該樣的檢測(cè)器被認(rèn)為是"分段的"，因?yàn)樗褂秒姌O的分布來有效 地把福射敏感薄片再分成不同的"電檢測(cè)區(qū)域"。 -所謂的"離散傳感器"，其采用諸如先前實(shí)施例中闡述的那樣的類型的像素陣列，并且 其使用例如攝像測(cè)量技術(shù)來產(chǎn)生撞擊福射斑點(diǎn)的位置。
[0021] 在兩種情況中，斑點(diǎn)位置（的中也）（例如在（X，Y)坐標(biāo)中）是向量，如由本發(fā)明規(guī) 定的那樣。對(duì)于關(guān)于PSD的一些一般信息，參考下面的維基百科鏈接： http://en.Wikipedia.org/wiki/Position_sensitive_device。
[0022] 關(guān)于由本發(fā)明規(guī)定的二維積分操作，向量場(chǎng)積分領(lǐng)域（向量微積分的子領(lǐng)域）提供 了適當(dāng)?shù)靥幚韽乃捎玫姆侄螜z測(cè)器提取的向量場(chǎng)所需要的基礎(chǔ)數(shù)學(xué)架構(gòu)。在所涉及的向 量是梯度的特定情況中（其允許關(guān)于其可積分性采用某些簡(jiǎn)化)，則可W應(yīng)用梯度場(chǎng)積分的 更特定領(lǐng)域的技術(shù)。能夠被用于對(duì)所采集的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行該樣的梯度場(chǎng)積分的算法的示例 例如可W從下面技術(shù)期刊中的文章來收集，它們涉及(光子-光學(xué)）機(jī)器視覺/光度立體問 題： -RobertT.Frankot,RamaChe1lappa,IEEETransactions On Pattern Analysis And Machine Intelligence, {A . -AmitAgrawal,RamaChe1lappa,RameshRaskar,Computer Vision, ICCV, 1爐IEEE I打ter打atio打al Co打fere打ce(2005)。
[0023] 補(bǔ)充地，關(guān)于向量微分學(xué)的更一般性質(zhì)的信息可W從下面的維基百科鏈接獲得： http://en. Wikipedia. org/wiki/Vector_calculus。
[0024] -旦根據(jù)本發(fā)明的二維向量場(chǎng)積分已被執(zhí)行，則產(chǎn)生的"原始"積分向量場(chǎng)圖像可 W通過使其經(jīng)受進(jìn)一步的數(shù)學(xué)操縱而被后處理（即"被改進(jìn)"）（如果期望該樣的話)。該樣 的操縱例如可W包括選自包括如下各項(xiàng)的組中的至少一個(gè)操作： -濾波(例如低通濾波，高通濾波，帶通濾波）； -開角校正； -反卷積校正， 及其組合。該樣的技術(shù)可W進(jìn)一步闡明如下： (i) (a)低通濾波： 低通濾波是能夠被用于增強(qiáng)圖像（的傅里葉變換）中的低頻信息并且能夠(例如）使用 高斯濾波器來實(shí)現(xiàn)的濾波技術(shù)。該個(gè)技術(shù)在其中能夠有用的示例是人們對(duì)還包含高頻信息 (像原子或原子列等）的圖像中的內(nèi)（接觸）電勢(shì)或樣本厚度感興趣的情況。 (i)化）高通濾波： 高通濾波是幫助增強(qiáng)圖像（的傅里葉變換）中的高頻信息并且能夠(例如）通過從對(duì)應(yīng) 的初始圖像減去經(jīng)低通濾波的圖像來實(shí)現(xiàn)的濾波技術(shù)。該個(gè)技術(shù)能夠有用的情況的示例是 人們對(duì)在還示出低頻信息(像內(nèi)（接觸）電勢(shì)、厚度等）的圖像中看見原子或原子列感興趣的 情況。 (i) (C)帶通濾波： 帶通濾波器能夠被認(rèn)為是低通和高通濾波器的組合。它衰減/去除給定范圍之外的頻 率并且使落入該范圍內(nèi)的頻率通過。 (ii)開角校正： 開角校正是能夠利用下面的數(shù)學(xué)關(guān)系來描述的尖端校正： 其中：
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種在掃描透射類型的帶電粒子顯微鏡中檢查樣本的方法，包括如下步驟： -提供帶電粒子射束，所述射束通過發(fā)光器從源被引導(dǎo)以便照射樣本； -提供檢測(cè)器，用于檢測(cè)帶電粒子穿過樣本的通量； -使得所述射束橫跨樣本表面進(jìn)行掃描，并且記錄作為掃描位置的函數(shù)的檢測(cè)器輸出， 從而產(chǎn)生樣本的帶電粒子圖像的累積， 其特征在于： -把檢測(cè)器體現(xiàn)為包括多個(gè)檢測(cè)分段； -組合來自檢測(cè)器的不同分段的信號(hào)，以便在每個(gè)掃描位置處從檢測(cè)器產(chǎn)生向量輸出， 并且編譯這個(gè)數(shù)據(jù)以產(chǎn)生向量場(chǎng)； -通過使所述向量場(chǎng)經(jīng)受二維積分操作來以數(shù)學(xué)方式處理所述向量場(chǎng)，由此產(chǎn)生積分 向量場(chǎng)圖像。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中： -所述檢測(cè)器被體現(xiàn)為包括四個(gè)象限； -所述向量輸出通過計(jì)算互補(bǔ)象限對(duì)之間的差信號(hào)來產(chǎn)生。