元在制造過程中的狀態(tài)的立體圖。圖9表示第三實施例的壓力傳感器單元在制造過程中的狀態(tài)的俯視圖。圖10表示沿圖9的切割線C-C’的截面構造的截面圖。圖11表示沿圖9的切割線D-D’的截面構造的截面圖。
[0080]首先，通過例如鐓粗加工(heading processing)形成金屬管部件3 (步驟S1)。具體來說，如圖7A所示，準備直徑dll與金屬管部件3的凸部10a的外徑dl相同的線材(圓鋼)41。接下來，將線材41切割為例如容易加工的預定長度。然后，將線材41的一個端部41a側固定(夾緊)至可以在與線材41的中心線的方向平行的方向(圖7A至圖7C中的豎直方向)移動的可動模具(支撐單元)42。這時，線材41的另一端部41b側處于以預定長度從可動模具42的平坦面42a突出的狀態(tài)。圖7A至圖7C中的箭頭表示可動模具42可移動的方向。
[0081]接下來，如圖7B和圖7C所示，通過反復移動可動模具42以針對固定模具(加工單元)43的平坦面43a撞擊線材41的另一端部41b來施加壓力，從而產生比線材41的直徑dll寬的塑性變形(鐓粗加工)。也就是說，通過反復針對固定模具43撞擊線材41的另一端部41b，線材41的另一端部41b在相互平行的可動模具42的平坦面42a和固定模具43的平坦面43a之間被擠壓(鐓鍛)，以使端部41b的外徑增寬至達到金屬管部件3的階梯部10b的外徑d20
[0082]通過以這種方式使用鐓粗加工將線材41的另一端部41b的外徑加寬，線材41的另一端部41b的加寬了外徑的部分成為金屬管部件3的階梯部10b。并且，通過使用鐓粗加工將線材41的另一端部41b的外徑加寬，線材41的另一端部41b的加寬了外徑的部分的端部角部自然地形成為具有預定半徑的弧形。也就是說，簡單地通過使用鐓粗加工形成金屬管部件3的階梯部10b，即可形成弧形的階梯部10b的端部14的角部14a和14b而無需另外的步驟。
[0083]接下來，通過將線材41的端部41a側切短，在具有寬的外徑的線材41的另一端部41b的部分之上保留形成金屬管部件3的凸部10a的部分。接下來，如圖8所示，形成沿線材41的中心線通過的貫通孔，即金屬管部件3的貫通孔8。通過以上步驟形成了金屬管部件3。接下來，金屬管部件3、信號端子17和樹脂殼體4通過樹脂成型而一體成型(步驟S2)。具體來說，如圖9至圖11所示，使用使樹脂殼體4的凹部15和外形成型的模具50，和以預定圖形配置信號端子17的方式進行圖形化的金屬板60來形成樹脂殼體4(圖9未圖示模具50)。
[0084]模具50由具有凸部51a的陽模的模具上部51和具有與凸部51a相對的凹部52a的陰模的模具下部52構成。模具上部51的凸部51a使凹部15和樹脂殼體4的凹部15側的外形成型。具體來說，模具上部51的凸部51a例如通過以下方式形成，S卩，具有直徑比近似為矩形柱的底面的邊小的圓形頂表面51b的圓柱以同心的方式重疊在矩形柱上，形成在側面上具有一個或多個階梯部51c的近似的平截椎體。在模具上部51的凸部51a的頂表面51b設有直徑與金屬管部件3的凸部10a的外徑dl相同的凹部51d。模具下部52的凹部52a使與凹部15相對側的樹脂殼體4的外形成型。具體來說，模具下部52的凹部52a具有大致呈矩形的平面形狀。
[0085]在這樣的模具下部52的凹部52a內，以開口端12側向下的方式放置金屬管部件
