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基板回收裝置的制造方法

文檔序號(hào):8460584閱讀:469來源:國知局
基板回收裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種基板回收裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往,公知有一種將粘貼有生物體組織的切片的玻璃基板以粘接于片的狀態(tài)與切片一起進(jìn)行分割、并將分割后的基板的一部分與切片的斷片一起進(jìn)行回收的裝置(例如,參照專利文獻(xiàn)I。)。根據(jù)專利文獻(xiàn)1,通過在使基板朝向下方的狀態(tài)下隔著片按壓基板的背面,使基板自片剝離及落下,從而能夠選擇性地回收期望的基板。作為實(shí)現(xiàn)這樣的基板的回收方法的裝置,在專利文獻(xiàn)I的圖9中提出了一種利用倒置型的顯微鏡的結(jié)構(gòu)。通過使用倒置型的顯微鏡,能夠從正面方向詳細(xì)地觀察設(shè)置于載物臺(tái)的基板和切片。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利f獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:國際公開第2011/149009號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的問題
[0007]但是,根據(jù)專利文獻(xiàn)1,使載置了粘接有基板的片的顯微鏡的載物臺(tái)從顯微鏡的觀察位置向顯微鏡的外側(cè)移動(dòng)較大的距離,之后,進(jìn)行基板相對于用于按壓基板的提取部件的細(xì)微的位置對準(zhǔn)。即,載物臺(tái)要求有較大的可動(dòng)范圍和較高的定位精度這兩個(gè)功能,載物臺(tái)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)變復(fù)雜。
[0008]本發(fā)明是鑒于上述情況而做成的,其目的在于提供一種能夠采用倒置型的光學(xué)設(shè)計(jì)并且能夠?qū)⑤d物臺(tái)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)為簡單的結(jié)構(gòu)的基板回收裝置。
[0009]用于解決問題的方案
[0010]為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供以下技術(shù)方案。
[0011]本發(fā)明提供一種基板回收裝置,其通過進(jìn)行預(yù)定的操作而將以能夠剝離的方式粘接于片構(gòu)件的多個(gè)基板中的一部分基板從所述片構(gòu)件剝離并回收,其中,該基板回收裝置包括:載物臺(tái),其使所述多個(gè)基板朝向下方地載置有所述片構(gòu)件,并能夠沿水平方向移動(dòng);提取部,其通過在該載物臺(tái)的上方針對該載物臺(tái)上的所述基板進(jìn)行所述預(yù)定的操作而使所述基板自所述片構(gòu)件剝離并落下;觀察部,其用于從所述載物臺(tái)的下方觀察該載物臺(tái)上的所述基板;回收部,其用于在所述載物臺(tái)的下方回收自該載物臺(tái)落下的所述基板;以及移動(dòng)機(jī)構(gòu),其用于使所述觀察部和所述回收部一體地沿水平方向移動(dòng);所述提取部針對相對于該提取部配置在預(yù)定的相對位置的所述一部分基板進(jìn)行所述預(yù)定的操作,所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑺鲇^察部和所述回收部定位在所述觀察部配置于所述預(yù)定的相對位置的大致鉛垂下方的第I位置和所述回收部配置于所述預(yù)定的相對位置的大致鉛垂下方的第2位置。
[0012]根據(jù)本發(fā)明,通過將粘接有基板的片構(gòu)件載置在載物臺(tái)上,一邊利用觀察部觀察基板一邊調(diào)整載物臺(tái)的位置以將期望的基板相對于提取部配置在預(yù)定的相對位置,利用提取部使配置在預(yù)定的相對位置的基板剝離及落下,從而能夠?qū)⑵谕幕寤厥盏交厥詹俊T诖?,采用利用觀察部從載物臺(tái)的下方觀察載物臺(tái)上的基板的倒置型的光學(xué)設(shè)計(jì),并且利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)在第I位置與第2位置之間切換觀察部和回收部的位置,從而能夠在載物臺(tái)的大致鉛垂下方擇一配置觀察部和回收部。
