專利名稱:一種微動(dòng)壓式動(dòng)態(tài)流量傳感器的制作方法
本發(fā)明屬于流體傳動(dòng)及控制領(lǐng)域。
目前，工業(yè)上可供選用的流量計(jì)品種繁多，但能用于動(dòng)態(tài)測量的流量傳感器卻很少。節(jié)流式流量計(jì)與電測技術(shù)相結(jié)合可用來測量動(dòng)態(tài)流量(其頻率小于200赫)，其中孔板流量計(jì)采用電測技術(shù)來分析動(dòng)態(tài)流量已在實(shí)驗(yàn)上使用，效果良好。但是這種流量計(jì)的不可避免的缺點(diǎn)是輸出非線性和有持久的壓力損失，而且對油液中的污垢也比較敏感；渦輪流量計(jì)具有較高的測量精度，但其動(dòng)態(tài)響應(yīng)頻率低于10赫，不宜用來測量動(dòng)態(tài)流量；靶式流量計(jì)的響應(yīng)頻率可達(dá)300赫，理論上可用于動(dòng)態(tài)測量，然而由于靶式流量計(jì)這種二階有阻尼系統(tǒng)的阻尼很低，因此輸入流量變化太快會(huì)引起振蕩；熱線式流量計(jì)有很高的響應(yīng)頻率(可達(dá)700赫)，但其輸出信號有很大的噪聲，信號難于處理，在實(shí)踐中還很少采用；超聲波式流量計(jì)可不接觸被測量流體來測量流量，其響應(yīng)頻率高達(dá)120千赫，但由于其裝置復(fù)雜，使之不能廣泛使用。
本發(fā)明的目的在于提出一種結(jié)構(gòu)簡單，並具有優(yōu)良的靜、動(dòng)態(tài)特性的微動(dòng)壓式動(dòng)態(tài)流量傳感器，解決流量的動(dòng)態(tài)測量問題。
本發(fā)明的要點(diǎn)在于其用質(zhì)量輕，動(dòng)態(tài)響應(yīng)高的彈性膜片作動(dòng)壓感受元件，用一個(gè)貼有應(yīng)變片的十字形彈性膜片(以下簡稱“膜片”)作主體。流體流動(dòng)時(shí)，流體質(zhì)點(diǎn)作用在膜片上，使膜片產(chǎn)生應(yīng)變值。這個(gè)應(yīng)變值反映了流量的大小，通過貼在膜片上的應(yīng)變片測得應(yīng)變值，因而測得了流量。
將彈性膜片做成十字形，保證了測量系統(tǒng)的穩(wěn)定性。把應(yīng)變片貼于主流道兩側(cè)的保護(hù)區(qū)，避免了液流對應(yīng)變片的沖擊，有利于提高測量精度，同時(shí)該處膜片變形較大，也有利于提高測量系統(tǒng)的靈敏度。
是微動(dòng)壓式動(dòng)態(tài)流量傳感器結(jié)構(gòu)圖，其中〔1〕是十字形彈性膜片；〔2〕是應(yīng)變片，四塊(R1、R2、R3、R4)對稱布置；〔3〕是緊固板；〔4〕是連接管；〔5〕是密封圈；〔6〕是緊固螺釘；〔7〕是連接螺釘。
連接管的進(jìn)口處有一直管段L應(yīng)盡量保證連接管內(nèi)的實(shí)際通流面積與公稱管道通流面積大小相等，這樣可以減少流體自旋對測量精度的影響。連接管兩端可以按不同的連接方式和不同管接頭標(biāo)準(zhǔn)系列而設(shè)計(jì)成與之相適應(yīng)的螺紋結(jié)構(gòu)。
把四塊應(yīng)變片分別對稱地貼于十字形彈性膜片的兩臂，采用全橋測量，不僅可以補(bǔ)償溫度和壓力對測量精度的影響，而且也大大地提高了測量系統(tǒng)的精度和靈敏度。
微動(dòng)壓式動(dòng)態(tài)流量傳感器與普遍采用的動(dòng)態(tài)應(yīng)變儀和光線示波器配合，或者配用數(shù)字電壓表等二次儀表，可廣泛用于各種系統(tǒng)中作動(dòng)態(tài)、靜態(tài)流量測量及控制。
該微動(dòng)壓式動(dòng)態(tài)流量傳感器結(jié)構(gòu)十分簡單，並具有優(yōu)良的靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)特性(固有頻率達(dá)1300赫以上)。經(jīng)理論分析和反復(fù)試驗(yàn)表明，這種測量方法可行，測量結(jié)果令人滿意。
權(quán)利要求
1.一種微動(dòng)壓式動(dòng)態(tài)流量傳感器，其特征在于用做成對稱形狀，最好做成十字形的彈性膜片作動(dòng)壓感受元件。
2.按照權(quán)利要求
1所述的微動(dòng)壓式動(dòng)態(tài)流量傳感器，其特征在于在連接管內(nèi)垂直于管軸線安置的彈性膜片上貼有應(yīng)變片。
專利摘要
一種微動(dòng)壓式動(dòng)態(tài)流量傳感器，其屬于流體傳動(dòng)及控制領(lǐng)域。其用質(zhì)量輕，動(dòng)態(tài)響應(yīng)高的彈性膜片作為動(dòng)態(tài)感受元件，主體是一個(gè)貼有應(yīng)變片的十字形彈性膜片。其結(jié)構(gòu)簡單，并具有優(yōu)良的靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)特性(固有頻率達(dá)1300赫以上)。其與普遍采用的動(dòng)態(tài)應(yīng)變儀和光線示波器配合，或者配用數(shù)字電表等二次儀表，可廣泛用于各種系統(tǒng)中，作動(dòng)態(tài)、靜態(tài)測量及控制。
文檔編號G01F1/20GK85202899SQ85202899
公開日1986年7月23日 申請日期1985年7月15日
發(fā)明者樊成華, 鄧景流 申請人:華南工學(xué)院導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan