技術(shù)編號：8542518
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及在掃描透射類型的帶電粒子顯微鏡中檢查樣本的方法，方法包括如下 步驟 -提供帶電粒子射束，所述射束通過發(fā)光器從源被引導(dǎo)W便照射樣本； -提供檢測器用于檢測帶電粒子穿過樣本的通量； -使得所述射束橫跨樣本表面進(jìn)行掃描，并且記錄作為掃描位置的函數(shù)的檢測器輸出， 從而允許累積樣本的帶電粒子圖像。 本發(fā)明還涉及可W在其中執(zhí)行該種方法的帶電粒子顯微鏡。背景技術(shù) 如貫穿本文本所使用的，接下來的術(shù)語應(yīng)當(dāng)被理解為與下面的解釋一致 -短語"帶電粒子"包括電子或離子...
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