表面輪廓的測(cè)量方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種表面輪廓的測(cè)量方法，包括：步驟S10、提供測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置包括一個(gè)測(cè)量設(shè)備及至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)裝置，所述測(cè)量設(shè)備安裝于所述運(yùn)動(dòng)裝置上；步驟S20、提供標(biāo)準(zhǔn)件，所述標(biāo)準(zhǔn)件具有至少一個(gè)光滑平面；步驟S30、所述運(yùn)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量設(shè)備按照預(yù)設(shè)的路徑對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)件的光滑平面進(jìn)行測(cè)量，得到補(bǔ)正數(shù)據(jù)；步驟S40、按上述步驟S30，至得到對(duì)應(yīng)所有預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)組；步驟S50、提供待測(cè)量工件，并選擇路徑對(duì)所述待測(cè)量工件進(jìn)行測(cè)量，得到第一測(cè)量數(shù)據(jù)；步驟60、在所述數(shù)據(jù)組中調(diào)取與所述選擇路徑相匹配的或覆蓋所述選擇路徑的預(yù)設(shè)路徑對(duì)應(yīng)的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，并將所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)補(bǔ)正到所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)中。
【專利說(shuō)明】表面輪廓的測(cè)量方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及表面輪廓測(cè)量領(lǐng)域，尤其涉及一種表面輪廓的測(cè)量方法。

【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)于表面形狀或輪廓的測(cè)量裝置的測(cè)量，現(xiàn)有的普遍技術(shù)主要把注意力放在各軸運(yùn)動(dòng)沿著該軸的坐標(biāo)準(zhǔn)確性，某兩個(gè)軸運(yùn)動(dòng)平面或三個(gè)軸運(yùn)動(dòng)空間的坐標(biāo)與理想坐標(biāo)的對(duì)應(yīng)性，例如用激光干涉儀測(cè)量校準(zhǔn)某軸步長(zhǎng)，用一個(gè)帶格子或圖案的標(biāo)準(zhǔn)平面來(lái)校準(zhǔn)平面坐標(biāo)定位的誤差等，應(yīng)用一個(gè)三維標(biāo)準(zhǔn)件和三軸復(fù)合運(yùn)動(dòng)校準(zhǔn)三維空間坐標(biāo)。相對(duì)于普通精度的測(cè)量來(lái)說(shuō)，配合精密的運(yùn)動(dòng)部件這些方法已經(jīng)可以達(dá)到精度要求，但對(duì)于精度要求更高的測(cè)量，某個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)可能會(huì)由于重心移動(dòng)、構(gòu)件如導(dǎo)軌絲桿等對(duì)基礎(chǔ)受力變化等諸多原因，會(huì)對(duì)其他的軸產(chǎn)生輕微的影響。對(duì)于沿軸校準(zhǔn)的方法，其缺點(diǎn)是沒(méi)有考慮到該軸的移動(dòng)會(huì)對(duì)其他的測(cè)量軸的影響。對(duì)于復(fù)合運(yùn)動(dòng)和標(biāo)準(zhǔn)件的空間誤差校準(zhǔn)，首先沒(méi)有把每個(gè)軸分離開(kāi)來(lái)，也沒(méi)有把被校準(zhǔn)軸置于靜止，運(yùn)動(dòng)本身就已經(jīng)包含有交互影響而且該影響可能和實(shí)際使用時(shí)差異較大，被校準(zhǔn)軸運(yùn)動(dòng)本身就會(huì)有誤差而且含有相當(dāng)一部分誤差不具有可重復(fù)性，不具有重復(fù)性的這部分誤差就不能被校準(zhǔn)。特別是在亞微米級(jí)別的測(cè)量領(lǐng)域，光靠精密機(jī)械構(gòu)件實(shí)現(xiàn)高精度是困難的，及時(shí)實(shí)現(xiàn)成本也會(huì)大幅增加。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的主要目的在于提供一種表面輪廓的測(cè)量方法，旨在解決現(xiàn)有的測(cè)量方法精度相對(duì)較低的技術(shù)問(wèn)題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種表面輪廓的測(cè)量方法，包括如下步驟:
[0005]步驟S10、提供測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置包括一個(gè)測(cè)量設(shè)備及至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)裝置，所述測(cè)量設(shè)備安裝于所述運(yùn)動(dòng)裝置上；
[0006]步驟S20、提供標(biāo)準(zhǔn)件，所述標(biāo)準(zhǔn)件具有至少一個(gè)光滑平面；
