漏出 光的缺陷、亮度比周邊高的部位）進(jìn)行檢查。
[0048] 在本發(fā)明中，所謂白色模式的檢查為：在使光源位于檢查對象薄膜的一側(cè)之后，向 檢查對象薄膜照射光，在其相反側(cè)以透射所述薄膜的光作為基準(zhǔn)（白色模式）而對暗點(diǎn)缺 陷（光未透射出的缺陷、亮度比周邊低的部位）進(jìn)行檢查。在這種情況下，可以根據(jù)所使用 的光的種類或者不良的種類來采用不同的檢查用偏光板。
[0049] 在本發(fā)明中，所謂藍(lán)色光是指波長的范圍為400~530nm的可見光線，優(yōu)選的是波 長為440~480nm且光為90%以上的光。
[0050] 在本發(fā)明中，所謂綠色光是指波長的范圍為480~630nm的可見光線，優(yōu)選的是波 長為510~550nm且光為90%以上的光。
[0051] 在本發(fā)明中，所謂紅色光是指波長的范圍為680~730nm且光為90%以上的可見 光線，優(yōu)選的是在所述范圍內(nèi)全部的波長范圍為680nm以上的光。
[0052] 在本發(fā)明中，紅外線沒有特別限制，包括近紅外線、中紅外線、遠(yuǎn)紅外線全部在內(nèi)。 優(yōu)選的是，可以采用波長為730~2000nm的近紅外線、或者波長為2~1000 μm的中、遠(yuǎn)紅 外線，更優(yōu)選的是，可以采用波長為730~2000 μ m的近紅外線。
[0053] 以下，參考附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明。不過，本說明書中所附的附圖例示出了本發(fā)明 優(yōu)選的實(shí)施方式，用于使前述的發(fā)明的內(nèi)容以及本發(fā)明的技術(shù)思想的理解更加容易，本發(fā) 明不應(yīng)當(dāng)理解為僅僅局限于所述附圖所記載的事項(xiàng)。
[0054] 圖1是概略性地表示本發(fā)明的檢查裝置的實(shí)施方式的圖。本發(fā)明的檢查裝置具備 光源部100、偏光部200及攝像部300。
[0055] 光源部100具備第一光源部和第二光源部，第一光源部照射綠色光或者藍(lán)色光， 第二光源部照射紅色光或者紅外線。
[0056] 第一光源部所照射的綠色光及藍(lán)色光的偏光度較好，在將兩張偏光板的吸收軸相 互垂直配置（暗黑模式）時(shí)透射率顯著低。優(yōu)選的是，綠色光比藍(lán)色光的偏光度更好。
[0057] 暗黑模式檢查時(shí)在采用白色光（各種波長的光同時(shí)存在）的情況下，存在若光量 增加則會(huì)產(chǎn)生干涉（偏光度下降）而背景色調(diào)變亮的問題。但是，如本發(fā)明那樣，在采用綠 色光或者藍(lán)色光、優(yōu)選綠色光的情況下，即便采用相同的光量，背景色調(diào)也相對接近純黑， 由此對比度值顯著上升，暗黑模式下的缺陷檢測性能得以提高。
[0058] 另外，在暗黑模式檢查中，作為檢查對象薄膜的保護(hù)薄膜為偏光件，在所述偏光件 的一表面通過保護(hù)薄膜而附著有相位差薄膜的情況下（或者保護(hù)薄膜具有微小的相位差 的情況下），作為檢查光采用白色光，如果所述相位差薄膜位于偏光件與檢查用偏光板之 間，則由于相位差薄膜使光軸偏移而難以實(shí)現(xiàn)完美的暗黑模式。
[0059] 在此，本發(fā)明采用綠色光或者藍(lán)色光來解決所述那樣的問題點(diǎn)。具體而言，采用的 是綠色光或者藍(lán)色光、優(yōu)選綠色光，即便在作為檢查對象薄膜的偏光件與檢查用偏光板之 間存在相位差薄膜，與采用了白色光的情況相比，暗黑模式的實(shí)現(xiàn)力也顯著上升。由此，缺 陷辨別的準(zhǔn)確度及容易性得以增加。
[0060] 另一方面，第二光源部所照射的紅色光及紅外線由于偏光度較低，故在將兩張偏 光板的吸收軸相互垂直配置時(shí)透射率也較高，優(yōu)選的是，紅外線比紅色光的透射率更高。因 而，在將兩張偏光板的吸收軸相互垂直配置時(shí)也能夠進(jìn)行白色模式的檢查。
[0061] 在此，在基于本發(fā)明的光源部100中，通過第一光源部和第二光源部交替地照射 光，由此能夠利用一個(gè)檢查裝置來全部完成暗黑模式的檢查及白色模式的檢查。
[0062] 只要是能夠向檢查區(qū)域均勻地照射光，光源部100的第一光源部和第二光源部的 配置沒有特別限制。例如如圖2所示那樣，也可以交替地配置第一光源部的單位光源G和 第二光源部的單位光源IR、或者以線狀交替地配置第一光源部和第二光源部。不過，其僅為 例示，故本發(fā)明的范圍并不是局限于這些內(nèi)容。
[0063] 如前所述，第一光源部能夠照射綠色光或者藍(lán)色光，能夠根據(jù)檢查對象的具體種 類等一同照射綠色光和藍(lán)色光。同樣地，第二光源部能夠照射紅外線或者紅色光，能夠根據(jù) 需要一同照射紅外線和紅色光。
