石英和|丐長石的假定混合物。圖4示出這種混合物的元素組成取決于石英和鈣長石在該混合物中的比例。顯然，Ca和A1僅存在于材料之一中，即鈣長石中?；诎诩俣ɑ旌衔?基于由X射線光譜確定的元素組成)中的Ca的量，可確定假定混合物包含75%的鈣長石和25%的石英。在示例性方法中，在步驟163中，將在混合物中具有最高比例的材料(即，鈣長石)分配給處理的位置。
[0041]如果不能在步驟161中使用適當(dāng)?shù)南嗨菩詼y度將來自鄰近位置的材料分配給處理的位置，則過程在步驟165處繼續(xù)。在步驟165中，在步驟131中確定的處理的位置的元素組成與擴(kuò)展的材料庫比較。該材料庫比步驟133中使用的材料庫包含更多數(shù)量的材料，并可尤其包含所有已知材料。如果基于適當(dāng)?shù)南嗨菩詼y度在步驟165中發(fā)現(xiàn)匹配材料，則在步驟167中將該匹配材料分配給處理的位置。
[0042]如果不能在步驟165中發(fā)現(xiàn)匹配材料，則處理以步驟169繼續(xù)。在步驟169中，所述位置再次標(biāo)記為不具有分配的材料的位置。
[0043]上述方法可自動(dòng)地執(zhí)行，即，在不存在操作者的人為干預(yù)的情況下產(chǎn)生在步驟111輸出的材料地圖。然而，這不會(huì)防止操作者手動(dòng)地處理被標(biāo)記為“未分配的”的位置。
[0044]在執(zhí)行上述方法之后，可以基于所分配的材料數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。例如，可以基于鄰近位置(特定礦物分配到該鄰近位置)的尺寸計(jì)算特定礦物的粒子的介質(zhì)顆粒大小。作為替代示例，可以基于分配有該特定礦物的位置的數(shù)量相對(duì)于位置的總數(shù)量或相對(duì)于分配有另一礦物的位置的數(shù)量的比率計(jì)算一種或多種特定礦物的平均含量。在基于分配的材料數(shù)據(jù)執(zhí)行了統(tǒng)計(jì)分析之后，這種統(tǒng)計(jì)分析的結(jié)果在輸出裝置上呈現(xiàn)給操作者。輸出裝置可以是顯示裝置?；蛘?，輸出裝置可以是打印機(jī)，其產(chǎn)生期望格式的結(jié)果報(bào)告。
[0045]盡管關(guān)于某些示例性實(shí)施例描述了本公開，但是明顯的是，許多替代、修改和變型對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的。相應(yīng)地，在本文中闡述的本公開的示例性實(shí)施例意在是說明性的，而不是以任何方式限制性的。在不脫離下列權(quán)利要求中限定的本公開的范圍的情況下，可以進(jìn)行各種改變。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種EDS分析的方法，所述方法包括: -提供第一材料集合和相關(guān)材料數(shù)據(jù)(101)，其中，每種材料數(shù)據(jù)表示相關(guān)材料的特性； -將電子束引導(dǎo)至樣品上的多個(gè)位置，并記錄與所述多個(gè)位置中的每個(gè)位置相關(guān)的能量色散X射線光譜(103); 通過下列方式處理所述多個(gè)位置中的每個(gè)位置(105): -如果滿足第一相似性準(zhǔn)則(133)，則將所述第一材料集合中的材料分配給處理的位置(105)，所述第一相似性準(zhǔn)則(133)基于與所述處理的位置相關(guān)的能量色散X射線光譜和第一材料集合的數(shù)據(jù)來確定；以及然后 -確定未分配有所述第一材料集合中的材料的第一位置組(137);以及 -通過如下方式處理所述第一位置組中的位置(113): -確定第二位置組(152)，所述第二位置組(152)分配有所述第一材料集合中的材料并滿足相對(duì)于所述處理的位置的第一接近度準(zhǔn)則；以及 -基于分配給所述第二位置組中的位置的材料，將所述第一材料集合中的至少一種材料分配給所述處理的位置(159)。2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，基于分配給所述第二位置組中的位置的材料，將所述第一材料集合中的至少一種材料分配給所述處理的位置包括: -基于所述處理的位置與所述第二位置組中的每個(gè)位置的比較，從所述第二位置組中選擇一個(gè)位置，其中，將分配給所選擇位置的材料分配給所述處理的位置。3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，從所述第二位置組中選擇位置包括:從所述第二位置組中選擇具有與所述處理的位置最高相似性的位置。4.如權(quán)利要求2或3所述的方法，其中，從所述第二位置組中選擇位置包括: 基于與分配給所述位置的材料相關(guān)的材料數(shù)據(jù)確定所述第二位置組中的每個(gè)位置的主元素；以及 基于與所述處理的位置相關(guān)的能量色散X射線光譜確定與所述處理的位置相關(guān)的元素組成，其中，所述元素組成包括主元素， 其中，選擇具有與被所述處理位置相同的主元素的位置。