3。然后，將金屬板60放置于模具下部52之上，并且將模具上部51嵌合至模具下部52以夾持金屬板60。這時，模具上部51的凸部51a的頂表面51b側插入到金屬板60的后述的第二孔65，并且，金屬管部件3的凸部10a插入到模具上部51的頂表面51b的凹部51d。模具上部51的頂表面51b的凹部51d的深度xl比金屬管部件3的凸部10a的高度x2小(xl < x2)。也就是說，金屬管部件3的凸部10a的與基座部件2接合側的部分沒有被模具上部51的頂表面51b的凹部51d覆蓋。因此，在模具上部51與模具下部52嵌合時，模具上部51的凸部51a不與金屬管部件3的階梯部10b接觸。
[0086]也就是說，設置有相當于模具上部51的凸部51a和金屬管部件3的階梯部10b間寬度(高度)x3 ( = x2 - xl)的游隙。因此，能夠不依賴模具50和金屬管部件3的尺寸精度，而使金屬板60和模具上部51在模具下部52上順序重疊而沒有縫隙。因此，能夠減少樹脂殼體4的形成缺陷。樹脂殼體4的形成缺陷是指以下樹脂殼體4不能被連接器部件21收納的狀態(tài)，例如由于樹脂從模具50突出而使樹脂殼體4的外形變形，或者由于在模具下部52和金屬板60之間形成縫隙而使樹脂殼體4比預定高度高。
[0087]金屬板60是大致呈矩形的金屬薄板，在其上以一個方向(以下稱為長度方向(圖9的縱向))配置有多個具有大致呈矩形平面形狀的單元區(qū)53，在單元區(qū)53中以預定圖案配置有構成一個壓力傳感器單元100的多個信號端子17。金屬板60 (具體為后述的第三部分63)，在模具上部51和模具下部52不接觸的部分被用作模具。因此，無需像現(xiàn)有技術那樣使金屬板60的寬度提高至樹脂殼體4的寬度以上來與信號端子17的位置對齊。也就是說，金屬板60在與長度方向垂直的方向(以下稱為寬度方向(圖9的橫向))上的寬度能夠降到信號端子17不突出的樹脂殼體4的兩個端面之間寬度w2。
[0088]在金屬板60的每個單元區(qū)53，分別形成有多個形成信號端子17的第一部分61和支撐第一部分61的第二部分62。多個第一部分61平行地配置在金屬板60的長度方向。第二部分62具有沿與第一部分61垂直的方向延伸的大致呈線性的平面形狀，并連接第一部分61和后述的第三部分63。具體來說，第二部分62將在金屬部60的寬度方向上彼此相鄰的多個第一部分61聯(lián)接起來，并且，可以將多個第一部分61的一個部分和第三部分63聯(lián)接，或者可以將每個第一部分61與第三部分63單獨聯(lián)接。
[0089]并且，在金屬板60的每個單元區(qū)53，與第一部分61平行地形成有第三部分63。第三部分63配置于金屬板60的寬度方向的最外側(也就是說，比第一部分61更靠外側)，并且連續(xù)穿過在金屬板60的長度方向上相鄰的單元區(qū)53。第三部分63具有例如沿金屬板60的的長度方向延伸的大致呈線狀的平面形狀。第三部分63作為通過第二部分62支撐多個第一部分61的框體發(fā)揮功能。并且，第三部分63具有支撐與金屬板60 —體成型的樹脂殼體4的功能。例如，在第三部分63中，分別在與單元區(qū)53的四個角對應的部分形成有第一孔64。樹脂殼體4能夠被鉤住第一孔64的傳送手(conveyor hand)的固定爪等傳送。
[0090]進一步，在金屬板60的各單元區(qū)53形成有例如以單元區(qū)53的中心點作為大致中心的具有大致呈圓形的平面形狀的第二孔65。第二孔65將各第一部分61 (即信號端子17)一分為二。在第二孔65側的第一部分61的部分為信號端子17的基端。當模具上部51與模具下部52夾著金屬板60嵌合時，模具上部51的凸部51a的頂表面51b側以預定深度x4插入金屬板60的第二孔65。圖10和圖11表不形成模具上部51的凸部51a的頂表面51b的圓柱部分的整體插入到金屬板60的第二孔65的狀態(tài)。