[0007]步驟S30、所述運(yùn)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量設(shè)備按照預(yù)設(shè)的路徑對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)件的光滑平面進(jìn)行測(cè)量，得到補(bǔ)正數(shù)據(jù)；
[0008]步驟S40、按上述步驟S30，至得到對(duì)應(yīng)所有預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)組；
[0009]步驟S50、提供待測(cè)量工件，并選擇路徑對(duì)所述待測(cè)量工件進(jìn)行測(cè)量，得到第一測(cè)量數(shù)據(jù)；
[0010]步驟60、在所述數(shù)據(jù)組中調(diào)取與所述選擇路徑相匹配的或覆蓋所述選擇路徑的預(yù)設(shè)路徑對(duì)應(yīng)的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，并將所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)補(bǔ)正到所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)中。
[0011]優(yōu)選地，所述測(cè)量設(shè)備在步驟S30的測(cè)量過(guò)程中沿所述測(cè)量設(shè)備的主測(cè)量軸方向保持靜止。
[0012]優(yōu)選地,所述步驟S30具體包括:
[0013]步驟S31、所述運(yùn)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量設(shè)備按照預(yù)設(shè)的路徑對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)件的光滑平面進(jìn)行測(cè)量，得到第二測(cè)量數(shù)據(jù)；
[0014]步驟S32、將所述第二測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較運(yùn)算，得到對(duì)應(yīng)所述預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
[0015]優(yōu)選地，在步驟S32之前，還包括:
[0016]步驟S33、重復(fù)步驟31，得到對(duì)應(yīng)同一預(yù)設(shè)路徑的數(shù)組第二測(cè)量數(shù)據(jù)；
[0017]步驟S34、將數(shù)組所述第二測(cè)量數(shù)據(jù)中對(duì)應(yīng)各同一測(cè)量點(diǎn)的數(shù)值進(jìn)行平均，得到所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
[0018]優(yōu)選地，在步驟S34之前，還包括:
[0019]步驟S35、判斷對(duì)應(yīng)同一測(cè)量點(diǎn)的數(shù)值是否超出預(yù)設(shè)的誤差范圍；
[0020]步驟S36、是，則刪除超出預(yù)設(shè)的誤差范圍的數(shù)值；否，則執(zhí)行步驟S34。
[0021 ] 優(yōu)選地，所述步驟S40與步驟S50之間，還包括:
[0022]步驟S70、將所述數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于儲(chǔ)存設(shè)備的對(duì)應(yīng)位置；所述儲(chǔ)存設(shè)備為移動(dòng)儲(chǔ)存設(shè)備或固態(tài)存儲(chǔ)設(shè)備。
[0023]優(yōu)選地,所述步驟S60具體包括:
[0024]步驟S61、根據(jù)所述選擇路徑內(nèi)的測(cè)量點(diǎn)或測(cè)量區(qū)域查找對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)路徑；
[0025]步驟S62、讀取對(duì)應(yīng)所述預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)；
[0026]步驟S63、將所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)補(bǔ)正到所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)中。
[0027]優(yōu)選地，所述所有預(yù)設(shè)路徑組成一平面或曲面。
[0028]優(yōu)選地，在預(yù)設(shè)所述預(yù)設(shè)路徑時(shí)，讓預(yù)設(shè)路徑等同或覆蓋將要測(cè)量的被測(cè)量工件的測(cè)量路徑。
[0029]優(yōu)選地，所述測(cè)量裝置為非接觸式位置傳感器。
[0030]本發(fā)明的表面輪廓的測(cè)量方法，通過(guò)將安裝在對(duì)應(yīng)測(cè)量方向上的測(cè)量設(shè)備在測(cè)量方向上固定，并使得測(cè)量設(shè)備在非測(cè)量方向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而獲得該測(cè)量方向上的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，對(duì)該測(cè)量方向上的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正，以保證該測(cè)量方向的測(cè)量精度，然后再獲得其他方向上的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)其他方向的測(cè)量數(shù)據(jù)的補(bǔ)正，進(jìn)而保證每個(gè)測(cè)量方向上的測(cè)量精度。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0031]圖1為本發(fā)明表面輪廓的測(cè)量方法的第一實(shí)施例的流程圖；
