、Vneg，并且第二連接X2因而連接至負(fù)或者正參考電壓Vneg、Vpqs。因而，對一個(gè)電容器CsO、Cs I正充電，并且對另一個(gè)電容器CsO、Cs I負(fù)充電，其中正和負(fù)參考電壓Vpcis、Vnec的絕對值相等。
[0108]在第二階段Pl中，電容器CsO、Csl被放電。在放電期間，兩個(gè)電容器CsO、Csl的電荷被一起加載到電荷測量電容器Cf上。因而確定電容之間的差。電荷被添加到電荷測量電容器Cf上，其中電荷相反。因而達(dá)到電荷的絕對值的第一電荷差，該第一電荷差還對應(yīng)于電容的差。
[0109]在第三階段P2中，電容器CsO、Csl被再充電。第三階段P2與第一階段PO相反。在第三階段P2中用負(fù)電荷對在第一階段PO中以正電荷充電的電容器CsO、Csl進(jìn)行充電。以相同的方式，在第三階段P2中對首先被負(fù)充電的另一電容器CsO、Csl正充電。
[0110]在第四階段P3中，電容器CsO、Csl被再次放電，并且確定電荷的絕對值的第二電荷差，該第二電荷差還對應(yīng)于電容的差。在第四階段P3中，還將第二和第四階段P1、P3的第一和第二電荷差彼此相減。第二階段Pl的電荷差是與第四階段P3的電荷差相反的電荷。因而，在從第二電荷差減去第一電荷差的情況下，或者同樣地從第一電荷差減去第二電荷差的情況下，發(fā)生兩個(gè)電荷差的絕對值的增加。這用于增強(qiáng)測量信號(hào)，以及抑制或者消除當(dāng)前干擾元素，諸如電荷注入或者偏移。
[0111]當(dāng)然，測量信號(hào)被記錄并且處理，進(jìn)一步例如被數(shù)字化。優(yōu)選地，在由漩渦流出頻率的倒數(shù)定義的時(shí)間間隔內(nèi)，正常測量處理運(yùn)行許多次。換句話說，漩渦流量測量裝置I尤其應(yīng)在第一漩渦V2流出和第二漩渦Vl流出的時(shí)間點(diǎn)之間記錄一些電荷差。因而，在許多時(shí)間點(diǎn)處確定葉片5的位置，并且對過零點(diǎn)計(jì)數(shù)。
[0112]現(xiàn)在將描述示例。如果具有特征寬度ξ約3mm的阻流體3的漩渦流量測量裝置I應(yīng)記錄高達(dá)125m/s的流速，則葉片5必須能夠記錄超過從約IHz至約4000Hz范圍的漩渦流出頻率f。因此，作為質(zhì)量彈簧系統(tǒng)，葉片5和膜6必須具有超過4000Hz的對應(yīng)共振頻率。此外，正常測量處理應(yīng)能夠在等于1/4000秒的時(shí)間段內(nèi)重復(fù)多次。如果測量過程在1/4000秒內(nèi)發(fā)生至少四次，則每1/16000秒進(jìn)行一次測量。如圖7a中所示，測量過程的一次重復(fù)需要系統(tǒng)時(shí)鐘的至少8個(gè)時(shí)鐘脈沖。因此得出必須使用至少128kHz的系統(tǒng)時(shí)鐘。
[0113]在圖7b中，發(fā)生一次正常測量過程。之后，正常測量過程中斷，并且執(zhí)行用于確定兩個(gè)電容器的總電容的測量過程。這種測量過程由兩個(gè)階段G0、G1組成。在第一階段GO中，電容器CsO ,Csl的兩個(gè)連接被一起連接至參考電壓源VREF。由此，電容器CsO，Csl被充電為參考電壓VREF。在第二階段Gl中，電容器CsO，Csl被放電。在這種情況下，確定電容器CsO，Csl的總電容。然后能夠確定和存儲(chǔ)表示電容器CsO+Cs I的總電荷的總電容值或者荷電狀態(tài)值。如上所述，總電容測量不僅對檢測短路重要，而且對計(jì)算靜態(tài)偏移也重要。
[0114]圖8a和Sb示出本發(fā)明的方法的實(shí)施例的示例。在圖8a中，有規(guī)律地進(jìn)行正常測量過程。在圖Sb中，正常測量過程被中斷，并且被用于確定漏電流的測量過程代替。這種交替測量過程由四個(gè)階段LO、L1、L2、L3組成。
[0115]在第一階段LO中，按照與用來確定總電容GO的測量過程的第一階段相同的方式，電容器CsO、Cs I的兩個(gè)連接Xl、X2被一起連接至參考電壓源Vref，并且由此電容器被充電為參考電壓Vref。
[0116]在第二階段LI中，首先允許第一時(shí)間跨度耗盡。在該第一時(shí)間跨度后，在第一時(shí)間點(diǎn)Tl處，通過借助于電荷放大器Qv對電容器CsO、Csl放電而確定兩個(gè)電容器的荷電狀態(tài)。
[0117]在第三階段L2中，按照與第一階段LO完全相同的方式，電容器的兩個(gè)連接被一起連接至參考電壓源Vref，并且由此電容器CsO、Csl被充電為參考電壓Vref。
[0118]在第四階段L3中，首先允許第二時(shí)間跨度耗盡。在該第二時(shí)間跨度后，在第二時(shí)間點(diǎn)T2處，通過借助于電荷放大器Qv對電容器放電而確定兩個(gè)電容器CsO、Csl的荷電狀態(tài)。第二階段LI的荷電狀態(tài)和第四階段L3的荷電狀態(tài)被彼此相減，從而以類似于正常測量過程的最后階段的電荷差形成類似的方式形成差。結(jié)合圖9更詳細(xì)地描述放電和差形成的選項(xiàng)。
