實(shí)施方式的基板回收裝置I回收粘接于片11的多個(gè)基板2中的一部分時(shí)，首先，將片11載置在載物臺(tái)3上。此時(shí)，以基板2配置于窗14并且基板2配置于片11的下側(cè)的方式將片11設(shè)置在載物臺(tái)3上。為了在載物臺(tái)3上使片11的位置穩(wěn)定，也可以利用夾具等將片11的一部分固定于載物臺(tái)3。
[0043]接著，操作者將可動(dòng)單元8配置在第I位置，點(diǎn)亮照明部6。由此，利用物鏡5觀察載物臺(tái)3上的基板2，該基板2的像顯示于顯示部9。此時(shí)，由于基板2和片11是透明或半透明的，粘貼于基板2的切片X十分薄，因此利用物鏡5也能夠觀察相對(duì)于物鏡5配置在片11的背后的針構(gòu)件12。
[0044]操作者通過(guò)使載物臺(tái)3沿水平方向移動(dòng)來(lái)調(diào)整基板2相對(duì)于針構(gòu)件12的位置，以在顯示于顯示部9的圖像中使期望的一個(gè)基板2與針構(gòu)件12的頂端面重疊的方式對(duì)載物臺(tái)3進(jìn)行定位。接著，如圖3所示，操作者使可動(dòng)單元8移動(dòng)到第2位置，將配置于回收部7的回收容器15配置在針構(gòu)件12的大致鉛垂下方。接著，如圖4所示，操作者通過(guò)向下方操作操縱器13來(lái)使針構(gòu)件12向下方移動(dòng)，使針構(gòu)件12的頂端面抵接于期望的基板2的背面。
[0045]被針構(gòu)件12的頂端面頂出的基板2自片11剝離并向大致鉛垂下方落下，被回收到回收容器15內(nèi)。在回收兩個(gè)以上的基板2的情況下，只要在使可動(dòng)單元8再次移動(dòng)到第I位置之后重復(fù)從對(duì)載物臺(tái)3進(jìn)行定位的工序到利用針構(gòu)件12使基板2頂出的工序即可。
[0046]這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，采用利用物鏡從載物臺(tái)3的下方觀察載物臺(tái)3上的基板2的倒置型的光學(xué)設(shè)計(jì)，并且切換可動(dòng)單元8的位置并在載物臺(tái)3的大致鉛垂下方擇一配置物鏡5和回收容器15，從而能夠進(jìn)行基板2的觀察和回收這兩者。
[0047]在該情況下，載物臺(tái)3所要求的可動(dòng)范圍在針構(gòu)件12的頂端面與基板2之間的位置對(duì)準(zhǔn)所需的充分窄的范圍即可。因而，作為載物臺(tái)3的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，只要僅具有在比較窄的可動(dòng)范圍內(nèi)以細(xì)微的移動(dòng)量進(jìn)行移動(dòng)的微動(dòng)機(jī)構(gòu)就足夠了，能夠使載物臺(tái)3的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)變簡(jiǎn)單。
[0048]另一方面，物鏡5和回收部7的、相對(duì)于針構(gòu)件12和被定位在該針構(gòu)件12的鉛垂下方的基板2的定位精度與載物臺(tái)3的情況相比要求并不嚴(yán)格。因而，關(guān)于物鏡5和回收部7，即使設(shè)為能夠利用可動(dòng)單元8移動(dòng)比較大的距離，也能夠利用卡扣機(jī)構(gòu)那樣的定位機(jī)構(gòu)容易地實(shí)現(xiàn)實(shí)際應(yīng)用時(shí)足夠的定位精度。
[0049]另外，在本實(shí)施方式中，設(shè)為了照明部6能夠與物鏡5和回收部7 —起利用可動(dòng)單元8 一體地移動(dòng)，但是取代此，也可以與可動(dòng)單元8獨(dú)立地設(shè)置照明部6。例如，照明部6也可以固定于載物臺(tái)3。
[0050]通過(guò)如此設(shè)置，能夠不依賴于物鏡5與載物臺(tái)3之間的位置關(guān)系地利用照明部6在任意的時(shí)刻對(duì)載物臺(tái)3上的基板2進(jìn)行照明。
