技術(shù)編號(hào)：9665236
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)一般來說，在通過安裝于內(nèi)燃機(jī)等的變速器油封區(qū)塊、液壓驅(qū)動(dòng)器區(qū)塊等來測(cè)量壓力的壓力傳感器裝置中，利用壓阻效應(yīng)的半導(dǎo)體壓力傳感器芯片被用作傳感器元件。該半導(dǎo)體壓力傳感器構(gòu)成為在由單晶硅等具有壓阻效應(yīng)的材料制成的隔膜上，橋接多個(gè)半導(dǎo)體應(yīng)變儀。當(dāng)隔膜由于壓力改變而變形時(shí)，半導(dǎo)體應(yīng)變儀的應(yīng)變儀電阻根據(jù)變形量而改變，并且變化量作為電壓信號(hào)從電橋電路被提取。目前，作為壓力傳感器裝置，已知有將內(nèi)置有隔膜、壓電電阻元件、放大電路和各種調(diào)控電路的壓力傳...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。