校準的距離。
[0032]高垂直分辨率傳感器和預映射傳感器可以完全分開，因為傳感器之間的(X、Υ、Ζ)偏移量能夠得到很好的校準。
[0033]根據(jù)實施例，測量所述測試表面的第一部分的高精度高度圖包括在所述高分辨率的光學輪廓儀傳感器的焦點范圍內掃描所述測試表面。
[0034]根據(jù)實施例，所述高分辨率的光學輪廓儀傳感器為白光干涉測量傳感器、移相干涉測量傳感器、波長掃描干涉測量傳感器、共聚焦傳感器、聚焦點恢復傳感器、結構照明顯微傳感器中的一個。
[0035]根據(jù)實施例，提供了:
[0036]使得用戶能夠觀看由所述預映射傳感器所創(chuàng)建的圖像；
[0037]使得用戶能夠從所述預映射傳感器所創(chuàng)建的圖像中選擇關注區(qū)域或者取消對關注區(qū)域的選擇，以例如避免拼合問題。
[0038]在拼合重疊區(qū)域時，如果在重疊區(qū)域中存在丟失或錯誤數(shù)據(jù)，則將會發(fā)生拼合誤差。通常，丟失或錯誤數(shù)據(jù)可能由以下原因造成:樣本反射率的局部差異、超出光學系統(tǒng)的角度限制的局部采樣角度、或者在樣本中的大臺階的陰影效果。通過預映射數(shù)據(jù)的分析能夠消除拼合問題區(qū)域。這打開了在用光學輪廓儀進行最終掃描期間預先獲取這些拼合誤差的可能性。通過增加額外的視野、針對光學輪廓儀切換視野、或者以不同強度反復測量并合并關注區(qū)域，能夠通過測量在重疊區(qū)域中確實存在無效數(shù)據(jù)來避免拼合問題。
[0039]根據(jù)實施例，預映射傳感器包括三角測量傳感器。預映射傳感器可以包括將輻射光束引導到測試表面上的輻射系統(tǒng)，以及接收測試表面的輻射光束的反射的檢測器。檢測器上的接收到在檢測器上的反射的位置是預映射傳感器和測試表面之間的距離的指示。
[0040]輻射系統(tǒng)可以是燈、發(fā)光二極管、或者激光。輻射系統(tǒng)可以提供寬帶輻射光束。
[0041]根據(jù)實施例，預映射傳感器包括例如使用Foucault結構的刀口聚焦傳感器。
[0042]根據(jù)實施例，預映射傳感器包括色點(chromatic point)傳感器。
[0043]根據(jù)實施例，預映射傳感器包括觸覺傳感器。
[0044]根據(jù)實施例，預映射傳感器包括電容式傳感器。
[0045]根據(jù)實施例，預映射傳感器包括共聚焦型傳感器。
[0046]在一個實施例中，高精度光學輪廓儀可以是干涉儀設備。為了生成樣本的測試表面的干涉信號，包括:
[0047]寬帶照射器，以提供寬帶照射光束；
[0048]分束器，以經(jīng)由具有焦點范圍的目標將帶寬照射光束分束為用于在參考反射鏡上反射的參考光束和用于在測試表面上反射的測量光束；
[0049]檢測器，以接收由從參考反射鏡反射的參考光束和從測試表面反射的測量光束之間的干涉而創(chuàng)建的干涉信號；
[0050]計算機控制的精確(X、Y、Z)測試臺，以相對于檢測器定位樣本。也可以移動檢測器。也可以組合樣本和傳感器移動。
[0051]干涉儀設備可以是例如寬帶干涉儀，例如，Mirau、Michelson和/或Linnik干涉儀設備。
[0052]在參考光束的距離與測量光束的距離相等的情況下，檢測器所接收到的干涉信號具有最大值。掃描部件可以將測試表面和設備之間的距離在該最大值上下改變幾百微米的視野，以確定該表面的高度圖。設備因此具有在此最大值附近有限的焦距深度，并且在不具有測試表面所在位置的粗糙表示的情況下，在掃描部件的掃描范圍內獲取測試表面可能需要時間。
