料或甚至所有已知材料的綜合庫(kù)。那么，可通過(guò)與提煉的第一材料集合和材料數(shù)據(jù)比較來(lái)處理位置，從而使用合理的計(jì)算時(shí)間將材料分配給大量位置。僅對(duì)于那些殘余位置(對(duì)其而言，基于提煉的第一材料集合和材料數(shù)據(jù)不可能分配材料)，使用擴(kuò)展的第二材料集合和材料數(shù)據(jù)，使得僅對(duì)比較少量的位置花費(fèi)與擴(kuò)展的集合材料和材料數(shù)據(jù)相關(guān)的更高計(jì)算付出。與用于將第一材料集合的材料分配給處理的位置的第一相似性準(zhǔn)則類似，第三相似性準(zhǔn)則可用于將第二材料集合的材料分配給處理的位置?？苫谂c處理的位置相關(guān)的能量色散X射線光譜和第二材料集合的數(shù)據(jù)確定第三相似性準(zhǔn)則。
[0017]根據(jù)一些實(shí)施例，確定沒(méi)有分配有材料的第一位置組包括僅選擇作為第一組的成員的位置，對(duì)于該位置，滿足下列要求:相對(duì)于給定位置滿足第二接近度準(zhǔn)則且沒(méi)有分配有材料的位置的數(shù)量小于閥值。由于給第二組的位置分配材料基于鄰近的材料，所以這避免了處理在樣品的大面積內(nèi)、沒(méi)有分配有材料的位置。這基于如下理解，將來(lái)自鄰近顆粒的材料分配給靠近該顆粒的顆粒邊界的位置不太錯(cuò)，而未識(shí)別材料的顆粒內(nèi)的位置不應(yīng)分配有鄰近顆粒的材料。
[0018]再一次，對(duì)于最靠近給定位置的少量的位置，可滿足第二接近度準(zhǔn)則，其中，少量可以小于50、小于20或小于10。
【附圖說(shuō)明】
[0019]通過(guò)下面參考附圖對(duì)示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本公開(kāi)的前述內(nèi)容以及其它有利特征會(huì)變得更明顯。應(yīng)注意，并非所有可能實(shí)施例必須呈現(xiàn)本文確定的優(yōu)點(diǎn)的每一個(gè)或任一個(gè)。
[0020]圖1示出說(shuō)明EDS分析方法的流程圖；
[0021 ] 圖2示出圖1所示EDS分析方法細(xì)節(jié)的流程圖；
[0022]圖3示出圖1所示EDS分析的另一方法細(xì)節(jié)的流程圖；以及
[0023]圖4示出圖3的細(xì)節(jié)的圖表。
【具體實(shí)施方式】
[0024]在下文描述的示例性實(shí)施例中，在功能和結(jié)構(gòu)上類似的部件盡可能由相同的參考標(biāo)號(hào)表示。因此，為了理解特定實(shí)施例的單獨(dú)部件的特征，應(yīng)考慮對(duì)本公開(kāi)的其它實(shí)施例和
【發(fā)明內(nèi)容】
的描述。
[0025]圖1是說(shuō)明樣品的EDS分析方法的流程圖。樣品可以是例如礦物樣品。樣品可制備成可使用電子顯微鏡進(jìn)行檢查。樣品制備可包括切割樣品的一部分，拋光其表面。樣品制備還可包括碾磨樣品，將得到的粒子嵌入樹(shù)脂塊中，樹(shù)脂塊也被切割和拋光。
[0026]使用帶電粒子系統(tǒng)(比如電子顯微鏡)執(zhí)行所述分析。該分析可包括通過(guò)檢測(cè)由通過(guò)電子顯微鏡在樣品表面上掃描的初級(jí)電子束產(chǎn)生的二級(jí)電子和/或后向散射電子來(lái)記錄樣品圖像。電子顯微鏡還包括X射線光譜系統(tǒng)，允許檢測(cè)由入射的初級(jí)電子束激發(fā)的X射線。
[0027]假設(shè)分析特定樣品，并且關(guān)于該樣品的一些信息是可用的，使得所有已知材料中的一些材料預(yù)期存在于樣品中，而其它已知材料不應(yīng)存在于樣品中。在步驟101中，將預(yù)期存在于樣品中的第一材料集合提供為提煉的材料庫(kù)。所示方法試圖將來(lái)自提煉的材料庫(kù)的材料分配給樣品的分析位置。僅當(dāng)這是不可能的時(shí)，該方法才試圖將來(lái)自擴(kuò)展的材料庫(kù)的材料分配給該位置。在步驟101中還提供該擴(kuò)展的材料庫(kù)。提煉的材料庫(kù)的材料集合和材料數(shù)據(jù)可以是擴(kuò)展的材料庫(kù)的材料子集合和材料數(shù)據(jù)。
[0028]對(duì)于每種材料，提煉的材料庫(kù)和擴(kuò)展的材料庫(kù)包含對(duì)應(yīng)的材料數(shù)據(jù)。材料數(shù)據(jù)可包括包含在用于材料的材料和/或樣品X射線光譜中的元素的元素組成范圍。
[0029]在步驟103中，將電子束引導(dǎo)至樣品上的多個(gè)位置，記錄每個(gè)位置的X射線光譜。隨后循環(huán)分析所述位置和相關(guān)X射線光譜，其中，在步驟105中處理下一位置，在步驟105中，材料被分配給所述位置，在步驟107中確定是否處理完所有位置。
