技術(shù)編號(hào):9562877
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使用多傳感器光學(xué)輪廓儀來(lái)。背景技術(shù)通常,對(duì)于3D光學(xué)輪廓儀系統(tǒng),高度圖精度與垂直掃描范圍和垂直掃描速度成反比關(guān)系。高精度光學(xué)輪廓儀傳感器可能具有有限的視野,例如視野可能是0.1X0.1_,而測(cè)試表面可能更大一些。因此,存在如下需要,將位于傳感器下方的測(cè)試表面從該測(cè)試表面的第一部分移動(dòng)至該測(cè)試表面的后續(xù)部分,從而可以將多幅高度圖結(jié)合在一起以使得能夠得到整個(gè)測(cè)試表面的測(cè)量結(jié)果。如果針對(duì)各高度圖,操作者不得不以自動(dòng)方式或者手動(dòng)方式尋找測(cè)試表面位于傳...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。