為對圖案化藍(lán)寶石基板200進(jìn)行切割，而造成對藍(lán)寶石基板200材料的浪費(fèi)。
[0029]此外，本案的光學(xué)測量裝置100所具有的光學(xué)探針130亦可沿一垂直方向上下移動(dòng)，以因應(yīng)圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210的變化調(diào)整測量焦點(diǎn)134的相對位置。另一方面，藉由光學(xué)探針130的上下移動(dòng)，亦有助于供影像處理器150計(jì)算及反推藍(lán)寶石基板200的底寬及球徑，以獲得更為精準(zhǔn)的數(shù)值。
[0030]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，光源110為一全波長光源，包括可見光及不可見光，且較佳地，第一光束300為一共軛焦白光激光光束。
[0031]如圖4所示，本發(fā)明還揭示一種測量圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210的狀態(tài)的光學(xué)測量方法，其包含下列步驟。
[0032]首先，如步驟401所示，利用一自動(dòng)光學(xué)檢查(Automated Optical Inspect1n，Α0Ι)程序，檢查圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210，以定義一良品區(qū)域與一缺陷區(qū)域；接著，如步驟402所示，提供光源110以發(fā)射第一光束300 ;如步驟403所示，使第一光束300依序通過光纖連接器120及光學(xué)探針130，而聚焦于圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210上所定義的測量焦點(diǎn)134 ;最后，如步驟404所示，當(dāng)?shù)谝还馐?00為圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210反射而形成第二光束400后，提供影像處理器150，以接收第二光束400并進(jìn)行影像分析作業(yè)。其中，測量焦點(diǎn)134位于良品區(qū)域內(nèi)，光學(xué)探針130在相對于測量焦點(diǎn)134的一側(cè)具有針孔132以供第一光束300入射，且針孔132與測量焦點(diǎn)134為共軛。
[0033]如此一來，當(dāng)以自動(dòng)光學(xué)檢查程序快速地檢查圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210，以先期初步定義良品區(qū)域與缺陷區(qū)域后，便能夠確保本案的光學(xué)測量裝置100及光學(xué)測量方法可直接被應(yīng)用于正確的測量區(qū)域上，有效避免誤差值的產(chǎn)生。之后，再藉由針孔132與測量焦點(diǎn)134間的共軛關(guān)系，同時(shí)配合第一光束300的強(qiáng)度大小、聚焦焦點(diǎn)位置等數(shù)值的調(diào)整，影像處理器150將可根據(jù)測量反射后的第二光束400的波長、能量變化等數(shù)據(jù)，以高速測量方式捕捉到非常精準(zhǔn)的參數(shù)(如圖案化藍(lán)寶石基板200的圖案高度、球徑大小、頭寬及底寬等)。因此，本案所揭露的此種非接觸式的測量方式，除了如上述實(shí)施例的內(nèi)容所言，可進(jìn)行本案圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210的測量外，亦可使用于其他基板或面板上進(jìn)行測量。
[0034]由于本案的光學(xué)測量裝置100及光學(xué)測量方法應(yīng)用于圖案化藍(lán)寶石基板200的測量時(shí)，可在單次的掃描路徑及掃描時(shí)間內(nèi)，同時(shí)取得圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210的高度變化、以及取得圖案化藍(lán)寶石基板200對第一光束300的波長的反射變化量等數(shù)值，故通過影像處理器150的適當(dāng)運(yùn)算后，便可利用這些數(shù)值而計(jì)算出且輸出圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210的3D輪廓。另一方面，藉由上述所取得的第一光束300的波長的變化量，亦可用以計(jì)算圖案化藍(lán)寶石基板200的圖案高度、球徑大小、頭寬及底寬等數(shù)值。
[0035]綜上所述，藉由本發(fā)明的測量圖案化藍(lán)寶石基板200的光學(xué)測量裝置100及光學(xué)測量方法，將可在測量圖案化藍(lán)寶石基板200的表面210的同時(shí)，保有圖案化藍(lán)寶石基板200的完整性，如此一來，不僅可避免對所測量的圖案化藍(lán)寶石基板200造成破壞性損失，更可進(jìn)一步降低因破壞圖案化藍(lán)寶石基板200所導(dǎo)致的生產(chǎn)成本。另一方面，也因?yàn)楸景傅臏y量圖案化藍(lán)寶石基板200的光學(xué)測量裝置100及光學(xué)測量方法屬于非破壞性測量的關(guān)系，故亦可用以局部性或全面性地進(jìn)行圖案化藍(lán)寶石基板200的測量作業(yè)，以有效控管后端產(chǎn)線成品的品質(zhì)。