[0091]將樹脂加熱至軟化溫度而使其流入模具50的內部并通過冷卻而固化，所述模具50為模具上部51的凸部51a與模具下部52的凹部52a通過夾持金屬板60的方式配合。模具50的內部是指被模具上部51的凸部51a、金屬板60的第三部分63和模具下部52的凹部52a封住的部分。此時，樹脂流入模具上部51的凸部51a的頂表面51b和金屬管部件3的階梯部10b之間，并且從金屬管部件3的凸部10a的階梯部10b側的部分至階梯部10b側的與開口端12相反側的面16的區(qū)域被樹脂殼體4覆蓋。
[0092]并且，與模具下部52的凹部52a相對地設置有金屬板60的第三部分63。因此，在模具下部52的凹部52a和金屬板60的第三部分63之間流過被軟化的樹脂，由此形成樹脂殼體4的比金屬管部件3的階梯部10b更向外突出的部分。也就是說，金屬板60的第三部分63作為用于形成樹脂殼體4的比金屬管部件3的階梯部10b更向外突出的部分的模具而發(fā)揮功能。金屬板60的第三部分63的內側63a以輕微切入樹脂殼體4的外側表面的方式與樹脂殼體4的外側表面線性接觸，從而固定至樹脂殼體4。
[0093]并且，通過模具上部51的凸部51a的階梯部51c與金屬板60的第一部分61 (信號端子17的基端)接觸，使信號端子17的基端暴露于樹脂殼體4的凹部15內。同時，由于被軟化的樹脂流至模具上部51的凸部51a的其它階梯部51c的附近，金屬板60的第一部分61的與其它階梯部51c相對的部分被嵌入樹脂殼體4內部。然后，從模具50移除一體成型有金屬管部件3和金屬板60的樹脂殼體4。由于沒有樹脂流入金屬板60與模具上部51和模具下部52接觸的部分，因此該部分暴露于樹脂殼體4的外側。
[0094]接下來，切割聯(lián)接多個第一部分61或聯(lián)接第一部分61和第三部分63的第二部分62，從而分離各第一部分61 (信號端子17)(步驟S3)。接下來，通過使用金屬材料9，將基座部件2接合至金屬管部件3的接合端11。接下來，通過使用例如環(huán)氧樹脂粘合劑將壓力傳感器芯片1接合至基座部件2 (步驟S4)。接下來，通過引線鍵合18將壓力傳感器芯片1的電極襯墊(未圖示)與信號端子17電連接(步驟S5)。接下來，進行一般特性試驗(步驟S6)。接下來，通過除去在樹脂殼體4固定的金屬板60的多余部分(即第三部分63)(步驟S7)，僅保留金屬板60的形成信號端子17的第一部分61，從而完成圖1至圖3所示的壓力傳感器單元100。
[0095]如上所述，根據(jù)第三實施例，能夠得到與第一和第二實施例相同的效果。并且，根據(jù)第三實施例，由于使用圓鋼通過鐓粗加工形成金屬管部件，因此幾乎不生成邊料(在切割時產生的廢棄部分)。例如通過使用鈑金經過沖壓加工形成金屬管部件的情況，從鈑金切出成為金屬管部件的部分之后所剩余的所有部分都是邊料。同時，在使用圓鋼的鐓粗加工中，僅是在形成金屬管部件的貫通孔時從圓鋼中挖出的部分為邊料。因此，通過使用圓鋼由鐓粗加工形成金屬管部件，從而能夠大幅度減少金屬材料的使用量，由此能夠提高材料的利用率。因此，能夠降低成本。
[0096]并且，根據(jù)第三實施例，樹脂殼體的比金屬管部件的階梯部還向外突出的部分的厚度，能夠根據(jù)信號端子的相對于壓力導入口的高度來決定，因此，能夠使用成為信號端子的金屬板的一部分作為模具來使金屬管部件和信號端子一體成型于樹脂殼體。因此，當樹脂殼體成型時，無需再插入新模具來確定樹脂殼體的比金屬管部件的階梯部還向外突出的部分的厚度，或按照該新模具的配置