[0030]圖2的流程圖中示出在步驟105執(zhí)行的處理細(xì)節(jié)。
[0031]圖2所示處理需要與所分析位置相關(guān)的記錄的X射線光譜。在步驟131，基于X射線光譜確定元素組成。在步驟133，將所確定的元素組成與包含在提煉的材料庫(kù)中的材料的元素組成范圍進(jìn)行比較。如果在材料庫(kù)中發(fā)現(xiàn)匹配的材料，則在步驟135將該匹配的材料分配給處理的位置，圖1的步驟105的處理終止。確定提煉的材料庫(kù)的一種材料是否匹配可以基于以能量色散X射線光譜和包含在材料庫(kù)中的材料的材料數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)計(jì)算的相似性測(cè)度。計(jì)算的相似性測(cè)度可以與相似性閾值進(jìn)行比較，如果相似性測(cè)度超過(guò)相似性閾值，則材料匹配。特別地，在步驟131基于X射線光譜確定的元素組成可以與與包含在材料庫(kù)中的材料相關(guān)的元素組成范圍進(jìn)行比較。
[0032]如果在步驟133中沒(méi)有在材料庫(kù)中發(fā)現(xiàn)匹配的材料，則在步驟137將該位置標(biāo)記為“未分配的”，表示在步驟133不可能將提煉的材料庫(kù)的材料分配給該位置。這可通過(guò)例如將表明該位置的數(shù)據(jù)記錄的成分設(shè)定為預(yù)定值或者通過(guò)將該位置添加到收集所有處理的位置(在步驟113不可能給其分配材料)的位置列表來(lái)實(shí)現(xiàn)。這終止圖1的步驟105的處理。
[0033]如果在步驟107中確定已處理了所有位置，則該方法繼續(xù)進(jìn)行步驟109。否則，該方法通過(guò)分析下一位置而進(jìn)行步驟105。
[0034]在步驟109，確定所述位置的一個(gè)或多個(gè)是否標(biāo)記為“未分配的”，即，在步驟105中是否可將來(lái)自提煉的材料庫(kù)的材料分配給該位置。如果沒(méi)有不具有分配的材料的位置，則該方法以步驟111終止。步驟111可包括輸出材料地圖，材料地圖表示樣品位置和分配給樣品位置的材料之間的對(duì)應(yīng)性。
[0035]如果在步驟109確定存在不具有分配的材料的位置，則該方法執(zhí)行具有步驟113和115的循環(huán)，以處理未分配的位置。在步驟113處理每個(gè)相應(yīng)下一位置，其中，通過(guò)使用與步驟105使用的策略不同的策略再次試圖將材料分配給處理的位置。下面參考圖3更詳細(xì)地說(shuō)明在步驟113中的處理細(xì)節(jié)。在步驟115中，確定是否已處理所有未分配的位置。如果這是真的，則處理以步驟111終止。否則，在步驟113處理下一未分配的位置。
[0036]圖3的流程圖示出在步驟113中執(zhí)行的處理細(xì)節(jié)。
[0037]步驟113中的處理包括基于已分配給與該處理的位置鄰近的位置的材料將材料分配給未分配的處理的位置。這是基于這樣的假設(shè)，給定位置處的材料可能類似于存在于鄰近位置中的材料。然而，該假設(shè)在以下情形下可能是錯(cuò)誤的，未分配的位置例如位于未識(shí)別材料的顆粒的中心。因此，在步驟151中確定與處理的位置鄰近的未分配位置的數(shù)量。如果該數(shù)量大于預(yù)定閾值，則在步驟153中確定不可能將材料分配給該位置，其在步驟155中再次標(biāo)記為“未分配的”。
[0038]如果該數(shù)量小于閾值，則處理以步驟157繼續(xù)，在步驟157中，確定鄰近處理的位置且分配有材料的位置組。在步驟157中，還確定該位置組中的位置之一是否滿足與處理的位置的相似性準(zhǔn)則。如果是這樣的話，則在步驟159中，分配給滿足相似性準(zhǔn)則的位置的材料還分配給處理的位置。例如，如果相鄰位置的材料具有與處理的位置相同的主元素，則滿足相似性準(zhǔn)則。
[0039]如果在步驟157中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)位置組中滿足相似性準(zhǔn)則的位置，則處理以步驟161繼續(xù)。在步驟161中，假設(shè)位于處理的位置的材料是位于兩個(gè)或更多個(gè)鄰近位置的材料的假定材料混合物，將相鄰位置的至少一種材料分配給處理的位置。
[0040]現(xiàn)在參考圖4說(shuō)明這種處理的示例。假設(shè)第一相鄰位置具有分配的材料石英，第二相鄰位置具有分配的材料1丐長(zhǎng)石。石英具有47重量％的Si和53重量％的0的組成，而I丐長(zhǎng)石具有14重量％的Ca、20重量％的Al、20重量％的Si和46重量％的0的組成。還假設(shè)，由在處理的位置的X射線光譜確定的元素組成為26.75重量％的S1、10.5重量％的Ca、15重量％的A1和47.75重量％的0。假設(shè)處理的位置的材料是