本發(fā)明涉及對(duì)檢查對(duì)象面照射光進(jìn)行檢查的檢查裝置，優(yōu)選地涉及對(duì)檢查對(duì)象面照射單色光而產(chǎn)生干涉條紋，利用該干涉條紋對(duì)檢查對(duì)象面進(jìn)行檢查的裝置。

背景技術(shù)：

1、如專利文獻(xiàn)1所示，以往已知一種測(cè)定方法，該測(cè)定方法通過對(duì)平滑的檢查對(duì)象面照射單色光，產(chǎn)生干涉條紋，根據(jù)該干涉條紋的紊亂來檢測(cè)所述平滑面的凹凸或變形。而且，對(duì)為了產(chǎn)生這樣的干涉條紋而使用的面發(fā)光類型或線發(fā)光類型等的光照射裝置要求光的單色性。

2、因此，在現(xiàn)有的這種光照射裝置中，例如使從水銀燈等光源射出的多波長光透過帶通濾波器等，從而生成單色光。

3、但是，在這樣的構(gòu)成中，由于從光源射出的光的大部分被切斷，所以光的利用效率差，在為了確保作為光照射裝置所需的輸出而提高光源的輸出的情況下，需要與其相應(yīng)的散熱性能，會(huì)產(chǎn)生照明裝置相應(yīng)地大型化、或相應(yīng)地價(jià)格也變高的問題。

4、盡管如此，在設(shè)為使用單色性比較高的led作為光源、用帶通濾波器切斷不需要的波長的光的構(gòu)成的情況下，雖然光的利用效率確實(shí)與上述的多波長光源相比改善，但是由于led的峰值波長隨溫度而偏移，因此通過帶通濾波器的每單位時(shí)間的光量依賴于溫度而變動(dòng)，輸出有可能大幅變動(dòng)。

5、另外，如果將半導(dǎo)體激光器等激光作為光源，則光源本身對(duì)于干涉條紋檢查而言成為理想的單色光，因此不需要用帶通濾波器等切斷不需要的光，但由于散斑的影響，在檢查對(duì)象面上產(chǎn)生干涉條紋以外的亮點(diǎn)，產(chǎn)生檢查精度變差的問題。

6、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

7、專利文獻(xiàn)

8、專利文獻(xiàn)1：日本特開2020-16552號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問題

2、因此，本發(fā)明是為了一舉解決上述問題點(diǎn)而作出的，其主要課題是提供一種能夠有助于小型化、輸出穩(wěn)定性、檢查精度提高等的檢查裝置。

3、解決問題的技術(shù)手段

4、即，本發(fā)明的檢查裝置的特征在于，具備：多個(gè)激光光源，其以沿著規(guī)定方向排列的方式安裝；反射構(gòu)件，其設(shè)置在從所述激光光源射出的激光的光路上，具有使所照射的激光擴(kuò)散反射的反射面；以及擴(kuò)散構(gòu)件，其設(shè)置在由所述反射面擴(kuò)散反射的激光的光路上，使所照射的激光擴(kuò)散透過并照射到檢查對(duì)象面上，所述激光光源配置成相對(duì)于所述反射面從斜向照射激光，并且配置成激光的指向角寬的方向與所述激光光源的安裝方向所成的角度小于激光的指向角窄的方向與所述安裝方向所成的角度。

5、發(fā)明的效果

6、根據(jù)這樣構(gòu)成的本發(fā)明，在檢查裝置中，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、輸出穩(wěn)定性、低價(jià)格化、檢查精度提高等。

技術(shù)特征：

1.一種檢查裝置，其特征在于，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

6.一種檢查裝置，其特征在于，具備：

7.一種檢查用光照射裝置，其特征在于，具備：

8.一種檢查用光照射裝置，其特征在于，具備：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠有助于小型化、輸出穩(wěn)定性、檢查精度提高等的檢查用光照射裝置(100)。檢查用光照射裝置(100)具備：多個(gè)激光光源(2)，其沿著規(guī)定方向安裝；反射構(gòu)件(3)，其具有使從所述激光光源(2)射出的激光(L)擴(kuò)散反射的反射面(3a)；以及擴(kuò)散構(gòu)件(4)，其使由所述反射面(3)擴(kuò)散反射的激光擴(kuò)散透過并出射到外部，所述激光光源(2)配置成相對(duì)于所述反射面(3a)從斜向照射激光(L)，并且配置成激光(L)的指向角寬的方向與所述激光光源(2)的安裝方向所成的角度小于激光(L)的指向角窄的方向與所述安裝方向所成的角度。

技術(shù)研發(fā)人員：香山貴彥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：CCS株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19