[0051]另外，在本實(shí)施方式中，作為觀察基板2的部件使用了物鏡5，但是取代此，也可以使用相機(jī)(攝影構(gòu)件)16。在該情況下，如圖5所示，優(yōu)選的是，在第I位置具有用于使窗14的位置的基板2的像向側(cè)方反射且固定于可動(dòng)單元8的反射鏡(反射構(gòu)件)17，相機(jī)16配置在該反射鏡17的反射方向上。
[0052]通過(guò)如此利用反射鏡17將載物臺(tái)3上的基板2的像傳遞到相機(jī)16，從而能夠與可動(dòng)單元8獨(dú)立地設(shè)置相機(jī)16，能夠提高相機(jī)16的設(shè)計(jì)的自由度。另外，設(shè)于可動(dòng)單元8的反射鏡17與物鏡5、相機(jī)16相比較小且輕量，因此能夠使可動(dòng)單元8的結(jié)構(gòu)變簡(jiǎn)單。
[0053]另外，在本實(shí)施方式中，作為回收部7，說(shuō)明了收納單一的回收容器15的孔，但是回收部7的結(jié)構(gòu)并不限定于此。例如，回收部也可以是設(shè)置有多孔的微孔板的槽。另外，回收部也可以構(gòu)成為包括具有粘合性的構(gòu)件，并利用粘合性捕捉落下的基板2。
[0054]另外，也可以是，在可動(dòng)單元8上設(shè)有多個(gè)回收部7，可動(dòng)單元8構(gòu)成為能夠被定位在各個(gè)回收部7配置于針構(gòu)件12的大致鉛垂下方的三個(gè)以上的位置。另外，可動(dòng)單元8也可以旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。
[0055]圖6中示出了圓板狀的可動(dòng)單元8’。該可動(dòng)單元8’在周向上排列多個(gè)(在圖示的例子中為7個(gè))包括供回收容器15的底部插入的孔的回收部7而形成。附圖標(biāo)記18是使可動(dòng)單元8沿周向旋轉(zhuǎn)的步進(jìn)電機(jī)。步進(jìn)電機(jī)18以將物鏡5和插入到回收部7內(nèi)的多個(gè)回收容器15擇一定位在針構(gòu)件12的大致鉛垂下方的方式階段性地使可動(dòng)單元8旋轉(zhuǎn)。
[0056]即使如此設(shè)置，也能夠利用可動(dòng)單元8將物鏡5和回收容器15擇一定位在針構(gòu)件12的大致鉛垂下方。
[0057]另外，在本實(shí)施方式中，設(shè)為了提取部4具有針構(gòu)件12，但是提取部4的結(jié)構(gòu)并不限定于此。例如，提取部4也可以取代針構(gòu)件12而具有管狀的構(gòu)件。另外，也可以在管狀的構(gòu)件的內(nèi)部使針構(gòu)件12的頂端部突出地插入有該針構(gòu)件12。
[0058]另外，既可以將多個(gè)針構(gòu)件12捆束并保持于操縱器13，也可以將頂端部分支為多個(gè)的冠狀針(夕歹針)用作針構(gòu)件12。這樣，在提取部4具有多個(gè)針構(gòu)件12的頂端面的情況下，也可以構(gòu)成為利用針構(gòu)件12的多個(gè)頂端面使多個(gè)基板2同時(shí)頂出并剝離及落下。
[0059]另外，取代針構(gòu)件12，如圖7所示，也可以使用具有細(xì)徑的頂端面(射出面)19a的光纖19。在該情況下，作為將基板2粘接于片的粘接劑，使用粘接力因特定的波長(zhǎng)的光、例如紫外線而降低的紫外線剝離型粘接劑。而且，從光纖19的頂端面19a向片11照射紫外線L’，根據(jù)需要利用光纖19按壓被照射了紫外線L’的基板2，從而基板2自片11剝離及落下。此時(shí)，以僅向粘接于片11的多個(gè)基板2中的期望的一部分基板照射紫外線L’的方式設(shè)定頂端面19a的尺寸、紫外線L’自該頂端面19a射出的射出角度、頂端面19a與載物臺(tái)3之間的距離等。
[0060]附圖標(biāo)記說(shuō)曰月
