技術(shù)編號:40318957
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及碳碳托桿生產(chǎn),尤其涉及一種應(yīng)用于碳碳托桿的檢測裝置。背景技術(shù)、坩堝托桿是單晶硅爐內(nèi)一種主要承重部件,其一端承載單晶爐坩堝,坩堝內(nèi)裝拉晶硅料,另一端與驅(qū)動裝置連接,在驅(qū)動裝置帶動下在爐腔內(nèi)轉(zhuǎn)動或上下移動。受市場及拉晶技術(shù)的影響,單晶硅片逐漸向大規(guī)格發(fā)展,單爐裝載量也不斷增加,這就對單晶爐內(nèi)部承重部件提出了更高的要求,傳統(tǒng)的石墨托桿性能難以滿足使用需求,逐漸被碳碳托桿所取代。、市面上的碳碳托桿以分體托桿為主,由托桿頭、桿體和底盤組合而成,由于碳碳托桿在受力的同時還要旋轉(zhuǎn)的使用特性決定了...
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