本公開涉及碳碳托桿生產(chǎn)，尤其涉及一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

1、坩堝托桿是單晶硅爐內(nèi)一種主要承重部件，其一端承載單晶爐坩堝，坩堝內(nèi)裝拉晶硅料，另一端與驅(qū)動(dòng)裝置連接，在驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)下在爐腔內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)或上下移動(dòng)。受市場(chǎng)及拉晶技術(shù)的影響，單晶硅片逐漸向大規(guī)格發(fā)展，單爐裝載量也不斷增加，這就對(duì)單晶爐內(nèi)部承重部件提出了更高的要求，傳統(tǒng)的石墨托桿性能難以滿足使用需求，逐漸被碳碳托桿所取代。

2、市面上的碳碳托桿以分體托桿為主，由托桿頭、桿體和底盤組合而成，由于碳碳托桿在受力的同時(shí)還要旋轉(zhuǎn)的使用特性決定了對(duì)其托桿頭與底盤的垂直度，托桿頭與桿體之間的同心度的要求較高。垂直度和同心度偏差過大不僅會(huì)降低碳碳托桿的使用壽命，還會(huì)損耗爐內(nèi)與其相連接的部件。因此，托桿頭與底盤的垂直度，托桿頭與桿體整體之的同心度均要檢測(cè)合格后才能使用。相關(guān)技術(shù)中，需要使用不同的檢測(cè)裝置分別檢測(cè)碳碳托桿的垂直度和同心度，檢測(cè)效率較低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，能夠利用一個(gè)裝置檢測(cè)碳碳托桿的同心度和垂直度，提高檢測(cè)效率。

2、本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

3、一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，所述碳碳托桿包括托桿頭、桿體和底盤，所述桿體設(shè)置在所述托桿頭和所述底盤之間，包括：

4、底座；

5、設(shè)置在所述底座上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、安裝臺(tái)和升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述安裝臺(tái)能夠與所述碳碳托桿固定連接，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述安裝臺(tái)傳動(dòng)連接，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠驅(qū)動(dòng)所述安裝臺(tái)升降，所述碳碳托桿安裝于所述安裝臺(tái)的情況下，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述安裝臺(tái)、所述碳碳托桿同軸設(shè)置；

6、垂直度檢測(cè)儀，所述垂直度檢測(cè)儀能夠與所述底盤遠(yuǎn)離所述桿體的表面接觸；

7、同心度檢測(cè)儀，所述同心度檢測(cè)儀能夠與所述桿體的側(cè)壁接觸；

8、所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述安裝臺(tái)旋轉(zhuǎn)的情況下，所述底盤能夠相對(duì)于所述垂直度檢測(cè)儀旋轉(zhuǎn)；在所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述安裝臺(tái)旋轉(zhuǎn)且所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述安裝臺(tái)升降的情況下，所述碳碳托桿的桿體能夠相對(duì)于所述同心度檢測(cè)儀旋轉(zhuǎn)并升降。

9、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述垂直度檢測(cè)儀為百分表或千分表，所述垂直度檢測(cè)儀包括觸頭，所述觸頭沿著所述桿體的軸向設(shè)置且能夠與所述底盤遠(yuǎn)離所述桿體的表面接觸。

10、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述同心度檢測(cè)儀為百分表或千分表，所述同心度檢測(cè)儀包括觸頭，所述觸頭沿著所述桿體的徑向設(shè)置且能夠與所述桿體的側(cè)壁接觸。

11、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述安裝臺(tái)上開設(shè)有與所述托桿頭對(duì)應(yīng)設(shè)置的安裝口，所述托桿頭能夠插入所述安裝口中并與所述安裝臺(tái)固定連接。

12、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括升降螺桿，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與所述安裝臺(tái)傳動(dòng)連接，所述升降螺桿與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)傳動(dòng)連接。

13、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述底座上還設(shè)置有立柱，所述立柱上設(shè)置有垂直度檢測(cè)橫梁和同心度檢測(cè)橫梁，所述垂直度檢測(cè)儀與所述垂直度檢測(cè)橫梁連接，所述同心度檢測(cè)儀與所述同心度檢測(cè)橫梁連接。

14、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述垂直度檢測(cè)儀與所述垂直度檢測(cè)橫梁之間滑動(dòng)連接，所述垂直度檢測(cè)儀能夠沿著所述垂直度檢測(cè)橫梁往復(fù)移動(dòng)。

15、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述垂直度檢測(cè)儀沿所述垂直度檢測(cè)橫梁上的滑動(dòng)行程能夠至少使所述觸頭自所述底盤的邊緣移動(dòng)至所述底盤的中心。

16、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述同心度檢測(cè)儀與所述同心度檢測(cè)橫梁之間滑動(dòng)連接，所述同心度檢測(cè)儀能夠沿著所述同心度檢測(cè)橫梁往復(fù)移動(dòng)。