[0061]I基板回收裝置；2基板；3載物臺(tái)；4提取部；5物鏡(觀察部);6照明部；7回收部；8可動(dòng)單元(移動(dòng)機(jī)構(gòu))；9顯示部；10控制部；11片(片構(gòu)件)；12針構(gòu)件(抵接構(gòu)件)；12a頂端面(抵接端)；13操縱器；14窗；15回收容器；16相機(jī)(觀察部、攝影構(gòu)件)；17反射鏡(觀察部、反射構(gòu)件)；18步進(jìn)電機(jī)；19光纖；19a頂端面(射出面)；X切片；X’斷片。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板回收裝置，其通過(guò)進(jìn)行預(yù)定的操作而將以能夠剝離的方式粘接于片構(gòu)件的多個(gè)基板中的一部分基板從所述片構(gòu)件剝離并回收，其中，該基板回收裝置包括: 載物臺(tái)，其使所述多個(gè)基板朝向下方地載置有所述片構(gòu)件，并能夠沿水平方向移動(dòng)；提取部，其通過(guò)在該載物臺(tái)的上方針對(duì)該載物臺(tái)上的所述基板進(jìn)行所述預(yù)定的操作而使所述基板自所述片構(gòu)件剝離并落下； 觀察部，其用于從所述載物臺(tái)的下方觀察該載物臺(tái)上的所述基板； 回收部，其用于在所述載物臺(tái)的下方回收自該載物臺(tái)落下的所述基板；以及 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于使所述觀察部和所述回收部一體地沿水平方向移動(dòng)； 所述提取部針對(duì)相對(duì)于該提取部配置在預(yù)定的相對(duì)位置的所述一部分基板進(jìn)行所述預(yù)定的操作， 所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑺鲇^察部和所述回收部定位在所述觀察部配置于所述預(yù)定的相對(duì)位置的大致鉛垂下方的第I位置和所述回收部配置于所述預(yù)定的相對(duì)位置的大致鉛垂下方的第2位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板回收裝置，其中， 所述觀察部包括: 反射構(gòu)件，其用于在所述第I位置將所述載物臺(tái)上的所述基板的像向與鉛垂方向交叉的方向反射；以及 攝影構(gòu)件，其用于拍攝由該反射構(gòu)件反射的所述像。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板回收裝置，其中， 所述基板以通過(guò)被自所述片構(gòu)件側(cè)頂出而能夠剝離的方式粘接于所述片構(gòu)件， 所述提取部包括:抵接構(gòu)件，其具有隔著所述片構(gòu)件抵接于所述一部分基板的抵接端；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于使該抵接構(gòu)件沿大致鉛垂方向移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板回收裝置，其中， 所述基板利用粘接力因紫外線的照射而降低的粘接劑粘接于所述片構(gòu)件， 所述提取部具有向所述預(yù)定的相對(duì)位置照射紫外線的射出面。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板回收裝置(1)，其包括：載物臺(tái)(3)，其使多個(gè)基板(2)朝向下方地載置有片(11)；提取部(4)，其在該載物臺(tái)(3)的上方針對(duì)配置在預(yù)定的位置的一部分基板(2)進(jìn)行預(yù)定的操作，由此使基板(2)自片(11)剝離并落下；觀察部(5)和回收部(7)，其配置在載物臺(tái)(3)的下方；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)，其用于使觀察部(5)和回收部(7)一體地沿水平方向移動(dòng)；移動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)能夠?qū)⒂^察部(5)和回收部(7)定位在觀察部(5)或回收部(7)配置于預(yù)定的位置的大致鉛垂下方的兩個(gè)位置。
【IPC分類】G02B21-36, G01N33-48, G01N1-28, G02B21-32
【公開號(hào)】CN104781646
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380053910
【發(fā)明人】森本伸彥
【申請(qǐng)人】奧林巴斯株式會(huì)社
【公開日】2015年7月15日
【申請(qǐng)日】2013年10月4日
【公告號(hào)】EP2913654A1, US20150226647, WO2014065101A1