shù)的非分散紅外方法或離子電極方法相比更卓越的性能。
[0087]如上所述，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的液相色譜設(shè)備I可以執(zhí)行快速測量，并且因此被應(yīng)用于用于來自煙囪的包括多種組分的廢氣的遠(yuǎn)程監(jiān)測系統(tǒng)(TMS)，并且液相色譜方法可以同時檢測多種組分，因此與在現(xiàn)有的TMS中已經(jīng)常使用的離子電極方法或非分散紅外方法相比更能改進(jìn)分析性能。
[0088]S卩，使用根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的液相色譜設(shè)備I的測量方法可以改進(jìn)離子分離并且執(zhí)行快速測量，并且因此可以應(yīng)用于潔凈室、用于來自煙囪的廢氣的TMS以及大氣環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)。
[0089]本發(fā)明不限于上面提到的示例性實施方式，而是可以在不偏離權(quán)利要求所要求保護(hù)的本發(fā)明的要旨的情況下由本發(fā)明所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)行各種應(yīng)用并且作出各種修改。
【主權(quán)項】
1.一種使用包括離子色譜法的液相色譜(LC)方法的液相色譜設(shè)備，包括: 洗脫液存儲單元100，在所述洗脫液存儲單元100中存儲洗脫液； 第一洗脫液供給栗210和第二洗脫液供給栗220，所述第一洗脫液供給栗210和所述第二洗脫液供給栗220連接至所述洗脫液存儲單元100以栗送和移動所述洗脫液； 樣品注入單元300，所述樣品注入單元300將所述洗脫液和被注入到樣品環(huán)管310中的樣品輸送至第一柱510; 切換閥400，所述切換閥400通過第一進(jìn)口 410和第二進(jìn)口 420連接至所述第一柱510和所述第二洗脫液供給栗220，以通過切換操作來控制在所述第一柱510中分離的組分的通路； 第一通道單元600，所述第一通道單元600是由所述切換閥400控制的所述組分的通路中的一個通路并且包括與所述切換閥400的第一出口 430連接的第二柱610，所述第一通道單元600在所述切換閥400切換之前被引入在所述第一柱510中首次分離的組分并且對所述組分進(jìn)行二次分離； 第二通道單元700，所述第二通道單元700是由所述切換閥400控制的所述組分的通路中的剩余的一個通路并且連接至所述切換閥400的第二出口 440，所述第二通道單元700在所述切換閥400被切換之后按原樣排出在所述第一柱510中首次分離的組分；以及 壓力控制模塊710，所述壓力控制模塊710連接至所述切換閥400以恒定地保持與所述切換閥400連接的通路之間的壓力， 其中，在所述第一柱510中分析的組分通過通路持續(xù)地移動。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相色譜設(shè)備，其中，所述第一通道單元600包括: 第一抑制器620，所述第一抑制器620連接至所述第二柱610以執(zhí)行對所述洗脫液的電解；以及 第一檢測單元630，所述第一檢測單元630對在所述第二柱610中分離的組分進(jìn)行檢測。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相色譜設(shè)備，其中，所述壓力控制模塊710包括: 第一壓力控制模塊711，所述第一壓力控制模塊711形成在所述第二洗脫液供給栗220與所述切換閥400的第二進(jìn)口 420之間；以及 第二壓力控制模塊712，所述第二壓力控制模塊712連接至所述切換閥400的第二出口440。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液相色譜設(shè)備，其中，所述第二通道單元700包括: 第二抑制器720，所述第二抑制器720連接至所述第二壓力控制模塊712以執(zhí)行對所述洗脫液的電解;以及 第二檢測單元730，所述第二檢測單元730在所述切換閥400被切換之后對在所述第一柱510中首次分離的組分進(jìn)行檢測。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相色譜設(shè)備，其中，所述第一通道單元600和所述第二通道單元700被保持在相同壓力下，并且所述壓力等于或小于500psi。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液相色譜設(shè)備，其中， 為將所述樣品或所述洗脫液引入所述切換閥400而連接的通路之間的壓力相同，以及 為從所述切換閥400排出所述樣品或所述洗脫液而連接的通路之間的壓力相同。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液相色譜設(shè)備，其中，所述切換閥400通過驅(qū)動器旋轉(zhuǎn)以機械地改變通路。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液相色譜設(shè)備，其中，所述切換閥400具有根據(jù)分析目標(biāo)物質(zhì)而變化的切換時間。
【專利摘要】提供用于快速測量的液相色譜設(shè)備，并且更具體地，提供以下液相色譜設(shè)備，其包括對于樣品內(nèi)的感興趣的組分具有不同的組分分離的第一柱和第二柱，并且在切換閥被切換之前使在第一柱中首次分離的組分在第一通道單元的第二柱中二次分離，而在切換閥被切換之后使在第一柱中首次分離的組分通過第二通道單元持續(xù)排出，從而改進(jìn)組分分離并且實現(xiàn)快速測量。
【IPC分類】G01N30/02, G01N30/32
【公開號】CN105612424
【申請?zhí)枴緾N201480049672
【發(fā)明人】柳承教, 李應(yīng)先, 李珍龍, 金大熙
【申請人】偉德泰有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2014年7月10日
【公告號】US20160153941, WO2015005692A1