[0013]在該情況下,載物臺(tái)的可動(dòng)范圍在基板相對于提取部的定位所需的充分窄的范圍即可,因此載物臺(tái)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)只要具有微動(dòng)的功能就足夠了,能夠使移動(dòng)機(jī)構(gòu)變簡單。另一方面,關(guān)于與載物臺(tái)相比針對提取部的定位精度要求并不嚴(yán)格的觀察部和回收部,能夠利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的定位達(dá)到充分的定位精度。
[0014]在上述發(fā)明中,也可以是,所述觀察部包括:反射構(gòu)件,其用于在所述第I位置將所述載物臺(tái)上的所述基板的像向與鉛垂方向交叉的方向反射;以及攝影構(gòu)件,其用于拍攝由該反射構(gòu)件反射的所述像。
[0015]通過如此設(shè)置,攝影構(gòu)件只要在任意的位置拍攝從反射構(gòu)件傳遞來的基板的像即可,因此能夠提高攝影構(gòu)件的配置及光學(xué)設(shè)計(jì)的自由度。另外,通過將與攝影構(gòu)件相比小型且輕量的反射構(gòu)件設(shè)置在移動(dòng)機(jī)構(gòu)上,能夠使移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)更簡單。
[0016]在上述發(fā)明中,也可以是,所述基板以通過被自所述片構(gòu)件側(cè)頂出而能夠剝離的方式粘接于所述片構(gòu)件,所述提取部包括:抵接構(gòu)件,其具有隔著所述片構(gòu)件抵接于所述一部分基板的抵接端;以及移動(dòng)機(jī)構(gòu),其用于使該抵接構(gòu)件沿大致鉛垂方向移動(dòng)。
[0017]通過如此設(shè)置,利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)使抵接構(gòu)件朝向基板移動(dòng)并利用抵接端隔著片構(gòu)件頂出基板的簡單的操作,就能夠使配置于抵接端的大致鉛垂下方的一部分基板選擇性地自片構(gòu)件剝離及落下。
[0018]在上述發(fā)明中,也可以是,所述基板利用粘接力因紫外線的照射而降低的粘接劑粘接于所述片構(gòu)件,所述提取部具有向所述預(yù)定的相對位置照射紫外線的射出面。
[0019]通過如此設(shè)置,通過從射出面射出紫外線的簡單的操作,就能夠使配置于預(yù)定的相對位置的一部分基板選擇性地自片構(gòu)件剝離及落下。
[0020]發(fā)明的效果
[0021]根據(jù)本發(fā)明,起到能夠采用倒置型的光學(xué)設(shè)計(jì)并且能夠?qū)⑤d物臺(tái)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)為簡單的結(jié)構(gòu)這樣的效果。
【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板回收裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。
[0023]圖2是表示應(yīng)用于圖1的基板回收裝置的基板的一例的圖。
[0024]圖3是可動(dòng)單元配置在第2位置的、圖1的基板回收裝置的局部結(jié)構(gòu)圖。
[0025]圖4是說明圖1的基板回收裝置的動(dòng)作的局部結(jié)構(gòu)圖。
[0026]圖5是表示圖1的基板回收裝置的變形例的局部結(jié)構(gòu)圖。
[0027]圖6是表示圖1的基板回收裝置的另一個(gè)變形例的局部結(jié)構(gòu)圖。
[0028]圖7是表示圖1的基板回收裝置的又一個(gè)變形例的局部結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]以下,參照【附圖說明】本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板回收裝置I。