[0032]圖2為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明表面輪廓的測(cè)量方法的測(cè)量裝置的一實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖3為圖1中所述的步驟S30的第一實(shí)施例的具體步驟流程圖；
[0034]圖4為圖1中所述的步驟S30的第二實(shí)施例的具體步驟流程圖；
[0035]圖5為圖1中所述的步驟S30的第三實(shí)施例的具體步驟流程圖；
[0036]圖6為本發(fā)明表面輪廓的測(cè)量方法的第二實(shí)施例的流程圖；
[0037]圖7為圖1中所述的步驟S60的一實(shí)施例的具體步驟流程圖。
[0038]本發(fā)明目的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說(shuō)明。

【具體實(shí)施方式】
[0039]應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0040]本發(fā)明提供一種表面輪廓的測(cè)量方法，參照?qǐng)D1至圖3，在一實(shí)施例中，所述表面輪廓的測(cè)量方法包括如下步驟:
[0041]步驟S10、提供測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置包括一個(gè)測(cè)量設(shè)備200及至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)裝置400，所述測(cè)量設(shè)備200安裝于所述運(yùn)動(dòng)裝置400上。
[0042]具體的，所述測(cè)量設(shè)備200為非接觸式位置傳感器。所述運(yùn)動(dòng)裝置400為帶動(dòng)所述測(cè)量設(shè)備200做直線運(yùn)動(dòng)與曲線運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)施例中，所述測(cè)裝置為三坐標(biāo)測(cè)量裝置，所述測(cè)量設(shè)備200固定安裝于一測(cè)量軸(如Z軸)上，且所述測(cè)量設(shè)備200在步驟S30中在Z軸方向上固定，只能沿著X軸與/或Y軸做平面運(yùn)動(dòng)。
[0043]步驟S20、提供標(biāo)準(zhǔn)件600，所述標(biāo)準(zhǔn)件600具有至少一個(gè)光滑平面。
[0044]具體的，所述標(biāo)準(zhǔn)件600 —般是一個(gè)固體的，尺寸相對(duì)穩(wěn)定，具有一定硬度的預(yù)先設(shè)計(jì)的部件或組件，通過(guò)安裝或擺放的方法附著在測(cè)量裝置通常放置被測(cè)物的位置。
[0045]步驟S30、所述運(yùn)動(dòng)裝置400驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量設(shè)備200按照預(yù)設(shè)的路徑對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)件600的光滑平面進(jìn)行測(cè)量，得到補(bǔ)正數(shù)據(jù)。優(yōu)選地，所述測(cè)量設(shè)備200在測(cè)量過(guò)程中沿所述測(cè)量設(shè)備200的主測(cè)量軸方向保持靜止。在預(yù)設(shè)所述預(yù)設(shè)路徑時(shí)，讓預(yù)設(shè)路徑等同或覆蓋將要測(cè)量的被測(cè)量工件的測(cè)量路徑。
[0046]其具體包括:
[0047]步驟S31、所述運(yùn)動(dòng)裝置400驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量設(shè)備200按照預(yù)設(shè)的路徑對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)件600的光滑平面進(jìn)行測(cè)量，得到第二測(cè)量數(shù)據(jù)。
[0048]具體的，所述預(yù)設(shè)路徑為所述測(cè)量設(shè)備200進(jìn)行測(cè)量時(shí)所走過(guò)的形成，即X軸與/或Y軸的行進(jìn)路線，其可以通過(guò)用戶現(xiàn)場(chǎng)指定的方式獲取、或用戶通過(guò)在程序中預(yù)設(shè)的多個(gè)路徑中選擇的方式獲取、或以默認(rèn)的方式獲取。
[0049]步驟S32、將所述第二測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較運(yùn)算，得到對(duì)應(yīng)所述預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
[0050]具體的，所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)表示所述標(biāo)準(zhǔn)件600的光滑平面的理論值，如，測(cè)量點(diǎn)為五個(gè)，各測(cè)量點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)值分別為55、55、55、55、55 ;而實(shí)際測(cè)量值(即所述的第一測(cè)量數(shù)據(jù))分別為55、56、55、54、55，那么，對(duì)應(yīng)五個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)正數(shù)據(jù)則分別為0、1、0、_1、0。
[0051]步驟S40、按上述步驟S30，至得到對(duì)應(yīng)所有預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)組。
