本技術(shù)涉及掃描電鏡配件，具體涉及一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺。

背景技術(shù)：

1、掃描電子顯微鏡作為一種應(yīng)用非常普遍的材料分析表征設(shè)備，可以直接在微觀尺度獲取材料的形貌結(jié)構(gòu)、元素價態(tài)、元素分布等信息，現(xiàn)已成為材料表征非常重要并有效的工具，在材料、生物、化學(xué)、物理等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。隨著原位測試技術(shù)的發(fā)展，開始在掃描電鏡中額外引入熱、電、光、力等外場，實時監(jiān)控樣品反應(yīng)過程中發(fā)生的微觀結(jié)構(gòu)變化，將材料的結(jié)構(gòu)與性能演變結(jié)合起來。掃描電鏡原位電化學(xué)觀測技術(shù)作為一種新型的表征手段，通過對掃描電鏡中的樣品引入電信號，能夠動態(tài)監(jiān)測和記錄電極和電解液的微觀結(jié)構(gòu)變化、相變、表/界面處的結(jié)構(gòu)和成分演化等信息，以挖掘問題和探尋機理，相比于傳統(tǒng)的非原位表征方法有許多優(yōu)點。

2、目前，掃描電子顯微鏡會搭配一個樣品臺，但是，目前樣品臺普遍只能適配一種掃描電鏡，通用性不強。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為此，本實用新型為解決上述問題，提供一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供的技術(shù)方案如下：

3、一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，包括轉(zhuǎn)接底座、翻轉(zhuǎn)式芯片載臺、法蘭和電學(xué)傳輸線，所述轉(zhuǎn)接底座的頂部開設(shè)有載臺安裝槽，所述轉(zhuǎn)接底座的底部可拆卸的裝配有定位桿，所述轉(zhuǎn)接底座內(nèi)設(shè)置有用于與翻轉(zhuǎn)式芯片載臺進行電學(xué)連接和傳輸?shù)娜嵝噪娐钒?，所述法蘭通過所述電學(xué)傳輸線連接所述轉(zhuǎn)接底座的柔性電路板并設(shè)有外接口；所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺可拆卸的裝配在轉(zhuǎn)接底座的載臺安裝槽內(nèi)，并與柔性電路板相連。

4、進一步的，所述轉(zhuǎn)接底座的底部設(shè)置有定位桿安裝孔，所述轉(zhuǎn)接底座的側(cè)邊開設(shè)有貫通至定位桿安裝孔的螺孔，所述螺孔內(nèi)裝配有頂絲，所述定位桿插設(shè)于定位桿安裝孔內(nèi)，并通過頂絲頂緊固定。

5、進一步的，所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺包括主體支架和壓蓋，所述主體支架具有線路板槽和芯片槽，所述線路板槽內(nèi)裝配有線路板，所述線路板與所述柔性電路板相連，所述芯片槽的底部開設(shè)有第一觀察窗口；所述壓蓋可拆卸的蓋合于主體支架上，所述壓蓋上設(shè)置有電極觸針和第二觀察窗口，所述第二觀察窗口與第一觀察窗口相對應(yīng)，所述電極觸針用于連接線路板和裝配在芯片槽上的芯片。

6、進一步的，所述芯片槽為長8-16mm、寬4-8mm的方形槽。

7、進一步的，所述轉(zhuǎn)接底座的側(cè)邊還開設(shè)有延伸至載臺安裝槽的中部位置的鏤空區(qū)。

8、進一步的，所述轉(zhuǎn)接底座上設(shè)置有兩個載臺安裝槽，兩個載臺安裝槽呈左右分布，且所述轉(zhuǎn)接底座的左右兩側(cè)均開設(shè)有所述鏤空區(qū)，從而形成一個“工”字形結(jié)構(gòu)。

9、進一步的，所述轉(zhuǎn)接底座上設(shè)置有連接柔性電路板的接口，所述法蘭上還設(shè)有內(nèi)接口，所述電學(xué)傳輸線的一端連接轉(zhuǎn)接底座的接口，另一端連接法蘭上的內(nèi)接口。

10、進一步的，所述法蘭上還設(shè)有用于固定在掃描電鏡倉門上的多個螺紋孔、以及用于與掃描電鏡的倉門進行密封連接的密封圈。

11、進一步的，所述法蘭上還設(shè)置有用于與外部液體供入設(shè)備連接的液體輸送接口，所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺設(shè)置有液體輸送管道，所述芯片槽內(nèi)設(shè)置進液口和出液口，芯片槽內(nèi)的進液口和出液口通過液體輸送管道與法蘭上的液體輸送接口連接。