[0030]如圖1所示,本實(shí)施方式的基板回收裝置I包括用于載置基板2的大致水平的載物臺(tái)3、配置于載物臺(tái)3的上方的提取部4、配置于載物臺(tái)3的下方的物鏡(觀察部)5、照明部6及回收部7、用于保持物鏡5、照明部6及回收部7并使其一體移動(dòng)的可動(dòng)單元(移動(dòng)機(jī)構(gòu))8、用于顯示利用物鏡5觀察的圖像的顯示部9以及用于控制載物臺(tái)3、提取部4、照明部6及可動(dòng)單元8的控制部10。
[0031]如圖2所示,基板2在片(片構(gòu)件)11的一個(gè)面上隔開間隙地排列有多個(gè)。在各個(gè)基板2的正面粘貼有自生物體組織切出的切片X的斷片V。這樣的多個(gè)基板2例如通過將在正面上粘貼有切片X的玻璃蓋片那樣的原基板粘接于片11、并在片11上將原基板與切片X—起切斷而制成?;?的形狀和尺寸并不特別限制,例如,基板2為矩形狀,具有Imm以下的厚度尺寸和5mm以下的邊尺寸。
[0032]基板2的背面利用具有適當(dāng)?shù)恼辰恿Φ恼辰觿┮阅軌騽冸x的方式粘接于片11。即,基板2在粘接力的作用下粘接于片11,該粘結(jié)力大于該基板2的自重并且在預(yù)定的大小以上的力的作用下會(huì)使基板2的背面自片11側(cè)頂出從而自片11剝離。另外,基板2和片11是光學(xué)透明或半透明的。
[0033]載物臺(tái)3大致水平地載置片11,并能夠沿大致水平方向移動(dòng)。另外,載物臺(tái)3在中央部具有沿厚度方向貫穿的窗14。
[0034]提取部4包括細(xì)長的直棒狀的針構(gòu)件(抵接構(gòu)件)12和操縱器13。針構(gòu)件12的頂端面(抵接端)具有與基板2大致相同或其以下的直徑尺寸。操縱器13使頂端朝向大致鉛垂下方地保持針構(gòu)件12,能夠使該針構(gòu)件12沿大致鉛垂方向移動(dòng)。操縱器13在控制部10的控制下被向大致鉛垂方向操作,從而使所保持的針構(gòu)件12沿著其長度方向向上下方向移動(dòng)。
[0035]物鏡5、照明部6及回收部7設(shè)于共用的可動(dòng)單元8。具體地說,物鏡5使光軸朝向大致鉛垂方向地固定于可動(dòng)單元8。物鏡5從下方觀察載置在載物臺(tái)3的窗14的位置的基板2。由物鏡5成像的像借助未圖示的光學(xué)系統(tǒng)顯示于顯示部9。
[0036]照明部6是以包圍物鏡5的頂端面的方式安裝于該頂端面的環(huán)狀的燈,例如,包括白色LED、光纖。照明部6針對載物臺(tái)3上的基板2從下方照射照明光L。照明部6也可以構(gòu)成為將具有切片X所含有的熒光物質(zhì)的激發(fā)波長的光作為照明光L向基板2照射,并利用物鏡5觀察來自切片X的熒光。
[0037]回收部7包括形成于可動(dòng)單元8的、支承離心管那樣的回收容器15的底部的孔。
[0038]可動(dòng)單元8設(shè)置為能夠利用未圖示的直線運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)件沿水平方向移動(dòng)。另外,可動(dòng)單元8被設(shè)于直線運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)件的卡扣機(jī)構(gòu)那樣的定位機(jī)構(gòu)定位在兩個(gè)位置。S卩,可動(dòng)單元8設(shè)置為被擇一定位在物鏡5的光軸配置于針構(gòu)件12的鉛垂下方的第I位置和回收部7配置于針構(gòu)件12的鉛垂下方的第2位置。在圖1中,可動(dòng)單元8配置在第I位置。
[0039]控制部10根據(jù)操作者的輸入操作來控制載物臺(tái)3、照明部6、可動(dòng)單元8及操縱器13的動(dòng)作。操作者的向控制部10的輸入操作例如使用控制部10所具有的未圖示的用戶界面來進(jìn)行。
[0040]另外,也可以構(gòu)成為載物臺(tái)3、照明部6、可動(dòng)單元8及操縱器13的動(dòng)作通過操作者的手動(dòng)操作來進(jìn)行控制。
[0041]接著,說明如此構(gòu)成的基板回收裝置I的作用。
[0042]在利用本
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