[0052]盡可能的將所述測(cè)量設(shè)備200能行進(jìn)的路線全部設(shè)置為預(yù)設(shè)路徑，那么所有預(yù)設(shè)路徑則組成一個(gè)平面或曲面。具體的，當(dāng)所述預(yù)設(shè)路徑只有一條時(shí)，則不需要執(zhí)行步驟S40，當(dāng)所述預(yù)設(shè)路徑有數(shù)條時(shí)，則重復(fù)步驟S30，至得到對(duì)應(yīng)所有預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
[0053]步驟S50、提供待測(cè)量工件(未圖示)，并選擇路徑對(duì)所述待測(cè)量工件進(jìn)行測(cè)量，得到第一測(cè)量數(shù)據(jù)。
[0054]具體的，所述選擇路徑為對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)路徑的一部分或與所述對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)路徑完全相同，即與所述選擇路徑相匹配的預(yù)設(shè)路徑覆蓋所述選擇路徑。但在現(xiàn)實(shí)操作中，所述選擇路徑可以與所述對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)路徑稍有偏差。
[0055]步驟60、在所述數(shù)據(jù)組中調(diào)取與所述選擇路徑相匹配的或覆蓋所述選擇路徑的預(yù)設(shè)路徑對(duì)應(yīng)的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，并將所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)補(bǔ)正到所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)中。
[0056]具體的，將待測(cè)量工件置于所述標(biāo)準(zhǔn)件的位置，然后根據(jù)所述選擇路徑對(duì)所述待測(cè)量工件的表面輪廓進(jìn)行測(cè)量，比如，五個(gè)測(cè)量點(diǎn)的測(cè)量值(即第一測(cè)量數(shù)據(jù))分別為92、88、76、63、59。然后將上述的補(bǔ)正數(shù)據(jù)與所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)做差值運(yùn)算，以補(bǔ)正所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)的誤差，即 92-0 = 92，88-1 = 87,76-0 = 76,63-(-1) = 64,59-0 = 59，那么，所述待測(cè)量工件的對(duì)應(yīng)所述五個(gè)測(cè)量點(diǎn)的實(shí)際高度分別為92、87、76、64、59。其中，在所述測(cè)量的過(guò)程一般通過(guò)與測(cè)量裝置相配的測(cè)量軟件控制測(cè)量裝置進(jìn)行，所述測(cè)量軟件安裝于測(cè)量裝置的控制系統(tǒng)中。
[0057]本發(fā)明的表面輪廓的測(cè)量方法，通過(guò)將安裝在對(duì)應(yīng)測(cè)量方向上的測(cè)量設(shè)備200在測(cè)量方向上固定，并使得測(cè)量設(shè)備200在非測(cè)量方向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而獲得該測(cè)量方向上的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，對(duì)該測(cè)量方向上的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正，以保證該測(cè)量方向的測(cè)量精度，然后再獲得其他方向上的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)其他方向的測(cè)量數(shù)據(jù)的補(bǔ)正，進(jìn)而保證每個(gè)測(cè)量方向上的測(cè)量精度。
[0058]進(jìn)一步地參照?qǐng)D4，圖4為圖1中所述的步驟30的第實(shí)施例的具體步驟流程圖。
[0059]在本實(shí)施例中，在步驟S32之前，還包括:
[0060]步驟S33、重復(fù)步驟31，得到對(duì)應(yīng)同一預(yù)設(shè)路徑的數(shù)組第二測(cè)量數(shù)據(jù)。
[0061]步驟S34、將數(shù)組所述第二測(cè)量數(shù)據(jù)中對(duì)應(yīng)各同一測(cè)量點(diǎn)的數(shù)值進(jìn)行平均，得到所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
[0062]具體的，為了保證補(bǔ)正數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，通過(guò)多次測(cè)量后求平均值的方式來(lái)確定補(bǔ)正數(shù)據(jù)，進(jìn)一步保證了測(cè)量的精確度。
[0063]進(jìn)一步地，參照?qǐng)D5，圖5為圖1中所述的步驟30的第三實(shí)施例的具體步驟流程圖。
[0064]在本實(shí)施例中，在步驟S34之前，還包括:
[0065]步驟S35、判斷對(duì)應(yīng)同一測(cè)量點(diǎn)的數(shù)值是否超出預(yù)設(shè)的誤差范圍；
[0066]步驟S36、是，則刪除超出預(yù)設(shè)的誤差范圍的數(shù)值；否，則執(zhí)行步驟S34。