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中： -所述檢測(cè)器被體現(xiàn)為包括像素陣列的像素化檢測(cè)器； -所述向量輸出使用包括如下步驟的過程來產(chǎn)生： 比較各像素值以確定在檢測(cè)器上所述通量的質(zhì)心的方位； 表達(dá)檢測(cè)器上所述質(zhì)心的坐標(biāo)位置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所采用的檢測(cè)器是位置敏感檢測(cè)器。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)的方法，其中所述積分向量場(chǎng)圖像通過使它經(jīng)受選自包 括如下各項(xiàng)的組中的至少一個(gè)操作而被后處理： -濾波； -開角校正； -反卷積校正， 及其組合。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)的方法，其中所述積分向量場(chǎng)圖像通過使其經(jīng)受拉普拉 斯操作而被進(jìn)一步操縱。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)的方法，其中所述積分向量場(chǎng)圖像通過使其經(jīng)受單個(gè)微 分操作而被進(jìn)一步操縱。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)的方法，其中對(duì)向量場(chǎng)I的所述以數(shù)學(xué)方式處理包括：作 為包括如下定義的目標(biāo)函_的函數(shù)最小化的擬合問題，找到電位f的估計(jì)值參：
針對(duì)笛卡爾坐標(biāo)（X，y )，沿所述射束在樣本上的掃描路徑。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其中所述函數(shù)最小化利用從包括如下各項(xiàng)的組中選擇的至 少一項(xiàng)技術(shù)來實(shí)現(xiàn)： -泊松求解技術(shù)； -基函數(shù)重構(gòu)； -使用基于Lp范數(shù)的目標(biāo)函數(shù)的殘差最小化； -使用M估計(jì)器的殘差最小化； -各向異性加權(quán)； -擴(kuò)散張量的應(yīng)用； -正則函數(shù)的應(yīng)用， 以及其組合。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)的方法，其中帶電粒子是電子。
11. 一種掃描透射類型的帶電粒子顯微鏡，包括： -樣本保持器，用于保持樣本； -源，用于產(chǎn)生帶電粒子射束； -發(fā)光器，用于引導(dǎo)所述射束以便照射所述樣本； -檢測(cè)器，用于響應(yīng)于所述照射而檢測(cè)穿過樣本的帶電粒子的通量； -掃描裝置，用于使所述射束相對(duì)于樣本表面進(jìn)行掃描運(yùn)動(dòng)； -控制器，用于記錄作為掃描位置的函數(shù)的所述檢測(cè)器的輸出，從而產(chǎn)生樣本的帶電粒 子圖像的累積， 其特征在于： -所述檢測(cè)器包括多個(gè)檢測(cè)分段； -所述控制器被體現(xiàn)為執(zhí)行下列附加動(dòng)作： 組合來自檢測(cè)器的不同分段的信號(hào)，以便在每個(gè)掃描位置處從檢測(cè)器產(chǎn)生向量輸 出，并且編譯這個(gè)數(shù)據(jù)以產(chǎn)生向量場(chǎng)； 通過使所述向量場(chǎng)經(jīng)受二維積分操作來以數(shù)學(xué)方式處理所述向量場(chǎng)，由此產(chǎn)生積 分向量場(chǎng)圖像。
【專利摘要】一種在掃描透射類型的帶電粒子顯微鏡中檢查樣本的方法，包括如下步驟：-提供帶電粒子射束，所述射束通過發(fā)光器從源被引導(dǎo)以便照射樣本；-提供檢測(cè)器，用于檢測(cè)帶電粒子穿過樣本的通量；-使得所述射束橫跨樣本表面進(jìn)行掃描，并且記錄作為掃描位置的函數(shù)的檢測(cè)器輸出，從而產(chǎn)生樣本的帶電粒子圖像的累積，該方法還包括如下步驟：-把檢測(cè)器體現(xiàn)為包括多個(gè)檢測(cè)分段；-組合來自檢測(cè)器的不同分段的信號(hào)，以便在每個(gè)掃描位置處從檢測(cè)器產(chǎn)生向量輸出，并且編譯這個(gè)數(shù)據(jù)以產(chǎn)生向量場(chǎng)；-通過使所述向量場(chǎng)經(jīng)受二維積分操作來以數(shù)學(xué)方式處理所述向量場(chǎng)，由此產(chǎn)生積分向量場(chǎng)圖像。
【IPC分類】G01N23-04
【公開號(hào)】CN104865276
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510087134
【發(fā)明人】I.拉茲, E.G.T.博思, F.博格霍貝, B.布伊斯塞, K.S.塞德, S.拉扎
【申請(qǐng)人】Fei 公司
【公開日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2015年2月25日
【公告號(hào)】EP2866245A1, EP2911180A1, US20150243474