5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的方法，其中，基于分配給所述第二位置組中的位置的材料將材料分配給所述處理的位置包括: -從所述第二位置組中選擇多個(gè)位置；以及 -設(shè)定多種材料的假定混合物，并且如果滿足基于與所述處理的位置相關(guān)的能量色散X射線光譜和所述多個(gè)位置的材料的材料數(shù)據(jù)確定的第二相似性準(zhǔn)則，則將所述多種材料中的至少一種材料分配給所述處理的位置。6.如權(quán)利要求5所述的方法，還包括:從所述多種材料中選擇所述假定混合物中的具有最高比例的一種材料，并將所選擇的材料分配給所述處理的位置。7.如權(quán)利要求5或6所述的方法，還包括:提供第二材料集合和相關(guān)材料數(shù)據(jù)，其中，每種材料數(shù)據(jù)表示相關(guān)材料的特性，其中，所述第二材料集合具有比所述第一材料集合數(shù)量多的材料，并且， 如果不滿足所述第二相似性準(zhǔn)則，如果滿足基于與所述處理的位置相關(guān)的能量色散X射線光譜和所述第二材料集合的數(shù)據(jù)確定的第三相似性準(zhǔn)則，則將所述第二材料集合的材料分配給所述處理的位置。8.如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述第一材料集合的材料數(shù)據(jù)包括與所述材料相關(guān)的元素組成范圍， 其中，處理所述多個(gè)位置的每個(gè)位置包括基于與所述處理的位置相關(guān)的能量色散X射線光譜確定與所述處理的位置相關(guān)的元素組成，以及 其中，對(duì)于所述第一材料集合的材料，如果與所述處理的位置相關(guān)的元素組成落入該材料的元素組成范圍內(nèi)，則滿足所述第一相似性準(zhǔn)則。9.如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述第一材料集合的材料的材料數(shù)據(jù)包括材料的樣品X射線光譜，其中，對(duì)于所述第一材料集合的材料，如果與所述處理的位置相關(guān)的能量色散X射線光譜和該材料的樣品X射線光譜之間的第一相似性測度超過第一相似性閾值，則滿足所述第一相似性準(zhǔn)則。10.如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的方法，其中，對(duì)于最靠近所述處理的位置的少量的位置，滿足相對(duì)于所述處理的位置的第一接近度準(zhǔn)則，其中，特別地，所述少量小于50、小于20或小于10。11.如權(quán)利要求1至10任一項(xiàng)所述的方法，其中，確定未分配有材料的第一位置組包括僅選擇滿足下列要求的位置作為所述第一組的成員: 滿足相對(duì)于給定位置的第二接近度準(zhǔn)則且未分配有材料的位置的數(shù)量小于一閾值。12.如權(quán)利要求11所述的方法，其中，對(duì)于最靠近所述給定位置的少量的位置，滿足相對(duì)于所述給定位置的第二接近度準(zhǔn)則，其中，特別地，所述少量小于50、小于20或小于10。13.一種配置為執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1至12任一項(xiàng)所述的方法的帶電粒子系統(tǒng)。
【專利摘要】一種EDS分析的方法，包括：提供第一材料集合和相關(guān)材料數(shù)據(jù)，每種材料數(shù)據(jù)表示相關(guān)材料的特性；將電子束引導(dǎo)至樣品上多個(gè)位置，并記錄與多個(gè)位置中每一個(gè)相關(guān)的能量色散x射線光譜；通過下列方式處理多個(gè)位置中的每個(gè)位置：如滿足基于與處理的位置相關(guān)的能量色散x射線光譜和第一材料集合的數(shù)據(jù)確定的第一相似性準(zhǔn)則，則將第一材料集合中的材料分配給處理的位置；以及然后確定未分配有第一材料集合中的材料的第一位置組；以及通過如下方式處理第一位置組中的位置：確定分配有第一材料集合中的材料并滿足相對(duì)于處理的位置的第一接近度準(zhǔn)則的第二位置組；以及基于分配給第二位置組中的位置的材料將第一材料集合中的至少一種材料分配給處理的位置。
【IPC分類】G01N23/223
【公開號(hào)】CN105388177
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510542371
【發(fā)明人】E.希爾
【申請(qǐng)人】卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
【公開日】2016年3月9日
【申請(qǐng)日】2015年8月28日
【公告號(hào)】EP2990783A1, US20160061754