12、通過本實用新型提供的技術(shù)方案，具有如下有益效果：

13、1.樣品臺通過定位桿裝配在掃描電鏡上，定位桿可拆卸的設(shè)置，通過更換不同的長度或直徑的定位桿來實現(xiàn)適配不同型號的掃描電鏡，使得該樣品臺的通用性更強。

14、2.翻轉(zhuǎn)式芯片載臺可拆卸的裝配在轉(zhuǎn)接底座的載臺安裝槽內(nèi)，翻轉(zhuǎn)式芯片載臺拆卸并翻轉(zhuǎn)后能夠從正面和反面兩個視角對反應(yīng)體系進行觀察，擴充了反應(yīng)體系的觀察視角和信息。

技術(shù)特征：

1.一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，包括轉(zhuǎn)接底座、翻轉(zhuǎn)式芯片載臺、法蘭和電學(xué)傳輸線，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座的頂部開設(shè)有載臺安裝槽，所述轉(zhuǎn)接底座的底部可拆卸的裝配有定位桿，所述轉(zhuǎn)接底座內(nèi)設(shè)置有用于與翻轉(zhuǎn)式芯片載臺進行電學(xué)連接和傳輸?shù)娜嵝噪娐钒?，所述法蘭通過所述電學(xué)傳輸線連接所述轉(zhuǎn)接底座的柔性電路板并設(shè)置有外接口；所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺可拆卸的裝配在轉(zhuǎn)接底座的載臺安裝槽內(nèi)，并與柔性電路板相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座的底部設(shè)置有定位桿安裝孔，所述轉(zhuǎn)接底座的側(cè)邊開設(shè)有貫通至定位桿安裝孔的螺孔，所述螺孔內(nèi)裝配有頂絲，所述定位桿插設(shè)于定位桿安裝孔內(nèi)，并通過頂絲頂緊固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺包括主體支架和壓蓋，所述主體支架具有線路板槽和芯片槽，所述線路板槽內(nèi)裝配有線路板，所述線路板與所述柔性電路板相連，所述芯片槽的底部開設(shè)有第一觀察窗口；所述壓蓋可拆卸的蓋合于主體支架上，所述壓蓋上設(shè)置有電極觸針和第二觀察窗口，所述第二觀察窗口與第一觀察窗口相對應(yīng)，所述電極觸針用于連接線路板和裝配在芯片槽上的芯片。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，其特征在于：所述芯片槽為長8-16mm、寬4-8mm的方形槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座的側(cè)邊還開設(shè)有延伸至載臺安裝槽的中部位置的鏤空區(qū)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座上設(shè)置有兩個載臺安裝槽，兩個載臺安裝槽呈左右分布，且所述轉(zhuǎn)接底座的左右兩側(cè)均開設(shè)有所述鏤空區(qū)，從而形成一個“工”字形結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接底座上設(shè)置有連接柔性電路板的接口，所述法蘭上還設(shè)有內(nèi)接口，所述電學(xué)傳輸線的一端連接轉(zhuǎn)接底座的接口，另一端連接法蘭上的內(nèi)接口。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，其特征在于：所述法蘭上還設(shè)有用于固定在掃描電鏡倉門上的多個螺紋孔、以及用于與掃描電鏡的倉門進行密封連接的密封圈。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，其特征在于：所述法蘭上還設(shè)置有用于與外部液體供入設(shè)備連接的液體輸送接口，所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺設(shè)置有液體輸送管道，所述芯片槽內(nèi)設(shè)置進液口和出液口，芯片槽內(nèi)的進液口和出液口通過液體輸送管道與法蘭上的液體輸送接口連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種掃描電鏡原位電化學(xué)樣品臺，包括轉(zhuǎn)接底座、翻轉(zhuǎn)式芯片載臺、法蘭和電學(xué)傳輸線，所述轉(zhuǎn)接底座的頂部開設(shè)有載臺安裝槽，所述轉(zhuǎn)接底座的底部可拆卸的裝配有定位桿，所述轉(zhuǎn)接底座內(nèi)設(shè)置有用于與翻轉(zhuǎn)式芯片載臺進行電學(xué)連接和傳輸?shù)娜嵝噪娐钒?，法蘭上設(shè)有外接口，所述法蘭通過所述電學(xué)傳輸線連接所述轉(zhuǎn)接底座的柔性電路板；所述翻轉(zhuǎn)式芯片載臺可拆卸的裝配在轉(zhuǎn)接底座的載臺安裝槽內(nèi)，并與柔性電路板相連。該樣品臺的通用性更強。

技術(shù)研發(fā)人員：廖洪鋼
受保護的技術(shù)使用者：廈門超新芯科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240112
技術(shù)公布日：2024/12/19