[0064] 檢查對象薄膜210既可以為單位產(chǎn)品（離線檢查），也可以為正在生產(chǎn)的制造工序 中的產(chǎn)品（在線檢查）。
[0065] 只要是能夠在暗黑模式或者白色模式下檢測不良的光學(xué)薄膜，檢查對象薄膜210 的種類沒有特別限制。例如可舉出偏光件、相位差薄膜、保護(hù)薄膜、及它們的二個(gè)以上的層 疊薄膜等。例如在作為檢查對象薄膜210的一例示的偏光件的情況下，偏光件可以為在其 至少一表面接合有保護(hù)薄膜而成的元件。
[0066] 偏光件為向被延伸的高分子薄膜吸附取向異色性色素而成的元件。
[0067] 構(gòu)成偏光件的高分子薄膜只要為異色性物質(zhì)、例如能夠由碘染色的薄膜，其種類 沒有特別限制，具體而言，可舉出聚乙烯醇系薄膜、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物薄膜、乙烯-乙 烯醇共聚物薄膜、纖維素薄膜、這些薄膜的局部性地被皂化的薄膜等之類的親水性高分子 薄膜、或者被脫水處理的聚乙烯醇系薄膜、被脫氯化氫處理的聚乙烯醇系薄膜等之類的聚 烯取向薄膜等。在這些薄膜之中，從不僅在面內(nèi)使偏光度的均勻性強(qiáng)化的效果較好而且相 對于異色性物質(zhì)的染色親和性較好的方面考慮，優(yōu)選聚乙烯醇系薄膜。
[0068] 更優(yōu)選的是，可以為通過使聚乙酸乙烯酯系樹脂皂化而得的聚乙烯醇系薄膜。作 為聚乙酸乙烯酯系樹脂，除了作為乙酸乙烯酯的均聚物的聚乙酸乙烯酯以外，還舉出乙酸 乙烯酯和能夠與其共聚的其他的單體的共聚物等。作為能夠與乙酸乙烯酯共聚的其他的 單體，可舉出不飽和羧酸系、不飽和磺酸系、烯烴系、乙烯醚系、具有銨基的丙烯酰胺系單體 等。
[0069] 另外，聚乙烯醇系樹脂可以為改性而得的物質(zhì)，例如可以采用被改性為醛類的聚 乙烯醇縮甲醛或者聚乙烯醇縮醛等。
[0070] 與偏光件的至少一表面接合的保護(hù)薄膜只要透明性、機(jī)械強(qiáng)度、熱穩(wěn)定性、隔水 性、各向同性等較好，沒有特別限制，例如可以采用包括從由丙烯系樹脂薄膜、纖維素系樹 脂薄膜、聚烯烴系樹脂薄膜、及聚酯系樹脂薄膜構(gòu)成的組中選擇出的至少一種的各種透明 樹脂薄膜。
[0071] 作為所述保護(hù)薄膜的具體例，可舉出聚丙烯酸甲酯（甲基）、聚丙烯酸乙酯（甲 基）等的丙烯酸系樹脂薄膜；聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚間苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙 二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯等的聚酯系樹脂薄膜；二乙酰纖維素、三乙酰纖維素等的纖 維素系樹脂薄膜；聚乙烯、聚丙烯、環(huán)狀聚烯烴系或者降冰片烯構(gòu)造的聚烯烴系、乙烯-丙 烯共聚物等的聚烯烴系樹脂薄膜等，但并不局限于此。對這樣的保護(hù)薄膜，可以由于制造工 序等的各種理由而稍許具有相位差。
[0072] 可以根據(jù)需要在檢查對象薄膜210的偏光件的至少一表面上代替保護(hù)薄膜而接 合有其他的光學(xué)功能性薄膜。光學(xué)功能性薄膜的種類沒有特別限定，但例如可舉出向基材 表面取向液晶性化合物或者其高分子化合物等而成的光學(xué)補(bǔ)償薄膜、使任意種類的偏光束 透射且反射與其性質(zhì)相反的偏光束的反射型偏光分離薄膜、含有聚碳酸酯樹脂的相位差薄 膜、含有環(huán)狀聚烯烴系樹脂的相位差薄膜、在表面具有凹凸形狀的防眩功能附加薄膜、被進(jìn) 行表面反射防止處理的附加薄膜、在表面具有反射功能的反射薄膜、一同具有反射功能及 透射功能的半透射反射薄膜等。
[0073] 可以通過檢查對象薄膜210的移送速度，來調(diào)節(jié)光源部100的第一光源部及第二 光源部的光的照射間隔。例如，能夠通過檢查對象薄膜210的移送速度，以使第一光源部的 光照射時(shí)拍攝到的區(qū)域和之后第一光源部的光照射時(shí)拍攝到的區(qū)域相連（即，第二光源部 的光照射時(shí)拍攝到的區(qū)域和之后的第二光源部的光照射時(shí)拍攝到的區(qū)域相連）的方式，來 調(diào)節(jié)各光源部的光的照射間隔。
[0074] 檢查用偏光板220是用于檢查對象薄膜210的檢查而配備，且可以全部用于白色 模式及暗黑模式檢查之中。
[0075] 作為本發(fā)明的一實(shí)施方式，在檢查對象薄膜210包含偏光件時(shí)，檢查用偏光板220 的吸收軸以與檢查對象薄膜210的吸收軸垂直的狀態(tài)配置，但沒有特別限制，也可以使具 有與檢查對