[0067]具體的，步驟S33之后，將測(cè)量到的各測(cè)量點(diǎn)的第二測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)的誤差范圍的邊界值進(jìn)行比較，如果有第二測(cè)量數(shù)據(jù)超出所述預(yù)設(shè)誤差范圍的，則可認(rèn)為該第二測(cè)量數(shù)據(jù)無(wú)效，將其刪除后，將剩余的第二測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行平均后，與所述各測(cè)量點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較運(yùn)算，得到對(duì)應(yīng)該測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
[0068]進(jìn)一步地，參照?qǐng)D5，本發(fā)明表面輪廓的測(cè)量方法的第二實(shí)施例的流程圖。
[0069]在本實(shí)施例中，所述步驟S40與步驟S50之間，還包括:
[0070]步驟S70、將所述數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于儲(chǔ)存設(shè)備的對(duì)應(yīng)位置；所述儲(chǔ)存設(shè)備為移動(dòng)儲(chǔ)存設(shè)備或固態(tài)存儲(chǔ)設(shè)備。
[0071]具體的，所述數(shù)據(jù)組中的每一補(bǔ)正數(shù)據(jù)設(shè)有標(biāo)識(shí)，所述標(biāo)識(shí)根據(jù)所述預(yù)設(shè)路徑內(nèi)的測(cè)量點(diǎn)或測(cè)量區(qū)域設(shè)定。如所述預(yù)設(shè)路徑按照某個(gè)測(cè)量點(diǎn)或某個(gè)測(cè)量區(qū)域位置相關(guān)的特定規(guī)律存儲(chǔ)進(jìn)行儲(chǔ)存。
[0072]進(jìn)一步地，參照?qǐng)D7，圖7為圖1中所述的步驟S60的一實(shí)施例的具體步驟流程圖。
[0073]在本實(shí)施例中，所述步驟S60具體包括:
[0074]步驟S61、根據(jù)所述選擇路徑內(nèi)的測(cè)量點(diǎn)或測(cè)量區(qū)域查找對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)路徑。
[0075]步驟S62、讀取對(duì)應(yīng)所述預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
[0076]步驟S63、將所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)補(bǔ)正到所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)中。
[0077]具體的，如果所述數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于固態(tài)存儲(chǔ)設(shè)備中，直接在所述測(cè)量裝置的內(nèi)部存儲(chǔ)器中去讀所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)。如果所述數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于移動(dòng)存儲(chǔ)設(shè)備中，現(xiàn)在將移動(dòng)存儲(chǔ)設(shè)備與所述與測(cè)量裝置通信連接，在讀取移動(dòng)存儲(chǔ)設(shè)備中的補(bǔ)正數(shù)據(jù)。本發(fā)明將所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)進(jìn)行儲(chǔ)存，在同一測(cè)量設(shè)備上只需要生成一次補(bǔ)正數(shù)據(jù)即可，實(shí)現(xiàn)后續(xù)各種工件的測(cè)量，有效提升了測(cè)量效率。
[0078]綜上所述，本發(fā)明的表面輪廓的測(cè)量方法，通過(guò)將安裝在對(duì)應(yīng)測(cè)量方向上的測(cè)量設(shè)備在測(cè)量方向上固定，并使得測(cè)量設(shè)備在非測(cè)量方向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而獲得該測(cè)量方向上的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，對(duì)該測(cè)量方向上的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正，以保證該測(cè)量方向的測(cè)量精度，然后再獲得其他方向上的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)其他方向的測(cè)量數(shù)據(jù)的補(bǔ)正，進(jìn)而保證每個(gè)測(cè)量方向上的測(cè)量精度。