[0053]在一個實施例中，高精度3D傳感器可以是旋轉盤共聚焦(Nipkov)設備、可編程陣列共聚焦設備、或者單點共聚焦設備。
[0054]在一個實施例中，高精度3D傳感器可以是聚焦形狀恢復Chape FromFocus (SFF))傳感器，也被稱為聚焦點恢復(Points From Focus (PFF))傳感器。
[0055]在一個實施例中，高精度傳感器可以是結構照明設備。照射光束可以在垂直于照射光束的光軸的至少兩個方向具有正弦空間模式，該照射光束移動至不同的空間模式位置?？梢栽诓煌膾呙栉恢醚刂龉廨S來掃描測試表面。后續(xù)的空間模式位置之間的移動距離和后續(xù)的掃描位置之間的掃描距離存在固定的關系。在具有相應空間模式位置的空間模式的掃描位置檢測由表面反射的光。
[0056]在一個實施例中，高精度光學輪廓儀可以是數(shù)字全息設備。
[0057]在一個實施例中，高精度光學輪廓儀可以是具有比預映射傳感器的精度高的任意光學輪廓儀。
[0058]根據(jù)進一步實施例，提供了一種用于使用多傳感器光學輪廓儀來測量測試表面的高度圖的方法，包括:
[0059]使用設置在光學輪廓儀的預映射傳感器來照射測試表面的部分；
[0060]使用所述預映射傳感器來測量從測試表面的部分接收的輻射強度；
[0061]結合所測量的輻射強度和與預映射傳感器和高分辨率光學輪廓儀傳感器的照射特性有關的先驗信息，能夠計算使用高分辨率光學輪廓儀傳感器來照射測試表面的部分所需要的照射設置；
[0062]作為選擇，計算照射在該部分的輻射和從該部分接收的輻射的比率；結合此比率和與預映射傳感器和高分辨率光學輪廓儀傳感器的照射特性有關的先驗信息，能夠計算使用高分辨率光學輪廓儀傳感器來照射測試表面的部分所需要的照射設置；
[0063]使用高分辨率光學輪廓儀傳感器以所需要的照射設置來照射測試表面的部分；以及
[0064]使用高分辨率光學輪廓儀傳感器來測量高精度高度圖。
[0065]通過計算照射在該部分的輻射和從該部分接收的輻射強度的比率，能夠確定測試表面的部分如何散射和/或反射福射。
[0066]通過使用此比率(或者更簡單地說，預映射傳感器所測量的原始照射強度)和先驗信息，以計算使用高分辨率光學輪廓儀傳感器來照射測試表面的部分所需要的照射設置，在高分辨率光學輪廓儀傳感器處接收合適的輻射變得更容易。因此可以省略確定所需要的照射而使用高分辨率光學輪廓儀傳感器的試驗性測量，以節(jié)省時間和增加光學輪廓儀的生產(chǎn)率。
[0067]可以將比率、預映射傳感器照射等級、先驗信息、所需要的照射設置等存儲在存儲器中。在使用高分辨率光學輪廓儀傳感器進行測量期間，可以從存儲器中取回比率、預映射傳感器照射等級、先驗信息、或者所需要的照射設置。
[0068]預映射傳感器可以包括共聚焦傳感器、三角聚焦傳感器、刀口聚焦傳感器、色點傳感器、聚焦點/形狀恢復傳感器、結構照明顯微鏡傳感器、聚焦垂直影像對比度傳感器、或聚焦橫向影像對比度傳感器。高分辨率光學輪廓儀傳感器可以為白光干涉測量傳感器、移相干涉測量傳感器或波長掃描干涉測量傳感器、共聚焦傳感器、聚焦點恢復傳感器、或結構照明顯微鏡傳感器。
【附圖說明】
[0069]以下將參考示意附圖，通過示例的方式描述本發(fā)明的實施例，其中附圖中相應的附圖標記表示相應的部件，并且其中:
[0070]圖1示出根據(jù)實施例的干涉儀設備；
[0071]圖2示出來自預映射傳感器的、顯示可以從中選取關注區(qū)域的一些相鄰區(qū)域的圖；
[0072]圖3示出如何可以將所需要的視野自動分布于關注區(qū)域；