17、本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置滿足下述特征中的至少之一：

18、所述垂直度檢測(cè)橫梁能夠沿著所述立柱往復(fù)移動(dòng)；

19、所述垂直度檢測(cè)橫梁能夠圍繞所述立柱旋轉(zhuǎn)；

20、所述同心度檢測(cè)橫梁能夠沿著所述立柱往復(fù)移動(dòng)；

21、所述同心度檢測(cè)橫梁能夠圍繞所述立柱旋轉(zhuǎn)。

22、本實(shí)用新型的提供的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，具有如下有益效果：

23、本實(shí)施例提供的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置通過模擬碳碳托桿的真實(shí)工作環(huán)境，既能夠檢測(cè)托桿頭與底盤的垂直度，又能夠檢測(cè)托桿頭與桿體整體之間的同心度。檢測(cè)過程中只需要調(diào)整垂直度檢測(cè)儀和同心度檢測(cè)儀與碳碳托桿之間的相對(duì)位置即可對(duì)托桿頭與底盤的垂直度，托桿頭與桿體整體之間的同心度進(jìn)行分別檢測(cè)，無需更換檢測(cè)裝置，檢測(cè)過程方便快捷，檢測(cè)效率較高。

技術(shù)特征：

1.一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，所述碳碳托桿包括托桿頭(13)、桿體(11)和底盤(14)，所述桿體(11)設(shè)置在所述托桿頭(13)和所述底盤(14)之間，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述垂直度檢測(cè)儀(7)為百分表或千分表，所述垂直度檢測(cè)儀(7)包括觸頭，所述觸頭沿著所述桿體(11)的軸向設(shè)置且能夠與所述底盤(14)遠(yuǎn)離所述桿體(11)的表面接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述同心度檢測(cè)儀(12)為百分表或千分表，所述同心度檢測(cè)儀(12)包括觸頭，所述觸頭沿著所述桿體(11)的徑向設(shè)置且能夠與所述桿體(11)的側(cè)壁接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述安裝臺(tái)(10)上開設(shè)有與所述托桿頭(13)對(duì)應(yīng)設(shè)置的安裝口，所述托桿頭(13)能夠插入所述安裝口中并與所述安裝臺(tái)(10)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)包括升降螺桿，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與所述安裝臺(tái)(10)傳動(dòng)連接，所述升降螺桿與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)傳動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述底座(1)上還設(shè)置有立柱(2)，所述立柱(2)上設(shè)置有垂直度檢測(cè)橫梁(6)和同心度檢測(cè)橫梁(8)，所述垂直度檢測(cè)儀(7)與所述垂直度檢測(cè)橫梁(6)連接，所述同心度檢測(cè)儀(12)與所述同心度檢測(cè)橫梁(8)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述垂直度檢測(cè)儀(7)與所述垂直度檢測(cè)橫梁(6)之間滑動(dòng)連接，所述垂直度檢測(cè)儀(7)能夠沿著所述垂直度檢測(cè)橫梁(6)往復(fù)移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述垂直度檢測(cè)儀(7)沿所述垂直度檢測(cè)橫梁(6)上的滑動(dòng)行程能夠至少使所述垂直度檢測(cè)儀(7)的觸頭自所述底盤的邊緣移動(dòng)至所述底盤的中心。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述同心度檢測(cè)儀(12)與所述同心度檢測(cè)橫梁(8)之間滑動(dòng)連接，所述同心度檢測(cè)儀(12)能夠沿著所述同心度檢測(cè)橫梁(8)往復(fù)移動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置滿足下述特征中的至少之一：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及碳碳托桿生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測(cè)裝置。該檢測(cè)裝置包括底座；設(shè)置在底座上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、安裝臺(tái)和升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，安裝臺(tái)能夠與碳碳托桿固定連接，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與安裝臺(tái)傳動(dòng)連接，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠驅(qū)動(dòng)安裝臺(tái)升降，碳碳托桿安裝于安裝臺(tái)的情況下，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、安裝臺(tái)、碳碳托桿同軸設(shè)置；垂直度檢測(cè)儀，垂直度檢測(cè)儀能夠與底盤遠(yuǎn)離桿體的表面接觸；同心度檢測(cè)儀，同心度檢測(cè)儀能夠與桿體的側(cè)壁接觸。該檢測(cè)裝置能夠檢測(cè)托桿頭與底盤的垂直度，也能夠托桿頭與桿體整體之間的同心度，檢測(cè)過程簡(jiǎn)單快捷，且無需使用不同的檢測(cè)裝置分別檢測(cè)同心度和垂直度，提高了檢測(cè)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：李海波,劉時(shí)偉,胡士偉,楊帥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江德鴻碳纖維復(fù)合材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240226
技術(shù)公布日：2024/12/17