[0079]以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的【技術(shù)領(lǐng)域】，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟S10、提供測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置包括一個(gè)測(cè)量設(shè)備及至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)裝置，所述測(cè)量設(shè)備安裝于所述運(yùn)動(dòng)裝置上； 步驟S20、提供標(biāo)準(zhǔn)件，所述標(biāo)準(zhǔn)件具有至少一個(gè)光滑平面； 步驟S30、所述運(yùn)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量設(shè)備按照預(yù)設(shè)的路徑對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)件的光滑平面進(jìn)行測(cè)量，得到補(bǔ)正數(shù)據(jù)； 步驟S40、按上述步驟S30，至得到對(duì)應(yīng)所有預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)組； 步驟S50、提供待測(cè)量工件，并選擇路徑對(duì)所述待測(cè)量工件進(jìn)行測(cè)量，得到第一測(cè)量數(shù)據(jù)； 步驟60、在所述數(shù)據(jù)組中調(diào)取與所述選擇路徑相匹配的或覆蓋所述選擇路徑的預(yù)設(shè)路徑對(duì)應(yīng)的補(bǔ)正數(shù)據(jù)，并將所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)補(bǔ)正到所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)中。
2.如權(quán)利要求1所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，所述測(cè)量設(shè)備在步驟S30的測(cè)量過(guò)程中沿所述測(cè)量設(shè)備的主測(cè)量軸方向保持靜止。
3.如權(quán)利要求1所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，所述步驟S30具體包括: 步驟S31、所述運(yùn)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述測(cè)量設(shè)備按照預(yù)設(shè)的路徑對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)件的光滑平面進(jìn)行測(cè)量，得到第二測(cè)量數(shù)據(jù)； 步驟S32、將所述第二測(cè)量數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較運(yùn)算，得到對(duì)應(yīng)所述預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
4.如權(quán)利要求3所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，在步驟S32之前，還包括: 步驟S33、重復(fù)步驟S31，得到對(duì)應(yīng)同一預(yù)設(shè)路徑的數(shù)組第二測(cè)量數(shù)據(jù)； 步驟S34、將數(shù)組所述第二測(cè)量數(shù)據(jù)中對(duì)應(yīng)各同一測(cè)量點(diǎn)的數(shù)值進(jìn)行平均，得到所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)。
5.如權(quán)利要求4所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，在步驟S34之前，還包括: 步驟S35、判斷對(duì)應(yīng)同一測(cè)量點(diǎn)的數(shù)值是否超出預(yù)設(shè)的誤差范圍； 步驟S36、是，則刪除超出預(yù)設(shè)的誤差范圍的數(shù)值；否，則執(zhí)行步驟S34。
6.如權(quán)利要求1所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，所述步驟S40與步驟S50之間，還包括: 步驟S70、將所述數(shù)據(jù)組存儲(chǔ)于儲(chǔ)存設(shè)備的對(duì)應(yīng)位置；所述儲(chǔ)存設(shè)備為移動(dòng)儲(chǔ)存設(shè)備或固態(tài)存儲(chǔ)設(shè)備。
7.如權(quán)利要求6所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，所述步驟S60具體包括: 步驟S61、根據(jù)所述選擇路徑內(nèi)的測(cè)量點(diǎn)或測(cè)量區(qū)域查找對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)路徑； 步驟S62、讀取對(duì)應(yīng)所述預(yù)設(shè)路徑的補(bǔ)正數(shù)據(jù)； 步驟S63、將所述補(bǔ)正數(shù)據(jù)補(bǔ)正到所述第一測(cè)量數(shù)據(jù)中。
8.如權(quán)利要求1所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，所述所有預(yù)設(shè)路徑組成一平面或曲面。
9.如權(quán)利要求1所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，在預(yù)設(shè)所述預(yù)設(shè)路徑時(shí)，讓預(yù)設(shè)路徑等同或覆蓋將要測(cè)量的被測(cè)量工件的測(cè)量路徑。
10.如權(quán)利要求1所述的表面輪廓的測(cè)量方法，其特征在于，所述測(cè)量裝置為非接觸式位置傳感器。
【文檔編號(hào)】G01B21/20GK104344802SQ201410659987
【公開(kāi)日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2014年11月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月18日
【發(fā)明者】劉杰波 申請(qǐng)人:劉杰波