[0036]上述的實(shí)施例僅用來例舉本發(fā)明的實(shí)施方式，以及闡釋本發(fā)明的技術(shù)特征，并非用來限制本發(fā)明的保護(hù)范疇。任何熟悉此技術(shù)者可輕易完成的改變或均等性的安排均屬于本發(fā)明所主張的范圍，本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍應(yīng)以申請專利范圍為準(zhǔn)。
[0037]符號(hào)說明
[0038]100光學(xué)測量裝置
[0039]110 光源
[0040]120光纖連接器
[0041]130光學(xué)探針
[0042]132 針孔
[0043]134測量焦點(diǎn)
[0044]140 光纖
[0045]150影像處理器
[0046]200圖案化藍(lán)寶石基板
[0047]210 表面
[0048]300 第一光束
[0049]400 第二光束
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光學(xué)測量裝置，用以測量一圖案化藍(lán)寶石基板的一表面的狀態(tài)，包含: 一光源，用以發(fā)射一第一光束； 一光纖連接器，相鄰該光源設(shè)置； 一光學(xué)探針，鄰設(shè)于該光纖連接器，并相對該光源設(shè)置； 多個(gè)光纖，用以分別連接該光源、該光纖連接器及該光學(xué)探針；以及 一影像處理器，與該光源設(shè)置于相同側(cè)，并與該光纖連接器相互連接； 其中，該第一光束自該光源發(fā)射后，適于通過所述光纖依序通過該光纖連接器、該光學(xué)探針，而匯聚于該圖案化藍(lán)寶石基板的該表面，該第一光束為該圖案化藍(lán)寶石基板的該表面反射后適于形成一第二光束，該第二光束接著依序經(jīng)過該光學(xué)探針、該光纖連接器后，適于為該影像處理器所接收，以進(jìn)行該第二光束的影像分析作業(yè)。2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)測量裝置，其特征在于，該光學(xué)探針在鄰近該光纖連接器處具有一針孔以供該第一光束入射，該光學(xué)探針在該圖案化藍(lán)寶石基板的該表面定義一測量焦點(diǎn)，且該針孔與該測量焦點(diǎn)為共軛。3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)測量裝置，其特征在于，該光學(xué)探針適于沿該圖案化藍(lán)寶石基板的該表面進(jìn)行一全區(qū)掃描。4.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)測量裝置，其特征在于，該光學(xué)探針適于沿一垂直方向上下移動(dòng)。5.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)測量裝置，其特征在于，該光源為一全波長光源，包括可見光及不可見光，且該第一光束為一激光光束。6.一種光學(xué)測量方法，用以測量一圖案化藍(lán)寶石基板的一表面狀態(tài)，包含下列步驟: 利用一自動(dòng)光學(xué)檢查程序，檢查該圖案化藍(lán)寶石基板的該表面，以定義一良品區(qū)域與一缺陷區(qū)域； 提供一光源以發(fā)射一第一光束； 使該第一光束依序通過一光纖連接器及一光學(xué)探針，而聚焦于該圖案化藍(lán)寶石基板的該表面上所定義的一測量焦點(diǎn)； 其中，該測量焦點(diǎn)位于該良品區(qū)域內(nèi)，該光學(xué)探針在相對該測量焦點(diǎn)處具有一針孔以供該第一光束入射，且該針孔與該測量焦點(diǎn)為共軛。7.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)測量方法，還包含下列步驟: 當(dāng)該第一光束為該圖案化藍(lán)寶石基板的該表面反射而形成一第二光束后，提供一影像處理器，以接收該第二光束并進(jìn)行分析作業(yè)。8.如權(quán)利要求7所述的光學(xué)測量方法，其特征在于，該影像處理器與該光源設(shè)置于相同側(cè)，并與該光纖連接器相互連接。9.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)測量方法，其特征在于，該光學(xué)探針適于沿該圖案化藍(lán)寶石基板的該表面的該良品區(qū)域進(jìn)行一全區(qū)掃描。10.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)測量方法，其特征在于，該光源為一全波長光源，包括可見光及不可見光。
【專利摘要】本發(fā)明關(guān)于一種光學(xué)測量裝置，包含一光源、一光纖連接器、一光學(xué)探針、多個(gè)光纖及一影像處理器。光源用以發(fā)射一第一光束；光纖連接器相鄰光源設(shè)置；光學(xué)探針鄰設(shè)于光纖連接器，并相對光源設(shè)置；多個(gè)光纖用以分別連接光源、光纖連接器及光學(xué)探針；影像處理器與光源設(shè)置于相同側(cè)，并與光纖連接器相互連接。其中，第一光束自光源發(fā)射后會(huì)匯聚于一圖案化藍(lán)寶石基板的一表面，第一光束為圖案化藍(lán)寶石基板的表面反射后形成一第二光束，第二光束接著依序經(jīng)過光學(xué)探針、光纖連接器后，為影像處理器所接收，以進(jìn)行第二光束的影像分析作業(yè)。
【IPC分類】G01N21/956
【公開號(hào)】CN105372265
【申請?zhí)枴緾N201510446543
【發(fā)明人】蔡政道
【申請人】政美應(yīng)用股份有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年7月27日
【公告號(hào)】US20160047755