[0119]圖8c是隨時(shí)間變化的電容器CsO、CsI兩端的電壓的圖形表示。圖8a_c中的時(shí)間軸相同。因此，圖Sc中所示的電壓變化對應(yīng)于在圖Sb中所示的測量過程期間發(fā)生的變化。在圖Sc中示出四條曲線A、B、C、D，其中曲線A、B、C、D表示四種情況的電壓變化。四種情況下的損耗電阻值具有四個(gè)不同的大小。曲線A示出其中損耗電阻最大的情況，并且曲線D示出其中損耗電阻最小的情況。圖Sc示出用于確定漏電流的測量過程的第一和第三階段L0、L2的電容器充電曲線。曲線A、B、C、D對于四種不同情況下的這些階段L0、L2表現(xiàn)相同或者基本相同。因此，僅以單條曲線示出這些階段。
[0120]在第二和第四階段L1、L3中，允許時(shí)間跨度耗盡。本領(lǐng)域技術(shù)人員已知與電阻器/損耗電阻并聯(lián)連接的電容器的放電曲線。電容器上的電荷Q(t)為:
[0121]Q(t) =C*VREF*exp(_t/RC)
[0122]其中
[0123]C為電容，
[°124] Vref為參考電壓，
[0125]t為時(shí)間，并且
[0126]R為損耗電阻值。
[0127]在圖8c中，首先在兩個(gè)時(shí)間點(diǎn)T1、T2處確定電容器的荷電狀態(tài)A1、B1、C1、D1和A2、B2、C2、D2。通過所確定的荷電狀態(tài)，記錄四種不同情況的荷電狀態(tài)的差。
[0128]本領(lǐng)域技術(shù)人員已知對電容器放電的各種方法，用于確定電容，分別確定電容器上的電荷或者電容器兩端的電壓。同樣地，也存在使用模擬和數(shù)字方法同樣地形成電荷或者電壓差的許多選項(xiàng)。圖9示出對電容器放電的一種這樣的機(jī)會(huì)。
[0129]圖9示出用于執(zhí)行本發(fā)明的方法的設(shè)備的實(shí)施例的優(yōu)選形式的電路圖。輸入電路12完全如圖5和圖6中所示。輸入電路12通過第二開關(guān)S2連接電荷放大器Qv。電荷放大器Qv包括具有反相輸入端El和同相輸入端E2的運(yùn)算放大器Op。同相輸入端E2連接至地M，輸入電路12的第三電極K3也連接至地M。運(yùn)算放大器Op還包括輸出端E3，其中運(yùn)算放大器Op的輸出端E3和反相輸入端El經(jīng)由反饋路徑連接。反饋路徑包括第三開關(guān)元件S3以及與第三開關(guān)元件S3并聯(lián)連接的電荷測量電容器Cf。
[0130]圖9的電路以下列方式工作。在兩個(gè)階段Φ1、Φ2中使用該電路。在第一階段ΦI中，電荷測量電容器Cf被放電。這通過第三開關(guān)電路S3經(jīng)由簡單的短路發(fā)生。因而在第一階段Φ I中，第三開關(guān)元件S3閉合并且然后重新開啟。
[0131 ]在第二階段φ 2中，第二開關(guān)元件S2閉合。由于運(yùn)算放大器Op的同相輸入端Ε2處于地M處，所以反相輸入端El位于所謂的“虛擬地(virtual ground)”處。因此，被存儲(chǔ)在輸入電路12的電容器CsO、Csl上的全部電荷都被強(qiáng)迫轉(zhuǎn)移至電荷測量電容器Cf。在這種情況下，電荷沿箭頭所示的路徑移動(dòng)。因而，運(yùn)算放大器Op的輸出電壓Vo對應(yīng)于跨電荷測量電容器Cf的電壓，其中該電壓直接與從輸入電路傳遞的電荷成比例。
[0132]能夠通過這種電壓記錄荷電狀態(tài)的差。例如，來自第一通路的電壓通過這些階段Φ 1、Φ 2能夠被置于簡單的保持電路中，并且然后在第二通路的情況下從第二電壓減去該電壓。在另一示例中，電壓能夠被立即數(shù)字化，并且然后通過評價(jià)單元處理。在另外的示例中，尤其是在第一次以正參考電壓+Vref，并且第二次以負(fù)參考電壓-Vref對電容器Csl、CsO充電時(shí)，來自電容器Csl、CsO的電荷能夠被立即添加在電荷測量電容器Cf中，或者從該電容器減去該電荷。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，能夠通過許多類型的差形成執(zhí)行本發(fā)明的方法。
[0133]圖10示出隨損耗電阻R[漏、Rl變化的差曲線的圖形表示。在該情況下，Y軸示出表示差值的十進(jìn)制數(shù)值(decimal value)。差值是兩個(gè)時(shí)間點(diǎn)Tl、T2處的電荷測量電容器Cf的電壓的差，以及傳感器電容器Csl、CsO的電荷差的量值。在這種情況下，約32000的十進(jìn)制值表示電容器的荷電狀態(tài)無變化。
[0134]在非常低的損耗電阻Rl的情況下，電容器在第二階段LI的第一時(shí)間點(diǎn)并且也在第四階段L3的第二時(shí)間點(diǎn)之前完全放電。也就是說，在這種情況下，檢測不到變化。因此，差值非常低。在非常